【特許請求の範囲】
【請求項1】 テストヘッドとソケット基板、あるいは当該ソケット基板と測定対象の基板との間の接触不良を自動試験する接触試験装置において、 前記ソケット基板上に装着した、前記基板のピンを挿入するソケットの各端子に接続したチェック端子と、 前記ソケット基板上に、前記テストヘッドの所定端子に接続しかつ前記チェック端子のいずれにも移動して接触可能な可変端子部と、 電気試験ユニットを前記テストヘッドに接続して当該テストヘッドの1本あるいは複数本の所定ピンからソケット基板を経由して電気試験対象の前記基板の該当1本あるいは複数本の所定ピンに電気信号を出力あるいは入力して電気試験中にピンの接触不良が検出されたときに、前記可変端子部を接触不良対象の前記チェック端子に移動させて接触させる手段と、 前記接触させた状態で、前記テストヘッドと前記ソケット基板との間の導通試験を行う手段と を備えたことを特徴とする接触試験装置。 【請求項2】 前記導通試験するときに、前記ソケット基板と前記基板との間の接触を一時的に開にすることを特徴とする請求項1記載の接触試験装置。 【請求項3】 前記可変端子部は、外部からの電気信号により所定のチェック端子の位置に移動させることを特徴とする請求項1あるいは請求項2記載の接触試験装置。 【請求項4】 前記導通試験は、導通試験対象のピン番号をもとに規格テーブルを参照して所定の電流を供給あるいは所定の電圧を印加し、測定された測定値をもとに接続チェックテーブルを参照して接触不良か否かを判定することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の接触試験装置。 【請求項5】 テストヘッドとソケット基板、あるいは当該ソケット基板と測定対象の基板との間の接触不良を自動試験する接触試験方法において、 前記ソケット基板上に装着した、前記基板のピンを挿入するソケットの各端子に接続したチェック端子と、 前記ソケット基板上に、前記テストヘッドの所定端子に接続しかつ前記チェック端子のいずれにも移動して接触可能な可変端子部とを設け、 電気試験ユニットを前記テストヘッドに接続して当該テストヘッドの1本あるいは複数本の所定ピンからソケット基板を経由して電気試験対象の前記基板の該当1本あるいは複数本の所定ピンに電気信号を出力あるいは入力して電気試験中にピンの接触不良が検出されたときに、前記可変端子部を接触不良対象の前記チェック端子に移動させて接触させるステップと、 前記接触させた状態で、前記テストヘッドと前記ソケット基板との間の導通試験を行うステップと を有する接触試験方法。
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