| 【発明の名称】 |
電子部品装着装置 |
| 【発明者】 |
【氏名】松芳 勉
【氏名】蔵田 健士
【氏名】臼井 克尚
【氏名】岩瀬 春樹
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| 【要約】 |
【課題】フィーダベースへの部品供給ユニットの取り付け位置を自動測定できるようにして、安全で且つ測定労働を軽減できる電子部品装着装置を提供する。
【構成】作業者は装着ヘッドに吸着ノズルに代えて測定用ノズル70を取り付けると共に供給台上の配置番号「101」の位置に部品供給ユニットに代えて測定用ユニット71を取り付ける。そして、配置番号「101」に位置する測定用ユニット71を供給台駆動モータを駆動させることにより、ロータリテーブルの吸着ステーションAの位置へ移動させ、装着ヘッド及び測定用ノズル70を下降させる。このとき、測定用ノズル70のX、Y及びZ方向の面70X、70Y、70Zが各変位検出センサ71X、71Y、71Zに近接しているので、測定用ノズル70の各面との距離が測定され、配置番号「101」としての基準値との差であるオフセット値としてRAMに格納される。 |
【特許請求の範囲】
【請求項1】 装着ヘッドに設けられた吸着ノズルでフィーダベース上に並設された任意の部品供給ユニットより供給された電子部品を取出してプリント基板上に装着する電子部品自動装着装置において、前記装着ヘッドに前記吸着ノズルに代えて取り付けられるもので少なくともX及びY方向の面を備えた測定用ノズルと、この測定用ノズルの各面との距離を測定するための少なくともX及びY方向の変位検出センサを備えて前記フィーダベース上に前記部品供給ユニットに代えて取り付けられる測定用ユニットと、この測定用ユニットの各変位検出センサにより測定された各測定データを格納する記憶装置とを設けたことを特徴とする電子部品自動装着装置。 【請求項2】 装着ヘッドに設けられた吸着ノズルでフィーダベース上に並設された任意の部品供給ユニットより供給された電子部品を取出してプリント基板上に装着する電子部品自動装着装置において、前記装着ヘッドに前記吸着ノズルに代えて取り付けられるものでX、Y及びZ方向の面を備えた測定用ノズルと、この測定用ノズルの各面との距離を測定するための各変位検出センサを備えて前記フィーダベース上に前記部品供給ユニットに代えて取り付けられる測定用ユニットと、この測定用ユニットの各変位検出センサにより測定された各測定データを格納する記憶装置とを設けたことを特徴とする電子部品自動装着装置。 【請求項3】 前記記憶装置に格納されたX方向における測定データに基づいて前記フィーダベースの移動源を制御する制御装置とを設けたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の電子部品装着装置。 【請求項4】 前記装着ヘッドを間欠回転するロータリテーブルの周縁に所定間隔を存して設けると共に該装着ヘッドに対して鉛直軸線まわりに駆動源により回転する回転体に前記吸着ノズルを設け、前記記憶装置に格納されたY方向における測定データに基づいて前記回転体の移動源を制御する制御装置とを設けたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の電子部品装着装置。 【請求項5】 前記記憶装置に格納されたZ方向における測定データに基づいて前記装着ヘッド又は吸着ノズルの昇降駆動源を制御する制御装置とを設けたことを特徴とする請求項2に記載の電子部品装着装置。
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【発明の詳細な説明】【技術分野】 【0001】 本発明は、装着ヘッドに設けられた吸着ノズルでフィーダベース上に並設された任意の部品供給ユニットより供給された電子部品を取出してプリント基板上に装着する電子部品自動装着装置に関する。 【背景技術】 【0002】 この種の電子部品装着装置は、特許文献1などのように広く知られている。そして、この種の電子部品装着装置における部品供給ユニットのフィーダベース上への取り付け位置のズレは以下のように測定されていた。即ち、フィーダベース上の所定の位置(配置番号「101」の位置)に部品供給ユニットに代えて測定用ユニットを取り付け、部品吸着位置に配置番号「101」の位置が来るようにフィーダベースを移動させ、測定用ユニットに設けた測定ピンにツールスコープの目盛りを合わせる。次いで、配置番号「102」の位置に測定用ユニットを取り付けて部品吸着位置に配置番号「102」位置が来るようにフィーダベースを移動させ、測定用ユニットに設けた測定ピンの位置をツールスコープの目盛りから読み取るようにして、配置番号「101」を基準にした最後の配置番号までのX方向(Y、Z方向も)のズレ量を測定する。そして、この測定データをオフセットデータとして記憶装置に格納し、部品供給ユニットから電子部品の取り出しの際にこのオフセットデータを利用していた。 【特許文献1】特開2003−69287号公報 【発明の開示】 【発明が解決しようとする課題】 【0003】 しかし、前述した測定に際しては、作業者がフィーダベース上方に身を乗り出して行なうため、大変危険でしかも重労働であった。 【0004】 そこで本発明は、フィーダベースに取り付けられる部品供給ユニットの取り付け位置を自動測定できるようにして、安全で且つ測定労働を軽減できる電子部品装着装置を提供することを目的とする。 【課題を解決するための手段】 【0005】 このため第1の発明は、装着ヘッドに設けられた吸着ノズルでフィーダベース上に並設された任意の部品供給ユニットより供給された電子部品を取出してプリント基板上に装着する電子部品自動装着装置において、前記装着ヘッドに前記吸着ノズルに代えて取り付けられるもので少なくともX及びY方向の面を備えた測定用ノズルと、この測定用ノズルの各面との距離を測定するための少なくともX及びY方向の変位検出センサを備えて前記フィーダベース上に前記部品供給ユニットに代えて取り付けられる測定用ユニットと、この測定用ユニットの各変位検出センサにより測定された各測定データを格納する記憶装置とを設けたことを特徴とする。 【0006】 第2の発明は、装着ヘッドに設けられた吸着ノズルでフィーダベース上に並設された任意の部品供給ユニットより供給された電子部品を取出してプリント基板上に装着する電子部品自動装着装置において、前記装着ヘッドに前記吸着ノズルに代えて取り付けられるものでX、Y及びZ方向の面を備えた測定用ノズルと、この測定用ノズルの各面との距離を測定するための各変位検出センサを備えて前記フィーダベース上に前記部品供給ユニットに代えて取り付けられる測定用ユニットと、この測定用ユニットの各変位検出センサにより測定された各測定データを格納する記憶装置とを設けたことを特徴とする。 【0007】 第3の発明は、第1又は第2の電子部品装着装置に係る発明において、前記記憶装置に格納されたX方向における測定データに基づいて前記フィーダベースの移動源を制御する制御装置とを設けたことを特徴とする。 【0008】 第4の発明は、第1又は第2の電子部品装着装置に係る発明において、前記装着ヘッドを間欠回転するロータリテーブルの周縁に所定間隔を存して設けると共に該装着ヘッドに対して鉛直軸線まわりに駆動源により回転する回転体に前記吸着ノズルを設け、前記記憶装置に格納されたY方向における測定データに基づいて前記回転体の移動源を制御する制御装置とを設けたことを特徴とする。 【0009】 第5の発明は、第2の電子部品装着装置に係る発明において、前記記憶装置に格納されたZ方向における測定データに基づいて前記装着ヘッド又は吸着ノズルの昇降駆動源を制御する制御装置とを設けたことを特徴とする。 【発明の効果】 【0010】 本発明は、フィーダベースに取り付けられる部品供給ユニットの取り付け位置を自動測定できるようにして、安全で且つ測定労働を軽減できる電子部品装着装置を提供することができる。 電子部品装着装置を提供することができる。 【発明を実施するための最良の形態】 【0011】 以下本発明の一実施形態を図に基づき詳述する。図1及び図2に於いて、1はY軸モータ2の駆動によりY方向に移動するYテーブルであり、3はX軸モータ4の駆動によりYテーブル1上でX方向に移動することにより結果的にXY方向に移動するXYテーブルであり、チップ状電子部品5(以下、「電子部品」或いは「部品」という。)が装着されるプリント基板6が図示しない固定手段に固定されて載置される。 【0012】 7はフィーダベースである供給台であり、電子部品5を吸着取出位置まで供給する部品供給ユニット8が多数台配設されており、供給台7上の最右の部品供給ユニット8の配置番号が「101」であり、順に「102」、[103]・・・である。9は供給台駆動モータであり、ボールネジ10を回動させることにより、該ボールネジ10が嵌合し供給台7に固定されたナット11を介して、供給台7がリニアガイド12に案内されてX方向に移動する。13はインデックス機構により間欠回動するロータリテーブルであり、該テーブル13の外縁部には吸着ノズル14を複数本有する装着ヘッド15が間欠ピッチに合わせて等間隔に配設されている。 【0013】 前記部品供給ユニット8はテープ送り機構(図示せず)の1回の送り動作で収納テープCを1送りピッチ分だけシュート8B上を摺動させながら移動させると共に剥離機構によりカバーテープを剥離して凹部CA内の電子部品5を部品取出し可能に供給し、この供給した後にシャッター8Aを移動させて供給された電子部品5を吸着ノズル14により取出し可能にする(図4参照)。 【0014】 前記ロータリテーブル13の間欠回転の停止による停止位置(図1中上方の黒丸の付された位置)が吸着ステーションAであり、この吸着ステーションAにて装着ヘッド15及び吸着ノズル14が下降することにより吸着ノズル14が部品供給ユニット8により部品取出位置へ供給された部品5を吸着して取出す。 【0015】 Bは部品5を吸着した装着ヘッド15がロータリテーブル13の間欠回転により停止する認識ステーションであり、この認識ステーションにて部品認識カメラ16により部品5の画像が撮像され、この撮像された画像が認識処理装置65で認識処理され吸着ノズル14に対する部品5の位置ずれが認識される。 【0016】 Cは吸着ノズル14が吸着保持している部品5をプリント基板6に装着するために装着ヘッド15が停止する装着ステーション(図1中下方の黒丸の付された位置)であり、この装着ステーションにおいて装着ヘッド15及び吸着ノズル14の下降によりXYテーブル3の移動により所定の位置に停止したプリント基板6上に部品5が装着される。 【0017】 18は後述する電流駆動負荷としてのパルスモータ31を駆動するためのロータリテーブル13内に格納された駆動回路82(図5参照)からの電流を伝達するための動力線、電流駆動負荷である真空バルブに電流を伝達するための動力線及び他の電流駆動負荷に電流を伝達して流す電線等をも含むケーブルであり、各装着ヘッド15に接続されている。19は真空チューブで、吸着ノズル14より電子部品5を吸着するため図示しない真空源に連通する。 【0018】 前記装着ヘッド15はヘッドブロック21を介してリニアガイド22に取り付けられ、ロータリテーブル13に対して上下動可能になされている。 【0019】 26は部品供給装置8の揺動レバー27を揺動させるために上下動する昇降レバーであり、該昇降レバー27を揺動させテープリール28内に巻回された図示しない収納テープを送り、該収納テープ内に収納された電子部品5を該ノズル14の吸着取出位置に供給させる。 【0020】 前記ロータリテーブル13は基台29に回転可能に取り付けられているものであり、前記供給台7及びXYテ−ブル3も該基台29に対して移動するものである。 【0021】 以下に図3に基づき、装着ヘッド15について説明する。装着ヘッド15内にはパルスモータ31が組み込まれ形成されている。32は該モータ31の回転体としてのロータであり、ハウジング部となっているステータ30内でθ方向に回転可能になされている。ここで、θ方向とは上下に伸びる軸(鉛直軸)の回りに回転する方向である。33はロータ32の周囲に全周にわたり埋設された永久磁石であり、その上下には該磁石33に磁化される鉄芯34が周方向に凹凸を繰り返して設けられている。35はステータ30の内壁に全周にわたり取り付けられた鉄芯であり、該鉄芯35のステータ30の周方向の複数個所は突部となっており、該突部の周りにはコイル36が巻かれている。 【0022】 このコイル36に前記ケーブル18よりのパルス状の電流が流され、永久磁石33に磁化された鉄芯34の突部との反発力によりロータ32はパルス数に応じて所定角度量回転する。38はロータ32をステータ30に対して回転可能に支持するベアリングである。 【0023】 前記吸着ノズル14は夫々ロータ32を上下方向に貫通して上下動可能に設けられており、該ノズル14の先端から真空吸引孔40が穿設されている。該真空吸引孔40はノズル14の側面の中間でロータ32側に開口しており、ロータ32に穿設された連通孔37を介して該ロータ32の軸方向に伸びる真空室39に連通する。 【0024】 吸着ノズル14の上部には係合体42が形成されており、押圧バネ50により下方に付勢されている。前記ロータ32の上部には各吸着ノズル14の係合体42に係合して該バネ50に抗して吸着ノズル14を上昇した状態に保持するためのレバー46がロータ32の軸方向に揺動するようバネ47に付勢されて取り付けられている。図示しないレバー回動装置によりレバー46がバネ47に抗してその下端が開くように揺動されると、該レバー46により図3の左側のように保持されていた吸着ノズル14は下方に右側のように突出して部品5を吸着する使用状態になされる。また、吸着ノズル14が使用されずに係合体42がレバー46に保持され収納された図3の左側の状態では、ノズル14の胴部の開口は連通孔37には連通せず、連通孔37はノズル14の側面で封止され真空が漏れないようになされている。 【0025】 前記真空室39はロータ32の上部にて回転可能なロータリジョイント49を介して真空チューブ19に連通している。ロータリジョイント49は図示しない中空部を有する回転端51及び該回転端51に図示しないボールベアリングにより相対的に回転可能に設けられた図示しない中空部を有する固定端52とより構成されている。 【0026】 ロータ32の下端部48は円盤形状を呈するが、この下端部48の円周上の1箇所にはマグネット41が埋設されている。また、ステータ30には原点検出のための電流駆動負荷としての原点検出素子43(ホールIC)が設けられており、ロータ32の回転によりマグネット41が該原点検出素子に対向した時に原点検出信号が出力され、この信号電流が前記ケーブル18内の通信線を流れてロータリテーブル13内のマイクロコンピュータ78に該信号が入力されるようになされている。 【0027】 また、前記ヘッドブロック21には電流駆動負荷としての真空バルブが搭載されており、真空チューブ19を介してヘッド15の真空室39内に負圧を供給するためにロータリテーブル13内の真空通路45を介して図示しない真空源に連通させるように切り替えるか、前記真空室39を大気開放状態に切り替える機能を有している。該真空バルブは電磁弁であり、前記ケーブル18中の動力線を流れる電流により前記マイクロコンピュータ78からの制御により駆動される。 【0028】 前記ケーブル18は装着ヘッド15にヘッド側接続部材としてのコネクタ54で着脱自在に接続されている。ケーブル18に固定されている駆動側コネクタ55とヘッド15に固定されている従動側コネクタ56でコネクタ54は構成されており、駆動側コネクタ55が従動側コネクタ56に着脱されるものである。図2に示すように、ケーブル18はロータリテーブル13に一体コネクタであるテーブル側接続部材58で着脱自在に接続されている。 【0029】 図5の電子部品自動装着装置の制御ブロック図に基いて説明する。74はCPUであり、RAM75に記憶された種々のデータ等に基づき、ROM76に格納されたプログラムに従って電子部品5の装着に係わる種々の動作を制御する。 【0030】 前記RAM75には、部品装着に係るプリント基板Pの種類毎に装着データが記憶されており、その装着順序毎(ステップ番号毎)に、プリント基板P内での各電子部品の装着座標のX方向(Xで示す)、Y方向(Yで示す)及び角度(Zで示す)情報や、各部品供給ユニット7の配置番号情報(Fで示す)等が格納されている。 【0031】 また前記RAM75には、前記各部品供給ユニット8の部品供給ユニット配置番号に対応した各電子部品の種類(部品ID)の情報、即ち部品配置データが格納されており、この部品ID毎に電子部品のX方向(Xで示す)、Y方向(Yで示す)、厚さ(Tで示す)情報及び使用吸着ノズル14のノズルID等に関する部品ライブラリデータが格納されている。更には、フィーダベースである供給台7上に各部品供給ユニット8を配設する各間隔データも格納されている。 【0032】 そして、CPU74はこの装着データに基づきXYテ−ブル3の移動先の位置を表すデータをX方向及びY方向毎にX軸モータ4、Y軸モータ2に指令すると共に後述するマイクロコンピュータ78に装着角度データに基づきこの制御用データの信号が送られるものである。 【0033】 65はインターフェース66を介して前記CPU74に接続される認識処理装置で、前記部品認識カメラ16により撮像して取込まれた画像の認識処理が該認識処理装置65にて行われ、CPU74に処理結果が送出される。即ち、CPU74は、部品認識カメラ16に撮像された画像を認識処理(位置ずれ量の算出など)するように指示を認識処理装置65に出力すると共に、認識処理結果を認識処理装置65から受取るものである。 【0034】 即ち、前記認識処理装置65の認識処理により位置ずれ量が把握されると、その結果がCPU74に送られ、CPU74はインターフェース66及び駆動回路67を介してXYテーブル3のY軸モータ2及びX軸モータ4を駆動させXY方向にプリント基板6を移動させることにより、またインターフェース66、マイクロコンピュータ78、駆動回路82を介してパルスモータ31を駆動させて結果として使用している吸着ノズル14をθ回転させ、X,Y方向及び鉛直軸線回りへの回転角度位置の補正がなされるものである。 【0035】 尚、前記部品認識カメラ16により撮像された画像を認識処理装置65が取り込むが、その取り込まれた画像をモニタ68が表示する。そして、前記モニタ68にはデータ設定のための入力手段としての種々のタッチパネルスイッチ69が設けられ、作業者がタッチパネルスイッチ69を操作することにより、種々の設定を行うことができるが、データ設定のための入力手段としてキーボードを用いてもよい。 【0036】 次に、部品供給ユニット8のフィーダベースである供給台7上への取り付け位置のズレは、以下のように測定される。先ず、図6及び図7において、取付部70Tを上部に備えX、Y及びZ方向の面70X、70Y、70Zを備え装着ヘッド15に吸着ノズル14に代えて取り付けられる概ね四角柱状の鋼鉄製の測定用ノズル70と、この測定用ノズル70の各面との距離を測定するための、例えば渦電流変位センサから成る変位検出センサ71X、71Y、71Zを備えて前記供給台7上の配置番号「101」の位置に取付部71T、71Tを介して前記部品供給ユニット8に代えて取り付けられる測定用ユニット71とを備えることにより、測定が可能となる。 【0037】 即ち、前記測定用ノズル70は測定用に作製されたもので、装着ヘッド15に取り付けられた際に、X、Y及びZ方向の端部が吸着ノズル14と略同様な寸法を有し、また測定用ユニット71も測定用に作製されたもので、供給台7に取り付けられた際に、部品供給ユニット8と略同様な寸法を有しているもので、作業者が装着ヘッド15に吸着ノズル14に代えて測定用ノズル70を取り付けると共に供給台7上の配置番号「101」の位置に部品供給ユニット8に代えて測定用ユニット71を取り付ける。 【0038】 そして、モニタ68に表示されたタッチパネルスイッチ69を押圧操作して、配置番号「101」の位置に設置された部品供給ユニット8の取り付け位置ズレ測定のための画面を表示して、タッチパネルスイッチ69の供給台移動スイッチ部を押圧操作すると、吸着ステーションAにおいて予め測定用ノズル70を下げた状態のところに、CPU74は前記配置番号「101」に位置する測定用ユニット71を供給台駆動モータ9を駆動させることにより移動させる。 【0039】 このとき、装着ヘッド15に取り付けられた測定用ノズル70のX、Y及びZ方向の面70X、70Y、70Zが各変位検出センサ71X、71Y、71Zに近接しているので、タッチパネルスイッチ69の測定スイッチ部を押圧操作すると、この測定用ノズル70の各面との距離が測定される。従って、各測定結果は増幅器(図示せず)を介してCPU74に出力されるので、配置番号「101」としての基準値との差であるオフセット値としてRAM75に格納される。 【0040】 次いで、作業者は測定用ノズル70をそのままとして、タッチパネルスイッチ69の移動スイッチ部を押圧操作して供給台駆動モータ9を駆動させて供給台7を移動させて測定用ユニット71を吸着ステーションAから右方へ離した後、供給台7上の配置番号「101」の位置から測定用ユニット71を取り外して「102」の位置に移し変える。そして、モニタ68に表示されたタッチパネルスイッチ69を押圧操作して、配置番号「102」の位置に設置された部品供給ユニット8の取り付け位置ズレ測定のための画面を表示して、タッチパネルスイッチ69の供給台移動スイッチ部を押圧操作する。すると、CPU74は供給台駆動モータ9を駆動させることにより供給台7を移動させ、前記配置番号「102」に位置する測定用ユニット71をロータリテーブル13の吸着ステーションAの位置へ移動させる。 【0041】 そして、装着ヘッド15に取り付けられた測定用ノズル70のX、Y及びZ方向の面70X、70Y、70Zが各変位検出センサ71X、71Y、71Zに近接しているので、タッチパネルスイッチ69の測定スイッチ部を押圧操作すると、この測定用ノズル70の各面との距離が測定され、各測定結果が増幅器を介してCPU74に出力され、配置番号「102」としての基準値との差であるオフセット値としてRAM75に格納される。以下、同様に順次各配置番号に測定用ユニット71を移し変えつつ、各基準値との差であるオフセット値としてRAM75に格納する。 【0042】 なお、変位検出センサ71X、71Y、71Zとして渦電流変位センサを使用して測定用ノズル70のX、Y及びZ方向の面70X、70Y、70Zとは非接触状態で検出するようにしたが、これに限らず、接触して検出するようなセンサを使用してもよい。 【0043】 以上のような構成により以下動作について説明する。先ず、電子部品自動装着装置の部品5をプリント基板6に装着する自動運転の動作について説明する。装置に電源が投入されると、各装着ヘッド15の吸着ノズル14の回転位置(即ちロータ32の回転位置)の原点位置の検出が行われる。即ち、ロータ32を低速で回転させ、原点検出素子43がマグネット41に対向する位置で検出信号が出力され、該信号電流がケーブル18を介して伝達されマイクロコンピュータ78に検出され、原点位置が記憶される。 【0044】 次に、自動運転が開始されると、装着ヘッド15がロータリテーブル13のインデックス機構を介する間欠回転により吸着ステ−ションAに停止した際に、供給台駆動モータ9の駆動により供給台7がX方向に移動され、RAM75に格納された装着データに従い、供給すべき電子部品5を収納する部品供給ユニット8は吸着ステ−ションAの装着ヘッド15の吸着ノズル14の吸着位置に停止されて、該吸着ノズル14の下降により電子部品5が取出される。 【0045】 このときに、CPU74はRAM75に格納された電子部品を供給する部品供給ユニット8の配置番号に対応するオフセット値に基づいて、X方向については供給台駆動モータ9を、Y方向についてはパルスモータ31を補正制御することにより、確実に部品供給ユニット8から電子部品を吸着取り出しすることができる。 【0046】 次に、ロータリテーブル13がインデックス機構を介して間欠回転を行い、電子部品5を保持した装着ヘッド15は次のステ−ションに移動して停止し、さらに回転して行き認識ステ−ションBに移動する。そして、部品認識カメラ16により吸着ノズル14に吸着された電子部品5の撮像が行われ、その画像が認識処理装置65により認識処理され、部品5の吸着ノズル14に対する位置ずれが認識される。次に、認識が終了したならばCPU74は該認識結果により補正すべき量を装着データの装着角度に加えた角度量を算出し、この算出された角度量が当該装着ヘッド15のマイクロコンピュータ78に出力され、駆動回路82を介してパルスモータ31を駆動させて吸着ノズル14をθ回転させ、鉛直軸線回りへの回転角度位置の補正がなされるものである。 【0047】 このパルスモータ31の回転と並行してロータリテーブル13は間欠回転を行って装着ステ−ションCに達し、角度位置決めが終了した電子部品5をXYテーブル3の移動により装着データの示す座標位置に位置決めされたプリント基板6に装着する。 【0048】 以上の実施形態は、ロータリテーブル型の高速型電子部品装着装置について説明したが、XYロボ型の、いわゆる多機能チップマウンタに適用してもよい。この場合、RAM75に格納されたX方向及びY方向における測定データに基づいて装着ヘッドをXY方向に移動させるX軸駆動モータ及びY軸駆動モータを補正するよう、また吸着ノズルをZ方向に移動させる昇降モータを補正するようにCPU74が制御する。 【0049】 以上のように本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。 【図面の簡単な説明】 【0050】 【図1】電子部品装着装置の平面図である。 【図2】電子部品装着装置の一部破断せる側面図である。 【図3】装着ヘッドの一部拡大縦断面図である。 【図4】部品供給ユニットの縦断面図である。 【図5】制御ブロック図である。 【図6】測定用ノズルと測定用ユニットとの斜視図である。 【図7】変位検出センサによる部品供給ユニットの取り付け位置ズレを測定するための模式図である。 【符号の説明】 【0051】 7 供給台 8 部品供給ユニット 9 供給台駆動モータ 13 ロータリテーブル 14 吸着ノズル 15 装着ヘッド 31 パルスモータ 74 CPU 75 RAM 70 測定用ノズル 71 測定用ユニット 71X、Y、Z 変位検出センサ
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| 【出願人】 |
【識別番号】300022504 【氏名又は名称】株式会社日立ハイテクインスツルメンツ
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| 【出願日】 |
平成18年7月28日(2006.7.28) |
| 【代理人】 |
【識別番号】100115299 【弁理士】 【氏名又は名称】相澤 清隆
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| 【公開番号】 |
特開2008−34596(P2008−34596A) |
| 【公開日】 |
平成20年2月14日(2008.2.14) |
| 【出願番号】 |
特願2006−205853(P2006−205853) |
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