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【発明の名称】 漏液センサ
【発明者】 【氏名】林田 建一
【住所又は居所】神奈川県相模原市東橋本一丁目８番９号 株式会社ツーデン内
【氏名】島井 太
【住所又は居所】神奈川県川崎市中原区中丸子１５０番地 東京応化工業株式会社内
【氏名】小俣 洋平
【住所又は居所】神奈川県川崎市中原区市ノ坪３７０番地 東横化学株式会社内
【課題】床面や漏液収容部等のシステムの最下部に設置される漏液センサを、漏液異常が発生した場合に、漏液発生箇所を容易に特定可能とする。

【解決手段】漏液センサにおいて、当該漏液センサを前記漏液の収容部の内部空間に設置すると共に、前記漏液センサの設置位置に対し、前記漏液の収容部の内部空間、及び／又は、前記漏液の収容部の上方の空間の少なくとも１つを含む空間範囲以内に、共鳴器を有する発音手段を含む警報手段を設け、前記漏液センサがセンサ異常を検知した場合、少なくとも前記共鳴器を有する発音手段により、前記空間範囲の外側に設置された漏液センサと区別して、当該漏液センサの設置位置が特定可能なように、当該漏液センサのセンサ異常検知を、前記発音手段から出力される可聴周波数の発信音を前記共鳴器により増幅して警報する。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
漏液センサにおいて、
当該漏液センサを前記漏液の収容部の内部空間に設置すると共に、前記漏液センサの設置位置に対し、前記漏液の収容部の内部空間、及び／又は、前記漏液の収容部の上方の空間の少なくとも１つを含む空間範囲以内に、共鳴器を有する発音手段を含む警報手段を設け、
前記漏液センサがセンサ異常を検知した場合、少なくとも前記共鳴器を有する発音手段により、前記空間範囲の外側に設置された漏液センサと区別して、当該漏液センサの設置位置が特定可能なように、当該漏液センサのセンサ異常検知を、前記発音手段から出力される可聴周波数の発信音を前記共鳴器により増幅して警報するようにしたことを特徴とする漏液センサ。
【請求項２】
前記漏液センサと前記共鳴器を有する発音手段とを、一体に形成した請求項項１に記載の漏液センサ。
【請求項３】
前記漏液センサを本体部と蓋部とに分割して構成し、前記共鳴器を有する発音手段を、前記蓋部に一体に形成した請求項１又は２に記載の漏液センサ。
【請求項４】
前記発音手段が、共鳴体を打つことにより発音する手段を含む、及び／又は、ホイッスル又はサイレンを含む、及び／又は、振動することにより発音する手段を含む請求項１乃至３のいずれか１項に記載の漏液センサ。
【請求項５】
前記共鳴器を有する発音手段から発信される可聴周波数の警報音が、周波数が一定又は可変の断続音及び／又は連続音である、音色が一定又は可変の断続音及び／又は連続音である、音の強さが一定又は可変の断続音及び／又は連続音である、音のピッチが一定又は可変の断続音及び／又は連続音である、デュウティイ比が一定又は可変の断続音及び／又は連続音である、又は、これらを組み合わせた警報音を含む請求項１乃至４のいずれか１項に記載の漏液センサ。
【請求項６】
前記警報手段が、警告灯を更に含む請求項１乃至５のいずれか１項に記載の漏液センサ。
【請求項７】
前記警告灯が、パトライト及び／又はLEDを含む請求項６に記載の漏液センサ。
【請求項８】
前記警報手段が、前記発音手段から発信される可聴周波数の警報音の変動に対応して、前記警告灯の明るさを変動せしめるようにした請求項６又は７に記載の漏液センサ。
【請求項９】
前記発音手段から発信される可聴周波数の警報音が、当該センサの漏液異常と当該センサの設置異常とを警報する場合、いずれのセンサ異常か識別可能なように、それぞれ異なる発信音で警報するようにした請求項１乃至８のいずれか１項に記載の漏液センサ。
【請求項１０】
前記漏液センサを、防爆構造で構成した請求項１乃至９のいずれか１項に記載の漏液センサ。
【発明の詳細な説明】【技術分野】
【０００１】
本発明は、水、酸性溶液、アルカリ溶液等の電気的導通を有する液体や、超純水、アルコール、シンナー、ベンジン等の有機性溶液等の絶縁性を有する液体の漏液を検知する漏液センサの改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来工場等の設備では配管により液体を供給している。しかし、配管には多くの個所に接続用の継手が設けられているため継手から液体が漏液する場合が多い。そこで、液体の種類によっては漏液の監視を人間が常時行わなければならなかった。かかる従来の漏液センサとしては、電極間のインピーダンス変化を検知する導電方式の漏液センサや、所望の液体の液量を、所定の容量の液体が供給されたか否か計測する液量計測方式の漏液センサが知られている。又、特許文献１には漏液を吸収すると透明になるフイルタに透光部（光源）より光を照射しておき、漏液があった時に上記フイルタからの透過光又は反射光の受光量の変化量を検知することにより漏液を確実に検知できるようにした光学式漏液センサ技術が記載されている。かかる従来の漏液センサでは、一般に、漏液を検知した漏液検知異常や、センサが所定の空間位置に設置されていない、センサの設置異常を検知すると、これらの異常ステイタス情報をＬＥＤ等の表示手段により警報表示すると共に、接点信号等で外部にデジタル出力するようになっていた。
【０００３】
一方、特許文献２には、複数の漏液センサの電極間インピーダンス等の所望情報を、子機−親機間で通信し、親機側で演算処理した後又はそのまま、親機側の表示手段に表示する漏液監視装置が紹介されており、特許文献２では、漏液等の異常が発生したと判定した場合、その漏液等の警報表示は、映像及び／又は記録手段に表示すると共に、ブザー等の音声でも表示するようになっている。
【０００４】
ところで、（Ａ） 洗浄剤／溶剤として、例えば、２０℃において、６×１０−２Ｎ／ｍ以下である低表面張力を有する液体の漏液を検知する場合であって、特に、塩素や臭素を含まない低分子のクロロフルオロカーボン（ＣＦＣｓ）やハロン等の、表面張力が、２０℃において、３×１０−２Ｎ／ｍ以下である低表面張力を有する液体の漏液２ａを検知する場合には、漏液が非常に薄い層状を形成しながら拡散し、例えば、図６（B）に示すように、かかる漏液層の厚さｄ１が、０．５ｍｍ以下の薄膜層状に均一に素早く拡散すると共に、０．１ｍｍ以下の非常に間隔の狭い空隙部にも、容易に浸透してしまうので、漏液センサ本体を収納するケースのホルダと床面との隙間ｄ２（＜ｄ１）に、先ず漏液が浸透し（図６（C））、ホルダ上面まで漏液が拡散するのに長時間を要し、結果として、小量の漏液検知が全くできなかったり、漏液の検知が遅れるといった問題点が発生した。
【０００５】
（Ｂ） 又、従来、漏液センサは、複数の漏液センサが、その警報デジタル出力をワイヤード・オア演算されて、所定のグループ毎に、一括して、シーケンサや親機等により警報出力されるので、漏液検知異常の警報が出力された場合、実際に、何処に設置したセンサが漏液を検知したのか、プラント等システムの保守側からは、直ちに漏液発生箇所が特定できないといった問題点や、漏液センサが、一般に、床面や漏液収容パン等のシステムの最下部に設置される一方で、その上方空間には、様々なシステム構成部材等が架設される使用環境条件で、漏液センサ自体に取付られたＬＥＤ等の発光式警報表示手段が、漏液異常が発生した場合に、一般には、非常に、視認し難く、漏液発生箇所を容易に特定し難いという問題点もあった。
【０００６】
（Ｃ） 更に、特許文献２等の漏液検知システムでは、一般に、漏液センサを設置する人間と、プラント等のシステムを保守・管理する人間とは、全く完全に関係が無く、漏液センサを設置する人間にとっては、多数の漏液センサを、短時間で、正確に全て所定の位置に設置することが要求されるので、机上の理論としては、センサの設置位置を監視装置に１つづつ登録するという操作を要求することが可能であっても、実際に、４０以上のセンサを、配線ミス無く、正確に登録し、確認することを要求することは１人の作業者では不可能であり、システム構築作業において、複数の作業者で設置作業を実行することは、装置の購入コストをいたずらに暴騰させることとなり、漏液センサの実際の設置作業者からは、まったく、実用にならない技術となっていた。
又、特許文献２の技術では、親機側で演算処理した後又はそのまま、親機側の表示手段に表示するシステム構成なので、親機が故障した場合には、漏液センサが正常に漏液を検知しても、漏液検知異常の警報を全く出力できないという問題点もあった。
【０００７】
更に又、特許文献２の技術では、親機側で演算処理した後又はそのまま、親機側の警報手段により音声メッセージにより漏液異常を通告するシステムなので、漏液発生箇所が音声メッセージの内容に含まれることが必須であると共に、プラント等のシステムを保守・管理する人間にとって、漏液発生場所情報が実際には、空間的にどこの位置に該当するのか、音声場所情報を正確に聞き取り理解できる人でないと、正確な漏液発生箇所の空間位置情報を特定不能であり、特に、派遣社員や人事移動の激しい職場／現場環境では，漏液センサの設置箇所の教育などにかけられる時間／費用等はほとんど皆無であり、新人のオペレータや記憶力／学習能力の十分でないオペレータでは、全く役に立たない警報システムとなってしまうという問題点もあった。
【０００８】
（Ｄ） 又、漏液センサと警報手段とを一体に形成した場合には、漏液センサは、一般に、狭く床面に近い下方設置空間に設置されると共に、作業者の通行空間と干渉しやすいので、センサ全体の床面からの高さは、極力、低いものが望ましい。
【０００９】
【特許文献１】特公平４−７０５７２号公報
【特許文献２】特開２００２−３５０２７５公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
よって本発明は上述のような事情に鑑みて成されたものであり、本発明の目的は、２０℃において、６×１０−２Ｎ／ｍ以下である低表面張力を有する液体の小量の漏液でも、高速に検知することの可能な漏液センサを提供することにある。
【００１１】
又、本発明の目的は、複数の漏液センサが、所定のグループ毎に、一括して制御システムに組み込まれていても、漏液検知異常の警報が出力された場合、実際に、何処に設置した漏液センサが作動して漏液検知したのか、プラント等システムの保守側で、漏液発生の空間位置／箇所が、正確かつ容易に特定可能な漏液センサを提供することにもある。
【００１２】
更に又、本発明の目的は、複数の漏液センサを、所定のグループ毎に、一括して制御システムに設置する場合、１人の作業者でも、多数の漏液センサを、短時間で、正確に全て所定の空間位置に設置することが可能な漏液センサ及び漏液検知システムを提供することにもある。又、制御システムが故障したり、親機が無い場合でも、漏液センサが正常に漏液を検知した場合には、確実に漏液検知異常の警報を出力し、プラント等システムの保守側で漏液発生の空間位置／箇所を、正確かつ容易に特定可能な漏液センサを提供することにもある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、漏液が浸透し得る気体層又は漏液浸透層を介して、前記漏液と接触し得る少なくとも１つの漏液検知部を具えた漏液センサを、少なくとも１つ使用する漏液検知システムに関し、本発明の上記目的は、
前記漏液センサの設置位置に対し、所定の空間範囲以内に、発音手段を含む警報手段を設け、前記漏液センサのセンサ異常を検知した場合、少なくとも前記発音手段により、前記所定の空間範囲の外側に設置された漏液センサと区別して、当該漏液センサの設置位置が特定可能なように、当該漏液センサのセンサ異常検知を可聴周波数の発信音で警報することによって達成される。
【００１４】
又、本発明は、漏液が浸透し得る気体層又は漏液浸透層を介して、前記漏液と接触し得る少なくとも１つの反射境界面と、投光部、受光部及びこれらに結合された制御手段とから成る漏液センサにも関し、本発明の上記目的は、
前記投光部及び受光部を底部が透明材又は半透明材で構成されたケースに収納し一体化すると共に、又は、
前記投光部及び受光部を底部が透明材又は半透明材で構成されたケースに収納し一体化すると共に、該ケース先端に当該漏液センサの床等の設置箇所の表面性状又は表面色からの影響を受けにくくし、かつ、当該ケースの転倒防止を兼ねたケースホルダを装着するようにすると共に、
前記漏液センサの異常検知手段、及び、発音手段を含む警報手段を設け、
前記異常検知手段によりセンサ異常を検知した場合、少なくとも前記発音手段により異常検知を可聴周波数の発信音で警報することによっても達成される。
又、漏液センサにも関し、本発明の上記目的は、
当該漏液センサを前記漏液の収容部の内部空間に設置すると共に、前記漏液センサの設置位置に対し、前記漏液の収容部の内部空間、及び／又は、前記漏液の収容部の上方の空間の少なくとも１つを含む空間範囲以内に、共鳴器を有する発音手段を含む警報手段を設け、
前記漏液センサがセンサ異常を検知した場合、少なくとも前記共鳴器を有する発音手段により、前記空間範囲の外側に設置された漏液センサと区別して、当該漏液センサの設置位置が特定可能なように、当該漏液センサのセンサ異常検知を、前記発音手段から出力される可聴周波数の発信音を前記共鳴器により増幅して警報する
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る漏液検知システムによれば、漏液センサの設置位置に対し、所定の空間範囲以内に、発音手段を含む警報手段を設け、前記漏液センサが当該漏液センサのセンサ異常を検知した場合、少なくとも前記発音手段により、前記所定の空間範囲の外側に設置された他の漏液センサ設置箇所と区別して、当該漏液センサの設置位置が特定可能なように、当該漏液センサのセンサ異常検知をオペレータ等に可聴周波数の発信音で警報／通報することが可能なので、複数の漏液センサを、所定のグループ毎に、一括して制御システム内に設置する場合、１人の作業者でも、多数の漏液センサを、短時間で、正確に全て所定の位置に設置し、かかる設置状態を１人で確認することが、従来のセンサのように床面を１つ１つ覗いて確認することなく実施可能であり、漏液検知システムの信頼性を非常に向上させることができる。
【００１６】
又、本発明の漏液センサ及び漏液検知システムでは、当該システムの親機が不要であり、システムの中継器等が故障した場合でも、漏液センサが単独で作動可能であれば、正常に漏液状態を検知し可聴周波数の発信音で警報することが可能であり、かかる漏液状態を当該漏液センサが検知した場合、確実に漏液検知警報を、所定の空間範囲の外側に設置された他の漏液センサ設置箇所と区別して、当該漏液センサの設置位置が特定可能なように、オペレータ等に可聴周波数の発信音で警報／通報することが可能なので、漏液センサ及び漏液検知システムを保守する場合、複数の同一機能のセンサが並列に配置された半導体製造工程のような混同／誤認の発生しやすい保守環境でも、的確な漏液発生箇所の特定／発見が、警報発信音を頼りに音源に接近していくだけで可能であり、漏液センサの配置マップの学習等の特別な訓練を受けなくても実際に保守する担当者にとって他のセンサと混同／誤認することなく非常に容易に漏液発生箇所を特定／識別可能であり、非常に有用である。
【００１７】
更に、本発明の漏液センサ及び漏液検知システムでは、水、酸性溶液、アルカリ溶液等の電気的導通を有する液体や、超純水、アルコール、シンナー、ベンジン等の有機性溶液等の絶縁性を有する液体の漏液を、小量の漏液量でも確実に検知可能であると共に、２０℃において、６×１０−２Ｎ／ｍ以下である低表面張力を有する液体、特に３×１０−２Ｎ／ｍ以下である低表面張力を有する薄層状液体、即ち、微小量の漏液でも、高速に検知することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明の漏液検知システムでは、漏液が浸透し得る気体層又は漏液浸透層を介して、前記漏液と接触し得る少なくとも１つの漏液検知部を具えた漏液センサを、少なくとも１つ使用する構成となっており、
前記漏液センサの設置位置に対し、所定の空間範囲以内に、発音手段を含む警報手段を設け、前記漏液センサのセンサ異常を検知した場合、少なくとも前記発音手段により、前記所定の空間範囲の外側に設置された漏液センサと区別して、当該漏液センサの設置位置が特定可能なように、当該漏液センサのセンサ異常検知を可聴周波数の発信音で警報すると共に、
前記所定の空間範囲の内側に設置された単独又は複数の漏液センサにより、前記警報手段が共通して利用可能であることが好ましく、更に、当該警報手段の警告灯が容易に視認可能な空間位置に設置されていると、より一段と好ましい。
【００１９】
しかして、本発明の漏液検知システムで使用する漏液センサでは、漏液センサと、発音手段を含む警報手段とを、一体に形成してもよく、及び／又は、漏液センサと、発音手段を含む警報手段とを、分離して設置し、有線及び／又は無線により、漏液センサと発音手段を含む警報手段とを、相互に接続してもよい。
【００２０】
上記漏液センサと、発音手段を含む警報手段とを、一体に形成するシステム構成では、漏液センサの設置位置に警報手段も一体に固定配置されるので、特別な接続番号等の設定操作は一切不要であり、システムの構築が非常に容易で、接続の確認作業も容易であり、かかるシステムの保守・監視作業も、非常に直感的で、理解しやすいシステムを提供することが可能である。
【００２１】
又、上記漏液センサと、発音手段を含む警報手段とを、分離して設置し、有線により、漏液センサと発音手段を含む警報手段とを、相互に接続するシステム構成では、かかる分離した警報手段を当該システムの上部空間で、視認性の良好な位置に設置することが可能であり、システムの調整作業や、保守・管理作業が、誰でも容易にできる利点がある。
【００２２】
更に、上記漏液センサと、発音手段を含む警報手段とを、分離して設置し、無線により、漏液センサと発音手段を含む警報手段とを、相互に接続するシステム構成では、かかる分離した警報手段を当該システムの上部空間で、視認性の良好な位置に設置すると共に、防爆構造の警報手段を提供することができ、揮発性の液体や引火性の液体の漏液検知及び／又は警報・監視処理を、非常に安全かつ確実に実施でき、又、システムの調整作業や、保守・管理作業が、特別なセンサ配置マップ等を学習することなく誰でも容易にできる利点もある。
【００２３】
更に又、本発明の漏液センサの１例では、漏液が浸透し得る気体層又は漏液浸透層を介して、前記漏液と接触し得る少なくとも１つの反射境界面と、投光部、受光部及びこれらに結合された制御手段とから成る漏液センサが利用可能であり、
前記投光部及び受光部を底部が透明材又は半透明材で構成されたケースに収納し一体化すると共に、又は、
前記投光部及び受光部を底部が透明材又は半透明材で構成されたケースに収納し一体化すると共に、該ケース先端に当該漏液センサの床等の設置箇所の表面性状又は表面色からの影響を受けにくくし、かつ、当該ケースの転倒防止を兼ねたケースホルダを装着するようにすると共に、
前記漏液センサの異常検知手段、及び、発音手段を含む警報手段を、所定の空間範囲の外側に設置された他の漏液センサ設置箇所と区別して、当該漏液センサの設置位置が特定可能なように、当該漏液センサのセンサ異常検知を可聴周波数の発信音で警報すると共に、
前記所定の空間範囲の内側に設置された単独又は複数の漏液センサにより、前記警報手段が単独又は共通して利用可能であることが好ましく、更に、当該警報手段が容易に視認可能な空間位置に設置されていると、より一段と好ましい。
【００２４】
本発明に係る漏液センサ及び漏液検知システムについて、以下、図面を参照しつつ説明する。
図１は、本発明の漏液検知システム１ａを塗布現像装置に適用した場合の機械的１構成例を示すブロック図である。
図２は、その漏液検知部（漏液センサ部）を、漏液センサ２０ａと、発音手段を含む警報手段７０ａとを、一体に形成した構成の１例である。
図２（Ａ）は、本発明の漏液センサ２０ａの構造を示す平面図である。
図２（Ｂ）は、その２Ｂ−２Ｂでの、横断面図である。
図２（Ｃ）は、その側面図である。
図３（Ａ）は、その３Ａ−３Ａでの縦断面図である。
図３（Ｂ）は、図２（Ｂ）の拡大図である。
図３（Ｃ）は、その３Ｃ−３Ｃでの横断面図である。
図４（Ａ）は、本発明のホルダ５の平面図である。
図４（Ｂ）は、その中央横断面図である。
図４（Ｃ）は、切断部８ｄを有する薄紙８の平面図である。
図５は、本発明の高速漏液引込手段６の動作原理を示す拡大断面図である。
図６は、本発明の漏液センサ２０ａの信号処理の１構成例を示すブロック図である。
図７は、本発明の防爆型漏液検知システム１ｂの機械的１構成例を示すブロック図である。
図８は、その漏液検知部（漏液センサ部）を、漏液センサ２０ｂと、発音手段を含む警報手段７０ｂとを、分離して設置した構成の１例である。
図９は、本発明の防爆型警報手段７０ｂの信号処理の１構成例を示すブロック図である。
【実施例１】
【００２５】
本発明の漏液検知システムを、半導体ウエハ（以下、ウエハと呼ぶ）の塗布現像装置に適用した場合に関して、図１乃至図６を参照し、以下に説明する。
先ず、図１は、本発明の漏液検知部（漏液センサ）２０ａを、漏液センサ部２０ａと、発音手段７２を含む警報手段７０ａとを、一体に形成して構成した漏液検知システム１ａの１例であり、漏液が浸透し得る気体層又は漏液浸透層を介して、漏液と接触し得る少なくとも１つの漏液検知部（図１では、当該漏液検知部が、少なくとも１つの光学式反射境界面を含む光学式漏液検知部から構成されているが、非絶縁性液体の存在によって電極間インピーダンスが変化する電極対を含む導電式漏液検知部、又は、液量計測式漏液検知部を利用することも可能である）を具えた漏液センサを、少なくとも１つ使用するように構成された（図１の例では、１つであるが、面積の広い同一の底面や床面では、複数の漏液センサを複数箇所に分散して設置することも可能である）漏液検知システム１ａの１例であり、漏液センサ２０ａを、それぞれ、後述する各漏液収容部９８の底面９９に、各漏液収容部がシステムの管理者／保守担当者にとって、区別して空間的に識別可能なように設置し、この設置位置に対し、所定の空間範囲以内（漏液収容部９８の底面上方空間）に、後述する発音手段を含む警報手段７０ａを設け、漏液センサ２０ａのセンサ異常（漏液検知異常やセンサ設置異常）を検知した場合、少なくとも発音手段により、上記所定の空間範囲の外側に設置された他の漏液センサ設置箇所と区別して（各漏液収容部をそれぞれ独立して区別可能なように）、漏液センサの設置位置が容易かつ直接的に特定可能なように、漏液センサのセンサ異常検知を可聴周波数の発信音で警報するようにしたもので、漏液センサ２０ａと警報手段７０ａとは、信号線により接続されると共に、一体に形成され設置されている。
【００２６】
しかして、上記ウエハの塗布現像装置は、ウエハに種々の処理を施す処理機構が配設された処理機構ユニットと、処理機構ユニットにウエハを搬入・搬出するための搬入搬出機構とから一般に構成され、搬入搬出機構は、処理前のウエハを収納するウエハキャリアと、処理後のウエハを収納するウエハキャリアと、ウエハを吸着保持するア−ムと、このア−ムを水平のＸ方向、Ｙ方向及びθ（回転）方向にそれぞれ移動させるためのＸ方向移動機構、Ｙ方向移動機構及びθ方向移動機構と、処理機構ユニットとの間でウエハの受渡しを行う載置台とを有し、又、上記処理機構ユニットには、ウエハとレジスト膜との密着性を向上させるための前処理を行うアドヒ−ジョン塗布機構と、ウエハの上面にレジスト液を塗布する塗布機構８１ａと、塗布機構８１ａでレジスト液を塗布する前のウエハを冷却して所定温度に調整する冷却機構と、ウエハに塗布されたレジスト膜中に残存する溶剤を蒸発させるための加熱処理を行うベ−ク機構と、露光後のレジストを現像処理する現像機構８１ｂとからなる各処理機構が設けられている。更に、処理機構ユニットには、上記の各処理機構８１ａ、８１ｂ等にウエハの搬入／搬出を行うためのア−ムを有する搬送機構が搬送路に沿って配設され、上記のように構成された処理ユニットにおいて、搬入搬出機構から搬入されたウエハは、アドヒ−ジョン塗布機構で前処理された後、冷却処理及び塗布処理され、ベ−ク機構で加熱処理され、又、現像機構８１ｂで現像処理されたりして、その後、搬入搬出機構へ送られ、ウエハキャリアに収納される。かかる構成において、本発明の漏液検知システム１ａを具えた処理液タンク８２から、レジスト液塗布機構８１ａへ、処理液、すなわちレジスト液が供給される。
【００２７】
上記半導体ウエハ処理装置における処理液タンク８２の配置及び処理液用温度制御部８４の配置が、図１に示され、これら処理液タンク８２及び温度制御部８４に、それぞれ漏液検知システム１ａが設けられている。しかして、処理液タンク８２から出た送出導管８３は、塗布機構８１ａに接続され、処理液タンク８２の上部周囲に設けられた外槽８９にも漏液センサを設けることができ、送出導管８３には温度制御ユニット８５が設けられており、それにより塗布機構８１ａに供給される処理液は一定の温度に維持される。温度制御ユニット８５には、温調ユニット８４ａにより一定の温度に制御された温度制御用液である恒温水が循環供給される。温度制御部８４は、恒温水タンク９１と、ポンプ９０及びサーモモジュール８８を有する送り導管８７と、戻し導管８６等からなる温調ユニット８４ａと、熱交換器として構成された温度制御ユニット８５とから構成されている。サーモモジュール８８は、詳細には図示されていないが、ここに制御電流を流すことにより温調水を一定の温度に維持することができる。
恒温水タンク９１には液レベル検出用のフロート９４が設けられており、このフロート９４は、その支持部９５の近くに電気接点９６を有する。この接点９６は図示しない論理回路を介してソレノイドバルブ９７の動作を制御可能に接続されている。この恒温水タンク９１と処理液タンク８２の下方に漏液収容パン９８がそれぞれ独立して配置されており、この漏液収容パン９８の底部９９に漏液検出用漏液センサ２０ａがそれぞれ独立して相互に区別可能なように配置されている。
【００２８】
上記図示しない論理回路は、液量が減少した際にソレノイドバルブ９７を開状態にして温度制御用液（以下に温調液という）を供給するためのものである。切換スイッチは、温調液供給の自動と手動を切換えするために使われる。スイッチの接点が右側に接続されていると、ソレノイドバルブ９７には電流が流れ、バルブが開き、手動にて温調液が補充供給される。スイッチの接点が左側に接続されていると、温調液の供給は自動的に行われる。
タンク９１の液面が低下すると、フロート９４が低下し、接点９６はＯＮになる。この時インバータＡ１の入力は０となり、出力は１（正論理のＨレベル状態）になる。インバータＡ１の出力は、それぞれの遅延回路Ｄ１とＤ２を介してインバータＡ２とＡ３に伝達されるが、遅延回路Ｄ１は約１分の遅延時間を有し、遅延回路Ｄ２は約２秒の遅延時間を有する。従って接点９６がＯＮになってから約２秒後に、インバータＡ４の出力端子に信号１が生じるので、この時トランジスタＴｒがＯＮとなり、ソレノイドバルブ９７に電流が流れる。さらに約１分後にはインバータＡ２の出力が０になるので、トランジスタＴｒは再びＯＦＦとなり、ソレノイドバルブ９７の電流は遮断される。各遅延回路Ｄ１、Ｄ２にはダイオードが設けられており、これら遅延回路Ｄ１、Ｄ２は、０→１の信号を遅延するが、１→０の信号は遅れなく伝達する。従って遅延回路Ｄ１により、ソレノイドバルブ９７が１分以上の期間開くことを防止し、遅延回路Ｄ２により、ソレノイドバルブ９７が液面の波立ち等によってＯＮとＯＦＦを頻繁に繰返すことを防止することができる。
【００２９】
図２は、本発明における発音手段を含む警報手段７０ａを光学式漏液センサ（漏液検出部が光学反射面で構成された漏液センサ）２０ａと一体に形成した構成を拡大して示す１例であり、漏液センサ２０ａは、光源手段１４ａ及び受光手段１６を、底部１２ｄが透明材又は半透明材で構成されたケースに収納し一体化したケース１２と、当該ケースを装着するケースホルダ５とで構成され、漏液収容部９８の漏液検出対象底面（漏液センサを直接、建物等の床面に設置する場合には、設置用床面をさす）９９に、ネジ／釘等の固定部材により固定設置されるか、図示しない他の固定手段により漏液収容部９８の所定の漏液検知箇所に固定されると共に、表面張力が、２０℃において、６×１０−２Ｎ／ｍ以下である低表面張力の漏液を、所定の隙間及び所定の断面形状の毛管現象を発現しうる空隙部を利用して（例えば、隙間１ｍｍ以下の平行空隙部、及び／又は、最大隙間１ｍｍ以下で上方に向けて漸次狭くなる楔状空隙部）、重力に抗して、漏液検知用反射境界面の漏液検知位置まで漏液検出対象床面９９から、小量の漏液でも、直接速やかに引き上げ導くための後述する高速漏液引込手段６を、少なくとも１つ設けたもので、
ＡＢＳ樹脂、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリビニルアルコール、メタクリル樹脂、石油樹脂、ポリアミド、ポリ塩化ビニリデン、ポリカーボネート、ポリアセタール、弗素樹脂、ポリイミド、ポリエーテルエステルケトン、ポリフェニレンスルフィド、ポリベンズイミダゾール、ポリシクロオレフィン等の熱可塑性樹脂、又は、フェノール樹脂、尿素樹脂、不飽和ポリエステル、ポリウレタン、アルキド樹脂、メラミン樹脂、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂、則ち、熱可塑性樹脂又は熱硬化性樹脂等の合成樹脂部材／プラスチック部材、又は、ポリアミノ酸、脂肪族ポリエステル、ポリーεーカプロラクトン、ポリビニルアルコール、キトサン、澱粉、セルロース等と汎用性ポリマーとの混合物等の生分解樹脂部材、又は、これらの組合せから成るグループから選択されたもの、
更に、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリアセタール、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリフェニレンエーテル、ポリエーテルエステルケトン、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリレート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリケトンスルフィド、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポリ四弗化エチレン、芳香族ポリエステル、ポリアミノビスマレイミド、トリアジン樹脂等のエンジニアリングプラスチック部材、又は、ガラス、又は、セラミックスを少なくとも１つを含む透明材又は半透明材で構成されたケース底部１２ｄに、図５に示すような凸形状で、その底面１２ｐが漏液収容部９８の漏液検出対象底面９９に直接密着接触可能な漏液検知部の一端を突設して設け、
この検知部には、漏液検出対象底面（又は床面）９９に対して約３５度〜５０度の所定の傾斜角度で平面状の漏液検知用全反射面１２ｍ及び１２ｎを設け、これらの平面状全反射面１２ｍ及び１２ｎは、コーナーキューブと同等の機能を果たすように、全反射面の延長が相互に所定の角度で交差するように形成し、少なくとも１つの光源手段、受光手段及びこれらに結合された制御手段を、上記各反射境界面のそれぞれに対し、同一の側に配設し、上記第１の全反射境界面１２ｍに対しては光源手段から光を投射し、第１の全反射境界面１２ｍからの反射光を第２の全反射境界面１２ｎに投射し、第２の全反射境界面１２ｎからの反射光を受光手段で受光し、その出力を前記制御手段により演算処理して漏液を検知するため、
先ず、漏液検知用の第１の光学系を形成する光源手段１４ａからの投射光２２ｕが、全反射面１２ｍに上方から下方に全反射面１２ｍで所定の臨界角以上で全反射するように、透明材又は半透明材１２ｄの屈折率に応じた所定の入射角で照射され、その反射光２２ｖが全反射面１２ｎに投射され、全反射面１２ｎからの全反射光２４ｕが、透明材又は半透明材１２ｄの屈折率に応じた所定の受光角度でＣＣＤやＭＯＳ型ホトダイオード等から成る光電変換素子の受光手段１６で受光され、かかる光学経路を伝搬した漏液検知光が電気信号に変換され、その出力が、例えば、図６に示すようなマルチプレクサ３１を介して、所定のサンプリング周期毎にＡ／Ｄ変換手段３２によりデジタル信号に変換され、マイクロプロセッサ（ＭＰＵ）３６を含み漏液検知手段１８を兼ねた制御手段３０内の、バッファメモリ３４に順次書込まれ、デジタル処理されたり、受光手段１６のアナログ出力が、直接、図示しないアナログ比較器等から成るアナログ演算手段に入力され、アナログ回路から構成された検知手段１８を兼ねた制御手段３０内で、所定の基準レベルと比較し、反射光量の大小により漏液の有無をアナログ処理することも可能である。
【００３０】
しかして、漏液センサ２０ａの内部で演算処理され生成された漏液の有無を示す漏液検知情報は、外部出力設定器３３及び信号線２６を介して（設定器３３内部のディップ・スイッチ等で特定されたＰＮＰ出力又はＮＰＮ出力の外部出力形式で）外部にディジタル出力されると共に、かかる外部出力情報とは独立して作動する警報手段、例えば、共鳴体を打つことにより発音する手段を含む発音手段、及び／又は、ホイッスル又はサイレンを含む発音手段、及び／又は、振動することにより発音する手段（例えば、圧電ブザー等）、及び／又は、振動することにより発音する手段とこれに結合された共鳴手段とを含む発音手段７２を、少なくとも１つ具えた警報手段７０ａにも出力され、更に警報手段７０ａには、警告灯２９も接続するのが好ましく、当該漏液検知箇所を他の漏液検知箇所と区別して、初心者でも可聴周波数の発信音で直接認知可能なように、保守人に警報・通知するようになっている。
上記光源手段／投光手段としては、ＬＥＤや赤外線発光素子、半導体レーザ、投光用光ファイバ等が利用可能であり、又、発音手段７２を含む警報手段７０ａと漏液センサ２０ａとを、一体に形成して構成した漏液検知システム１ａでは、上記光源手段１４ａ、受光手段１６、警告灯２９、検知手段１８、発音手段７２への駆動電力を供給制御する警報手段７０ａの制御部７００、及び／又は、制御手段３０等は、遮光材を兼ねた回路基板７に、一体に形成し、固定するのが好ましい。尚、警報手段７０ａの電気的制御部７００の内部には、有線又は無線の通信手段７０２を設けることが好ましく、かかる通信手段７０２により、発音手段７２のオン−オフ制御や出力発信音の音量制御、発音手段７２のリセット操作等が外部からの遠隔操作指令を介して実行できると、漏液発生後の保守・復旧作業が、確実／迅速に実施でき好ましい。
【００３１】
しかして、警報手段７０ａの電気的制御部７００は、制御手段３０に兼用させることが可能であり、その固定台７１は、回路基板７にネジ等の固定具により固定されると共に、その上面に、圧電振動素子（例えば、京都府にある株式会社村田製作所の圧電振動素子ＰＫＬＣＳ１２１２Ｅ４００１−Ｒ１）等からなる発音手段７２が振動可能な状態で、所定の位置に固定され、その上面に、中空下部の内側下面に振動伝達面７４が形成され、警報手段７０ａの本体部をなす円筒殻体７３が、光学式漏液センサ２０ａの上部円周周縁部に形成された嵌合凹部溝に、下端周縁部に形成された嵌合凸部７８を介してワンタッチ着脱可能に一体形成され、円筒殻体７３の中空上部は蓋部７６と共に発音手段７２の共鳴器７５を形成し、更に、円筒殻体７３の中空上部側壁及び／又は蓋部７６には、発音手段７２の共鳴音を放射する窓部７７が単独、又は、複数個形成されるようになっている。尚、上記窓部７７は、殻体７３の上面に形成するよりは側面に形成するのが、漏液が直接共鳴器７５の内部に流入することを防止でき好ましい。
更に、共鳴器７５は、透明材及び／又は半透明材で構成すると、回路基板７の上面に配設した警告灯２９の点灯状態が外部から直接観測可能となり好ましい。
【００３２】
又、上記実施例では、警報手段７０ａを漏液センサ本体のケース１２と一体に形成する構成で説明したが、警報手段７０ａの発音手段の振動源／振動部は、ホルダ５側に設けることも可能であり、又、ケースとホルダとの２箇所に分散させて形成することも可能である。又、上記共鳴手段／共鳴器も、ケース１２側に配設する構成の他か、ホルダ５側に配設したり、ケースとホルダとの２箇所に分散させて配置・形成することも可能であり、更に又、後述するように、漏液センサの設置箇所とは分離した上方の所定の空間位置に、別途、有線・無線の通信手段を介して設置することも可能である。
尚、共鳴手段／共鳴器を、ケース１２側及びホルダ５側の２箇所に分散させて配置・形成すると、保守点検／漏液発生後の復旧作業時に、本体ケース１２をホルダ５から取り外した場合、警報音の音量を低減でき、復旧作業等での不要な高い警報音を減らすことができ好ましい。

【００３３】
次に、ケース１２の漏液検出対象底面９９に対する浮き／傾斜が発生していないか平行度をチェックする設置異常検知手段４として第２の光学系が、上記第１の漏液検知用光学系とは、独立して設けられ、この第２の光学系では、光源手段１４ｃからの投射光がケース底部１２ｄを屈折・透過して上方より薄紙８に向かって投射され、ホルダ５の中空部を有するリング状枠体５ａの内周部に、内側リング中心方向に向かって、突起部５ｈが枠体５ａと一体に形成され、この突起部５ｈの上面に、光の吸収材／透光材で形成された薄紙載置平面５ｊが形成され、かかる平面５ｊの上に薄紙８の一部分が載置され、第３の光学的反射（境界）面である薄紙８に対し、ケース底部１２ｄの臨界角未満の入射角で光２２ｚが照射され、薄紙に屈折して投射され、その反射光２４ｚが受光手段１６ｃにより受光され、上述と同様にして電気信号に変換されて制御手段３０に入力されるようになっている。尚、光源手段１４ｃと受光手段１６ｃとの間に、光源手段１４ｃから受光手段１６ｃへ直接入射する投射光の遮光材１２ｑを充填／形成するのが好ましく、これとは別に、上記第１の光学系と第２の光学系とを光学的に分離するために、第１及び第２の光学系の間にも、遮光材１２ｑを充填／形成するのが好ましい。
【００３４】
又、制御手段３０は、漏液の有無判定手段（漏液検知手段）と、ケースの設置異常判定手段と、警報手段７０ａの制御部７００とを兼ねて動作せしめることが可能であり、又、ケース１２の底面（又は床面）９９に対する平行度をチェックする設置異常検知手段４は、上記例では、光学式設置異常検知手段であるが、この他に、磁石や静電容量の変化を利用した設置異常検知手段も利用可能である。
【００３５】
又、ケース底部１２ｄの内側には、金属箔等の遮光材を貼着することも可能であり、かかる遮光材は、ケース底部の光の照射面及び受光手段近傍の反射光受光面を除いた空間範囲に配設すると、床面が白色又は鏡面で構成された床面に漏液が浸入した場合でも、受光手段が不要な床面からの反射光を受光しない光学的効果がある。更に、制御手段３０で処理した漏液の検知出力や設置異常等のセンサ異常情報は外部にケーブル２６を介して電気信号として出力されると共に、更にケース１２の回路基板７の上面に設けられた表示手段２９にも、緑色／赤色切換点灯可能なＬＥＤ等により警告表示されるようになっている。
尚、ホルダ５の外径がケース１２の外径の１．３倍以上の大きさのものを使用した方が、センサ２０ａの転倒防止の面から好ましく、ケーブル２６の腰が強い場合、ケース１２を単独で設置すると、ケース１２が容易に転倒しやすいので、通常は、ケース１２を挿入したホルダ５を漏液検出対象底面９９にネジ等の固定材によりしっかりと固定し、更に／又は、建物や装置等の側壁や側面６１からケース１２を固定するためのアーム状の圧接手段６０をケース側面部に延設し、その一端６２をネジ、釘等の固定材６４により建物６１側に固定すると共に、他端６６をケース側面部に圧接し、ケース１２の転倒防止を図ってもよい。
【００３６】
又、ケース底部１２ｄと漏液検出対象底面９９との間隔ｄ４は、検知する液体の粘度／表面張力に対応して種々のものに変更できることが好ましいが、地震や重量物の移動等により、反射境界面１２ｍ，１２ｎと漏液検出対象底面９９との角度や間隔が変化すると、漏液センサの漏液有無判定の誤動作の原因となりやすいので、ホルダ５とケース１２とは、後述するようなワンタッチ着脱可能で、かつ、間隔ｄ４が外部の振動に対しても変化しない構造のものが好ましい。又、ホルダ５は遮光材で構成すると、ケース１２の周囲からノイズ光が侵入したり、床面からの不要な反射光の受光を防止する効果がある。又、ホルダ５を使用せず、ケース１２を単体で漏液センサ２０ａとして使用する場合は、上述の間隔ｄ４が外部の振動に対しても変化しないように、別途設置した圧接手段６０等により底面９９に固定するのが好ましい。尚、上記光源手段１４ｃ、受光手段１６ｃ、及び、表示手段２９等も、遮光材を兼ねた回路基板７に、一体に形成し、固定するのが好ましい。
【００３７】
次に、漏液検知用投射光２２ｕの全反射面１２ｍへの照射位置は、全反射面１２ｍの部位であって漏液検出対象底面９９に近い下方の位置が好ましく、ケース１２の底部に設けられた凸形状の漏液検知部底面１２ｐ等は、図４（Ｃ）に示すような切断線条８ｄを所定箇所に形成した薄紙８に対する密着シート押さえとして利用可能である。又、光源手段１４ａと受光手段１６との間に、光源手段１４ａから受光手段１６へ直接入射する投射光の遮光材１２ｑを充填／形成するのが好ましい。
【００３８】
しかして、ケース１２全体は、本発明の主として中央中空部を有するリング状枠体５ａから成るホルダ５（図４（Ａ），（Ｂ））に挿入／装着により嵌合されて固定されるようになっており（図２）、枠体５ａの漏液検出対象底面９９に対向する底面５ｂ（図４（Ｂ））は、漏液検出対象底面９９から所定の間隔ｄ５（通常２ｍｍ〜５ｍｍの範囲の空隙部が形成できる間隔が好ましい）を保って略平行に形成され、ケース１２の底部１２ｄに、凸形状で底面１２ｐが薄紙８を挟持して底面９９に直接密着接触する漏液検知部が突設して設けられているので（（図２（Ｂ），図５）、漏液検出対象底面９９に薄膜状に拡散する低表面張力の漏液２ａを、中央中空部に拡散した漏液検出対象底面９９から直接検出することが可能であり、一方、ホルダ５は、リング中心から外側方向の外周部に設けられた単一又は複数箇所の突起子５ｃに形成された貫通穴５ｄを利用して、底面９９にクギ／ネジ等の固定材により固定してもよいし、突起子５ｃの扇状底面に接着剤を貼着し底面９９に密着して接着固定してもよい（図４）。又、固定せず、単に漏液検出対象底面９９に移動自在に載置しておくだけでもよい。更に、建物や装置等の側壁や側面６１からケース１２を固定するためのアーム状の圧接手段６０をケース側面部に延設し、その一端６２を固定部材６４により建物６１側に固定する（図８）と共に、他端６６をケース側面部に圧接し、ケース１２の転倒防止を図ってもよい。
【００３９】
更に、図２の例では、光源手段１４ａ，１４ｃ及び受光手段１６、１６ｃを、底部１２ｄが透明材又は半透明材で構成されたケース内部に収納し一体化したケースの1例となっており、ケース１２を装着するケースホルダ５とケース１２とで高速漏液引込手段６を構成するようになっており、その構成（図５）は、例えば、枠体５ａの内周部に、内側リング中心方向に向かって、先端部５ｆが楔状の矩体突起部５ｅを、枠体５ａと一体に形成し、この突起部５ｅは、漏液検知用投射光の吸収材／透光材で形成するのが好ましく、突起部５ｅの底面５ｇは、漏液検出対象底面９９と密着せず、漏液検出対象底面９９との間に、所定の隙間ｄ６＝１ｍｍ以下（好ましくは、０．９ｍｍ以下、より好ましくは、０．５ｍｍ以下）の平行空隙部ｄ６を形成し、２０℃で、６×１０−２Ｎ／ｍ以下である低表面張力の漏液２ａを、平行空隙部ｄ６の毛管現象を利用して、漏液検出対象底面９９に対向する底面５ｇに、高速に拡散せしめるようになっており、又、底面５ｇの一端で突起部５ｅの先端部５ｆは、ケース１２の全反射面１２ｍとの間に、所定の隙間ｄ７＝１ｍｍ以下（好ましくは、０．９ｍｍ以下、より好ましくは、０．５ｍｍ以下）の平行空隙部ｄ７を形成し、及び／又は、下端部の最大隙間ｄ７＝１ｍｍ以下（好ましくは、０．９ｍｍ以下、より好ましくは、０．５ｍｍ以下）で上方に向けて漸次狭くなる楔状空隙部ｄ７を形成し、かかる空隙部ｄ７の毛管現象を利用して、２０℃で、６×１０−２Ｎ／ｍ以下である低表面張力の漏液２ａを、重力に抗して、漏液検知用反射境界面１２ｍの所定の漏液検知位置の上方まで底面９９から、小量でも、直接速やかに引き上げ導くようになっている。
【００４０】
尚、空隙部ｄ７には、切断片８ｄを有する漏液検知用薄紙８の一部分を介挿させることも可能であり、低表面張力の漏液２ａを検知する速度は、実験によると、薄紙８が空隙部ｄ７に介在させてあっても、無くても、ほぼ同程度の検知速度であった。又、ケース１２全体は、リング状枠体５ａの上面内周部に複数箇所立設して設けられた嵌合係止部５ｎに挿入／装着により嵌合されて、回転自在に固定されるようになっており（図２（Ａ），（Ｂ））、係止部５ｎの先端部５ｐには、斜め上方にテーパ面を形成し、ケース１２の着脱操作が、ワンタッチで可能な構造が好ましい（図４（Ｂ））。
【００４１】
かかる構成において漏液センサ２０ａの動作を図３（Ｃ）及び図５を参照して説明すると、先ず、ケース１２がホルダ５や圧接手段６０により、しっかりと漏液検出対象底面９９に固定されていない場合には、ケース１２とホルダ５とが、浮いたり、斜めに傾斜したり、転倒した設置異常状態となり、このため光学式設置異常検知手段４の投射光／反射光の光学経路２２ｚ／２４ｚが正常な位置に形成できず、光源手段１４ｃの投射光２２ｚは、本体部１２ｄの光学的反射境界面１２ａから空気等の気体層に透過／拡散して、反射部材（薄紙８）に到達しないか、又は、所定の角度以上に曲げられて投射され、その反射光２４ｚは、ほとんど受光手段１６ｃに到達しなくなるので、大幅に受光量の減少した受光手段１６ｃの出力を検知手段１８により正常な反射光レベルと比較することにより、容易に漏液センサ２０ａの設置異常が検知され、ＭＰＵ等からなる制御手段３０を介して設置異常アラーム信号（又はエラーコードＥＲ−Ａ）が、外部出力設定器３３に設定されたＰＮＰ出力又はＮＰＮ出力のディジタル出力形式でケーブル２６を介して外部に出力され、更に、図示しない電源制御部により、光源手段１４ａ，１４ｃ及び受光手段１６、１６ｃへの電源供給が停止され、漏液センサ２０ａはエラー待機状態となる。
【００４２】
この時点で、設置異常検知手段４から警報手段７０ａに上記設置異常アラーム信号とは独立して可聴周波数の警報発信信号を出力し、発音手段７２の振動が共鳴器７５により増幅されて空中に放射され、設置異常アラーム信号で警告されたオペレータ（通常、保守室等で待機している）は、警報発生現場に急行した場合に、直ちに、何処の箇所に設置された漏液センサの設置異常が発生しているか、従来のように、１つ１つ床面や漏液収容部の底面を点検する必要がなく、発音手段７２及び共鳴器７５から発信される可聴周波数の警報音を頼りに発音源に近づけば、極めて容易に、当該設置異常箇所を他の漏液センサ設置箇所と区別して特定可能である。尚、発音手段７２及び共鳴器７５から発信される警報音は、周波数が一定又は可変の断続音及び／又は連続音である、音色が一定又は可変の断続音及び／又は連続音である、音の強さが一定又は可変の断続音及び／又は連続音である、音のピッチが一定又は可変の断続音及び／又は連続音である、デュウティイ比が一定又は可変の断続音及び／又は連続音である、又は、これらを組み合わせた警報音を含む発信音が利用可能である。
更に、警報手段７０ａでは、警告灯／表示手段２９をエラー（赤色）点灯させることが可能であるが、発音手段７２から発信される可聴周波数の警報音の変動に対応して、警告灯２９の明るさを変動せしめることも可能であり、その対応関係は、警報音の変動に同期させて明るさや発光波長等を変動させてもよいし、それぞれ独立に変動させてもよい。
【００４３】
かかるアラーム信号の出力されない通常の正常設置された状態では、電源制御部から、光源手段１４ａ，１４ｃ及び受光手段１６、１６ｃへ電源が供給され、漏液センサ２０ａは作動状態となり、いかなる漏液も存在しない場合には、図３（Ｃ）に示すように光学式設置異常検知手段４の投射光／反射光の光学経路２２ｚ／２４ｚが正常な位置に形成され、光源手段１４ｃからの投射光２２ｚが、ホルダ底面５ｊに載置された反射材（薄紙８）の反射面で反射され、その反射光２４ｚが受光素子１６ｃに入力され、その出力を検知手段１８により正常な反射光レベルと比較することにより、容易に漏液センサ２０ａの正常設置状態が検知される。
又、漏液検知用光学系を形成する光源手段１４ａからの投射光２２ｕが、第１の全反射面１２ｍに上方から下方に全反射面１２ｍで所定の臨界角以上で全反射するように、透明材又は半透明材１２ｄの屈折率に応じた所定の入射角で照射され、その全反射光２２ｖが第２の全反射面１２ｎに投射され、全反射面１２ｎからの全反射光２４ｕが、透明材又は半透明材１２ｄの屈折率に応じた所定の受光角度で受光手段１６により受光され、かかる光学経路を伝搬した漏液検知光が光電変換素子により電気信号に変換され、その出力が、検知手段１８を兼ねた制御手段３０内で、デジタル処理されたり、受光手段１６のアナログ出力が、直接、アナログ比較器等から成るアナログ演算手段に入力され、アナログ回路から構成された検知手段１８を兼ねた制御手段３０内で、アナログ処理される。尚、漏液が存在しない場合には、上記例では、何れの受光手段でも正常な受光量が検知され、受光量の低下現象は発生しない。
【００４４】
次に、２０℃で、６×１０−２Ｎ／ｍ以下である低表面張力の漏液２ａが、漏液検出対象底面９９に薄膜状に拡散してきた場合には、高速漏液引込手段６の一部を形成する矩体突起部５ｅの底面５ｇに対向する漏液検出対象底面９９の領域まで、液位ｄ１の漏液２ａが拡散してきた時点で、漏液検出対象底面９９と底面５ｇとの間に形成された平行空隙部ｄ６により、空隙部ｄ６の間隔と漏液２ａの液位ｄ１との長さを、略同程度の長さ、又は、液位ｄ１＞間隔ｄ６の長さに設定しておくと、空隙部ｄ６の毛管現象を利用して、漏液２ａが平行空隙部ｄ６に急速に引き込まれ（図５の２ａ１）、漏液２ａが底面５ｇに接触すると共に、漏液検出対象底面９９に対向する底面５ｇ全体に、高速に拡散される。
【００４５】
その後、底面５ｇの一端で、突起部５ｅの先端部５ｆの一端を形成する最下端部まで漏液２ａが拡散すると（図５の２ａ２）、漏液２ａは、更に、ケース１２の全反射面１２ｍと先端部５ｆとで形成された平行空隙部ｄ７の一端に到達し、空隙部ｄ７は、所定の隙間ｄ７で漏液２ａの毛管現象が発現するように設定されているので、漏液２ａの漏れ量が小量であっても、重力に抗して、漏液検知用反射境界面１２ｍの所定の漏液検知位置より上方まで、漏液検出対象底面９９から直接速やかに引き上げ導かれる（図５の２ａ３）。かくして、漏液２ａが、漏液検知用反射境界面１２ｍの所定の漏液検知位置を上方に通過すると、光源手段１４ａからの投射光２２ｕの大半の光は、全反射面１２ｍで全反射せず、底部１２ｄ及び全反射面１２ｍを、大略直進し、更に、空隙部ｄ７に充満した漏液２ａを屈折直進した後、投射光の吸収材／透光材で形成された矩体突起部５ｅ及び空隙部ｄ６に充満した漏液２ａ中を大略直進して、漏液検出対象底面９９で反射され、全反射面１２ｎと反対方向に伝搬・進行する。
【００４６】
従って、漏液検知用光学経路の一部を形成する全反射面１２ｍで全反射し、その後全反射面１２ｎでも全反射された光２４ｕが、受光手段１６で受光される光量は、大幅に低下し、その出力を制御手段３０により演算処理して、小量の漏液２ａが、漏液検出対象底面９９に薄く拡散し始めた非常に初期の段階で、非常に高速に検知することができる。又、低表面張力の漏液２ａが、漏液検出対象底面９９に一度に大量に漏れだした場合には、ケース１２の外周は全て漏液２ａで水浸しになり、かつ、漏液検知用反射境界面１２ｎの所定の漏液検知位置も漏液２ａ中に水没するので、光源手段１４ａからの投射光２２ｕが、全反射面１２ｍで全反射され、その全反射光２２ｖが全反射面１２ｎに投射されても、漏液２ａのために全反射面１２ｎで全反射せず、直ちに、全反射面１２ｎを大略直進し、更に、空隙部ｄ４に充満した漏液２ａの中を屈折直進した後、ケース１２の外周方向に拡散・放射され、受光手段１６の設置位置と全く関係ない方向に伝搬・進行する。従って、漏液検知用光学経路の一部を形成する全反射面１２ｎで全反射された光２４ｕが、受光手段１６で受光される光量は、大幅に低下し、その出力を制御手段３０により演算処理して漏液２ａの大量発生を、非常に初期の段階で、非常に高速に検知することができる。
かくして、漏液検知手段１８を兼ねた制御手段３０により、漏液２ａが検出されると、表示手段２９を正常（緑色）点灯からエラー（赤色）点灯させると共に、外部出力設定器３３に設定されたＰＮＰ出力又はＮＰＮ出力のディジタル出力形式で、ケーブル２６を介して外部に漏液検知信号をディジタル出力する（漏液検知エラーコードＥＲ−Ｂ）。
【００４７】
この時点で、漏液検知部１８から警報手段７０ａに、外部にディジタル出力される漏液検知信号とは別に警報音発信信号が出力されると、発音手段７２が駆動され、例えば、圧電素子等による振動により生成された発振音が共鳴器７５により共鳴増幅されて空中に放射されるので、保守監視室等で待機しているオペレータは、漏液検知信号ＥＲ−Ｂで漏液の発生が警告された後、警報発生現場に急行した場合に、直ちに、何処の箇所に設置された漏液センサが漏液を検知したのか、従来のように、１つ１つ床面や漏液収容部の底面を点検する必要がなく、発音手段７２及び共鳴器７５から発信される増幅警報音を頼りに発音源に近づけば、極めて容易に、当該漏液発生箇所を他の漏液センサ設置箇所と区別して特定可能である。
尚、発音手段７２及び共鳴器７５から発信される警報音は、周波数が一定又は可変の断続音及び／又は連続音である、音色が一定又は可変の断続音及び／又は連続音である、音の強さが一定又は可変の断続音及び／又は連続音である、音のピッチが一定又は可変の断続音及び／又は連続音である、デュウティイ比が一定又は可変の断続音及び／又は連続音である、又は、これらを組み合わせた警報音を含む発信音が利用可能である。
更に、警報手段７０ａでは、警告灯／表示手段２９をエラー（赤色）点灯させることが可能であるが、発音手段７２から発信される可聴周波数の警報音の変動に対応して、警告灯２９の明るさを変動せしめることも可能であり、その対応関係は、警報音の変動に同期させて明るさや発光波長等を変動させてもよいし、それぞれ独立に変動させてもよい。
更に、発音手段７２から漏液検知時に放射される警報発信音は、ケースの設置異常時に放射される警報発信音と同一音でなく、いずれのセンサ異常か識別可能なように相互に区別可能な異なる発信音が好ましく、かかる相互に区別可能な異なる発信音としては、例えば、警報発信音の音量を変更する、警報発信音の音色を変更する、警報発信音の周波数を変更する、警報発信音のデューティ比を変更する、警報発信音を連続音と断続音とで出力する、又は、これらの組合せた発信音とする等、種々の組合せが利用可能である。
【００４８】
次に、２０℃で、６×１０−２Ｎ／ｍ以上の表面張力の漏液２が、漏液検出対象底面９９に拡散してきた場合には、漏液検出対象底面９９とケース底部１２ｄとの間に形成された平行空隙部ｄ４に、薄紙８が介挿されているので、液位ｄ３の漏液２が、薄紙８の外周部又は一部に接触した（図５）直後に、漏液２が薄紙８の全面に浸透／拡散し、漏液２が薄紙８を介して全反射面１２ｎ近傍まで急速に引き込まれる。かくして、漏液２が、漏液検知用反射境界面１２ｎの所定の漏液検知位置に到達すると、光源手段１４ａからの投射光２２ｕは、全反射面１２ｍで全反射され、その全反射光２２ｖが全反射面１２ｎでは、漏液２のために全反射せず、全反射面１２ｎを、大略直進し、更に、漏液２の浸透した薄紙８の中を屈折直進した後、漏液検出対象底面９９で反射され、受光手段１６の設置位置と全く関係ない方向に伝搬・進行する。従って、漏液検知用光学経路の一部を形成する全反射面１２ｎで全反射された光２４ｕが、受光手段１６で受光される光量は、大幅に低下し、その出力を制御手段３０により演算処理して漏液２を、底面９９に薄く拡散し始めた非常に初期の段階で、非常に高速に検知することができる。
【００４９】
又、一度に大量の漏液２が発生した場合には、ケース１２の外周は全て漏液２で水浸し、かつ、漏液検知用反射境界面１２ｎの所定の漏液検知位置も漏液２中に水没するので、光源手段１４ａからの投射光２２ｕが、全反射面１２ｍが漏液２中に水没している場合には、全反射せず全反射面１２ｍを大略直進し、更に、空隙部ｄ７に充満した漏液２の中を屈折直進し、全反射面１２ｎと全く関係ない方向に伝搬・進行したり、又は、
全反射面１２ｍで全反射され、その全反射光２２ｖが全反射面１２ｎに投射された場合には、漏液２のために全反射面１２ｎでは全反射せず、直ちに、全反射面１２ｎを大略直進し、更に、空隙部ｄ４に充満した漏液２の中を屈折直進した後、漏液検出対象底面９９で反射され、受光手段１６の設置位置と全く関係ない方向に伝搬・進行する。
従って、一度に大量の漏液２が発生した場合には、漏液検知用光学経路の一部を形成する全反射面１２ｎで全反射された光２４ｕが、受光手段１６で受光される光量は、漏液２が存在しない場合と比較すると、大幅に低下し、その出力を制御手段３０により演算処理して、漏液２の大量発生を、非常に初期の段階で、非常に高速に検知することができる。
かくして、漏液検知手段１８を兼ねた制御手段３０により、漏液２ａ又は漏液２が検出されると、表示手段２９をエラー点灯させると共に、ケーブル２６を介して外部に漏液の有無をディジタル出力する（漏液検知エラーコードＥＲ−Ｂ）。
【００５０】
と同時に、漏液検知手段１８から警報手段７０ａに警報音発信信号を出力し、発音手段７２の振動が共鳴器７５により共鳴増幅されて空中に放射され、漏液検知信号ＥＲ−Ｂで警告された保守監視室のオペレータ等は、漏液発生現場に急行した場合、直ちに、何処の箇所に設置された漏液センサが漏液を検知したのか、従来のように、１つ１つ床面や漏液収容部の底面を点検する必要がなく、共鳴増幅し放射された警報音発信箇所に近づくことにより、極めて容易に、当該漏液発生箇所を他の漏液センサ設置箇所と区別して容易に特定可能である。
【００５１】
尚、上述の受光処理で受光手段として１次元又は２次元のアレイセンサを使用する場合には、複数の各受光素子のＡ／Ｄ変換後のデジタル出力をダブルバッファメモリ３４に書込んだ後、ＭＰＵ３６等により以下の処理を行なうと良い。
ａ）各受光素子２８ｉ（ｉ＝ａ〜ｎ）の感度補正を行なった後、受光パターンを移動平均処理等により平滑化する。
ｂ１）平滑化した受光パターンの明暗のピーク位置を演算し、この位置が漏液無し範囲内にあるか否かで漏液の有無を判定する。
ｂ２）平滑化した受光パターンＲ（ｊ）の反射光量の輝度分布の重心ＸＧを次式により演算し、この重心位置が、漏液無し範囲内にあるか否かで漏液の有無を判定する。
ＸＧ＝ΣＲ（ｊ）・ｊ／Σｊ （ｊ=１からｎ） ・・・（１）
但し、Ｒ（ｊ）：受光レベル 、ｊ＝１からｎ：受光位置
【００５２】
ｂ３）予め、反射光の明暗パターンの、波形立上り部分及び／又は、波形ピーク部分、及び／又は、波形立下り部分等を、漏液有りの反射光パターンの中から切出してテンプレートメモリ３５等に、漏液テンプレートパターンＴ（ｊ）として登録しておき、このテンプレートパターンＴ（ｊ）と類似した波形位置を、平滑化した受光パターンＲ（ｊ）の中で相関値ＣＲ（ｍ）の演算をすることにより求める。
例えば、漏液無し位置より所定の距離（ｍｔｈ）以上離れた位置（ｍ＞ｍｔｈ）で、かつ、所定の類似度Ｔｈｃｒ以上テンプレート波形と類似した明暗パターンＣＲ（ｍ）が検出された場合、漏液有りと判定し、それ以外の場合には漏液無しと判定する。
ｃ）かくして、漏液検知手段１８を兼ねた制御手段３０により、ｂ１）からｂ３）の演算の中から、所望の演算又は組合わせた演算により、漏液２が検出されると、ケーブル２６を介して外部に漏液の有無をディジタル出力する（漏液検知エラーコードＥＲ−Ｂ）。
尚、上述のｂ１）及びｂ２）の処理では、レンズ、凹面鏡等の集光手段により広く反射光を集めることにより、最小限２箇所の受光部（素子）により、漏液の有無演算が実行できる。又、ｂ３）の相関演算では、最小限４〜８箇所の異なる位置からの受光部（受光素子）による反射光データの収集が好ましい。
【００５３】
更に又、漏液センサ２０ａでは、ケース１２とホルダ５との間に、薄紙８を介挿しているので、漏液検出対象底面９９に拡散してきた漏液２が、薄紙８を順次浸透して、薄紙８を透明層に変換しながら拡散し、リング状枠体５ａの内周側に設けられた突起部５ｈの上面に形成された載置平面５ｊまで漏液２が浸透し拡散すると、第３の光学的（反射）境界面である薄紙８に対し、ケース底部１２ｄから照射された光２２ｚが、薄紙８の表面では反射せず、そのまま漏液の浸透した薄紙８の中を直進し、更に、光の吸収材／透光材で形成された載置平面５ｊの内部に、所定の屈折角で直進するので、受光手段１６ｃにより受光される反射光２４ｚの光量が大幅に減少し、ケースの設置異常検知手段４としての制御手段３０が作動し、ケースの設置異常エラーとしても、漏液２が検知可能である。従って、漏液検知用の第１の光学系が故障して正常に動作しない場合でも、ケースの設置異常エラーとして、漏液２が検知可能となり、センサのエラー検知機能を、一段と向上させることができる。
【００５４】
かくして、図２（Ｂ）及び図５の漏液センサ２０ａは、漏液が浸透し得る気体層ｄ６、ｄ７又は漏液浸透層（例えば、図５では、漏液収容部９８の漏液検出対象底面９９とケース底面１２ｐとに挟持された薄紙８の一部）を介して、前記漏液と接触し得る少なくとも１つの漏液検知用反射境界面１２ｍ，１２ｎと、光源手段１４ａ、受光手段１６及びこれらに結合された制御手段３０とから成る漏液センサの一種であり、気体層ｄ６又は漏液浸透層（ｄ４又は漏液検出対象底面９９と底面１２ｐとに挟持された薄紙８）の漏液収容部９８の底面９９に対向する面の一部又は全体を、直接、漏液検出対象底面９９側に開放し（図５の例では、気体層ｄ６は、床面側全体）、又は、気体層又は漏液浸透層の一部として床面を構成せしめ（例えば、図５では、漏液収容部９８の漏液検出対象底面９９とケース底面１２ｐとに挟持された薄紙８の一部）、更に、表面張力が、２０℃において、６×１０−２Ｎ／ｍ以下である低表面張力の漏液２ａを、所定の隙間ｄ０及び所定の断面形状の毛管現象を発現しうる空隙部を利用して、重力に抗して、漏液検知用反射境界面１２ｍまで漏液収容部９８の漏液検出対象底面９９から、小量でも、直接速やかに引き上げ導くための高速漏液引込手段６を、少なくとも１つ具え、光源手段１４ａの投射光２２ｕを漏液検知用反射境界面１２ｍに照射し、反射境界面１２ｍからの反射光を受光手段１６で受光し、その出力を制御手段３０により演算処理して、低表面張力の漏液２ａの有無を速やかに判定できるようにした漏液センサということができる。
【００５５】
又、図２（Ｂ）及び図５の漏液センサ２０ａは、漏液に接触し得る少なくとも２つの漏液検知用全反射境界面１２ｍ，１２ｎを、気体層ｄ６、ｄ７又は漏液浸透層（例えば、図５では、漏液収容部９８の漏液検出対象底面９９とケース底面１２ｐとに挟持された薄紙８の一部）を介在させて形成し、少なくとも１つの光源手段１４ａ、受光手段１６及びこれらに結合された制御手段３０を、各反射境界面のそれぞれに対し、同一の側に配設し、第１の全反射境界面１２ｍに対しては光源手段１４ａから光２２ｕを投射し、第１の全反射境界面１２ｍからの反射光２２ｖを第２の全反射境界面１２ｎに投射し、第２の全反射境界面１２ｎからの反射光２４ｕを受光手段１６で受光し、その出力を制御手段３０により演算処理して漏液を検知するようにした漏液センサの一種であり、気体層ｄ６，ｄ７又は漏液浸透層の漏液検出対象底面９９に対向する面の一部又は全体を、直接、漏液検出対象底面９９側に開放し、又は、気体層又は漏液浸透層の一部として漏液収容部９８の底面９９側を構成せしめ、更に、表面張力が、２０℃において、６×１０−２Ｎ／ｍ以下である低表面張力の漏液２ａを、所定の隙間ｄ０及び所定の断面形状の毛管現象を発現しうる空隙部を利用して、重力に抗して、漏液検知用反射境界面１２ｍまで漏液検出対象底面９９から、小量でも、直接速やかに引き上げ導くための高速漏液引込手段６を、少なくとも１つ具え、低表面張力の漏液２ａの有無を、小量の漏れ量でも、速やかに判定できるようにした漏液センサということもできる。
【００５６】
尚、上記毛管現象を発現しうる空隙部の所定の隙間ｄ０としては、低表面張力の漏液２ａを、小量、漏液収容部９８の漏液検出対象底面９９に垂らした場合の、図１（Ｃ）に示す漏液２ａの厚さｄ１と同等の長さ、又は、これより小さい（ｄ０＜ｄ１）長さであって、漏液２ａの毛管現象を安定的に発現可能な長さが好ましく、又、上記毛管現象を安定的に発現しうる空隙部の所定の断面形状としては、例えば、隙間ｄ０以下の平行空隙部断面、及び／又は、最大隙間ｄ０以下で上方に向けて漸次狭くなる楔状空隙部断面等が利用可能であり、毛管現象を安定的に発現しうる断面形状であれば、いかなる形状のものでも利用可能である。
【実施例２】
【００５７】
次に、図１乃至図６に対応させて示す図７乃至図９は、本発明の漏液検知部（漏液センサ部）を、漏液センサ本体２０ｂと、発音手段を含む警報手段７０ｂとを、分離して設置した漏液検知システム１ｂ及び１ｃの別の１実施例を示すものであり、それぞれ同一の番号を付した装置は同一の機能を果たすと共に、図７の漏液検知システム１ｂでは、漏液センサ２０ｂと、分離設置された警報手段７０ｂとが、無線を介して信号が中継された防爆型漏液検知システム１ｂとなっており、又、漏液検知システム１ｃでは、漏液センサ２０ｂと、分離設置された警報手段７０ｂとが、有線を介して中継された防爆型漏液検知システム１ｃとなっている。
【００５８】
更に、防爆型漏液検知システムでは、図８に示すように危険空間に設置される漏液センサ部（漏液検知部）２０ｂと、安全な空間に設置され電気回路を構成する制御部３９とが物理的に分離して設置されると共に、ケース１２側のみで高速漏液引込手段６ｂを構成し、かつ、漏液検知部２０ｂ側には電気配線を完全に無くし、電気的発火／引火の事故が絶対発生しない防爆構造を実現すると共に、ホルダ５を不要とし、センサケース単体で作動可能なように構成したもので、光ファイバ等の第１の光伝送手段４０ａ、４０ｃにより、遠隔地の安全地帯に設置された制御部３９内に別途隔離して設けられた光源手段１４から、投射光２２ｘ，２２ｚを、それぞれ、光伝送手段４０ａ、４２ａにより、漏液検知部２０ｂまで伝送し、反射境界面１２ｍ，１２ｎへの光の投受光を行なう第１の光学系（１４−４０ａ−１２ｍ−１２ｎ−４２ａ−１６）を形成し、光伝送手段４０ｃ、４２ｃにより、後述する高速漏液引込手段６ｂの上面に形成された反射載置面５ｊ（この例では、面５ｊは、薄紙８を利用しないので光反射材（白色又は鏡面）を使用するのが好ましい）への光の投受光を行なう第２の光学系（光学式設置異常検知手段４ｂの光学経路：１４−４０ｃ−５ｊ−４２ｃ−１６ｃ）を形成するようにしたため、漏液検知用液体２／２ａが揮発性で引火、爆発の危険がある場合でも、極めて安全に漏液検知ができるようにしたものである。
【００５９】
則ち、上述の第１の光学系では、遠隔地に設けられた光源手段１４からの照射光の一部が、光伝送手段４０ａによりケース１２内に導かれ、全反射を生ずるような臨界角以上の所定の角度で、ケース底部の反射境界面１２ｍへ投射光２２ｕとして照射され、反射境界面１２ｎで更に全反射され、その反射光２４ｕは、光伝送手段４２ａにより受光され、遠隔地に設けられた制御部３９内の受光素子１６に伝送され、マルチプレクサ３１、ＡＤ変換手段３２、ダブルバッファ３４を介して検知手段１８を兼ねた制御手段３０に入力されるようになっている。
又、上述の第２の光学系では、遠隔地に設けられた光源手段１４からの照射光の他の一部が、光伝送手段４０ｃによりケース１２内に導かれ、臨界角以内又は臨界角以上の所定の角度で、反射部材５ｊへ投射光２２ｚとして照射され、その反射光２４ｚは光伝送手段４２ｃにより受光され、遠隔地に設けられた受光素子１６ｃに伝送され、マルチプレクサ３１、ＡＤ変換手段３２、ダブルバッファ３４を介して検知手段１８を兼ねた制御手段３０に入力されるようになっている。更に、ケース１２の底部は、透明材又は半透明材からなる透過光部材１２ｄを基材として構成し、その外側を光の照射面及び反射面／受光面を除いて遮光性の合成樹脂等の遮光材で被覆又は構成し、透過光部材１２ｄと一体成形するのが好ましく、かかる遮光部材を使用すると、ホルダ５がなくても周囲ノイズ光の影響を受けにくく、又漏液浸入時に漏液検出対象となる床面が白色又は鏡面であっても、不要な反射光を床面から受光しないような光学的構造が実現できる。
【００６０】
しかして、制御部３９では、受光手段１６及び１６ｃにより、漏液検知面の反射光量が絶えずチェックされ、図８の例では、所定の反射光量が検出されない場合、漏液を検知した、又は、設置異常が発生したと判定され、異常検知信号が、従来と同様に有線２６を介して外部の制御部に出力されると共に、ワイヤレスＬＡＮ等を含む無線通信手段３７を介して、異常検知信号が後述する警報手段７０ｂの無線受信手段７９ｃに伝送されるようになっている。
又、漏液センサ２０ｂでは、ホルダ５を使用せず、ケース１２を単体で漏液センサとして使用するので、建物や装置等の側壁や側面６１からケース１２を固定するためのアーム状の圧接手段６０をケース上蓋に延設し、その一端６２を固定部材６４により建物６１側に固定すると共に、他端６６をケース上部に圧接し、ケース１２の転倒防止を図るのが好ましい。
【００６１】
更に図８の例では、ケース１２側のみで高速漏液引込手段６ｂを構成するようになっており、その構成は、例えば、ケース底部１２ｄと漏液検出対象底面９９との間に、ケース１２の中心方向に向かって、先端部１２ｖが楔状の矩体突起部１２ｕを、ケース底部１２ｄに対して、透明材又は半透明材で構成し、かつ、本体部１２ｄと高速漏液引込手段６ｂとに折曲／分割可能な一体成形された合成樹脂材で構成するようになっている。この突起部１２ｕは、漏液検知用投射光の吸収材／透光材で形成するのが好ましく、突起部１２ｕの底面１２ｗは、漏液検出対象底面９９と密着せず、底面９９との間に、所定の隙間ｄ６＝１ｍｍ以下（好ましくは、０．９ｍｍ以下、より好ましくは、０．５ｍｍ以下）の平行空隙部ｄ６を形成し、２０℃で、６×１０−２Ｎ／ｍ以下である低表面張力の漏液２ａを、平行空隙部ｄ６の毛管現象を利用して、漏液検出対象底面９９に対向する底面１２ｗに、高速に拡散せしめるようになっており、又、底面１２ｗの一端で突起部１２ｕの先端部１２ｖは、ケース１２の全反射面１２ｍとの間に、所定の隙間ｄ７＝１ｍｍ以下（好ましくは、０．９ｍｍ以下、より好ましくは、０．５ｍｍ以下）の平行空隙部ｄ７を形成し、及び／又は、下端部の最大隙間ｄ７＝１ｍｍ以下（好ましくは、０．９ｍｍ以下、より好ましくは、０．５ｍｍ以下）で上方に向けて漸次狭くなる楔状空隙部ｄ７を形成し、かかる空隙部ｄ７の毛管現象を利用して、２０℃で、６×１０−２Ｎ／ｍ以下である低表面張力の漏液２ａを、重力に抗して、漏液検知用反射境界面１２ｍの所定の漏液検知位置の上方まで漏液検出対象底面９９から、小量でも、直接速やかに引き上げ導くようになっている。
【００６２】
かかる一体成形用の合成樹脂部材としては、一般の熱可塑性プラスチック樹脂や熱可塑性エラストマーが利用でき、熱可塑性プラスチック樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレ−ト、非晶性ポリエチレンテレフタレ−ト、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン等が使用でき、また、一体成形用の熱可塑性エラストマーとしては、ポリブタジエン樹脂が使用可能である。
具体的には、ケース底部は、本体部１２ｄと高速漏液引込手段６ｂとがヒンジで連結されて一体に形成され、本体部１２ｄと高速漏液引込手段６ｂとが外周縁でＶ字状の溝部により連結され、合成樹脂材、すなわち、熱可塑性プラスチック樹脂または熱可塑性エラストマーにより一体成形されるようになっており、Ｖ字状の溝部を介して、全反射面１２ｍ側に折曲すると、面１２ｖの先端部側に形成した所定の高さｄ７の複数の小突起を介して空隙部ｄ７を形成し、又、高速漏液引込手段６ｂの面１２ｗ側に形成された所定の高さｄ６の複数の小突起を介して、折曲した場合に漏液検出対象底面９９との間で空隙部ｄ６を形成すると共に、反発力を生成する開閉機構を構成するようになっている。従って、ケースの本体部１２ｄと高速漏液引込手段６ｂとを全反射面１２ｍ側に折曲して、ケース１２の設置面に対して略水平状態に閉じたときには、自重または外部からの圧接手段６０により本体部１２ｄと高速漏液引込手段６ｂとが空隙部ｄ７を形成した状態を維持でき、かつ、光学式設置異常検知手段４ｂの光学経路の一部を形成するようになっている。則ち、水平な漏液検出対象底面９９にケース１２を設置した場合は、ケース１２の設置面は、水準器等から規定される基準水平面に対し水平／平行となる。
【００６３】
次に、図９を参照して、分離設置した防爆型警報手段７０ｂの１構成例を説明すると、制御部３９と共に安全な空間（非危険場所）に分離設置された電源７９ａからツェナーバリア７８ａを介して、危険場所に分離設置された警報手段７０ｂに所定の電源が供給され、又、当該警報手段７０ｂを別途設置された他の警報手段７０ｂ等と区別し識別するための識別番号設定手段７９ｄ（例えば、ディップ・スイッチ等から成る）の出力が制御部７９ｂに入力され、更に、警報手段７０ｂでは、制御部７９ｂに、制御部３９から漏液を検知した場合又は設置異常が発生したと判定された場合に、無線通信手段３７から出力される異常検知信号を受信する無線受信手段７９ｃが設けられ、スイッチ手段７９ｅを介してツェナーバリア７８ａからの電源電力が出力駆動手段７９ｈに供給されると、赤色ＬＥＤ等から構成されたパトライト等の警告灯７９ｋを点灯駆動すると共に、発音手段７２、共鳴器７５等を介して異常発生警告音が空中に放射されるようになっている。
かかる漏液センサ２０ｂと、発音手段７２を含む警報手段７０ｂとを、分離して設置し、無線により、漏液センサ２０ｂと警報手段７０ｂとを、相互に接続する構成では、かかる分離した警報手段７０ｂを、漏液検知システム１ｂの上部空間で、漏液収容部９８の水平断面を略鉛直上方に延長して形成される上部空間内で、他の漏液収容器９８と識別可能なように所定の距離（例えば、２ｍ以内、より好ましくは、１．５ｍ以内、更に好ましくは、１ｍ以内）だけ相互に分離した視認性の良好な上部空間位置に設置するのが好ましく、かかる防爆構造の警報手段７０ｂを利用すると、揮発性の液体や引火性の液体の漏液検知及び／又は警報処理を、非常に安全かつ確実に実施でき、又、システムの調整作業や、保守・監視作業が、特別な訓練を受けなくても誰でも容易にできる利点もある。
【００６４】
かかる構成において、その動作を次に説明すると、図５の高速漏液引込手段６と、図８の高速漏液引込手段６ｂとでは、高速漏液引込手段６及び６ｂの構成が、薄紙８を使用せず、又、光学経路の一部に、投光／受光用の光伝送手段が、それぞれ、追加されている点を除いては、全く同様であるから、その動作も、基本的に全く同様である。
具体的には、先ず、光学式設置異常検知手段４ｂでは、光源手段１４ー光伝送手段４０ｃからの投射光２２ｚが、高速漏液引込手段６ｂの上面に設けられた反射材５ｊに、臨界角未満の入射角で照射され、その反射光２４ｚが光伝送手段４２ｃー受光手段１６ｃにより受光され、電気信号に変換されて制御手段３０に入力されるようになっている。尚、白色または鏡面状等の反射材５ｊに基づく反射面は、突起部１２ｕの上面に設けることが可能であり、突起部１２ｕに接着、溶融、圧入して形成するようにし、又は、突起部１２ｕの上面に凸凹の反射面を刻設して、投射光２２ｚの反射面を形成してもよい。
【００６５】
一方、ケース１２の本体部１２ｄと突起部１２ｕとが所定の間隔で空隙部ｄ７を形成していない場合は、上記ヒンジ機構から生成される反発力により、本体部１２ｄと突起部１２ｕとが、浮いたり、斜めに傾斜したり、転倒した設置異常状態となり、本体部１２ｄと突起部１２ｕとが間隔ｄ７以上に開いた状態を維持できる開閉機構が予めケース１２には付勢されており、このため設置異常状態では、正常な第２の光学経路が形成されず、投射光が空気等の気体層に拡散し、上述の光学式設置異常検知手段４ｂの投射光および反射光の光学経路２２ｚ／２４ｚが、正常な位置に形成できず、容易にケース１２の設置異常が検知され、非危険地帯に設けられた制御部３９では、ＭＰＵ等からなる制御手段３０を介して設置異常アラーム信号（又はエラーコードＥＲ−Ａ）がケーブル２６により外部にディジタル出力され、漏液センサ２０ｂはエラー待機状態となる。
【００６６】
この時点で、更に、設置異常検知手段４ｂから非危険地帯に設けられた制御部３９内の無線通信手段３７により設置異常検知信号が無線信号で放射され、危険地帯に設けられた警報手段７０ｂ内の受信手段７９ｃによりこの無線異常検知信号が受信されると、制御部７９ｂでは、スイッチ手段７９ｅを介してツェナーバリア７８ａからの供給電力が出力駆動手段７９ｈに供給され、パトライト等の警告灯７９ｋが点灯駆動されると共に、発音手段７２、共鳴器７５等を介して異常発生警告音が外部に放射される。尚、複数の漏液センサ２０ｂにより共通の警報手段７０ｂを共同して利用する場合や、近くの空間に警報手段７０ｂが複数個設置されている場合には、かかる複数の警報手段７０ｂを相互に区別するために、通信手段３７から放射される無線異常信号の中に、各警報手段を特定する識別番号等を付加して、上記無線検知信号を出力するのが好ましい。かかる識別番号は、制御部７９ｂにより自動的に抽出され、設定手段７９ｄから出力される識別番号と比較して、当該警報手段７０ｂが選択されたか否かが判定される。
【００６７】
かくして、識別番号等で警報手段７０ｂが特定されると、当該警報手段７０ｂの出力駆動手段７９ｈにより、発音手段７２が駆動され、その振動が共鳴器７５により増幅されて空中に放射され、別途処理された設置異常アラーム信号２６で警告されたオペレータは、直ちに、何処の箇所に設置された漏液センサの設置異常が発生しているか、従来のように、１つ１つ床面や漏液収容部の底面を点検する必要がなく、警報発生現場に急行した場合に、極めて容易に、共鳴増幅された漏液源警告発信音を頼りに、当該設置異常検出箇所を他の漏液センサ設置箇所と区別して特定可能である。
【００６８】
かかるアラーム信号の出力されない通常の正常設置状態では、漏液センサ２０ｂは作動状態となり、いかなる漏液も存在しない場合には、光学式設置異常検知手段４ｂの投射光／反射光の光学経路２２ｚ／２４ｚが正常な位置に形成され、光源手段１４ー光伝送手段４０ｃからの投射光２２ｚが、突起部１２ｕの反射面５ｊで反射され、その反射光２４ｚが、光伝送手段４２ｃを介して伝送され、受光素子１６ｃに入力され、その出力を検知手段１８により正常な反射光レベルと比較することにより、容易に漏液センサ２０ｂの正常設置状態が検知される。
更に、漏液検知用光学系を形成する光源手段１４ー光伝送手段４０ａからの投射光２２ｕが、第１の全反射面１２ｍに上方から下方に全反射面１２ｍで所定の臨界角以上で全反射するように、透明材又は半透明材１２ｄの屈折率に応じた所定の入射角で照射され、その全反射光２２ｖが第２の全反射面１２ｎに投射され、全反射面１２ｎからの全反射光２４ｕが、透明材又は半透明材１２ｄの屈折率に応じた所定の受光角度で、光伝送手段４２ａの一端で受光され、光伝送手段４２ａを介して受光手段１６に伝送され、かかる光学経路を伝搬した漏液検知光が光電変換素子１６により電気信号に変換され、その出力が、検知手段１８を兼ねた制御手段３０内で、デジタル処理されたり、受光手段１６のアナログ出力が、直接、アナログ比較器等から成るアナログ演算手段に入力され、アナログ回路から構成された検知手段１８を兼ねた制御手段３０内で、アナログ処理される。尚、漏液が存在しない場合には、上記例では、何れの受光手段でも正常な受光量が検知され、受光量の低下現象は発生しない。
【００６９】
次に、２０℃で、６×１０−２Ｎ／ｍ以下である低表面張力の漏液２ａが、漏液検出対象底面９９に薄膜層状に拡散してきた場合には、高速漏液引込手段６ｂの一部を形成する矩体突起部１２ｕの底面１２ｗに対向する漏液検知対象底面９９の領域まで、液位ｄ１の漏液２ａが拡散してきた時点で、漏液検知対象底面９９とケース底面１２ｗとの間に形成された平行空隙部ｄ６により、空隙部ｄ６の間隔と漏液２ａの液位ｄ１との長さを、略同程度の長さ、又は、液位ｄ１＞間隔ｄ６の長さに設定しておくと、空隙部ｄ６の毛管現象を利用して、漏液２ａが平行空隙部ｄ６に急速に引き込まれ（図５の２ａ１）、漏液２ａが底面１２ｗに接触すると共に、漏液検出対象底面９９に対向するケース底面１２ｗ全体に、高速に拡散される。
【００７０】
その後、底面１２ｗの一端で、突起部１２ｕの先端部１２ｖの一端を形成する最下端部まで漏液２ａが拡散すると（図５の２ａ２）、漏液２ａは、更に、ケース１２の全反射面１２ｍと先端部１２ｖとで形成された平行空隙部ｄ７の一端に到達し、空隙部ｄ７は、所定の隙間ｄ７で漏液２ａの毛管現象が発現するように設定されているので、漏液２ａの漏れ量が小量であっても、重力に抗して、漏液検知用反射境界面１２ｍの所定の漏液検知位置より上方まで、漏液検出対象底面９９から直接速やかに引き上げ導かれる（図５の２ａ３）。かくして、漏液２ａが、漏液検知用反射境界面１２ｍの所定の漏液検知位置を上方に通過すると、光源手段１４からの投射光２２ｕの大半の光は、全反射面１２ｍで全反射せず、底部１２ｄ及び全反射面１２ｍを、大略直進し、更に、空隙部ｄ７に充満した漏液２ａを屈折直進した後、投射光の吸収材／透光材で形成された矩体突起部１２ｕ及び空隙部ｄ６に充満した漏液２ａ中を大略直進して、漏液検出対象底面９９で反射され、全反射面１２ｎと反対方向に伝搬・進行する。従って、漏液検知用光学経路の一部を形成する全反射面１２ｍで全反射し、その後全反射面１２ｎでも全反射された光２４ｕが、光伝送手段４２ａの一端で受光され、光伝送手段４２ａを介して受光手段１６に伝送される受光光量は、大幅に低下し、その出力を制御手段３０により演算処理して、小量の漏液２ａが、漏液検出対象底面９９に薄く拡散し始めた非常に初期の段階で、非常に高速に検知することができる。
【００７１】
又、低表面張力の漏液２ａが、漏液検出対象底面９９に一度に大量に漏れだした場合には、ケース１２の外周は全て漏液２ａで水浸しになり、かつ、漏液検知用反射境界面１２ｎの所定の漏液検知位置も漏液２ａ中に水没するので、光源手段１４からの投射光２２ｕが、全反射面１２ｍで全反射され、その全反射光２２ｖが全反射面１２ｎに投射されても、漏液２ａのために全反射面１２ｎで全反射せず、直ちに、全反射面１２ｎを屈折して大略直進し、更に、空隙部ｄ４に充満した漏液２ａの中を屈折直進した後、漏液検出対象底面９９で反射され、光伝送手段４２ａの設置位置と全く関係ない方向に伝搬・進行する。従って、漏液検知用光学経路の一部を形成する全反射面１２ｎで全反射された光２４ｕが、光伝送手段４２ａの一端で受光される光量は、大幅に低下し、光伝送手段４２ａを介して受光手段１６に伝送される受光出力を制御手段３０により演算処理して漏液２ａの大量発生を、非常に初期の段階で、非常に高速に検知することができる。
かくして、漏液検知手段１８を兼ねた制御手段３０により、漏液２ａ及び／又は漏液２が検出されると、ケーブル２６を介して外部に漏液の有無をディジタル出力する（漏液検知エラーコードＥＲ−Ｂ）。
【００７２】
この時点で、更に、漏液検知手段１８／３０から非危険地帯に設けられた制御部３９内の無線通信手段３７により漏液検知エラー信号が放射され、危険地帯に設けられた警報手段７０ｂ内の受信手段７９ｃによりこの漏液エラー検知信号が受信されると、制御部７９ｂでは、スイッチ手段７９ｅを介してツェナーバリア７８ａからの供給電力が出力駆動手段７９ｈに供給され、パトライト等の警告灯７９ｋがエラー点灯駆動されると共に、発音手段７２、共鳴器７５等を介して共鳴増幅された異常発生警告音が外部に放射される。尚、複数の漏液センサ２０ｂにより共通の警報手段７０ｂを共同して利用する場合や、近くの空間に警報手段７０ｂが複数個設置されている場合には、かかる複数の警報手段７０ｂを相互に区別するために、通信手段３７から放射される無線異常信号の中に、警報手段を特定する識別番号等を付加して、上記無線検知信号を出力するのが好ましい。かかる識別番号は、制御部７９ｂにより自動的に抽出され、設定手段７９ｄから出力される識別番号と比較して、当該警報手段７０ｂが選択されたか否かが判定される。
【００７３】
かくして、識別番号等で警報手段７０ｂが特定されると、当該警報手段７０ｂの出力駆動手段７９ｈにより、発音手段７２が駆動され、その振動が共鳴器７５により共鳴増幅されて空中に放射され、別途処理された漏液検知エラー信号で警告されたオペレータは、直ちに漏液発生現場に急行した場合に、共鳴増幅された警報音発信源に接近していくことにより、何処の箇所に設置された漏液センサの設置異常が発生しているか、従来のように、１つ１つ床面や漏液収容部の底面を点検する必要がなく、極めて容易に、当該漏液発生箇所を他の漏液センサ設置箇所と区別して特定可能である。
【００７４】
次に、２０℃で、６×１０−２Ｎ／ｍ以上の表面張力の漏液２（図６（Ｄ）に示すような）が、漏液検出対象底面９９に拡散してきた場合には、図８の例では、液位ｄ３の漏液２が底面９９とケース底部１２ｄとの間に形成された平行空隙部ｄ４に拡散していっても、薄紙８が介挿されていないので、そのまま漏液検出対象底面９９を全反射面１２ｎの方向に拡散していく。かくして、漏液２が、漏液検知用反射境界面１２ｎの所定の漏液検知位置に到達すると、光源手段１４ー光伝送手段４０ａからの投射光２２ｕは、全反射面１２ｍで全反射され、その全反射光２２ｖが全反射面１２ｎでは、漏液２のために全反射せず、全反射面１２ｎを屈折し、大略直進し、更に、漏液２の中を屈折直進した後、漏液検出対象底面９９で反射され、光伝送手段４２ａの一端が設置されている所定の位置と全く関係ない方向に伝搬・進行する。従って、漏液検知用光学経路の一部を形成する全反射面１２ｎで全反射された光２４ｕが、光伝送手段４２ａの一端で受光される光量は、大幅に低下し、光伝送手段４２ａを介して伝送される受光手段１６の出力を制御手段３０により演算処理して、漏液２が漏液検出対象底面９９に薄く拡散し始めた非常に初期の段階で、非常に高速に検知することができる。
【００７５】
又、一度に大量の漏液２が発生した場合には、ケース１２の外周は全て漏液２で水浸し、かつ、漏液検知用反射境界面１２ｎの所定の漏液検知位置も漏液２中に水没するので、光源手段１４ー光伝送手段４０ａからの投射光２２ｕが、全反射面１２ｍで全反射され、その全反射光２２ｖが全反射面１２ｎに投射されても、漏液２のために全反射面１２ｎでは全反射せず、直ちに、全反射面１２ｎを屈折し大略直進し、更に、空隙部ｄ４に充満した漏液２の中を屈折直進した後、漏液検出対象底面９９で反射され、光伝送手段４２ａの一端が設置されている位置と全く関係ない方向に伝搬・進行する。従って、漏液検知用光学経路の一部を形成する全反射面１２ｎで全反射された光２４ｕが、光伝送手段４２ａを介して受光手段１６で受光される光量は、大幅に低下し、その出力を制御手段３０により演算処理して、漏液２の大量発生を、非常に初期の段階で、非常に高速に検知することができる。
かくして、漏液検知手段１８を兼ねた制御手段３０により、漏液２ａ又は２が検出されると、ケーブル２６を介してオペレータ等に警告するため、外部に漏液の有無をディジタル出力する（漏液検知エラーコードＥＲ−Ｂ）。尚、上述の受光処理では、レンズ、凹面鏡等の集光手段により広く反射光を集めることにより、受光手段（素子）１６、１６ｃの感度を向上させることも可能である。
【００７６】
この時点で、更に、漏液検知手段１８／３０から非危険地帯に設けられた制御部３９内の無線通信手段３７により無線漏液検知エラー信号が放射され、危険地帯に設けられた警報手段７０ｂ内の受信手段７９ｃによりこの無線漏液エラー検知信号が受信されると、制御部７９ｂでは、スイッチ手段７９ｅを介してツェナーバリア７８ａからの供給電力が出力駆動手段７９ｈに供給され、パトライト等の警告灯７９ｋが点灯駆動されると共に、発音手段７２、共鳴器７５等を介して共鳴増幅された可聴周波数の異常発生警告音が外部に放射される。かくして、識別番号等で警報手段７０ｂが特定されると、当該警報手段７０ｂの出力駆動手段７９ｈにより、発音手段７２が駆動され、その振動が共鳴器７５により増幅されて空中に放射され、別途処理された漏液検知エラー信号で警告されたオペレータは、直ちに、何処の箇所に設置された漏液センサの設置異常が発生しているか、従来のように、１つ１つ床面や漏液収容部の底面を点検する必要がなく、警報発生現場に急行した場合に、極めて容易に、当該漏液発生箇所を他の漏液センサ設置箇所と区別して特定可能である。
【００７７】
従って図８に示すような構造の漏液センサ２０ｂによれば、漏液センサ２０ｂを漏液検出対象底面９９に置くだけで、ホルダ４、５や薄紙８がなくても外来光の影響をほとんど受けずに、かつ、漏液２ａや２が、ホルダ４の上面まで到達する以前の、漏液検出対象底面９９に小量だけ流出した漏液流出の初期段階で、素早く漏液を検出することができる利点がある。又、漏液検知部には電気信号が一切流れないので、揮発性の漏液に対しても、極めて安全に検出処理を行なうことができ、一度に大量の漏液が流出しても、この漏液を２重、３重にチェックして検出し、漏液検出処理の信頼性を一段と向上させることができると共に、光伝送手段４０／４２の長さを変更することにより、光源手段１４並びに受光手段１６、１６ｃ等と、反射境界面１２ｍ／１２ｎ等との物理的距離を所望の可変距離に変更することができる。
【００７８】
又、ケースの本体部１２ｄと突起部１２ｕとが所定の間隔ｄ６，ｄ７を保持できない状態では、光学式設置異常検知手段４ｂの光学経路が所定の位置に形成されず、ヒンジ機構から生成される反発力により、本体部１２ｄと突起部１２ｕとが、浮いたり、斜めに傾斜したり、転倒した設置異常状態となり、本体部１２ｄと突起部１２ｕとが開いた状態を維持できる開閉機構により、投射光の反射経路が大きく曲げられるので、設置異常状態が容易に検知することができ、漏液エラーと設置異常エラーとを区別して検知すると共に、伝送したり、対処することができる。
尚、図８の漏液センサ２０ｂでも、図５と同様に薄紙８を使用することは可能である。
【００７９】
上記実施例では、レジスト液塗布機構８１ａへ供給されるレジスト液の漏液及びレジスト液用温調液の漏液の検出について説明したが、現像機構８１ｂへ供給される現像液の漏液及び現像液用温調液の漏液の検出にも、同様にして上記説明の通り、適用することができる。又、エッチング処理、洗浄処理等にも適用できる。更に、上記各処理液を一時貯留するタンクからの漏液の検出にも適用できる。上記漏液の原因としては、例えば、各液タンクの破損、供給系の故障によるオーバーフロー、配管部等からの漏れ、排出系の故障によるオーバーフロー等があげられる。
【００８０】
尚、上記実施例では本発明の処理装置を半導体ウエハの塗布現像装置に適用した場合について説明したが、必ずしもこの装置にされるものではなく、半導体ウエハのその他の処理装置やＬＣＤ基板、ガラス基板あるいはＣＤ／ＤＶＤ基板等の処理装置にも適用できることは勿論である。本発明の漏液検知システムによれば、上記のように構成されているので、処理液や温度制御用液の漏液を正確かつ安全に検知することができ、漏液による周辺部の汚染や腐食等を防止することができる。又、漏液発生を検知した場合、空間的に何処の箇所から漏液が漏れているのか、共鳴増幅された可聴周波数の警告発信音により直感的に理解できるので、メンテナンスが容易となり、処理装置の処理効率の向上を図ることができる。

尚、上記高速漏液引込手段は、ホルダ側のみでも、光学的に構成することは可能である。又、防爆構造の漏液センサでなくても、図７に示すように、漏液センサ部と、警報手段とを無線通信手段により、相互に接続することは可能である。

【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】本発明の漏液検知システム１ａを塗布現像装置に適用した場合の機械的１構成例を示すブロック図である。
【図２】本発明の漏液検知部を、漏液センサ２０ａと、発音手段を含む警報手段７０ａとを、一体に形成した構成の１例である。
【図３】その断面図及び拡大図である。
【図４】本発明のホルダ５の１構成例を示す図である。
【図５】本発明の高速漏液引込手段６の動作原理を示す拡大断面図である。
【図６】本発明の漏液センサ２０ａの信号処理の１構成例を示すブロック図である。
【図７】本発明の防爆型漏液検知システム１ｂの機械的１構成例を示すブロック図である。
【図８】その漏液検知部を、漏液センサ２０ｂと、警報手段７０ｂとを、分離して設置した構成の１例である。
【図９】本発明の防爆型警報手段７０ｂの信号処理の１構成例を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００８２】
１ａ、１ｂ、１ｃ 漏液検知システム
２，２ａ 漏液
４ 設置異常検知手段
５ ホルダ
５ｓ，５ｔ、１２ｍ，１２ｎ 光学的境界面
６、６ｂ 高速漏液引込手段
８ 薄紙
ｄ、ｄ１〜ｄ８ 空隙部
１２ ケース
１４、１４ｂ 光源手段
１６、１６ｃ 受光手段
２０ａ、２０ｂ 漏液センサ
２２ｕ、２２ｚ 投射光
２４ｕ、２４ｚ 反射光
３０ 制御手段
３７、７９ｃ 通信手段
３９、７００ 制御部
４０ａ、４０ｃ、４２ａ、４２ｃ 光伝送手段
７０ａ，７０ｂ 警報手段
７２ 発音手段
７５ 共鳴器
７９ｋ 警告灯
９８ 漏液収容部
９９ 底面、床面
【出願人】 【識別番号】０００１３３５８２
【氏名又は名称】株式会社ツーデン
【住所又は居所】神奈川県相模原市東橋本１丁目８番９号
【識別番号】０００２２０２３９
【氏名又は名称】東京応化工業株式会社
【住所又は居所】神奈川県川崎市中原区中丸子１５０番地
【識別番号】０００２１９５６５
【氏名又は名称】東横化学株式会社
【住所又は居所】神奈川県川崎市中原区市ノ坪３７０番地
【出願日】 平成１８年５月２日（２００６．５．２）
【代理人】 【識別番号】１０００７８７７６
【弁理士】
【氏名又は名称】安形 雄三
【公開番号】 特開２００６−３００９５６（Ｐ２００６−３００９５６Ａ）
【公開日】 平成１８年１１月２日（２００６．１１．２）
【出願番号】 特願２００６−１２８１３２（Ｐ２００６−１２８１３２）