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【発明の名称】 真空度測定装置、気相成長装置および真空度測定方法
【発明者】 【氏名】渕上 慶太

【氏名】山口 晃

【要約】 【課題】測定環境に塵埃が侵入しても正常に動作することができる真空度測定装置および気相成長装置

【構成】取出用ボックス12は、ターボ分子ポンプ15により内部の気体を吸引される。ペニング真空計14は、取出用ボックス12内の気圧を測定する。測定値取得処理部22は、ペニング真空計14の測定値を取得する。異常値除去処理部23は、連続した3つの測定値P1、P2、P3を取得し、測定値P1と測定値P3とに基づき、ペニング真空計14への塵埃の侵入の有無を判定する上限値を算出し、これを満たさない測定値P2を取り除く。平均値算出処理部24は、取り除かれなかった測定値の平均値を算出する。判定処理部25は、平均値算出処理部24が算出した平均値が、所定の閾値以下であれば、前記気密室内が所定の真空度に達したと判定する。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ポンプにより内部の気体を吸引される気密室の気圧を測定するペニング真空計と、
前記ペニング真空計の測定値を取得して、前記気密室内が所定の真空度に達したか否かを判定する制御部とを備える真空度測定装置において、
前記制御部は、
前記ペニング真空計の測定値を、所定の時間間隔で取得して、記憶部に格納する測定値取得手段と、
前記記憶部に連続して順に格納した3つの測定値P1、P2、P3を取得し、測定値P1と測定値P3とに基づき、前記ペニング真空計への塵埃の侵入の有無を判定する上限値を算出し、該算出した上限値を満たさない測定値P2を取り除く異常値除去手段と、
前記異常値除去手段により取り除かれなかった測定値を用いて、測定値の平均値を算出する平均値算出手段と、
前記平均値算出手段が算出した平均値が、所定の閾値以下であれば、前記気密室内が所定の真空度に達したと判定する判定手段と
を備えることを特徴とする真空度測定装置。
【請求項2】
前記異常値除去手段は、前記測定値P1、P3と、上限値算出用のパラメータα1とを用いて、上限値Pmaxを、
P1≧P3のとき、Pmax=P1×α1、
P1<P3のとき、Pmax=P3×α1
により算出し、該算出した上限値Pmaxを満たさない測定値P2を取り除くことを特徴とする請求項1に記載の真空度測定装置。
【請求項3】
前記異常値除去手段は、前記測定値P1、P3と、下限値算出用のパラメータα2とを用いて、下限値Pminを、
P1≧P3のときPmin=P3/α2、
P1<P3のときPmin=P1/α2
により算出し、該算出した下限値Pminを満たさない測定値P2を取り除くことを特徴とする請求項2に記載の真空度測定装置。
【請求項4】
前記異常値除去手段は、前記測定値P1=Q1×10R1、P3=Q3×10R3と、上限値算出用のパラメータβ1とを用いて、上限値Pmaxを、
P1≧P3のとき、Pmax=(Q1+β1)×10R1
P1<P3のとき、Pmax=(Q3+β1)×10R3
により算出し、該算出した上限値Pmaxを満たさない測定値P2を取り除くことを特徴とする請求項1に記載の真空度測定装置。
【請求項5】
前記異常値除去手段は、前記測定値P1=Q1×10R1、P3=Q3×10R3と、下限値算出用のパラメータβ2とを用いて、下限値Pminを、
P1≧P3かつQ3>β2のときPmin=(Q3−β2)×10R3
P1≧P3かつQ3≦β2のときPmin=(10+Q3−β2)×10R3−1
P1<P3かつQ1>β2のときPmin=(Q1−β2)×10R1
P1<P3かつQ1≦β2のときPmin=(10+Q1−β2)×10R1−1
により算出し、該算出した下限値Pminを満たさない測定値P2を取り除くことを特徴とする請求項4に記載の真空度測定装置。
【請求項6】
ポンプにより内部の気体を吸引される取出用ボックスと、
前記取出用ボックスの気圧を測定するペニング真空計と、
前記ペニング真空計の測定値を取得して、前記取出用ボックス内が所定の真空度に達したか否かを判定する制御部とを備える気相成長装置において、
前記制御部は、
前記ペニング真空計の測定値を、所定の時間間隔で取得して、記憶部に格納する測定値取得手段と、
前記記憶部に連続して順に格納した3つの測定値P1、P2、P3を取得し、測定値P1と測定値P3とに基づき、前記ペニング真空計への塵埃の侵入の有無を判定する上限値を算出し、該算出した上限値を満たさない測定値P2を取り除く異常値除去手段と、
前記異常値除去手段により取り除かれなかった測定値を用いて、測定値の平均値を算出する平均値算出手段と、
前記平均値算出手段が算出した平均値が、所定の閾値以下であれば、前記取出用ボックス内が所定の真空度に達したと判定する判定手段と
を備えることを特徴とする気相成長装置。
【請求項7】
ポンプにより内部の気体を吸引される気密室の気圧を測定するペニング真空計と、
前記ペニング真空計の測定値を取得して、前記気密室内が所定の真空度に達したか否かを判定する制御部とを備える真空度測定装置における真空度測定方法において、
前記制御部が、前記ペニング真空計の測定値を、所定の時間間隔で取得して、記憶部に格納する第1の過程と、
前記制御部が、前記記憶部に連続して順に格納した3つの測定値P1、P2、P3を取得し、測定値P1と測定値P3とに基づき、前記ペニング真空計への塵埃の侵入の有無を判定する上限値を算出し、該算出した上限値を満たさない測定値P2を取り除く第2の過程と、
前記制御部が、前記第2の過程により取り除かれなかった測定値を用いて、測定値の平均値を算出する第3の過程と、
前記制御部が、前記第3の過程にて算出した平均値が、所定の閾値以下であれば、前記取出用ボックス内が所定の真空度に達したと判定する第4の過程と
を備えることを特徴とする真空度測定方法。

【発明の詳細な説明】【技術分野】
【0001】
本発明は、特にペニング真空計を用いた真空度測定装置、気相成長装置および真空度測定方法に関する。
【背景技術】
【0002】
従来の測定対象を測定して得られた測定値に対する信号処理方法は、一定の期間に取得した測定値の最大値と最小値を、上限値と下限値とし、これらの上限値と下限値とを満たさない測定値はノイズとみなして、上限値または下限値と置き換えて測定値としている(例えば、特許文献1参照)。
また、上記の上限値と下限値とを、測定値の時間変化率に基づいて決定しているものもある(例えば、特許文献1参照)。
【特許文献1】特開平10−269308号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
しかしながら、ペニング真空計は、真空中に残留する気体を電離させて電極間に流れる電流から圧力を求めているため、測定環境に塵埃等が侵入するとこの塵埃等により電極間に電流が流れてしまい、実際の5〜6倍以上の値などの誤った測定値を、侵入した塵埃等の量が多いと頻繁に誤った測定値を出力してしまう。誤った測定値は、例えば、実際の5〜6倍以上の値となる。従って、従来の方法をペニング真空計を用いた真空度測定装置および気相成長装置に用いた場合にあっては、上限値および下限値が誤った測定値の影響を受けてしまい、この誤った測定値を正常な測定値とみなしてしまい、真空度測定装置および気相成長装置が正常に動作できない場合があるという問題がある。
【0004】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、その目的は、測定環境に塵埃が侵入しても正常に動作することができる真空度測定装置、気相成長装置および真空度測定方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0005】
この発明は上述した課題を解決するためになされたもので、本発明の真空度測定装置は、ポンプにより内部の気体を吸引される気密室の気圧を測定するペニング真空計と、前記ペニング真空計の測定値を取得して、前記気密室内が所定の真空度に達したか否かを判定する制御部とを備える真空度測定装置において、前記制御部は、前記ペニング真空計の測定値を、所定の時間間隔で取得して、記憶部に格納する測定値取得手段と、前記記憶部に連続して順に格納した3つの測定値P1、P2、P3を取得し、測定値P1と測定値P3とに基づき、前記ペニング真空計への塵埃の侵入の有無を判定する上限値を算出し、該算出した上限値を満たさない測定値P2を取り除く異常値除去手段と、前記異常値除去手段により取り除かれなかった測定値を用いて、測定値の平均値を算出する平均値算出手段と、前記平均値算出手段が算出した平均値が、所定の閾値以下であれば、前記気密室内が所定の真空度に達したと判定する判定手段とを備えることを特徴とする。
【0006】
また、本発明の真空度測定装置は、前述の真空度測定装置であって、前記異常値除去手段は、前記測定値P1、P3と、上限値算出用のパラメータα1とを用いて、上限値Pmaxを、
P1≧P3のとき、Pmax=P1×α1、
P1<P3のとき、Pmax=P3×α1
により算出し、該算出した上限値Pmaxを満たさない測定値P2を取り除くことを特徴とする。
【0007】
また、本発明の真空度測定装置は、前述の真空度測定装置であって、前記異常値除去手段は、前記測定値P1、P3と、下限値算出用のパラメータα2とを用いて、下限値Pminを、
P1≧P3のときPmin=P3/α2、
P1<P3のときPmin=P1/α2
により算出し、該算出した下限値Pminを満たさない測定値P2を取り除くことを特徴とする。
【0008】
また、本発明の真空度測定装置は、前述の真空度測定装置であって、前記異常値除去手段は、前記測定値P1=Q1×10R1、P3=Q3×10R3と、上限値算出用のパラメータβ1とを用いて、上限値Pmaxを、
P1≧P3のとき、Pmax=(Q1+β1)×10R1
P1<P3のとき、Pmax=(Q3+β1)×10R3
により算出し、該算出した上限値Pmaxを満たさない測定値P2を取り除くことを特徴とする。
【0009】
また、本発明の真空度測定装置は、前述の真空度測定装置であって、前記異常値除去手段は、前記測定値P1=Q1×10R1、P3=Q3×10R3と、下限値算出用のパラメータβ2とを用いて、下限値Pminを、
P1≧P3かつQ3>β2のときPmin=(Q3−β2)×10R3
P1≧P3かつQ3≦β2のときPmin=(10+Q3−β2)×10R3−1
P1<P3かつQ1>β2のときPmin=(Q1−β2)×10R1
P1<P3かつQ1≦β2のときPmin=(10+Q1−β2)×10R1−1
により算出し、該算出した下限値Pminを満たさない測定値P2を取り除くことを特徴とする。
【0010】
また、本発明の気相成長装置は、ポンプにより内部の気体を吸引される取出用ボックスと、前記取出用ボックスの気圧を測定するペニング真空計と、前記ペニング真空計の測定値を取得して、前記取出用ボックス内が所定の真空度に達したか否かを判定する制御部とを備える気相成長装置において、前記制御部は、前記ペニング真空計の測定値を、所定の時間間隔で取得して、記憶部に格納する測定値取得手段と、前記記憶部に連続して順に格納した3つの測定値P1、P2、P3を取得し、測定値P1と測定値P3とに基づき、前記ペニング真空計への塵埃の侵入の有無を判定する上限値を算出し、該算出した上限値を満たさない測定値P2を取り除く異常値除去手段と、前記異常値除去手段により取り除かれなかった測定値を用いて、測定値の平均値を算出する平均値算出手段と、前記平均値算出手段が算出した平均値が、所定の閾値以下であれば、前記取出用ボックス内が所定の真空度に達したと判定する判定手段とを備えることを特徴とする。
【0011】
また、本発明の真空度測定方法は、ポンプにより内部の気体を吸引される気密室の気圧を測定するペニング真空計と、前記ペニング真空計の測定値を取得して、前記気密室内が所定の真空度に達したか否かを判定する制御部とを備える真空度測定装置における真空度測定方法において、前記制御部が、前記ペニング真空計の測定値を、所定の時間間隔で取得して、記憶部に格納する第1の過程と、前記制御部が、前記記憶部に連続して順に格納した3つの測定値P1、P2、P3を取得し、測定値P1と測定値P3とに基づき、前記ペニング真空計への塵埃の侵入の有無を判定する上限値を算出し、該算出した上限値を満たさない測定値P2を取り除く第2の過程と、前記制御部が、前記第2の過程により取り除かれなかった測定値を用いて、測定値の平均値を算出する第3の過程と、前記制御部が、前記第3の過程にて算出した平均値が、所定の閾値以下であれば、前記取出用ボックス内が所定の真空度に達したと判定する第4の過程とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【0012】
この発明によれば、測定環境に塵埃等が侵入した場合でも、ペニング真空計の特性上現れる異常値を取り除くので、正常に動作することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0013】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。図1は、この発明の一実施形態による気相成長装置の構成を示す概略ブロック図である。気相成長装置とは、チャンバー10内の基板に、原料ガスを取り替えながら流し込み、基板上に各成分の結晶膜の層を積み重ねていくことで、発光ダイオード(LED)などを製造する装置である。
チャンバー10は、挿入した基板に原料ガスを流して結晶膜を成長させる。
11は、チャンバー10内に基板を出し入れするためのグローブボックスである。
12は、グローブボックス11を介して、基板を気相成長装置外に出し入れするための取出用ボックスである。この取出用ボックス12から基板を取り出す際には、一旦、取出用ボックス12内を真空にした後に、窒素ガスを充填した状態にする。
【0014】
13は、取出用ボックス12とターボ分子ポンプ15とを結ぶ配管に設置されたバルブである。
14は、バルブ13とターボ分子ポンプ15との間の配管の気圧を測定するペニング真空計である。
ターボ分子ポンプ15は、バルブ13を備えた配管で取出用ボックス12に繋がれ、バルブ16を備えた配管でロータリーポンプ18に繋がれており、バルブ13が開けられているときは、取出用ボックス12内の気体を吸引する。
【0015】
バルブ16は、ターボ分子ポンプ15とロータリーポンプ18とを結ぶ配管に設置されている。
17は、バルブ16とロータリーポンプ18との間の配管の気圧を測定するピラニー真空計である。
ロータリーポンプ18は、バルブ16を備えた配管でターボ分子ポンプ15に繋がれており、バルブ16が開けられているときは、ターボ分子ポンプ15の背圧を下げる。また、ロータリーポンプ18は、バルブ19を備えた配管で取出用ボックス12に繋がれており、バルブ19が開けられているときは、取出用ボックス12内の気体を吸引する。
【0016】
バルブ19は、取出用ボックス12とロータリーポンプ18とを結ぶ配管に設置されている。
20は、窒素ガスの供給元と、取出用ボックス12とを結ぶ配管に設置されたバルブである。
21は、ペニング真空計14およびピラニー真空計17の測定値を取得し、バルブ13、16、19、20の開け閉めとロータリーポンプ18の動作とターボ分子ポンプ15の動作とを制御する制御部である。また、制御部21は、測定値取得処理部22と、異常値除去処理部23と、平均値算出処理部24と、判定処理部25と、記憶部26とを備える。
【0017】
測定値取得処理部(測定値取得手段)22は、ペニング真空計14の測定値を、所定の時間間隔(本実施形態では1秒)で取得して、順に、記憶部26に格納する。
異常値除去処理部(異常値除去手段)23は、記憶部26に連続して順に格納された3つの測定値P(n−2)、P(n−1)、P(n)を取得し、測定値P(n−2)、P(n)から上限値Pmax、下限値Pminを算出し、測定値P(n−1)が上限値Pmax、下限値Pminを満たさないときは、異常値として記憶部26から削除する。
このとき、上限値Pmaxと下限値Pminは、上限値算出用のパラメータα1と下限値算出用のパラメータα2とを用いて、次式を用いて算出する。
P(n−2)≧P(n)のとき
Pmax=P(n−2)×α1、Pmin=P(n)/α2、
P(n−2)<P(n)のとき
Pmax=P(n)×α1、Pmin=P(n−2)/α2
【0018】
平均値算出処理部(平均値算出手段)24は、異常値除去処理部23により異常値が削除された後の記憶部26から直近の所定の時間の間に測定された測定値を取得し、これらの平均値を算出する。なお、異常値除去処理部23による異常値か否かの判定が未だなされていない測定値は、平均値算出処理部24により平均値を算出する際の対象から外す。また、平均値算出処理部24は、直近の所定の時間分の測定値を取得し、これらの平均値を算出するとしたが、直近の所定の個数の測定値を取得し、これらの平均値を算出するとしてもよい。
【0019】
判定処理部(判定手段)25は、平均値算出処理部24が算出した平均値が、所定の閾値A2(本実施形態では、1.5×10−2Pa)以下であれば、前記気密室内が所定の真空度に達したと判定する。
記憶部26は、測定値を格納する。なお、記憶部26は、ハードディスク装置や光磁気ディスク装置、フラッシュメモリ等の不揮発性のメモリや、RAM(Random Access Memory)のような揮発性のメモリ、あるいはこれらの組み合わせにより構成されるものとする。
【0020】
また、この制御部21には、周辺機器として入力装置、表示装置等(いずれも図示せず)が接続されるものとする。ここで、入力装置とはキーボード、マウス等の入力デバイスのことをいう。表示装置とはCRT(Cathode Ray Tube)や液晶表示装置等のことをいう。
【0021】
次にこの気相成長装置から基板を取り出す際に、取出用ボックス12内を真空にした後に、窒素ガスを充填した状態にする動作を説明する。図2は、取出用ボックス12内を真空にした後に、窒素ガスを充填した状態にする際の制御部21の動作を説明するフローチャートである。
【0022】
作業者は、グローブボックス11から手を入れて、チャンバー10内の基板を取出し、取出用ボックス12に入れた後、グローブボックス11と取出用ボックス12との間の扉を閉める。次に、作業者が、制御部21に取出用ボックス12内を真空にした後に、窒素ガスを充填した状態にするシーケンスを開始するように指示すると、これを受け付けた制御部21は、ロータリーポンプ18を駆動させ、バルブ19を開ける(Sa1)。これにより、取出用ボックス12内の気体はロータリーポンプ18により吸引され排気される。制御部21は、ピラニー真空計17の測定値を取得し、この測定値が所定の閾値A1(本実施形態では、2.0×10Pa)以下になるまで、一定時間毎にピラニー真空計17の測定値を取得し続ける(Sa2)。この間、ロータリーポンプ18は、取出用ボックス12内の気体を吸引し続けるので、取出用ボックス12内の圧力は低下し、ピラニー真空計17の測定値も低下し続ける。
【0023】
時間が経過して、ピラニー真空計17の測定値が閾値A1以下になると、ステップSa3に遷移して、制御部21は、バルブ19を閉めて、バルブ16を開ける。これにより、バルブ13とバルブ16との間の配管内の気体がロータリーポンプ18側に流れ込んで、ピラニー真空計17の測定値が閾値A1以上になることがあるが、ロータリーポンプ18は、この気体を吸引して排気し続ける。制御部21は、ピラニー真空計17の測定値を取得し、この測定値が所定の閾値A1以下になるまで、一定時間毎にピラニー真空計17の測定値を取得し続ける(Sa4)。この間、ロータリーポンプ18は、バルブ13とバルブ16との間の配管内の気体を吸引し続けるので、配管内の圧力は低下し、ピラニー真空計17の測定値も低下し続ける。
【0024】
時間が経過して、ピラニー真空計17の測定値が閾値A1以下になると、取出用ボックス12内の圧力と配管内の圧力とが等しくなっているので、ステップSa5に遷移して、制御部21は、バルブ13を開ける。さらに、ピラニー真空計17の測定値を取得し、この測定値が所定の閾値A1以下になるまで、一定時間毎にピラニー真空計17の測定値を取得し続ける(Sa6)。ピラニー真空計17の測定値が閾値A1以下になると、ステップSa7に遷移して、制御部21は、ターボ分子ポンプ15を駆動させる。次に、制御部21は、ペニング真空計14の測定値を取得して、その平均値を算出する(Sa8)。このステップSa8では、制御部21の測定値取得処理部22、異常値除去処理部23、平均値算出処理部24が動作して、平均値算出処理部24が前述の平均値を算出するが、詳細は後述する。
【0025】
制御部21の判定処理部25は、ステップSa8にて平均値算出処理部24が算出した平均値が、所定の閾値A2(本実施形態では、1.5×10−2Pa)以下であるか否かを判定する(Sa9)。なお、この閾値A2は前述の閾値A1より小さい値となる。判定条件が成立してない場合は、ステップSa8に遷移して、ステップSa8とステップSa9とを繰り返す。この間、ターボ分子ポンプ15により、取出用ボックス12内の気体は吸引され排気され続けているので、ペニング真空計14の測定値は低下し続け、ステップSa8にて平均値算出処理部24が算出する平均値も低下する。
【0026】
時間が経過して、平均値算出処理部24が算出した平均値が、所定の閾値A2以下になると、ステップSa10に遷移して、制御部21は、バルブ13を閉め、ターボ分子ポンプ15を停止させ、バルブ16を閉める。さらに、制御部21は、ロータリーポンプ18を停止させ(Sa11)、バルブ20を開ける(Sa12)。バルブ20が開くと、窒素ガスが供給されて、取出用ボックス12に充填される。窒素ガスが取出用ボックス12に充填されると、作業者は、取出用ボックス12から基板を取り出す。
【0027】
図3は、図2のステップSa8の詳細を示すフローチャートである。図2のステップSa8では、まず、測定値取得処理部22がペニング真空計14の測定値P(n)を取得して記憶部26に格納する(Sb1)。次に、異常値除去処理部23は、前回の測定値P(n−1)が、ペニング真空計14に塵埃が侵入して発生した異常値であるか否かを判定する(Sb2)。この判定では、(1)式により、上限値算出用のパラメータα1と下限値算出用のパラメータα2とを用いて、上限値Pmaxおよび下限値Pminを算出し、前回の測定値P(n−1)が、該上限値Pmaxおよび下限値Pminの範囲内にない場合を異常値とする。
P(n−2)≧P(n)のとき
Pmax=P(n−2)×α1、Pmin=P(n)/α2、
P(n−2)<P(n)のとき
Pmax=P(n)×α1、Pmin=P(n−2)/α2
・・・・・(1)
例えば、α1=α2=5とし、前々回の測定値P(n−2)=1.2×10−2、前回の測定値P(n−1)=1.2×10−1、今回の測定値P(n)=1.1×10−2とする。このとき、P(n−2)=1.2×10−2≧P(n)=1.1×10−2が成り立つので、(1)式の1番目の式を用いて上限値Pmaxおよび下限値Pminを算出する。
Pmax=P(n−2)×α1=1.2×10−2×5=6.0×10−2
Pmin=P(n)/α2=1.1×10−2/5=2.2×10−3
P(n−1)=1.2×10−1は、上限値Pmax=6.0×10−2より大きい値であるため、P(n−1)は異常値である。
ステップSb2にて、異常値ではないと判定されると、ステップSb4に遷移するが、異常値であると判定されるとステップSb3に遷移し、異常値除去処理部23は、前回測定値P(n−1)を記憶部26から削除した後、ステップSb4に遷移する。ステップSb4では、平均値算出処理部24が、記憶部26から5回前から前回までの測定値P(n−5)〜P(n−1)のうち、異常値除去処理部23により削除されていないものを取得し、これらの平均値を算出する。
【0028】
これにより、取出用ボックス12内に塵埃などが混入し、ペニング真空計14が、異常値を頻繁に発生している場合でも、異常値除去処理部23により、前述のステップSb3にて異常値が削除されるので、取出用ボックス12の圧力を正しく判定することができる。
【0029】
なお、本実施形態において、異常値除去処理部23における異常値の判定条件を(1)を満たさないこととしたが、ペニング真空計14に塵埃等が侵入した場合の異常値は、実際の値より大きくなることから、異常値除去処理部23における異常値の判定条件において、下限値Pminを設けず、上限値Pmaxを満たさないこととしてもよい。このときは、下限値Pminの算出は不要である。
【0030】
また、異常値除去処理部23における上限値Pmaxおよび下限値Pminの算出に、(1)式に替えて、(2)式を用いてもよい。また、(2)式を用いた場合も、(1)式の場合と同様に上限値Pmaxのみとしてもよい。
【0031】
P(n−2)≧P(n)かつQ(n)>β2のとき
Pmax=(Q(n−2)+β1)×10R(n−2)
Pmin=(Q(n)−β2)×10R(n)
P(n−2)≧P(n)かつQ(n)≦β2のとき
Pmax=(Q(n−2)+β1)×10R(n−2)
Pmin=(10+Q(n)−β2)×10R(n)−1
【0032】
P(n−2)<P(n)かつQ(n−2)>β2のとき
Pmax=(Q(n)+β1)×10R(n)
Pmin=(Q(n−2)−β2)×10R(n−2)
P(n−2)<P(n)かつQ(n−2)≦β2のとき
Pmax=(Q(n)+β1)×10R(n)
Pmin=(10+Q(n−2)−β2)×10R(n−2)−1
・・・・・・(2)
【0033】
ただし、前々回の測定値をP(n−2)=Q(n−2)×10R(n−2)、前回の測定値をP(n−1)=Q(n−1)×10R(n−1)、今回の測定値をP(n)=Q(n)×10R(n)とし、上限値算出用のパラメータをβ1、下限値算出用のパラメータをβ2とする。
【0034】
また、図1における測定値取得処理部22、異常値除去処理部23、平均値算出処理部24、判定処理部25の機能を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することによりこれらの処理部の処理を行ってもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、OSや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。
【0035】
また、「コンピュータシステム」は、WWWシステムを利用している場合であれば、ホームページ提供環境(あるいは表示環境)も含むものとする。
また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ROM、CD−ROM等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良く、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであっても良い。
【0036】
以上、この発明の実施形態を図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。
【産業上の利用可能性】
【0037】
本発明は、半導体などの製造に用いられる気相成長装置に用いて好適であるが、これに限られるものではない。
【図面の簡単な説明】
【0038】
【図1】この発明の一実施形態による気相成長装置の構成を示す概略ブロック図である。
【図2】同実施形態における制御部21の動作を説明するフローチャートである。
【図3】同実施形態におけるステップSa8の詳細を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
【0039】
10…チャンバー
11…グローブボックス
12…取出用ボックス
13、16、19、20…バルブ
14…ペニング真空計
15…ターボ分子ポンプ
17…ピラニー真空計
18…ロータリーポンプ
21…制御部
22…測定値取得処理部
23…異常値除去処理部
24…平均値算出処理部
25…判定処理部
26…記憶部

【出願人】 【識別番号】000231235
【氏名又は名称】大陽日酸株式会社
【出願日】 平成18年7月6日(2006.7.6)
【代理人】 【識別番号】100064908
【弁理士】
【氏名又は名称】志賀 正武

【識別番号】100108578
【弁理士】
【氏名又は名称】高橋 詔男

【識別番号】100089037
【弁理士】
【氏名又は名称】渡邊 隆

【識別番号】100101465
【弁理士】
【氏名又は名称】青山 正和

【識別番号】100094400
【弁理士】
【氏名又は名称】鈴木 三義

【識別番号】100107836
【弁理士】
【氏名又は名称】西 和哉

【識別番号】100108453
【弁理士】
【氏名又は名称】村山 靖彦


【公開番号】 特開2008−14813(P2008−14813A)
【公開日】 平成20年1月24日(2008.1.24)
【出願番号】 特願2006−186653(P2006−186653)