トップ :: B 処理操作 運輸 :: B05 霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般

【発明の名称】 塗膜除去方法および塗膜除去装置
【発明者】 【氏名】寺内 伸行

【要約】 【課題】基材に種々の層を多層にして形成した複合基板を多面付けして作製する際に、各面付けの境部の各層の塗膜を除去を、簡単に、且つ、品質面的にも問題なく行える塗膜除去方法と塗膜除去装置とを提供する。

【構成】ウエット状態の塗膜を除去する領域である除去領域内において、吸引部の吸い込み口を、塗膜配設基板に接触させながら、且つ、吸い込み口から吸引しながら、吸い込み口を、前記塗膜配設基板の一面に沿うように、該塗膜配設基板に対して相対的に移動させ、前記除去領域の前記塗膜を除去する。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ウエット状態の塗膜がその一面側に配設された塗膜配設基板に対して、吸引部(吸引ヘッドとも言う)にて選択的にウエット状態の塗膜を吸引除去して、前記塗膜配設基板の一面側内部にわたり、前記ウエット状態の塗膜の除去を選択的行う、塗膜除去方法であって、前記ウエット状態の塗膜を除去する領域である除去領域内において、吸引部の吸い込み口を、前記塗膜配設基板に接触させながら、且つ、吸い込み口から吸引しながら、吸い込み口を、前記塗膜配設基板の一面に沿うように、該塗膜配設基板に対して相対的に移動させ、前記除去領域の前記塗膜を除去することを特徴とする塗膜除去方法。
【請求項2】
請求項1記載の塗膜除去方法であって、前記吸引部の吸い込み口は、スリット状の開口形状であることを特徴とする塗膜除去方法。
【請求項3】
請求項1ないし2のいずれか1項に記載の塗膜除去方法であって、前記塗膜配設基板は多面付け用で、各面付け間の塗膜を除去するものであることを特徴とする塗膜除去方法。
【請求項4】
請求項1ないし3のいずれか1項に記載の塗膜除去方法であって、前記塗膜配設基板は、表示パネル形成用の多層からなる複合基板を形成するための基板であることを特徴とする塗膜除去方法。
【請求項5】
請求項1ないし4のいずれか1項に記載の塗膜除去方法であって、吸引部の吸い込み口による塗膜の吸引に際し、予め、塗膜に所定の液によりウエット状態を促進しておくことを特徴とする塗膜除去方法。
【請求項6】
ウエット状態の塗膜がその一面側に配設された塗膜配設基板に対して、吸引部(吸引ヘッドとも言う)にて選択的にウエット状態の塗膜を吸引除去して、前記塗膜配設基板の一面側内部にわたり、前記ウエット状態の塗膜の除去を選択的に行う、塗膜除去装置であって、前記塗膜配設基板を水平に搭載して保持するステージと、その吸い込み口をステージ側にして、ステージ上側に配され、前記ウエット状態の塗膜を吸引除去する吸引部と、該吸引部に管にて接続して、その吸い込み口にて吸引した塗膜を、更に吸引して貯える低圧のタンクと、吸引部の吸い込み口の鉛直方向の位置を制御する、吸い込み口位置制御部を備えたもので、前記吸引部の吸い込み口は、前記ステージに対して相対的に移動できるもので、該吸い込み口の先端を、前記塗膜が配設された塗膜配設基板に接触させながら、且つ、該吸い込み口の先端から吸引しながら、該吸い込み口を、前記塗膜配設基板の一面に沿うように、該塗膜配設基板に対して相対的に移動させ、前記除去領域の前記塗膜を除去するものであることを特徴とする塗膜除去装置。
【請求項7】
請求項6に記載の塗膜除去装置であって、前記吸引部の吸い込み口は、スリット状の開口を有し、且つ、そのスリット状の開口の長手方向の中心を支点として、塗膜配設基板の面状態に沿い回転可能であることを特徴とする塗膜除去装置。
【請求項8】
請求項6ないし7のいずれか1項に記載の塗膜除去装置であって、前記吸引部の吸い込み口は樹脂からできていることを特徴とする塗膜除去装置。

【発明の詳細な説明】【技術分野】
【0001】
本発明は、ウエット状態の塗膜がその一面側に配設された塗膜配設基板に対して、吸引部にて選択的にウエット状態の塗膜を吸引除去して、前記塗膜配設基板の一面側内部にわたり、前記ウエット状態の塗膜の除去を選択的に行う、塗膜除去方法と、それを実施するための塗膜除去装置に関する。
特に、表示パネル形成用の多層からなる、多面付け用の複合基板を形成するための塗膜除去方法と塗膜除去装置に関する。
【背景技術】
【0002】
近年、表示パネル用として、基材に種々の層を多層にして形成した複合基板が表示パネル用基板として作製されているが、中でも、小型のものは、ほとんど、生産性の面から多面付けして作製されている。
従来、多面付けして形成する場合には、スピンコート等により基材の所定の面側に各層の塗膜を形成するが、該塗膜は各面付けの境部にも配設されていた。
しかし、各面付け毎に、封止材により封止を行う場合には、上記各面付けの境部の塗膜が、耐湿性を下げる一因となるとの理由などにより、各面付けの境部の塗膜の除去が望まれていた。
例えば、基板上に、少なくとも第1電極層、厚膜誘電体層、発光層、および第2電極層の各層を順に積層してEL素子を形成しているEL素子パネルを形成するための複合基板を多面付けで作製する場合には、封止の耐湿性の面から、各面付けの境部の塗膜の除去が望まれていた。
【0003】
基材に配設された塗膜の外周部を除去する方法は、多く知られているが、内部の塗膜を除去する方法は少なくその使用も限定されている。
例えば、特開2003−236438号公報(特許文献1)には、プラズマディスプレイパネル用の複合基板を対象として、シート状のワイパーにより除去を行う、塗布液除去装置、塗布液除去方法が記載されているげ、ここに記載のものは、ワイパーを消耗品として、機械的除去で、その使用が難しく、メンテナンスも手間がかかるものである。
また、例えば、特開2003−203765号公報(特許文献2)には、EL表示パネル用の複合基板に対して、マイクロブラストと呼ばれるブラスト工法により塗膜を除去する方法が記載されている。
この方法は、細いノズルから砥粒を圧縮乾燥気体とともに吹き付け微細加工するものであるが、砥粒の材質、粒径、形状、ノズルの選択他の処理条件や装置の管理に手間がかかるという問題があり、その使用にも品質面で限界ある。
【特許文献1】特開2003−236438号公報
【特許文献2】特開2003−203765号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
このように、近年、表示パネル用として、基材に種々の層を多層にして形成した複合基板が表示パネル用基板として作製され、生産性の面から多面付けして作製されているが、多面付けして作製する場合には、種々の理由により、各面付けの境部の各層の塗膜を除去を、簡単に、且つ、品質面的にも問題なく行える方法求められていた。
本発明はこれらに対応するもので、基材に種々の層を多層にして形成した複合基板を多面付けして作製する際に、各面付けの境部の各層の塗膜を除去を、簡単に、且つ、品質面的にも問題なく行える塗膜除去方法と塗膜除去装置とを提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明の塗膜除去方法は、ウエット状態の塗膜がその一面側に配設された塗膜配設基板に対して、吸引部(吸引ヘッドとも言う)にて選択的にウエット状態の塗膜を吸引除去して、前記塗膜配設基板の一面側内部にわたり、前記ウエット状態の塗膜の除去を選択的に行う、塗膜除去方法であって、前記ウエット状態の塗膜を除去する領域である除去領域内において、吸引部の吸い込み口を、前記塗膜配設基板に接触させながら、且つ、吸い込み口から吸引しながら、吸い込み口を、前記塗膜配設基板の一面に沿うように、該塗膜配設基板に対して相対的に移動させ、前記除去領域の前記塗膜を除去することを特徴とするものである。
そして、上記の塗膜除去方法であって、前記吸引部の吸い込み口は、スリット状の開口形状であることを特徴とするものである。
そしてまた、上記いずれかの塗膜除去方法であって、前記塗膜配設基板は多面付け用で、各面付け間の塗膜を除去するものであることを特徴とするものである。
また、上記いずれかの塗膜除去方法であって、前記塗膜配設基板は、表示パネル形成用の多層からなる複合基板を形成するための基板であることを特徴とするものである。
また、上記いずれかの塗膜除去方法であって、吸引部の吸い込み口による塗膜の吸引に際し、予め、塗膜に所定の液によりウエット状態を促進しておくことを特徴とするものである。
【0006】
本発明の塗膜除去装置は、ウエット状態の塗膜がその一面側に配設された塗膜配設基板に対して、吸引部(吸引ヘッドとも言う)にて選択的にウエット状態の塗膜を吸引除去して、前記塗膜配設基板の一面側内部にわたり、前記ウエット状態の塗膜の除去を選択的に行う、塗膜除去装置であって、前記塗膜配設基板を水平に搭載して保持するステージと、その吸い込み口をステージ側にして、ステージ上側に配され、前記ウエット状態の塗膜を吸引除去する吸引部と、該吸引部に管にて接続して、その吸い込み口にて吸引した塗膜を、更に吸引して貯える低圧のタンクと、吸引部の吸い込み口の鉛直方向の位置を制御する、吸い込み口位置制御部を備えたもので、前記吸引部の吸い込み口は、前記ステージに対して相対的に移動できるもので、該吸い込み口の先端を、前記塗膜が配設された塗膜配設基板に接触させながら、且つ、該吸い込み口の先端から吸引しながら、該吸い込み口を、前記塗膜配設基板の一面に沿うように、該塗膜配設基板に対して相対的に移動させ、前記除去領域の前記塗膜を除去するものであることを特徴とするものである。
そして、上記の塗膜除去装置であって、前記吸引部の吸い込み口は、スリット状の開口を有し、且つ、そのスリット状の開口の長手方向の中心を支点として、塗膜配設基板の面状態に沿い回転可能であることを特徴とするものである。
そしてまた、上記いずれかの塗膜除去装置であって、前記吸引部の吸い込み口は樹脂からできていることを特徴とするものである。
【0007】
(作用)
本発明の塗膜除去方法は、このような構成にすることにより、基材に種々の層を多層にして形成した複合基板を多面付けして作製する際に、各面付けの境部の各層の塗膜を除去を、簡単に、且つ、品質面的にも問題なく行える塗膜除去方法の提供を可能としている。 具体的には、ウエット状態の塗膜を除去する領域である除去領域内において、吸引部の吸い込み口を、塗膜配設基板に接触させながら、且つ、吸い込み口から吸引しながら、吸い込み口を、前記塗膜配設基板の一面に沿うように、該塗膜配設基板に対して相対的に移動させ、前記除去領域の前記塗膜を除去することより、これを達成している。
前記吸引部の吸い込み口としては、スリット状の開口形状が挙げられるが、これに限定はされない。
特に、塗膜配設基板は多面付け用で、各面付け間の塗膜を除去するものである場合には、有効である。
また、塗膜配設基板としては、表示パネル形成用の多層からなる複合基板を形成するための基板が挙げられる。
また、引部の吸い込み口による塗膜の吸引に際し、予め、塗膜に所定の液によりウエット状態を促進しておく、請求項5の発明の形態とすることにより、確実に塗膜の除去を可能とする。
【0008】
本発明の塗膜除去装置は、このような構成にすることにより、基材に種々の層を多層にして形成した複合基板を多面付けして作製する際に、各面付けの境部の各層の塗膜を除去を、簡単に、且つ、品質面的にも問題なく行える塗膜除去装置の提供を可能としている。 特に、吸引部の吸い込み口は、スリット状の開口を有し、且つ、そのスリット状の開口の長手方向の中心を支点として、塗膜配設基板の面状態に沿い回転可能である、請求項7の発明の形態とすることにより、スリット状の開口の長手方向全体にわたり、容易に、塗膜配設基板と吸い込み口とを接触できるようにしている。
また、吸引部の吸い込み口は樹脂からできている、請求項8の発明の形態とすることにより、除去する塗膜以外の吸い込み口が接する部分の損傷をないものとしている。
【発明の効果】
【0009】
本発明は、上記のように、基材に種々の層を多層にして形成した複合基板を多面付けして作製する際に、各面付けの境部の各層の塗膜を除去を、簡単に、且つ、品質面的にも問題なく行える塗膜除去方法と、それを実施するための塗膜除去装置の提供を可能とした。
【発明を実施するための最良の形態】
【0010】
本発明の塗膜除去方法の実施の形態の1例を図に基づいて説明する。
図1(a)は本発明の塗膜除去方法の実施の形態の1例を示した概略図で、図1(b)は図1(a)のA1側から見た吸引部の吸引状態を示した図で、図2(a)は吸引部の回転を説明するための概略図で、図2(b)は図2(a)のB1側からみた図で、図3はウェット状態促進方法を説明するための図、図4(a)は多面付け用の基板における塗膜除去処理前の状態を示した図で、図4(b)は塗膜除去処理後の状態を示した図である。
尚、図1(a)において、点線矢印は塗膜の吸引方向を示し、実線矢印は減圧排気の方向を示しており、図1(b)において、矢印はステージの移動方向を示している。
また、図2において、太点線両矢印は回転方向を示しており、図3における太点線矢印はウェット状態促進のための液供給を示しており、図4(b)における点線は、各面付けの境部を示している。
図1〜図4において、10、10aは吸引部、15、15aは吸い込み口、16はスリット状の開口、20はXYステージ、30はタンク、31、32は管、35は制御弁、40はシリンダー、41は排気配管、41Aは制御弁、42は圧縮空気供給配管、42Aは制御弁、45はシリンダー軸、47は支持部、50は支持部、51は(シリンダーの)固定部、70はノズル、75はウェット状態促進液、80は塗膜配設基板、80aは(塗膜除去後の)処理済基板、85は(ウェット状態の)塗膜、86は単位の面付け、87は(面付けの)境部である。
【0011】
はじめに、本発明の塗膜除去方法の実施の形態の1例を、図1に基づいて説明する。
本例の塗膜除去方法は、ウエット状態の塗膜85がその一面側に配設された塗膜配設基板80に対して、吸引部(吸引ヘッドとも言う)10にて選択的にウエット状態の塗膜85を吸引除去して、前記塗膜配設基板80の一面側内部にわたり、前記ウエット状態の塗膜85の除去を選択的に行う、塗膜除去方法であり、図1(a)に示すように、ステージ20に塗膜配設基板80を水平に搭載して保持した状態で、塗膜85を除去する領域である除去領域内において、吸引部10の吸い込み口15を、塗膜85が配設された塗膜配設基板80に接触させながら、且つ、吸い込み口15から吸引しながら、吸い込み口15を、塗膜配設基板80の一面に沿うように、該塗膜配設基板80に対して相対的に移動させ、前記除去領域の塗膜85を除去するものである。
本例は、図1(a)に示す、XYステージ20、吸引部10、シリンダー40等を備えた塗膜除去装置にて、塗膜の除去を行うものである。
【0012】
図1(a)に示す塗膜除去装置は、塗膜配設基板80を水平に搭載して保持するXYステージ20と、その吸い込み口15をステージ20側にして、ステージ20上側に配され、前記ウエット状態の塗膜を吸引除去する吸引部10と、該吸引部10に管にて接続して、その吸い込み口15にて吸引した塗膜を、更に吸引して貯える低圧のタンク30と、吸引部10の吸い込み口15の鉛直方向の位置を制御する、シリンダー40を吸い込み口位置制御部として備えたものであり、吸引部10の吸い込み口15は、XYステージ20のXY移動により該XYステージ20に対して相対的に移動できるもので、該吸い込み口15の先端を、前記塗膜が配設された塗膜配設基板に接触させながら、且つ、該吸い込み口15の先端から吸引しながら、該吸い込み口15を、塗膜配設基板80の一面に沿うように、塗膜配設基板80に対して相対的に移動させ、除去領域の塗膜85を除去するものである。
ここでは、吸引部10に管32にて接続して、その吸い込み口15にて吸引した塗膜85を、更に吸引して減圧されて低圧のタンク30に貯える。
吸引部10はここでは、シリンダー40の駆動により、そのシリンダー軸45の移動位置で位置制御されており、シリンダー40が、吸引部10の吸い込み口15の鉛直方向の位置を制御する、吸い込み口位置制御部に相当する。
尚、図1には明示していないが、ここでは、制御弁41A、42Aの開閉は、制御されて行われて、シリンダー軸45の移動が制御される。
また、吸引用の管31を介しての吸引動作は、制御弁35にて制御されて行われる。
【0013】
吸引部10としては、除去する幅やウェット状態の塗膜85の特性や、吸引の仕方に応じて、種々のサイズ、形状のものが用いられる。
図1に示す、吸引部10の吸い込み口15は、ノズル状であるが、これに限定はされない。
例えば、図2に示す、吸引部10aは、除去する幅が広い場合で、図2(b)に示すように、ここでは、吸引部10の吸い込み口15aは、スリット状の開口16を有している。
そして、除去を行う際、スリット状の開口16の長手方向全体が、塗膜配設基板(図1の80に相当)に容易に均一に接するように、図2(a)に示すように、吸引部10aの吸い込み口15aは、そのスリット状の開口16の長手方向の中心を支点として、塗膜配設基板80の面状態に沿い回転可能としている。
ここでは、支持部47により、吸引部10aが、回転可能にして、シリンダー軸45に接合されている。
【0014】
簡単に、本例の塗膜除去方法の処理フローの1例を説明しておく。
先ず、予め、ウエット状態の塗膜がその一面側に配設された塗膜配設基板を用意しておき、該塗膜配設基板をステージ20上に載置して保持させる。
例えば、透明な基板の一面側上に、液状物質を塗工して、ウエット状態の塗膜を配設して塗膜配設基板を用意しておく。
次いで、XYステージ20を移動して、吸引部10の吸い込み口15を塗膜85を除去する領域である除去領域内の所定位置とする。
次いで、シリンダー40を駆動して、そのシリンダー軸45の先端に接続した吸引部10を位置移動して、吸引部10の吸い込み口15を、塗膜85が配設された塗膜配設基板80に接触させた状態とする。
この状態で吸い込み口15から吸引するようになっている。
そして、吸い込み口15を、塗膜配設基板80の一面に沿うように、除去領域内を、塗膜配設基板80に対して相対的に移動させる。
このようにして、所望の領域全体の塗膜85を選択的に除去する。
例えば、図4(a)に示す、塗膜除去処理前の塗膜配設基板80aは、塗膜除去処理後には、図4(b)のように、各面付けの間の塗膜は除去される。
【0015】
本例の変形例としては、図3に示すように、吸引部10の吸い込み口15による塗膜85の吸引に際し、予め、ノズル70により、塗膜85に所定のウェット状態促進液75をかけて、ウエット状態を促進しておく方法も挙げられる。
塗膜配設基板80としては、特に限定されない。
透明基板面に直接ウェット状態の塗膜を配設したものの他、透明基板面に設けられた固化した層の上にウェット状態の塗膜を配設したものでも良い。
具体的には、塗膜配設基板80として、表示パネル形成用の多層からなる複合基板が挙げられる。
また、別の形態としては、ステージを固定のものとして、吸引部を制御してXY移動させることにより、相対的に、吸引部を除去領域内において移動させる形態も挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【図1】図1(a)は本発明の塗膜除去方法の実施の形態の1例を示した概略図で、図1(b)は図1(a)のA1側から見た吸引部の吸引状態を示した図である。
【図2】図2(a)は吸引部の回転を説明するための概略図で、図2(b)は図2(a)のB1側からみた図である。
【図3】ウェット状態促進方法を説明するための図である。
【図4】図4(a)は多面付け用の基板における塗膜除去処理前の状態を示した図で、図4(b)は塗膜除去処理後の状態を示した図である。
【符号の説明】
【0017】
10、10a 吸引部
15、15a 吸い込み口
16 スリット状の開口
20 XYステージ
30 タンク
31、32 管
35 制御弁
40 シリンダー
41 排気配管
41A 制御弁
42 圧縮空気供給配管
42A 制御弁
45 シリンダー軸
47 支持部
50 支持部
51 (シリンダーの)固定部
70 ノズル
75 ウェット状態促進液
80 塗膜配設基板
80a (塗膜除去後の)処理済基板
85 (ウェット状態の)塗膜
86 単位の面付け
87 (面付けの)境部



【出願人】 【識別番号】000002897
【氏名又は名称】大日本印刷株式会社
【出願日】 平成18年7月11日(2006.7.11)
【代理人】 【識別番号】100111659
【弁理士】
【氏名又は名称】金山 聡

【識別番号】100135954
【弁理士】
【氏名又は名称】深町 圭子

【識別番号】100119057
【弁理士】
【氏名又は名称】伊藤 英生

【識別番号】100122529
【弁理士】
【氏名又は名称】藤枡 裕実

【識別番号】100131369
【弁理士】
【氏名又は名称】後藤 直樹


【公開番号】 特開2008−18301(P2008−18301A)
【公開日】 平成20年1月31日(2008.1.31)
【出願番号】 特願2006−189970(P2006−189970)