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【発明の名称】
プラズマエッチング方法
シリコン基板加工方法、光学素子用金型、光学素子用金型母型、光学素子及び回折格子
半導体構造の製造方法
半導体構造の製造方法
積層体の切断方法、製造装置、製造方法及び積層体
パターン基板の製造方法、凹凸基板の製造方法、及びパターン基板の製造に用いられる型
マイクロ部品の完全アレイ方法、及びアレイシステム装置
統合されたヒータを有するマイクロマシニング型の装置
金属微細構造体の製造方法
金属間材料からなるバネ構造及びバネ構造の製造方法
近接場走査光学顕微鏡を用いた精密加工方法
エッチング方法、振動子および電子機器
半導体装置の個片化方法
微小構造体およびその製造方法
微細構造の製造方法
マイクロマシンの製造方法
吸着防止構造の作製方法
トレンチされたキャビティを有するセンサエレメント
マイクロマシニング型のセンサ素子
微細構造体の製造方法
微細構造体の製造方法
微小構造体の製造方法、および基板
MEMS素子の製造方法及びMEMS素子
微小構造体の配置装置および配置方法
MEMS素子の製造方法およびMEMS素子
基板を封止するための方法およびシステム
集積微小電気機械システムのカプセル封じ部品及びその部品の製造プロセス
マイクロマシニングされたセンサ用懸下部材の製造方法
ゲッターシールドを有する密閉マイクロデバイス
はり構造体製作方法およびはり構造体
機能素子体及びその製造方法
積層体切断方法及び積層体
分離できるインターフェースを形成する方法及びこの方法でマイクロマシン薄膜を製造する方法及びその製品
マイクロ構造体の製造方法
微小電気機械デバイスの製造方法
マイクロアクチュエータ装置等のデバイスの製造方法、並びに、光学装置及び光スイッチ装置
マイクロ構造体の製造方法
細線の製造方法およびそれを用いた電気機械フィルタ
MEMS構造体の製造方法
プラスチックへのマイクロ流路形成方法、及びその方法を利用して製造されたプラスチック製品、バイオチップ
MEMS素子の製造方法
微細構造作製方法及び装置
櫛歯電極対形成方法
電気機械素子の製造方法
電気機械素子の製造方法
デバイスの製造方法
集積化マイクロエレクトロメカニカルシステムおよびその製造方法
型と加工対象物との相対的な変位等を制御可能な加工装置
ナノプリント金型、その製造方法及びこの金型を用いたナノプリント装置並びにナノプリント方法
マイクロデバイス製造用基板及びマイクロデバイスの製造方法
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