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【発明の名称】 滅菌システム
【発明者】 【氏名】宮内 悟
【住所又は居所】東京都港区芝浦４−１３−２３ ＭＳ芝浦ビル 株式会社ダイキンアプライドシステムズ内
【要約】 【課題】処理室（2）内における過酸化水素の濃度を均一化し、それによって処理室（2）内の空間全体で均一かつ十分な滅菌能力が得られるようにするとともに、装置のコストアップも防止する。

【解決手段】空気圧縮機（11）と、空気圧縮機（11）と処理室（2）とに接続されて圧縮空気を処理室（2）へ導入する第１通路（12）と、過酸化水素水を貯留した過酸化水素水容器（13）と、過酸化水素水容器（13）と第１通路（12）とに接続された第２通路（14）と、過酸化水素水を過酸化水素水容器（13）から第１通路（12）に導入するエジェクタ（15）とを有する滅菌ガス供給装置（10）を設置し、過酸化水素を含む圧縮空気を処理室（2）内が大気圧よりも高圧状態になるまで処理室（2）内に充填して処理室（2）内の空間全体を滅菌する。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理室（2）内の滅菌処理を行う滅菌システムであって、
空気圧縮機（11）と、該空気圧縮機（11）と上記処理室（2）とに接続されて圧縮空気を該処理室（2）へ導入する第１通路（12）と、過酸化水素水を貯留した過酸化水素水容器（13）と、過酸化水素水容器（13）と第１通路（12）とに接続された第２通路（14）と、過酸化水素水を過酸化水素水容器（13）から第１通路（12）に導入する過酸化水素水導入機構（15）とを有する滅菌ガス供給装置（10）を備えていることを特徴とする滅菌システム。
【請求項２】
請求項１において、
過酸化水素水導入機構（15）は、高圧流体が流れる駆動流路（15a）と、駆動流路（15a）に合流する吸引流路（15b）とを有するエジェクタ（15）により構成され、
上記エジェクタ（15）は、滅菌ガス供給装置（10）の第１通路（12）と第２通路（14）とが合流する箇所で、駆動流路（15a）が第１通路（12）に接続され、吸引流路（15b）が第２通路（14）に接続されていることを特徴とする滅菌システム。
【請求項３】
請求項１または２において、
処理室（2）内の空気を減湿する除湿装置（40）を備えていることを特徴とする滅菌システム。
【請求項４】
請求項３において、
除湿装置（40）は、除湿用の処理空気が流れる第１空気通路（41）と、再生用の高温空気が流れる第２空気通路（42）と、両空気通路（41，42）に跨って配置されるとともに第１空気通路（41）と第２空気通路（42）との間を中心として回転可能に構成された吸着ロータ（43）とを備え、
上記第１空気通路（41）の一端が吸着ロータ（43）から処理室（2）へ空気を供給する空気供給口（46）として該処理室（2）に接続され、該第１空気通路（41）の他端が処理室（2）から吸着ロータ（43）へ空気を吸入する空気吸入口（47）として該処理室（2）に接続されていることを特徴とする滅菌システム。
【請求項５】
請求項３または４において、
除湿装置（40）による処理室（2）内の除湿運転と、滅菌ガス供給装置（10）による処理室（2）への滅菌ガス供給運転とが交互に行われるように構成されていることを特徴とする滅菌システム。
【請求項６】
請求項３または４において、
除湿装置（40）による処理室（2）内の除湿運転と、滅菌ガス供給装置（10）による処理室（2）への滅菌ガス供給運転とが同時に行われるように構成されていることを特徴とする滅菌システム。
【請求項７】
請求項１から６の何れか１つにおいて、
処理室（2）には、該処理室（2）へ空気を吹き出す空気吹き出し口（31）と該処理室（2）から空気を取り出す空気取り出し口（32）とが設けられ、
上記空気吹き出し口（31）と空気取り出し口（32）とに接続されて空気が処理室（2）の外部で循環可能な循環通路（33）と、該循環通路（33）に組み込まれた空調装置（30）とを備えていることを特徴とする滅菌システム。
【請求項８】
請求項７において、
滅菌ガス供給装置（10）の第１通路（12）の吹出口（16）が処理室（2）の上部に接続され、
循環通路（33）の空気取り出し口（32）が処理室（2）の下部に設けられていることを特徴とする滅菌システム。
【請求項９】
請求項７において、
滅菌ガス供給装置（10）の第１通路（12）の吹出口（16）が処理室（2）の下部に接続され、
循環通路（33）の空気取り出し口（32）が処理室（2）の上部に設けられていることを特徴とする滅菌システム。
【請求項１０】
処理室（2）内の滅菌処理を行う滅菌システムであって、
圧縮空気を上記処理室（2）内に圧送する第１通路（12）と、過酸化水素水を第１通路（12）の圧縮空気中で霧化させるように該第１通路（12）の圧縮空気に混合する第２通路（14）とを備え、
過酸化水素を含む圧縮空気を上記処理室（2）内が大気圧よりも高圧状態になるまで室内に充填して、該処理室（2）内の全体を滅菌するように構成されていることを特徴とする滅菌システム。
【発明の詳細な説明】【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理室内を過酸化水素で滅菌処理する滅菌システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、この種の滅菌システムとしては、処理室としての閉空間を構成するアイソレータの中に滅菌対象物として医薬品用の処理装置を配置し、該アイソレータ内で上記処理装置を滅菌するようにしたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この特許文献１の滅菌システムでは、アイソレータに外気供給回路と過酸化水素供給回路が接続されている。外気供給回路は、給気ファンにより外気をアイソレータ内に導入するように構成されている。また、過酸化水素供給回路には滅菌剤として過酸化水素ガスを発生させる過酸化水素ガス発生器が設けられており、該過酸化水素供給回路の吸気口がアイソレータの下部に設けられた排気ダクトに接続されるとともに、該回路のガス供給口がアイソレータの上部に設けられた外気導入室に接続されている。
【０００４】
そして、上記滅菌システムでは、外気供給回路からアイソレータ内に外部の空気を導入した後に、過酸化水素ガス発生器で発生させた過酸化水素ガスを滅菌剤としてアイソレータ内に供給するようにしている。また、その後は、アイソレータ内の過酸化水素を含むガスを、過酸化水素供給回路によってアイソレータの排気ダクト側から外気導入室側へ戻して循環させるようにしている。
【特許文献１】特開２００１−０００５１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記従来の滅菌システムでは、アイソレータ内の空間に外気を供給した後に、過酸化水素ガスを該空間に導入するようにしているため、該空間内で過酸化水素の濃度にむらが生じやすい問題がある。そのため、アイソレータ内で、十分な滅菌能力が得られる部分と、滅菌能力が不足する部分（いわゆるデッドスポット）とができ、アイソレータの空間全体として均一な滅菌能力が得られないことになる。
【０００６】
なお、アイソレータの空間内での過酸化水素の濃度を均一化するためには、送風機を用いて室内空気を撹拌する方法も考えられるが、それでは装置のコストが高くなる。
【０００７】
また、一般に、過酸化水素ガス発生器には、過酸化水素ガスを発生させるために、過酸化水素水溶液を加熱するヒータが設けられているが、このようにヒータを用いるシステムでは、ヒータを設けること自体もシステムのコストアップの要因となる。
【０００８】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、処理室内を過酸化水素で処理する滅菌システムにおいて、処理室内における過酸化水素の濃度を均一化し、それによって処理室内の空間全体で均一かつ十分な滅菌能力が得られるようにするとともに、装置のコストアップも防止することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
第１の発明は、処理室（2）内の滅菌処理を行う滅菌システムを前提としている。そして、この滅菌システムは、空気圧縮機（11）と、該空気圧縮機（11）と上記処理室（2）とに接続されて圧縮空気を該処理室（2）へ導入する第１通路（12）と、過酸化水素水を貯留した過酸化水素水容器（13）と、過酸化水素水容器（13）と第１通路（12）とに接続された第２通路（14）と、過酸化水素水を過酸化水素水容器（13）から第１通路（12）に導入する過酸化水素水導入機構（15）とを有する滅菌ガス供給装置（10）を備えていることを特徴としている。
【００１０】
この第１の発明では、空気圧縮機（11）から、圧縮空気が第１通路（12）を通って処理室（2）の中へ押し込まれる。その際、第１通路（12）を流れる圧縮空気には、過酸化水素水容器（13）から第２通路（14）を通って過酸化水素水が混合される。圧縮空気に過酸化水素水が混合されると過酸化水素水が霧化した状態となり、該圧縮空気中に過酸化水素が均一に分散する。そして、過酸化水素を均一に含んだ圧縮空気（滅菌ガス）が処理室（2）内に導入されることで、処理室（2）内でも過酸化水素が均一に分散する。
【００１１】
特に、処理室（2）内に圧縮空気を押し込むことにより、処理室（2）の内部圧力が大気圧よりも高くなるので、処理室（2）内の過酸化水素濃度が均一になる。その結果、処理室（2）内の空間全体で均一且つ十分な滅菌能力を得ることができる。
【００１２】
第２の発明は、第１の発明において、過酸化水素水導入機構（15）が、高圧流体が流れる駆動流路（15a）と、駆動流路（15a）に合流する吸引流路（15b）とを有するエジェクタ（15）により構成され、上記エジェクタ（15）は、滅菌ガス供給装置（10）の第１通路（12）と第２通路（14）とが合流する箇所で、駆動流路（15a）が第１通路（12）に接続され、吸引流路（15b）が第２通路（14）に接続されていることを特徴としている。
【００１３】
この第２の発明では、第１通路（12）に接続された駆動流路（15a）を高圧の圧縮空気が流れることにより、吸引流路（15b）に負圧が発生し、過酸化水素水が過酸化水素水容器（13）から第２通路（14）を通って第２通路（14）に吸い込まれる。このとき、過酸化水素水が断熱膨張し、霧化して圧縮空気内に均一に分散する。
【００１４】
第３の発明は、第１または第２の発明において、処理室（2）内の空気を減湿する除湿装置（40）を備えていることを特徴としている。
【００１５】
この第３の発明では、処理室（2）内が除湿装置（40）によって減湿される。ここで、この種の滅菌システムでは、一般に処理室（2）内の空間が低湿度である方が高い滅菌効果が得られることが知られている。したがって、処理室（2）内を除湿した後、あるいは処理室（2）内を除湿しながら、過酸化水素を含む圧縮空気を処理室（2）内に充満させることで、処理室（2）の全体で高い滅菌効果を得ることができる。
【００１６】
第４の発明は、第３の発明において、除湿装置（40）が、除湿用の処理空気が流れる第１空気通路（41）と、再生用の高温空気が流れる第２空気通路（42）と、両空気通路（41，42）に跨って配置されるとともに第１空気通路（41）と第２空気通路（42）との間を中心として回転可能に構成された吸着ロータ（43）とを備え、上記第１空気通路（41）の一端が吸着ロータ（43）から処理室（2）へ空気を供給する空気供給口（46）として該処理室（2）に接続され、該第１空気通路（41）の他端が処理室（2）から吸着ロータ（43）へ空気を吸入する空気吸入口（47）として該処理室（2）に接続されていることを特徴としている。
【００１７】
この第４の発明では、除湿用の処理空気は、第１空気通路（41）を流れ、吸着ロータ（43）を通過するときに減湿されて空気供給口（46）から処理室（2）に供給される。また、処理室（2）の空気は、空気吸入口（47）から除湿装置（40）に吸い込まれ、再度吸着ロータ（43）で減湿されてから処理室（2）に供給される。一方、吸着ロータ（43）は、連続的あるいは断続的に回転し、水分を吸着していた部分が第２空気通路（42）側へ移動する。そして、第２通路（14）では、再生用の高温空気が吸着ロータ（43）を通過するときに、該吸着ロータ（43）に吸着された水分が脱離するので、該吸着ロータ（43）が再生される。
【００１８】
第５の発明は、第３または第４の発明において、除湿装置（40）による処理室（2）内の除湿運転と、滅菌ガス供給装置（10）による処理室（2）への滅菌ガス供給運転とが交互に行われるように構成されていることを特徴としている。
【００１９】
この第５の発明では、処理室（2）内の除湿運転と、処理室（2）への滅菌ガス供給運転とを交互に行うことにより、処理室（2）内を低湿度に保ちながら、処理室（2）の全体に過酸化水素を含んだ圧縮空気を押し込んで、処理室（2）の全体を均一に滅菌することができる。
【００２０】
第６の発明は、第３または第４の発明において、除湿装置（40）による処理室（2）内の除湿運転と、滅菌ガス供給装置（10）による処理室（2）への滅菌ガス供給運転とが同時に行われるように構成されていることを特徴としている。
【００２１】
この第６の発明では、処理室（2）内の除湿運転と、処理室（2）への滅菌ガス供給運転とを同時に行うことにより、処理室（2）内を低湿度に保ちながら、処理室（2）の全体に過酸化水素を含んだ圧縮空気を押し込んで、処理室（2）の全体を均一に滅菌することができる。
【００２２】
第７の発明は、第１から第６の発明の何れか１つにおいて、処理室（2）には、該処理室（2）へ空気を吹き出す空気吹き出し口（31）と該処理室（2）から空気を取り出す空気取り出し口（32）とが設けられ、上記空気吹き出し口（31）と空気取り出し口（32）とに接続されて空気が処理室（2）の外部で循環可能な循環通路（33）と、該循環通路（33）に組み込まれた空調装置（30）とを備えていることを特徴としている。
【００２３】
この第７の発明では、循環通路（33）に空調装置（30）が組み込まれている。したがって、処理室（2）の空気取り出し口（32）から取り出した空気を、循環通路（33）を流した後に、空気吹き出し口（31）から処理室（2）へ吹き出す間に、上記空調装置（30）によって処理室（2）の空気調和を行うことができる。
【００２４】
第８の発明は、第７の発明において、滅菌ガス供給装置（10）の第１通路（12）の吹出口（16）が処理室（2）の上部に接続され、循環通路（33）の空気取り出し口（32）が処理室（2）の下部に設けられていることを特徴としている。
【００２５】
この第８の発明では、滅菌ガス供給装置（10）を運転しながら空調装置（30）を稼働させると、過酸化水素を含んだ圧縮空気が処理室（2）の上部から処理室（2）内の空間へ吹き出される一方、処理室（2）内の空気は処理室（2）の下部に設けられた空気取り出し口（32）から取り出される。このため、処理室（2）内で上方から下方へ向かう気流が生じるので、この気流によって処理室（2）内の過酸化水素の濃度分布が均一になる。
【００２６】
第９の発明は、第７の発明において、滅菌ガス供給装置（10）の第１通路（12）の吹出口（16）が処理室（2）の下部に接続され、循環通路（33）の空気取り出し口（32）が処理室（2）の上部に設けられていることを特徴としている。
【００２７】
この第９の発明では、滅菌ガス供給装置（10）を運転しながら空調装置（30）を稼働させると、過酸化水素を含んだ圧縮空気が処理室（2）の下部から処理室（2）内の空間へ吹き出される一方、処理室（2）内の空気は処理室（2）の上部に設けられた空気取り出し口（32）から取り出される。このため、処理室（2）内で下方から上方へ向かう気流が生じるので、この気流によって処理室（2）内の過酸化水素の濃度分布が均一になる。
【００２８】
第１０の発明は、処理室（2）内の滅菌処理を行う滅菌システムにおいて、圧縮空気を上記処理室（2）内に圧送する第１通路（12）と、過酸化水素水を第１通路（12）の圧縮空気中で霧化させるように該第１通路（12）の圧縮空気に混合する第２通路（14）とを備え、過酸化水素を含む圧縮空気を上記処理室（2）内が大気圧よりも高圧状態になるまで室内に充填して、該処理室（2）内の全体を滅菌するように構成されていることを特徴としている。
【００２９】
この第１０の発明では、第１の発明と同様に、処理室（2）内に圧縮空気を押し込むことにより、処理室（2）の内部圧力が大気圧よりも高くなるので、処理室（2）内の過酸化水素濃度が均一になる。その結果、処理室（2）内の空間全体で均一且つ十分な滅菌能力を得ることができる。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、滅菌システムを、空気圧縮機（11）と、該空気圧縮機（11）と上記処理室（2）とに接続されて圧縮空気を該処理室（2）へ導入する第１通路（12）と、過酸化水素水を貯留した過酸化水素水容器（13）と、過酸化水素水容器（13）と第１通路（12）とに接続された第２通路（14）と、過酸化水素水を過酸化水素水容器（13）から第１通路（12）に導入する過酸化水素水導入機構（15）とを有する滅菌ガス供給装置（10）を備えた構成にしたことにより、過酸化水素を含んだ圧縮空気を処理室（2）内に大気圧よりも高圧になるまで押し込むだけで、処理室（2）内の空間全体で均一且つ十分な滅菌能力を得ることができる。また、処理室（2）の室内を撹拌するための送風機や過酸化水素水を霧化するためのヒータなども不要であるため、装置のコストも抑えられる。
【００３１】
上記第２の発明によれば、過酸化水素水導入機構（15）として、高圧流体が流れる駆動流路（15a）と、駆動流路（15a）に合流する吸引流路（15b）とを有するエジェクタ（15）を用いているので、簡単な機構により、過酸化水素水を圧縮空気中で霧化させることができる。したがって、装置のコストアップをより確実に抑えられる。
【００３２】
上記第３の発明によれば、処理室（2）内の空気を減湿する除湿装置（40）を設けたことにより、処理室（2）内を低湿度に保つことができるので、処理室（2）の全体でより高い滅菌効果を得ることができる。
【００３３】
上記第４の発明によれば、吸着ロータ（43）を用いた安価で簡単な除湿装置（40）により、処理室（2）内を除湿することができるので、処理室（2）の全体で高い滅菌効果を得ることができる。
【００３４】
上記第５の発明によれば、除湿装置（40）による処理室（2）内の除湿運転と、滅菌ガス供給装置（10）による処理室（2）への滅菌ガス供給運転とを交互に行うことにより、処理室（2）内を低湿度に保ちながら、処理室（2）の全体に過酸化水素水を含んだ圧縮空気を押し込んで、処理室（2）の全体を均一に滅菌することができる。
【００３５】
上記第６の発明によれば、除湿装置（40）による処理室（2）内の除湿運転と、滅菌ガス供給装置（10）による処理室（2）への滅菌ガス供給運転とを同時に行うことにより、処理室（2）内を低湿度に保ちながら、処理室（2）の全体に過酸化水素水を含んだ圧縮空気を押し込んで、処理室（2）の全体を均一に滅菌することができる。
【００３６】
上記第７の発明によれば、処理室（2）の空気取り出し口（32）から取り出した空気を、循環通路（33）を流した後に、空気吹き出し口（31）から処理室（2）へ吹き出す際に、循環通路（33）に組み込んだ空調装置（30）を用いて処理室（2）の空気調和を行うことができる。
【００３７】
上記第８の発明によれば、滅菌ガス供給装置（10）の第１通路（12）の吹出口（16）が処理室（2）の上部に接続され、循環通路（33）の空気取り出し口（32）が処理室（2）の下部に設けられている。したがって、滅菌ガス供給装置（10）を運転しながら空調装置（30）を稼働させると、過酸化水素を含んだ圧縮空気が処理室（2）の上部から処理室（2）内の空間へ吹き出される一方、処理室（2）内の空気は処理室（2）の下部に設けられた空気取り出し口（32）から取り出される。このため、処理室（2）内で上方から下方へ向かう気流が生じ、この気流によって処理室（2）内の過酸化水素の濃度分布が均一になるので、処理室（2）の全体で均一な滅菌処理を行うことができる。
【００３８】
上記第９の発明によれば、滅菌ガス供給装置（10）の第１通路（12）の吹出口（16）が処理室（2）の下部に接続され、循環通路（33）の空気取り出し口（32）が処理室（2）の上部に設けられている。したがって、滅菌ガス供給装置（10）を運転しながら空調装置（30）を稼働させると、過酸化水素を含んだ圧縮空気が処理室（2）の下部から処理室（2）内の空間へ吹き出される一方、処理室（2）内の空気は処理室（2）の上部に設けられた空気取り出し口（32）から取り出される。このため、処理室（2）内で下方から上方へ向かう気流が生じ、この気流によって処理室（2）内の過酸化水素の濃度分布が均一になるので、処理室（2）の全体で均一な滅菌処理を行うことができる。
【００３９】
上記第１０の発明によれば、過酸化水素を含んだ圧縮空気を処理室（2）内に大気圧よりも高圧になるまで押し込むだけで、処理室（2）内の空間全体で均一且つ十分な滅菌能力を得ることができる。また、処理室（2）の室内を撹拌するための送風機や過酸化水素水を霧化するためのヒータなども不要であるため、装置のコストも抑えられる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００４１】
図１に示すように、この実施形態に係る滅菌システム（1）は、滅菌対象空間を有する処理室（2）（クリーンルーム）内の滅菌処理を行うシステムであって、上記処理室（2）に滅菌ガスを供給する滅菌ガス供給装置（10）と、処理室（2）内の空気調和を行う空調装置（30）と、該処理室（2）内の空気を減湿する除湿装置（40）とから構成されている。
【００４２】
上記処理室（2）の天井面には給気ユニット（3）（除湿装置（40）の空気供給口（46）であり、空調装置（30）の空気吹き出し口（31）である）が設けられ、該処理室（2）の側壁の下部には還気ユニット（4）（除湿装置（40）の空気吸入口（47）であり、空調装置（30）の空気取り出し口（32）である）が設けられている。給気ユニット（3）は上記空調装置（30）の室内機（31）が一体化されたものであり、還気ユニット（4）は過酸化水素を分解する分解装置が一体化されたものである。なお、処理室（2）の内部には、室内の圧力を検知する圧力センサ（5）と、室内の過酸化水素濃度を検知する濃度センサ（6）とが設けられている。
【００４３】
滅菌ガス供給装置（10）は、空気圧縮機（11）と、この空気圧縮機（11）と上記処理室（2）とに接続されて圧縮空気を該処理室（2）へ導入する第１通路（12）と、過酸化水素水を貯留した過酸化水素水容器（13）と、過酸化水素水容器（13）と第１通路（12）とに接続された第２通路（14）と、過酸化水素水を過酸化水素水容器（13）から第１通路（12）に導入する過酸化水素水導入機構（15）とを有している。第１通路（12）は、処理室（2）側の端部が複数に分岐して処理室（2）の上部の天井面に接続されている。この第１通路（12）の処理室（2）側の端部は、処理室（2）の天井面に沿って縦横に複数箇所に分岐しており、処理室（2）内に開口した各端部に吹出ノズル（吹出口）（16）が設けられている。
【００４４】
過酸化水素水導入機構（15）は、高圧流体が流れる駆動流路（15a）と、駆動流路（15a）に合流する吸引流路（15b）とを有するエジェクタ（15）により構成されている。このエジェクタ（15）は、滅菌ガス供給装置（10）の第１通路（12）と第２通路（14）とが合流する箇所で、駆動流路（15a）が第１通路（12）に接続され、吸引流路（15b）が第２通路（14）に接続されている。
【００４５】
第１通路（12）には、空気圧縮機（11）とエジェクタ（15）との間で空気流れの上流側から下流側に向かって順に、開閉弁（21）、エアドライヤ（22）、エアレギュレータ（23）、オートドレン（24）、オイルミストセパレータ（25）、高性能フィルタ（26）、及び第１自動オンオフ弁（27）の各機器が設けられている。また、第２通路（14）には、過酸化水素水容器（13）とエジェクタ（15）との間に第２自動オンオフ弁（28）が設けられている。
【００４６】
空調装置（30）は、処理室（2）へ空気を吹き出す空気吹き出し口（31）として室内機（31）が一体に構成された給気ユニット（3）と、処理室（2）から空気を取り出す空気取り出し口（32）として設けられた還気ユニット（4）と、空気吹き出し口（31）と空気取り出し口（32）とに接続されて空気が処理室（2）の外部で循環可能な循環通路（33）と、循環通路（33）に設けられた室外機（34）とから構成されている。つまり、空調装置（30）は、循環通路（33）に組み込まれた構成になっている。
【００４７】
循環通路（33）は、給気側通路（33a）と還気側通路（33b）とから構成されている。給気側通路（33a）には、室外機（34）との接続箇所の近傍に、第１ノンリーク自動ダンパ（35）が設けられており、還気側通路（33b）には、室外機（34）との接続箇所の近傍に、第２ノンリーク自動ダンパ（36）が設けられている。
【００４８】
除湿装置（40）は、除湿用の処理空気が流れる第１空気通路（41）と、再生用の高温空気が流れる第２空気通路（42）と、両空気通路（41，42）に跨って配置されるとともに第１空気通路（41）と第２空気通路（42）との間を中心として回転可能に構成された吸着ロータ（43）とを備えている。吸着ロータ（43）は、ヒータ（44）とともにケーシング（45）内に収納されている。再生用の空気は、第２空気通路（42）における吸着ロータ（43）の上流側に配置された上記ヒータ（44）から熱を与えられることで高温に加熱される。
【００４９】
上記第１空気通路（41）の一端は給気側通路（33a）と合流し、吸着ロータ（43）から処理室（2）へ空気を供給する空気供給口（46）（給気ユニット（3））において処理室（2）に接続され、第１空気通路（41）の他端は還気側通路（33b）と合流し、処理室（2）から吸着ロータ（43）へ空気を吸入する空気吸入口（47）（還気ユニット（4））において処理室（2）に接続されている。第１空気通路（41）には、還気ユニット（4）とケーシング（45）との間に第３ノンリーク自動ダンパ（48）が設けられている。また、第１空気通路（41）には、上記ケーシング（45）と給気ユニット（3）との間で空気流れの上流側から下流側に向かって順に、クーリングコイル（49）と第４ノンリーク自動ダンパ（50）が設けられている。
【００５０】
なお、この滅菌システム（1）の構成機器は、過酸化水素による腐食を避けるため、例えばアルミニウムなど、過酸化水素に対して耐食性を有する材料により構成されている。
【００５１】
−運転動作−
次に、この滅菌システム（1）の運転動作について説明する。
【００５２】
＜運転動作例１＞
運転動作例１は、除湿装置（40）による処理室（2）内の除湿運転と、滅菌ガス供給装置（10）による処理室（2）への滅菌ガス供給運転とを交互に行う運転動作である。
【００５３】
この運転動作例１では、まず処理室（2）（クリーンルーム）のクリーニングを行う。次に、滅菌動作を開始する。その際、第１ノンリーク自動ダンパ（35）と第２ノンリーク自動ダンパ（36）が閉じられ、第３ノンリーク自動ダンパ（48）と第４ノンリーク自動ダンパ（50）が開かれて、除湿装置（40）が起動する。
【００５４】
除湿装置（40）では、処理空気が吸着ロータ（43）を通過する際に空気中の水分が吸着ロータ（43）の吸着剤に吸着され、減湿される。減湿された処理空気は、第１空気通路（41）を流れてクーリングコイル（49）を通り、給気側通路（33a）から給気ユニット（3）を介して処理室（2）内に供給される。一方、処理室（2）内の水分を含む空気は、還気ユニット（4）から吸入されて還気側通路（33b）及び第１空気通路（41）を流れ、除湿装置（40）のケーシング（45）内に戻って再度吸着ロータ（43）を通過する。以上の動作を繰り返すことにより、処理室（2）内が除湿される。
【００５５】
なお、吸着ロータ（43）では、第１空気通路（41）の処理空気が流れている部分は、やがて水分吸着量が増えて飽和状態に近づくが、吸着ロータ（43）は連続的または間欠的に回転している。したがって、吸着ロータ（43）の水分を吸着した部分が第２空気通路（42）側に移動して、ヒータ（44）で加熱された再生用の高温空気が第２空気通路（42）を流れることにより、水分を吸着した部分の再生（水分の脱離）が行われる。吸着ロータ（43）の再生後の空気は、室外に排出される。こうすることにより、処理室（2）内を連続して除湿できる。
【００５６】
除湿運転を一定時間継続するか、処理室（2）内の湿度が所定値まで下がったことを検出すると、除湿運転を停止する。次に第３ノンリーク自動ダンパ（48）と第４ノンリーク自動ダンパ（50）とが閉じられて、空気圧縮機（11）とエアドライヤ（22）が起動する。このとき、第１自動オンオフ弁（27）と第２自動オンオフ弁（28）が開かれる。
【００５７】
空気圧縮機（11）からは、圧縮空気が流出し、エアドライヤ（22）を通過して減湿された後、エアレギュレータ（23）による調圧作用、オードドレンによるドレン除去作用、オイルミストセパレータ（25）によるオイルミスト除去作用、高性能フィルタ（26）による微細な塵埃除去作用の各処理を受けた後、エジェクタ（15）の駆動流路（15a）を通過する。エジェクタ（15）の駆動流路（15a）を高圧の圧縮空気が流れることにより、吸引流路（15b）に負圧が発生し、過酸化水素容器内の過酸化水素水が液状態のまま第１通路（12）に吸引される。第１通路（12）に吸引された過酸化水素水は断熱膨張し、霧化する。そして、過酸化水素を含む圧縮空気が吹出ノズル（16）から処理室（2）内に押し込まれる。処理室（2）内への圧縮空気の押し込み動作は、処理室（2）内の圧力と過酸化水素濃度が所定値（例えば、室内の圧力が大気圧＋５０Ｐａ、過酸化水素濃度が１０００ｐｐｍ）に達するまで継続される。
【００５８】
処理室（2）内の圧力と過酸化水素濃度が所定値に達すると、空気圧縮機（11）とエアドライヤ（22）を停止し、第１自動オンオフ弁（27）及び第２自動オンオフ弁（28）が閉じられる。そして、以下は、除湿装置（40）による処理室（2）内の除湿運転と、滅菌ガス供給装置（10）による処理室（2）への滅菌ガス供給運転とが、例えば２〜３時間おきに交互に行われる。
【００５９】
ここで、この種の滅菌システム（1）では、一般に処理室（2）内の空間が低湿度である方が高い滅菌効果が得られることが知られている。したがって、処理室（2）内を除湿した後、過酸化水素を処理室（2）内に充満させることで、処理室（2）の全体で高い滅菌効果を得ることができる。また、過酸化水素を充満させることで湿度が上昇しても、除湿運転と過酸化水素の供給とが繰り返されるので、常に高い滅菌効果を維持できる。
【００６０】
なお、空調装置の通常運転時には、第１ノンリーク自動ダンパ（35）と第２ノンリーク自動ダンパ（36）とが開かれて、空調空気が給気ユニット（3）より室内に供給され、室内空気が還気ユニット（4）より循環通路（33）を通って室外機（34）に戻る。室外機（34）では、外気を取り入れながら空気を給気ユニット（3）に送り出す。
【００６１】
＜運転動作例２＞
運転動作例２は、除湿装置（40）による処理室（2）内の除湿運転と、滅菌ガス供給装置（10）による処理室（2）への滅菌ガス供給運転とを同時に行う運転動作である。
【００６２】
この例では、常に除湿装置（40）による処理室（2）内の除湿運転を行いながら、滅菌ガス供給装置（10）による処理室（2）への滅菌ガス供給運転を断続的に行う。つまり、除湿装置（40）は運転したままで滅菌ガス供給装置（10）を運転し、室内の圧力と過酸化水素濃度が所定値に達すると滅菌ガス供給装置（10）を停止し、室内の圧力と過酸化水素濃度が予め設定した下限値まで低下すると滅菌ガス供給装置（10）を再起動する運転を繰り返す。
【００６３】
このようにしても、処理室（2）内に過酸化水素を充満させることで高い滅菌効果を得ることができる。
【００６４】
なお、滅菌ガス供給運転は、場合によっては連続的に行ってもよい。
【００６５】
−実施形態の効果−
以上説明したように、本実施形態によれば、過酸化水素を含んだ圧縮空気を処理室（2）内に大気圧よりも高圧になるまで押し込むだけで、処理室（2）内の空間全体で均一且つ十分な滅菌能力を得ることができる。また、処理室（2）の室内を撹拌するための送風機や過酸化水素水を霧化するためのヒータなども不要であるため、装置のコストも抑えられる。
【００６６】
特に、滅菌システム（1）を、空気圧縮機（11）と、該空気圧縮機（11）と上記処理室（2）とに接続されて圧縮空気を該処理室（2）へ導入する第１通路（12）と、過酸化水素水を貯留した過酸化水素水容器（13）と、過酸化水素水容器（13）と第１通路（12）とに接続された第２通路（14）と、過酸化水素水を過酸化水素水容器（13）から第１通路（12）に導入する過酸化水素水導入機構（15）とを有する滅菌ガス供給装置（10）を備えた構成にしたことにより、装置構成を簡単にすることができ、しかも処理室（2）の周りにある既設のエア配管設備を利用することもできるので、装置のコストも抑えられる。
【００６７】
また、過酸化水素水導入機構（15）として、高圧流体が流れる駆動流路（15a）と、駆動流路（15a）に合流する吸引流路（15b）とを有するエジェクタ（15）を用いているので、簡単な構成により、過酸化水素水を圧縮空気中で霧化させることができる。したがって、装置のコストアップをより確実に抑えられる。
【００６８】
さらに、処理室（2）内の空気を減湿する除湿装置（40）を設けているため、処理室（2）内を低湿度に保つことができる。そのため、処理室（2）の全体でより高い滅菌効果を得ることができるうえ、除湿装置（40）が吸着ロータ（43）を用いた安価で簡単な構成であるため、装置のコストを抑えられる。
【００６９】
また、除湿装置（40）による処理室（2）内の除湿運転と、滅菌ガス供給装置（10）による処理室（2）への滅菌ガス供給運転とを交互に行う運転動作例１のようにしても、除湿装置（40）による処理室（2）内の除湿運転と、滅菌ガス供給装置（10）による処理室（2）への滅菌ガス供給運転とを同時に行う運転動作例２のようにしても、処理室（2）内を低湿度に保ちながら、処理室（2）の全体に過酸化水素水を含んだ圧縮空気を押し込んで、処理室（2）の全体を均一に滅菌することができる。
【００７０】
また、上記実施形態では、滅菌ガス供給装置（10）を運転しながら空調装置（30）を稼働させると、過酸化水素を含んだ圧縮空気が処理室（2）の上部から処理室（2）内の空間へ吹き出される一方、処理室（2）内の空気は処理室（2）の下部に設けられた空気取り出し口（32）から取り出される。このため、処理室（2）内で上方から下方へ向かう気流が生じ、この気流によって処理室（2）内の過酸化水素の濃度分布が均一になるので、処理室（2）の全体で均一な滅菌処理を行うことができる。
【００７１】
《その他の実施形態》
上記実施形態については、以下のような構成としてもよい。
【００７２】
例えば、上記実施形態では、滅菌ガス供給装置（10）の第１通路（12）を処理室（2）の上部に接続し、循環通路（33）の空気取り出し口（32）である還気ユニット（4）を処理室（2）の下部に設けているが、図１に仮想線で示すように、滅菌ガス供給装置（10）の第１通路（12）を処理室（2）の下部に接続し、循環通路（33）の空気取り出し口（32）を処理室（2）の上部に設けてもよい。
【００７３】
この構成においては、滅菌ガス供給装置（10）を運転しながら空調装置（30）を稼働させると、過酸化水素を含んだ圧縮空気が処理室（2）の下部から処理室（2）内の空間へ吹き出される一方、処理室（2）内の空気は処理室（2）の上部に設けられた空気取り出し口（32）から取り出される。このため、処理室（2）内で下方から上方へ向かう気流が生じ、この気流によって処理室（2）内の過酸化水素の濃度分布が均一になるので、処理室（2）の全体で均一な滅菌処理を行うことができる。
【００７４】
特に、このようにすると、過酸化水素の比重が空気より大きく、処理室（2）内の下部に過酸化水素が偏りがちであるのに対して、より効果的に室内の過酸化水素濃度分布を均一化することができる。
【００７５】
なお、以上の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
以上説明したように、本発明は、処理室内を過酸化水素で滅菌処理する滅菌システムについて有用である。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明の実施形態に係る滅菌システムの概略構成図である。
【符号の説明】
【００７８】
1 滅菌システム
2 処理室
3 給気ユニット
4 還気ユニット
10 滅菌ガス供給装置
11 空気圧縮機
12 第１通路
13 過酸化水素水容器
14 第２通路
15 エジェクタ（過酸化水素水導入機構）
15a 駆動流路
15b 吸引流路
30 空調装置
31 空気吹き出し口
32 空気取り出し口
33 循環通路
40 除湿装置
41 第１空気通路
42 第２空気通路
43 吸着ロータ
46 空気供給口
47 空気吸入口
【出願人】 【識別番号】０００００２８５３
【氏名又は名称】ダイキン工業株式会社
【住所又は居所】大阪府大阪市北区中崎西２丁目４番１２号 梅田センタービル
【出願日】 平成１７年５月１７日（２００５．５．１７）
【代理人】 【識別番号】１０００７７９３１
【弁理士】
【氏名又は名称】前田 弘

【識別番号】１０００９４１３４
【弁理士】
【氏名又は名称】小山 廣毅

【識別番号】１００１１０９３９
【弁理士】
【氏名又は名称】竹内 宏

【識別番号】１００１１０９４０
【弁理士】
【氏名又は名称】嶋田 高久

【識別番号】１００１１３２６２
【弁理士】
【氏名又は名称】竹内 祐二

【識別番号】１００１１５０５９
【弁理士】
【氏名又は名称】今江 克実

【識別番号】１００１１５６９１
【弁理士】
【氏名又は名称】藤田 篤史

【識別番号】１００１１７５８１
【弁理士】
【氏名又は名称】二宮 克也

【識別番号】１００１１７７１０
【弁理士】
【氏名又は名称】原田 智雄

【識別番号】１００１２１７２８
【弁理士】
【氏名又は名称】井関 勝守

【識別番号】１００１２４３４９
【弁理士】
【氏名又は名称】米田 圭啓

【識別番号】１００１２４６７１
【弁理士】
【氏名又は名称】関 啓

【識別番号】１００１３１０６０
【弁理士】
【氏名又は名称】杉浦 靖也
【公開番号】 特開２００６−３２０３９２（Ｐ２００６−３２０３９２Ａ）
【公開日】 平成１８年１１月３０日（２００６．１１．３０）
【出願番号】 特願２００５−１４４１３５（Ｐ２００５−１４４１３５）