| 【発明の名称】 |
交流式単結晶ダイヤモンド瞬間ロウ付け装置 |
| 【発明者】 |
【氏名】笠井 良貴
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| 【要約】 |
【課題】単結晶ダイヤモンドへの単結晶ダイヤモンドのロウ付け装置に関し、大気中で自在に操作出来、作業性に優れた瞬間ロウ付け装置を提供する。
【解決手段】単結晶ダイヤモンドバイトの先端に大きさ約１ｍｍのロウ材を乗せ、その上に数ｍｍの単結晶ダイヤモンドを乗せてロウ付けする。ダイヤモンドの位置がズレたりするのを防ぐ為、ロウ材を仮着する事によりスピーディーに作業が進められる。アルゴンガスは、ロウ付け作業における真空状態をつくる為に使用する。単結晶ダイヤモンドの大きさによりアルゴンガスの量が変わる為、その大きさに合わせてガス噴射時間をタイマー調整し、アルゴンガス量は専用のレギュレーターを使用する事で最高の状態にする事が可能となる。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】
図２の当社開発のロウ付け装置を併用する事により真空状態の創出が可能となった事と、もっとも重要とされるアルゴンガス噴出調整と時間設定を微調整が出来る為に、ロウ付けに必要な最適条件を満たすことを可能とした単結晶ダイヤモンド瞬間ロウ付け装置。
【請求項２】
請求項１の方法により、従来不可能であった単結晶ダイヤモンドの脱着を可能にし、保守・改良をできるようにした単結晶ダイヤモンド瞬間ロウ付け装置。
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【発明の詳細な説明】【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造治具に使用される単結晶ダイヤモンドの脱着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
単結晶ダイヤモンドの単結晶ダイヤのみをロウ付けする方法は、真空炉や高周波加熱等でロウ付けするのが主流である。
しかし、それ等のロウ付けは高価であると共に作業性が悪く、非能率的かつ生産性が低いものである。
前述の短所を改善し、作業性を良くする為には、大気中で自在に操作出来る事が必須条件である。
当社で開発した図２の瞬間ロウ付け装置を使用し、図１番号１のアルゴンガスと仮着機を合体する事で簡単にロウ付けが出来、又、単結晶ダイヤの位置がズレた場合等、再ロウ付けが可能となる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、従来の装置が有して問題を解決しようとするものであり、作業性及び生産性の向上並びに製造コストの低減を実現することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
当社開発の瞬間ロウ付け装置を使用することにより、単結晶ダイヤモンドをロウ付けするための基礎となる金属材の温度変化による材質劣化を最小限に抑制できる。
【０００５】
単結晶ダイヤモンドバイトの先端に約１ｍｍの大きさのロウ材を乗せ、その上に数ｍｍの単結晶ダイヤモンドを乗せてロウ付けをする。
ダイヤの位置がズレたりするのを防ぐ為、ロウ材を仮着する事によりスピーディーに作業が進められる。
【０００６】
アルゴンガスは、ロウ付け作業における真空状態をつくる為に使用する。
単結晶ダイヤの大きさによりアルゴンガスの量が変わる為、その大きさによりガス噴射時間をタイマーで微調整し、アルゴンガス量は専用のレギュレーターを使用する事で最高の状態にする事が可能となる。
【発明の効果】
【０００７】
本発明により、製品の製造時間を大幅に短縮することが可能なため、製造コストの面においても従来の約４割程度に抑制することが可能となる。
【０００８】
耐久性や強度については、従来の方法で製造したものと比較して大きく躍進している。
【０００９】
安全性においても、従来の方法よりも大きく前進しているだけではなく、環境対策にも配慮し、省電力・省エネルギー構成となっている。
【００１０】
以上の製品を使用する事で完全な作業状態を創出することができ、大気中でも簡単にロウ付けが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００１１】
低廉で高品質な製品を安全に製造するというすばらしい効果を発揮することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】 本発明の全体図面
【図２】 本発明のクランプ治具図面
【符号の説明】
【００１３】
１ アルゴンガス噴霧ノズル
２ クランプ治具
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| 【出願人】 |
【識別番号】５０３４５７５０７
【氏名又は名称】株式会社ダステム
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| 【出願日】 |
平成１７年９月１３日（２００５．９．１３） |
| 【代理人】 |
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| 【公開番号】 |
特開２００７−７６９９７（Ｐ２００７−７６９９７Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１９年３月２９日（２００７．３．２９） |
| 【出願番号】 |
特願２００５−２９８１３２（Ｐ２００５−２９８１３２） |
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