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G 物理学
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G12 器械の細部
【発明の名称】
XYステージ
傾斜ステージ
XYステージ
XYステージ
傾斜ステージ
テーブル姿勢調整装置
位置決め装置
案内装置
XYステージ
ステージ装置
平面ステージ装置
位置決めテーブル
粗微動位置決め装置
XYステージ
テーブル移動装置
XYステージ
ステージ移動機構
ステージ装置
ステージ装置
回転・二方向移動装置、アライメントユニットおよびアライメントステージ
位置決め装置
傾斜ステージ
XYステージ
載物台用送り機構
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A 生活必需品
B 処理操作 運輸
C 化学 冶金
D 繊維 紙
E 固定構造物
F 機械工学 照明 加熱 武器 爆破
G 物理学
H 電気