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【発明の名称】
遠隔配管着脱装置
プラズマ源、フラーレンベース材料の製造方法及び製造装置
プラズマ式溶融炉
イオンボンバード用ガイドロール型電極、これを用いたイオンボンバード装置及びイオンボンバード方法
プラズマ処理装置
プラズマ処理装置
誘導電圧制御装置及びその制御方法
シンクロトロン振動周波数制御装置及びその制御方法
電磁石装置
プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
処理装置および処理方法
荷電粒子ビームの軌道制御装置及びその制御方法
処理装置および処理方法
リニア型大気圧グロー放電プラズマ処理方法及びリニア型大気圧グロー放電プラズマ処理装置
プラズマ生成電極ユニットおよびプラズマ生成装置
プラズマ装置
プラズマ処理装置
荷電粒子加速器およびそのメンテナンス方法
磁場勾配を形成する電磁石
リモートプラズマ発生ユニットの電界分布測定装置、リモートプラズマ発生ユニット、処理装置及びリモートプラズマ発生ユニットの特性調整方法
プラズマ処理装置
高周波加速空洞及び装置
マルチチャンバプラズマプロセスシステム{MULTICHAMBERPLASMAPROCESSSYSTEM}
誘導結合型プラズマ処理装置
プラズマを分離加速させる中性ビームエッチング装置
プラズマ加速装置及びそれを備えるプラズマ処理システム
撥水化等用の常圧プラズマ処理装置
プラズマ処理装置
プラズマ処理装置
プラズマ処理装置
プラズマ発生装置の駆動電流制御方法及びプラズマ発生装置
磁気回路装置及びそれを用いたシンクロトロン装置
プラズマ処理装置および処理方法
マイクロ波プラズマ発生装置
プラズマ活性を向上させる装置
マイクロフォトン素子およびそれを用いた立体表示装置
大気圧プラズマ処理装置および大気圧プラズマ処理方法
プラズマ加速装置及び該装置を備えるプラズマ処理システム
直線加速装置、シンクロトロン加速装置、粒子線治療装置および加速装置の制御方法
プラズマ発生装置、プラズマ発生方法およびダイヤモンド生成方法
加速管の製造方法および製造装置
高周波誘導熱プラズマトーチおよび固体物質の合成方法
プラズマ発生装置及びプラズマ処理装置
プラズマ処理装置
プラズマ生成電極、プラズマ処理装置、および、プラズマ処理方法
プラズマ処理装置
誘導結合プラズマ整列装置及び方法
真空反応室及びその処理方法
HFエネルギジェネレータに対する駆動信号の形成方法、HFジェネレータ駆動装置およびHFプラズマ励起装置
プラズマ処理装置
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