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【発明の名称】
体積変化吸収器、X線発生器およびX線撮影装置
ターゲット物質供給装置
光源装置、露光装置及びデバイス製造方法
極端紫外光源装置
X線管装置
X線CT装置
スタナン気体供給システム
放射発生器において放射線を制御するための装置
X線発生装置
X線撮影装置の冷却システム
高電圧回路及びX線発生装置
X線装置及び熱交換装置
冷却媒体交換システム
高エネルギー粒子発生装置及び管状部材非破壊検査装置並びに高エネルギー粒子発生方法
極端紫外光源用ターゲット、その製造装置及び極端紫外光源
X線高電圧装置
X線管球、X線撮影装置及び真空絶縁機器の帯電計測装置
液滴回収装置およびその方法
回転陽極X線管装置
放射線画像撮像装置及びその制御方法、並びに、放射線量検出器調整装置及びその調整方法
極端紫外光源装置
単色X線発生装置及びその方法
高電圧発生装置
極端紫外光源装置
極端紫外光源装置
極端紫外光源装置及びノズル保護装置
X線高電圧装置およびX線高電圧装置を含むX線診断装置
極端紫外光光源装置
X線撮影装置
電力の扱い方法及び装置
極端紫外光光源装置
X線発生装置
EUV光源、EUV露光装置および半導体デバイスの製造方法
バイアス電圧制御回路およびこれを用いたX線発生装置
極端紫外光源装置
極端紫外光源装置
電気的に作動するガス放電により極紫外放射線を発生するための方法及び装置
X線発生装置、X線コンピュータ断層撮影装置及びX線診断装置
極端紫外光源装置
半導体スイッチング素子のドライブ回路及びX線高電圧装置
X線発生器及びX線装置
X線検査装置
X線発生装置
高電圧トランス、電子装備および放射線容器
極端紫外光光源装置および極端紫外光発生方法
レーザー駆動の小型・高コントラスト・コヒーレントX線発生装置及びその発生方法
ガス放電による高電流切り換え装置
X線管内の高電圧過渡抑制およびスピット保護のためのシステムおよび方法
内視鏡式X線装置
EUV光発生装置および方法
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