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【発明の名称】
3次元構造体およびその製造方法
マイクロ揺動デバイス及び光学素子
マイクロ揺動デバイス及び光学素子
2軸駆動型MEMSデバイス
中空デバイス及びその製造方法
電気機械素子及びその製造方法
定振幅機構及びこれを用いた電位センサ
アクチュエータ
アクチュエータ
MEMS素子及びその製造方法
アクチュエータ、光学デバイス、光スキャナ、および画像形成装置
微小電気機械式装置、およびその作製方法
電子部品装置
半導体装置
半導体装置
半導体装置
半導体装置
マイクロ揺動素子
反応物質を気密カプセル化するためのマイクロコンテナ
機能素子、半導体デバイスおよび電子機器
アクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置
電子部品および複合電子部品
電子部品およびその製造方法
選択シリコン融解ボンディングのための表面準備
封止接合性能評価装置、封止接合性能評価装置の製造方法、封止接合性能評価方法、及び封止接合性能評価システム
MEMS・半導体複合回路及びその製造方法
MEMSデバイス
機能素子
ナノピンセットおよびその製造方法
電子装置及びその製造方法
MEMSデバイスおよびその製造方法
MEMSデバイスおよびその製造方法
素子の製造方法
電気機械素子、電子機器及びプロジェクター
MEMSデバイス
ウェハレベル真空パッケージデバイスの製造方法
微小電気機械式装置及びその製造方法
組み込まれた受動的な電子的な構成素子を備えたマイクロマシニング型の構成エレメントおよびマイクロマシニング型の構成エレメントを製作するための方法
薄膜構造体、マイクロアクチュエータ、光シャッタ装置、光束調整装置及びマイクロスイッチ
金属ガラスを用いたマイクロマシン及びそれを用いたセンサ並びにその製造方法
微小スクラッチ駆動アクチュエータの新規なレイアウト設計
回転型MEMSデバイス
複数の導電性の領域を有する構造体
MEMSデバイス、MEMSデバイスの製造方法、及び電子機器
マイクロカンチレバー
マイクロメカニカル素子およびその製法
三次元微細構造体およびその形成方法
三次元微細構造体およびその形成方法
三次元微細構造体およびその形成方法
可動素子およびその製造方法
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