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【発明の名称】 生体磁場計測装置、生体磁場計測装置の測定位置設定方法
【発明者】 【氏名】渡邉 厚志

【氏名】鈴木 博之

【要約】 【課題】生体磁場計測装置における検査対象の測定位置設定に関する操作手順を単純化すること。また、生体磁場計測装置において正確な位置調整を実現し、測定装置の占有スペースを縮小化すること。そして、上記の課題を達成した生体磁場計測装置及び生体磁気計測における検査対象の測定位置設定方法を提供することにある。

【構成】検査対象から発生する磁場を計測する磁束計を備えた測定手段と、
【特許請求の範囲】
【請求項1】
磁束計を備えた測定手段と、
検査対象を配置するためのステージと、
前記測定手段と前記ステージの位置関係を予め定めた基準と、
前記基準と検査対象の測定位置を合わせる基準/検査対象位置調整機構と、
前記ステージを前記測定手段に搬送するステージ搬送機構と、
前記ステージを前記測定手段の予め決められた位置に決定するステージ位置決め機構を備えたことを特徴とする生体磁場計測装置。
【請求項2】
請求項1に記載された生体磁場計測装置において、
前記基準/検査対象位置調整機構は、水平方向、および垂直方向に駆動する位置調整駆動手段を有することを特徴とする生体磁場計測装置。
【請求項3】
請求項1記載の生体磁場計測装置において、
前記基準は、前記検査対象と前記ステージとの間に位置し、かつ前記ステージと傾きなく水平に設けられることを特徴とする生体磁場計測装置。
【請求項4】
請求項3記載の生体磁場計測装置において、
前記測定手段は、一つまたは複数の磁束計を有し、
前記基準は、前記一つまたは複数の磁束計のうちに予め定めた一つより下方に位置し、
前記基準は、前記一つまたは複数の磁束計のうちに予め定めた一つより下ろした垂線が交差する交点に備えられることを特徴とする生体磁場計測装置。
【請求項5】
請求項1〜4のいずれかに記載された生体磁場計測装置において、
前記基準は非磁性材料で構成されたことを特徴とする生体磁場計測装置。
【請求項6】
請求項1〜5のいずれかに記載された生体磁場計測装置において、
前記基準はアクリル板のような光透過性の高い材料で構成されたことを特徴とする生体磁場計測装置。
【請求項7】
請求項6に記載の生体磁場計測装置において、
前記測定手段に備えられた前記1つまたは複数の磁束計のうちに予め定めた磁束計の位置から下ろした垂線が、水平に設けられた前記基準と交差する交点に基準マーカを設け、
前記基準マーカは、前記基準または前記ステージ若しくは磁束計を備えられる1つまたは複数のレーザ光源からの照射されるレーザで構成されることを特徴とする生体磁場計測装置。
【請求項8】
請求項7に記載の生体磁場計測装置において、
前記基準マーカは、前記1つまたは複数の磁束計のうちに予め定めた磁束計の位置から水平に設けられた前記基準に下ろした垂線と同軸のレーザで構成されたことを特徴とする生体磁場計測装置。
【請求項9】
操作により、測定手段が備えられたステージに検査対象を配置するステップと、
操作により、前記測定手段と前記ステージの位置関係を予め定めた基準を前記検査対象に配置するステップと、
操作により、前記基準に前記検査対象を位置調整するステップと、
操作により、前記測定手段に前記ステージを搬送するステップと、
操作により、前記測定手段の予め決められた位置に前記ステージを配置するステップと、を含むことを特徴とする生体磁場計測装置の測定位置設定方法。
【発明の詳細な説明】【技術分野】
【0001】
本発明は、超伝導デバイスであるSQUID(Superconducting Quantum Interference Device 超伝導量子干渉素子)磁束計を利用して生体の脳や心臓などから発生する微弱な磁場(磁気、磁界)を計測する生体磁場計測装置に係わる。
【0002】
特に、容易に被検者と磁束計の位置合わせを可能とする生体磁場計測装置に関する。
【背景技術】
【0003】
生体磁場計測装置では、SQUID磁束計が不透明なデュワー等の断熱容器内に設置されているため被検者と磁場センサとの位置関係を正確に把握するのが難しい。
【0004】
位置関係を把握する手段として、例えば、特許文献1記載の脳磁計に関する技術では、複数のSQUID磁束計を、外形を頭部の曲率に合わせたデュワーの底部に配置し、頭部の複数個所に設置した磁場発生コイルに通電して発生する磁場をSQUID磁束計により計測して、磁場発生コイルにより発生する磁場とSQUID磁束計の出力関係をシミュレートする。
【0005】
SQUID磁束計による出力電圧の理論値と計測値の差を最小とする磁場発生コイルの位置を推定することによって、磁場発生コイルを配置した頭部の個所の位置座標を特定している。
【0006】
また、特許文献2に記載の心磁計に関する技術では、検査対象の剣状突起、頚切根の体表面に各々第1、第2のマーカが配置され、第1、第2のマーカを結ぶ線が、低温容器の内部で磁束計が配列する1方向に沿うように、低温容器底面の下部に腹部が配置され、演算処理装置は磁場波形の信号から心臓の活動に関する機能情報を表す画像を作成する処理と、剣状突起の体表面に第1のマーカを配置して、撮像装置により撮影された心臓を含む形態画像の画素の大きさに、機能情報を表す画像の画素の大きさを一致させ、形態画像と同じ大きさの画素をもつ機能画像を作成する処理、機能画像における第1のマーカの位置を一致させる処理、機能画像と形態画像との合成画像を作成する処理を実行している。
【0007】
【特許文献1】特開平4−303416号公報
【特許文献2】特開2001−170018号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
従来の生体磁場計測装置では、検査対象の測定位置設定方法が、検査対象と検査対象を配置するための基準を合わせるステップと、前記基準と測定装置(測定手段)の基準を合わせるステップのニ段階に分かれており、操作手順が煩雑となる。
【0009】
また、上記の測定位置設定方法は、正確な位置調整を行うために操作者が検査対象の脇で作業することが要求される。従って、測定装置内部に検査対象に加えて、操作者が配置するスペースが必要となる。
【0010】
そこで、本発明の課題は、生体磁場計測装置における検査対象の測定位置設定に関する操作手順を単純化すること。また、生体磁場計測装置において正確な位置調整を実現し、測定装置の占有スペースを縮小化すること。
【0011】
そして、上記の課題を達成した生体磁場計測装置及び生体磁気計測における検査対象の測定位置設定方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0012】
上記目的を達成するための本発明の構成は以下の通りである。
【0013】
磁束計を備えた測定手段と、
検査対象を配置するためのステージと、
前記測定手段と前記ステージの位置関係を予め定めた基準と、
前記基準と検査対象の測定位置を合わせる基準/検査対象位置調整機構と、
前記ステージを前記測定手段に搬送するステージ搬送機構と、
前記ステージを前記測定手段の予め決められた位置に決定するステージ位置決め機構を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【0014】
本発明によれば、生体磁場計測装置における検査対象の測定位置設定に関する操作手順を単純化することができ、また同時に正確な位置調整が実現可能となる。さらに、測定装置の占有スペースを縮小化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0015】
本発明の生体磁場計測装置の代表的な構成について説明する。
【0016】
本発明の生体磁場計測装置は、磁気シールドルームと、検査対象の磁場を計測するためのSQUID磁束計(測定手段の磁束計)と、SQUID磁束計を冷却する低温容器と、低温容器の位置を固定するガンドリーと、低温容器に冷媒を供給するための冷媒供給ルートと、低温容器の冷媒が蒸発したガスを磁気シールドルームの外部に排出するためのガス排気ルートと、検査対象を測定位置に搬送させるためのステージと、検査対象の配置を決定する基準平面(基準)とを具備している。
【0017】
磁気シールドルームは、ステージが収納可能な最小限の形状を有する。
【0018】
基準平面(基準)に配置された基準マーカは、基準平面(基準)とSQUID磁束計から基準平面(基準)に下ろした垂線との交点に配置される。
【0019】
基準マーカと検査対象の測定位置をあわせるために、ステージはステージ位置調整機構(x軸方向の基準/検査対象位置調整機構)、ステージ位置調整機構(y軸方向の基準/検査対象位置調整機構)およびステージ位置調整機構(z軸方向の基準/検査対象位置調整機構)を備える。
【0020】
ステージ位置調整機構(基準/検査対象位置調整機構)は、x軸方向、y軸方向、z軸方向に位置を移動する位置調整駆動手段を有する。
【0021】
基準平面(基準)は、例えば、アクリル板(非磁性材料)のような光透過性の高い材料で構成されている。ステージの搬送は、ステージ搬送機構を使用する。
【0022】
ステージ搬送機構は、例えば、ステージと、スライドレールと、ベアリングから構成される。ステージ搬送機構により、ステージはステージ駆動方向(y軸方向の基準/検査対象位置調整機構)へ搬送される。
【0023】
ステージ位置決め機構は、例えば、ステージ位置決めピンとステージ位置決め溝から構成される。ステージ位置決め機構は、y軸方向の位置ずれ(言い換えると、y軸方向の振動)を小さくする構成が望まれる。
【0024】
上記構成を実現するために、ステージ位置決めピンに衝突時の衝撃を吸収する弾性材(例えば、ゴムやスポンジ)を使用する。また、ステージ位置決め溝のステージ位置決めピンとの接触面に粘着テープを使用する。
【0025】
検査対象を測定位置に搬送後、ステージ位置調整機構(x軸方向の基準/検査対象位置調整機構)を使用して、x軸方向の位置ずれを補正することが可能である。また同時に、ステージ位置調整機構(y軸方向の基準/検査対象位置調整機構)を使用して、y軸方向の位置ずれを補正することが可能である。
【0026】
基準平面(基準)は、検査対象を配置するステージに取り付けられる。また、基準平面(基準)は、検査対象の配置を容易にするために基準位置調整機構を備えている。具体的に基準平面(基準)は、基準平面位置決め機構と基準平面駆動機構を具備している。
【0027】
基準平面位置決め機構は、基準平面とステージとの平行度を保持する機能がある。本機能を実現するための1つの手段として、例えば、L字アングルを利用することができる。
【0028】
この基準平面位置決め機構33は、ステージに直接取り付けられている。この基準平面(基準)は、検査対象がステージとの間に配置されるように基準平面位置決め機構へ取り付けられている。
【0029】
ただし、検査対象が容易にステージへ配置できるよう、基準平面(基準)は、基準平面駆動機構が備えられている。これより基準平面(基準)は、位置調整が可能となる。
【0030】
次に本発明の内容を実施例に基づき説明する。
【実施例1】
【0031】
図1に示すように、本発明の生体磁場計測装置は、磁気シールドルーム1と、検査対象の磁場を計測するためのSQUID磁束計12と、SQUID磁束計12を冷却する低温容器5と、低温容器5の位置を固定するガンドリー6と、低温容器5に冷媒を供給するための冷媒供給ルート7と、低温容器5の冷媒が蒸発したガスを磁気シールドルーム1外部に排出するためのガス排気ルート8と、検査対象11を測定位置に搬送させるためのステージ9と、検査対象11の配置を決定する基準平面10(基準)とを具備している。
【0032】
磁気シールドルームは1、ステージ9が収納可能な最小限の形状を有している。これにより、生体磁気計測装置のスペースが縮小することが可能となる。
【0033】
基準平面10(基準)に配置された基準マーカ10aは、基準平面10(基準)とSQUID磁束計12から基準平面10(基準)に下ろした垂線(つまり、基準平面の法線(z軸方向)13)との交点にある。
【0034】
基準マーカ11aと検査対象の測定位置11aをあわせるために、ステージ9はステージ位置調整機構(x軸方向の基準/検査対象位置調整機構)17、ステージ位置調整機構(y軸方向の基準/検査対象位置調整機構)16およびステージ位置調整機構(z軸方向の基準/検査対象位置調整機構)18を備える。
【0035】
操作者は検査対象の測定位置11aを基準平面10(基準)から目で確認しながら調整するので、基準平面10(基準)を通して検査対象の位置を確認できることが望まれる。
【0036】
従って、基準平面10(基準)は、例えば、アクリル板のような光透過性の高い材料で構成されている。特に、無色透明なアクリル板は、容易に検査対象の位置を確認することができる。
【0037】
また、生体磁場計測装置では磁場を測定するので、基準平面10(基準)は非磁性材料を使用することが望ましい。非磁性材料以外の場合、検査対象の磁場測定に影響を与えない対策、例えば、磁場測定時に基準平面10(基準)を取り外して磁場測定をおこなう。
【0038】
検査対象11の位置調整後、検査対象を測定位置に搬送する。ステージ9の搬送は、ステージ搬送機構14を使用する。ステージ搬送機構14は、例えば、ステージ9と、スライドレール14aと、ベアリング(14b〜14e)から構成される。
【0039】
ステージ搬送機構14では、ステージ9をx軸方向の位置ずれ(言い換えると、x軸方向の振動)を小さくする構成が望まれる。
【0040】
また、検査対象に衝撃を与えないように搬送するために、ステージ搬送機構14は、z軸方向の位置ずれ(言い換えると、z軸方向の振動)を小さくする構成が望まれる。ステージ搬送機構14により、ステージ9はステージ駆動方向(y軸方向)20へ搬送される。
【0041】
この時、検査対象11および基準平面10(基準)は低温容器5に衝突しない。操作者がステージ9をステージ位置決め機構15まで搬送すると、検査対象は測定位置に配置される。図では、検査対象は足から測定位置に搬入されるが、頭から測定位置に搬入しても良い。
【0042】
机19は、計算機3、モニタ4を載置する。SQUID磁束計12の信号は、駆動回路信号ケーブル21を介して駆動回路2に送られる。駆動回路2の信号は、測定データ転送ケーブル22を介して計算機3に送られる。
図2に示すように、検査対象は測定位置に配置される。この時、検査対象の測定位置11aは、特定位置のSQUID磁束計12aから基準平面10(基準)に下ろした垂線、つまり基準平面(基準)の法線(z軸方向)13)と同一直線上に配置される。
【0043】
位置あわせの精度および再現性を決定するステージ位置決め機構15は、例えば、ステージ位置決めピン9aとステージ位置決め溝15aから構成される。
【0044】
ステージ位置決め機構15は、y軸方向の位置ずれ(言い換えると、y軸方向の振動)を小さくする構成が望まれる。上記構成を実現するために、ステージ位置決めピン9aに衝突時の衝撃を吸収する弾性材(例えば、ゴムやスポンジ)を使用する。
【0045】
また、ステージ位置決め溝のステージ位置決めピンとの接触面に粘着テープを使用する。また、投錨効果を利用した方法を使用することもできる。
【0046】
図3に示すように、ステージ9に搭載される検査対象11は測定位置に配置される。
【0047】
予め基準平面10(基準)の基準マーカ10aに位置調整された検査対象の測定位置11aは、ステージ搬送機構により搬送され、特定位置のSQUID磁束計12aから基準平面10(基準)に下ろした垂線、つまり基準平面(基準)の法線(z軸方向)13と同一直線上に配置される。
【0048】
基準平面10(基準)の基準マーカ10aは、ステージ位置決め機構15により基準平面(基準)の法線(z軸方向)13と一致する。
【0049】
したがって、検査対象の測定位置11aは基準平面(基準)の法線(z軸方向)13と一致する。この場合、x軸方向の位置の正確さと精度は、ステージ位置決め機構15によって決定する。
【0050】
また、ステージ位置調整機構(y軸方向の基準/検査対象位置調整機構)16を使用して、y軸方向の位置ずれを補正することが可能である。
【0051】
さらに、基準平面の大きさ(y軸方向)10bは、検査対象11が低温容器5の底面と衝突防止ために、検査対象11の頭から腹部が覆われることが望ましい。または、検査対象11の顎から腹部が覆われていても良い。
【0052】
図4に示すように、ステージ9に搭載される検査対象11は測定位置に配置される。
【0053】
予め基準平面10(基準)の基準マーカ10aに位置調整された検査対象の測定位置11aは、ステージ搬送機構により搬送され、特定位置のSQUID磁束計12aから基準平面10(基準)に下ろした垂線、つまり基準平面(基準)の法線(z軸方向)13と同一直線上に配置される。
【0054】
基準平面10(基準)の基準マーカ10aは、ステージ位置決め機構15により基準平面(基準)の法線(z軸方向)13と一致する。
【0055】
したがって、検査対象の測定位置11aは基準平面(基準)の法線(z軸方向)13と一致する。この場合、x軸方向の位置の正確さと精度は、ステージ搬送機構14によって決定する。
【0056】
また、ステージ位置調整機構(x軸方向の基準/検査対象位置調整機構)17を使用して、x軸方向の位置ずれを補正することが可能である。
【0057】
さらに、基準平面(基準)の大きさ(x軸方向)10cは、検査対象11が低温容器5の底面と衝突防止ために、検査対象を十分配置が可能なステージの幅(x軸方向)以下が望ましい。
【0058】
図7に示すように、基準平面10(基準)は、検査対象11を配置するステージ9に取り付けられる。
【0059】
また、基準平面10(基準)は、検査対象の配置を容易にするために基準位置調整機構を備えている。具体的に基準平面10(基準)は、基準平面位置決め機構30と、基準平面位置決め機構33と、基準平面駆動機構34と、基準平面駆動機構32とを具備している。
【0060】
基準平面位置決め機構30は、基準平面10とステージとの平行度を保持する機能がある。本機能を実現するための1つの手段として、例えば、L字アングルを利用することができる。
【0061】
基準平面位置決め機構30は、基準平面位置決め機構33に1つ、または複数取り付けられている。この基準平面位置決め機構33は、ステージに直接取り付けられている。または、基準平面駆動機構32を介してステージに間接的に取り付けられている。
【0062】
この基準平面10(基準)は、検査対象がステージ9との間に配置されるように基準平面位置決め機構30へ取り付けられている。ただし、検査対象が容易にステージへ配置できるよう、基準平面10(基準)には基準平面駆動機構34が備えられている。
【0063】
これより基準平面10(基準)は、基準平面駆動方向29に位置調整が可能となる。また、基準平面10(基準)は、基準平面駆動機構32により基準平面駆動方向(x軸方向)31への位置調整が可能となる。
【0064】
また、基準平面10(基準)は、z軸方向への基準位置調整機構を備えていても良い。検査対象の生体磁場計測のために、基準平面位置決め機構30、基準平面位置決め機構33、基準平面駆動機構34、および基準平面駆動機構32は、非磁性材料で構成するのが望ましい。
【実施例2】
【0065】
図5に示すように、基準平面10(基準)の基準マーカは、基準平面(基準)の法線と同軸のレーザ25で構成される。
【0066】
基準平面10(基準)の基準マーカは、基準平面10(基準)と、基準平面10(基準)に取り付けられたレーザ発振器24と反射板23から構成される。操作者は、基準平面(基準)の法線と同軸のレーザ25を検査対象の測定位置11aに位置調整する。
【0067】
この位置調整はy方向である。
【0068】
検査対象の生体磁場計測のために、反射板23とレーザ発振器24は比磁性材料で構成されるのが望ましい。レーザ発振器24は検査対象の位置合わせをする時に使用し、検査対象の磁場測定の際には使用しない。
【0069】
図6に示すように、基準平面10の基準マーカは、基準平面の法線と同軸のレーザ28で構成される。
【0070】
基準平面10の基準マーカは、基準平面10と、基準平面10に取り付けられたレーザ発振器27と反射板26から構成される。操作者は、基準平面の法線と同軸のレーザ28を検査対象の測定位置11aに位置調整する。
【0071】
この位置調整はx方向である。x方向とy方向の位置調整を併せてすることにより、正確な検査対象の測定位置11aの位置調整が行なわれる。
【0072】
検査対象の生体磁場計測のために、反射板26とレーザ発振器27は比磁性材料で構成されるのが望ましい。レーザ発振器27は検査対象の位置合わせをする時に使用し、検査対象の磁場測定の際には使用しない。
【実施例3】
【0073】
図8に示すように、磁気シールドルーム1が密閉型の形状を有している。
【0074】
この場合、検査対象11を搬送するステージ9は、レール1および2(36aと36b)によりステージ駆動方向(x軸方向)35へ搬送される。
【0075】
図11に示す磁気シールドルーム1でもステージは、ステージ駆動方向がx軸方向に搬送移動する。
【実施例4】
【0076】
図9に示すように、基準平面(基準)の大きさ(y軸方向)10bは、操作者37が検査対象の測定位置11aを指で確認できるような寸法が望ましい。具体的には、磁束計の測定範囲と等しい大きさ(y軸方向)が望ましい。
【0077】
図10に示すように、基準平面(基準)の大きさ(x軸方向)10cは、操作者37が検査対象の測定位置aを指で確認できるような寸法が望ましい。具体的には、磁束計の測定範囲と等しい大きさ(x軸方向)が望ましい。
【0078】
上記実施例では、測定手段が一つの磁束計である。測定手段は、一つまたは複数の磁束計を有することが可能である。基準平面(基準)には、一つまたは複数の磁束計のうちに予め定めた一つが交点を結ぶことにより、残りの磁束計の位置が合うように仕組まれた構成が構築されている。
【0079】
最後に上述した実施例を生体磁場計測装置の測定位置設定方法の観点からまとめる。
【0080】
まず、操車者の操作により、測定手段が備えられたステージに検査対象は配置するステップが実行される。引き続き、操車者の操作により、測定手段とステージの位置関係を予め定めた基準平面(基準)が基準位置調整機構を用いて検査対象に配置するステップが実行される。
【0081】
この後、操作者の操作により、基準平面(基準)に検査対象を基準/検査対象位置調整機構を用いて位置調整するステップが実行される。引き続き、操車者の操作により、測定手段にステージを搬送するステップが実行される。
【0082】
さらに、操作者の操作により、測定手段の予め決められた位置にステージ位置決め機構を用いてステージを位置決め配置するステップが実行される。この測定位置設定方法を実行することにより、生体磁場計測装置による精度の良い測定が行なわれる。
【図面の簡単な説明】
【0083】
【図1】本発明における第1の実施例の生体磁場計測装置の全体の構成例を示した図。特に、検査対象の位置調整を磁気シールドルームの外部で実施した例。
【図2】本発明における第1の実施例の生体磁場計測装置の全体の構成例を示した図。特に、ステージに搭載される検査対象を測定位置に配置した状態を説明した図。
【図3】本発明の第1の実施例において、ステージに搭載される検査対象を測定位置に配置した状態を説明した図。特に、特定位置のSQUID磁束計、基準平面のマーカおよび検査対象の測定位置の位置関係を説明した図(y−z平面)。
【図4】本発明の第1の実施例において、ステージに搭載される検査対象を測定位置に配置した状態を説明した図。特に、特定位置のSQUID磁束計、基準平面のマーカおよび検査対象の測定位置の位置関係を説明した図(x−z平面)。
【図5】本発明における第2の実施例の生体磁場計測装置の基準平面の構成例を示した図で、ステージに搭載される検査対象を測定位置に配置した状態を説明した図。特に、特定位置のSQUID磁束計、基準平面の法線と同軸のレーザ1および検査対象の測定位置の位置関係を説明した図(y−z平面)。
【図6】本発明における第2の実施例の生体磁場計測装置の基準平面の構成例を示した図で、ステージに搭載される検査対象を測定位置に配置した状態を説明した図。特に、特定位置のSQUID磁束計、基準平面の法線と同軸のレーザ2および検査対象の測定位置の位置関係を説明した図(x−z平面)。
【図7】本発明の第1の実施例において、ステージに取り付けられた基準平面を説明した図。特に、基準平面の駆動方向を説明した図(x−z平面)。
【図8】本発明における第3の実施例の生体磁場計測装置の全体構成例を示した図。特に、検査対象の位置調整を磁気シールドルームの内部で実施した例で、ステージに搭載される検査対象を測定位置に配置した状態を説明した図。
【図9】本発明における第4の実施例の生体磁場計測装置の基準平面の構成例を示した図で、ステージに搭載される検査対象を測定位置に配置した状態を説明した図。特に、基準平面の大きさを説明した図(y−z平面)。
【図10】本発明における第4の実施例の生体磁場計測装置の基準平面の構成例を示した図で、ステージに搭載される検査対象を測定位置に配置した状態を説明した図。特に、基準平面の大きさを説明した図(x−z平面)。
【図11】本発明における第1の実施例の生体磁場計測装置で、別の磁気シールドルームの例を示した図。
【符号の説明】
【0084】
1…磁気シールドルーム、1a…磁気シールドルームの床、2…駆動回路、3…計算機、4…モニタ、5…低温容器、6…ガントリー、7…冷媒供給ルート、8…ガス排気ルート、9…ステージ、9a…ステージ位置決めピン、10…基準平面(基準)、10a…基準のマーカ、10b…基準平面の大きさ(y軸方向)、10c…基準平面の大きさ(x軸方向)、11…検査対象、11a…検査対象の測定位置、12…SQUID磁束計、12a…特定位置のSQUID磁束計、13…基準平面の法線(z軸方向)、14…ステージ搬送機構、14a…スライドレール、14b…ベアリング1、14c…ベアリング2、14d…ベアリング3、14e…ベアリング4、15…ステージ位置決め機構、15a…ステージ位置決め溝、16…ステージ位置調整機構(y軸方向)、17…ステージ位置調整機構(x軸方向)、18…ステージ位置調整機構(z軸方向)、19…机、20…ステージ駆動方向(y軸方向)、21…駆動回路信号ケーブル、22…測定データ転送ケーブル、23…反射板1、24…レーザ発振器(第一のレーザ)、25…基準平面の法線と同軸のレーザ1(第一のレーザ)、26…反射板2、27…レーザ発振器(第ニのレーザ)、28…基準平面の法線と同軸のレーザ2(第ニのレーザ)、29…基準平面駆動方向1、30…基準平面位置決め機構1、31…基準平面駆動方向2(x軸方向)、32…基準平面駆動機構2、33…基準平面位置決め機構2、34…基準平面駆動機構1、35…ステージ駆動方向(x軸方向)、36a…レール1、36b…レール2、37…操作者。
【出願人】 【識別番号】501387839
【氏名又は名称】株式会社日立ハイテクノロジーズ
【出願日】 平成18年7月27日(2006.7.27)
【代理人】 【識別番号】110000350
【氏名又は名称】ポレール特許業務法人


【公開番号】 特開2008−29459(P2008−29459A)
【公開日】 平成20年2月14日(2008.2.14)
【出願番号】 特願2006−204329(P2006−204329)