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【発明の名称】
極端紫外光光源装置
一体形Ｘ線発生装置
Ｘ線発生装置及びそれを用いた除電装置
極紫外線を発生するための装置および方法
光源装置、露光装置及びデバイス製造方法
放射線源、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法
Ｘ線発生装置
Ｘ線ＣＴ装置及びＣＴ用Ｘ線制御方法
Ｘ線発生装置
Ｘ線管装置
Ｘ線装置の運転方法及びＸ線装置
ガス放電による放射線発生装置
Ｘ線透視撮影装置
液滴供給方法及び装置
Ｘ線管装置の電圧印加方法およびＸ線管装置
Ｘ線源
Ｘ線発生方法及びＸ線発生装置
回転管球形放射器
Ｘ線発生装置
極端紫外光源用ターゲット
気体放電に基づく高い放射線出力を備える極紫外放射線源
高電圧装置およびこれを備えたＸ線診断装置
放射線源用ターゲット生成供給装置
極端紫外光源装置の初期アライメント方法
冷却器、Ｘ線管装置及び冷却器の操作方法
冷却器及びＸ線管装置
Ｘ線管装置、Ｘ線管装置の連結器の連結方法及びＸ線管装置の連結器の離脱方法
極端紫外光光源装置
Ｘ線管装置
Ｘ線発生装置
Ｘ線発生装置
Ｘ線発生装置およびこれを備えたＸ線診断装置
電子管用高電圧発生装置
Ｘ線透視撮影装置
極端紫外光光源装置
回転陽極Ｘ線管装置およびＸ線断層撮影装置
Ｘ線検査装置用のＸ線発生装置
極端紫外光源装置
透視撮影装置
極端紫外光源装置
Ｘ線照射装置及びＸ線診断装置の照射制御方法
極端紫外光源装置
インバータ式Ｘ線高電圧装置
Ｘ線診断装置
Ｘ線高電圧装置
Ｘ線高電圧装置
Ｘ線出力器診断装置およびＸ線出力器診断方法
電子ビーム及びレーザービームのプロファイル測定装置及び方法
極端紫外光源装置
放射線画像撮影装置及び撮影方法
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