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【発明の名称】 配線基板
【発明者】 【氏名】明石 理
【住所又は居所】鹿児島県川内市高城町1810番地 京セラ株式会社鹿児島川内工場内

【氏名】坂元 達海
【住所又は居所】鹿児島県川内市高城町1810番地 京セラ株式会社鹿児島川内工場内

【要約】 【課題】コンデンサ素子接続用の接続パッドとコンデンサ素子とを接続する半田による熱応力がソルダーレジスト層の開口部の角部に作用してソルダーレジスト層にクラックが発生することがなく、コンデンサ素子接続用の接続パッドにおける電気的な絶縁信頼性の高いコンデンサ素子付きの配線基板を提供すること。

【解決手段】半導体素子が搭載される絶縁基板1の表面にコンデンサ素子8の電極が半田9を介して電気的に接続される導体層から成る複数の接続パッド5a,5bおよび該複数の接続パッド5a,5bをそれぞれ露出させる四角形状の開口部10cを有するソルダーレジスト層10が形成されており、前記ソルダーレジスト層10は、前記開口部10c内の各角部に位置する部位に前記導体層の非形成部が設けられている。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
半導体素子が搭載される絶縁基板の表面に、コンデンサ素子の電極が半田を介して電気的に接続される導体層から成る複数の接続パッドおよび該複数の接続パッドの中央部をそれぞれ露出させる四角形状の開口部を有するソルダーレジスト層が形成されており、前記接続パッドは、前記開口部の各角部に位置する部位に前記導体層の非形成部が設けられていることを特徴とする配線基板。
【発明の詳細な説明】【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体素子等の電子部品を搭載するために用いられる配線基板に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、半導体集積回路素子等の半導体素子を搭載するために用いられる配線基板は、例えばガラス−エポキシ板等から成る絶縁層やエポキシ樹脂等から成る絶縁層が複数層積層された絶縁基板の内部および表面に銅箔や銅めっき膜等の導体層から成る配線導体が配設されている。配線導体には半導体素子に接地電位を供給するための接地用の配線導体と、電源電位を供給するための電源用の配線導体と、半導体素子との間で信号の入出力を行なうための信号用の配線導体とがある。また、絶縁基板の上面中央部には半導体素子の電極が半田バンプを介して電気的に接続される接地用や電源用、信号用の第1の接続パッドが複数形成されているとともに、絶縁基板の下面外周部には外部電気回路基板の配線導体に半田ボールを介して電気的に接続される外部接続用の第2の接続パッドが形成されており、これらの第1の接続パッドおよび第2の接続パッドはそれぞれ対応する配線導体に電気的に接続されている。
【0003】
さらに、近時の高集積化および高速化した半導体素子を搭載する配線基板においては、例えば絶縁基板の下面中央部に接地用の配線導体や電源用の配線導体に電気的に接続されたコンデンサ素子接続用の複数対の第3の接続パッドが形成されており、これらの第3の接続パッドにはセラミックチップコンデンサ等のコンデンサ素子が接地用の配線導体と電源用の配線導体との間に電気的に接続されるようにして半田を介して接続されている。このコンデンサ素子は、接地用の配線導体と電源用の配線導体との間に電気的に接続されることにより接地電位や電源電位の変動を抑制して半導体素子の誤動作を防止するためのデカップリングコンデンサとして機能する。
【0004】
またさらに、絶縁基板の上下面には、第1の接続パッドや第2の接続パッドおよび第3の接続パッドの中央部をそれぞれ露出させる開口部を有する熱硬化性樹脂から成るソルダーレジスト層が形成されている。絶縁基板の上下面にこのようなソルダーレジスト層を形成することにより各接続パッドの電気的な絶縁が良好に保たれるとともに、これらの接続パッドの絶縁基板への接合が強固なものとなっている。
【0005】
なお、このような配線基板においては、第1の接続パッドには半導体素子との電気的な接続を容易なものとするために半田バンプが予め溶着されている。
【0006】
そして、半導体素子を第1の接続パッドに溶着させた半田バンプ上にその電極が当接するように載置するとともに、第1の接続パッドに溶着させた半田バンプを加熱溶融させることによって半導体素子が配線基板上に搭載されるとともに半導体素子の電極が第1の接続パッドに半田バンプを介して電気的に接続される。
【0007】
また、第2の接続パッド上に半田ボールを載置するとともに半田ボールを加熱溶融させることによって、第2の接続パッド上に半田ボールが溶着され、この半田ボールを外部電気回路基板の配線導体上に接触させた状態で加熱溶融させることによって、配線基板が半田ボールを介して外部電気回路基板上に実装されるとともに、配線基板に搭載された半導体素子が外部電気回路基板に電気的に接続されることとなる。
【特許文献1】特開2002−204046号公報
【特許文献2】特開平9−153673号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
ところで、このような従来のコンデンサ素子付きの配線基板においては、コンデンサ素子接続用の接続パッドの中央部を露出させるソルダーレジスト層の開口部は四角形状であった。しかしながら、コンデンサ素子接続用の接続パッドを露出させるソルダーレジスト層の開口部が四角形状である場合、コンデンサ素子が接続された配線基板に半導体素子が作動時に発生する熱や外部環境の温度変化に伴う熱が繰り返し加えられると、コンデンサ素子をコンデンサ素子接続用の接続パッドに接続している半田による熱応力がソルダーレジスト層の開口部の角部に大きく集中して作用し、その結果、ソルダーレジスト層の開口部の角部を起点としてソルダーレジスト層にクラックが発生してしまい、コンデンサ素子接続用の接続パッドの電気的な絶縁信頼性が大きく低下してしまうという問題を有していた。
【0009】
本発明は、かかる従来の問題に鑑み案出されたものであり、その目的は、コンデンサ素子接続用の接続パッドとコンデンサ素子とを接続する半田による熱応力がソルダーレジスト層の開口部の角部に大きく作用することによってソルダーレジスト層にクラックが発生することがなく、コンデンサ素子接続用の接続パッドにおける電気的な絶縁信頼性の高いコンデンサ素子付きの配線基板を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明の配線基板は、半導体素子が搭載される絶縁基板の表面に、コンデンサ素子の電極が半田を介して電気的に接続される導体層から成る複数の接続パッドおよび該複数の接続パッドの中央部をそれぞれ露出させる四角形状の開口部を有するソルダーレジスト層が形成されており、前記接続パッドは、前記開口部の各角部に位置する部位に前記導体層の非形成部が設けられていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【0011】
本発明の配線基板は、コンデンサ素子の電極が半田を介して電気的に接続される導体層から成る複数の接続パッドの中央部をそれぞれ露出させるソルダーレジスト層の開口部の角部に位置する部位に導体層の非形成部が設けられてすることから、ソルダーレジスト層の開口部内に露出したコンデンサ素子接続用の接続パッドにコンデンサ素子を半田を介して接続すると、開口部の角部の非導体部には半田が濡れないので、半田による熱応力がソルダーレジスト層の開口部の角部に加えられることはない。したがって、ソルダーレジスト層に開口部の角部を起点とするクラックが発生することはなく、コンデンサ素子接続用の接続パッドにおける電気的な接続信頼性に優れるコンデンサ素子付きの配線基板を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0012】
次に、本発明の配線基板を添付の図面に基づき説明する。図1は、本発明の配線基板を実施するための最良の形態の一例を示す断面図であり、図中、1は絶縁層1aおよび絶縁層1bから成る絶縁基板、2a,2b,2cはそれぞれ接地用,電源用,信号用の第1の接続パッド、3a,3b,3cはそれぞれ接地用,電源用,信号用の第2の接続パッド、4a,4b,4cはそれぞれ接地用,電源用,信号用の配線導体、5a,5bは第3の接続パッド、6は半田バンプ、7は半田層、8はコンデンサ素子、9は半田、10はソルダーレジスト層である。
【0013】
なお、本例では、ガラス織物に熱硬化性樹脂を含浸させて成る絶縁層1aの上下面に熱硬化性樹脂から成る絶縁層1bを2層ずつ積層して絶縁基板1を形成しており、最表層の絶縁層1b上にソルダーレジスト層10が形成されている。また、絶縁基板1の上面中央部にはそれぞれ半導体素子の電極が半田バンプ6を介して電気的に接続される接地用,電源用,信号用の第1の接続パッド2a,2b,2cが形成されているとともに絶縁基板1の下面外周部にはそれぞれ外部電気回路基板に半田ボール11を介して電気的に接続される接地用,電源用,信号用の第2の接続パッド3a,3b,3cが形成されており、絶縁基板1の上面から下面にかけてはそれぞれ対応する第1の接続パッド2a,2b,2cと第2の接続パッド3a,3b,3cとを互いに電気的に接続する接地用,電源用,信号用の配線導体4a,4b,4cが配設されている。また、絶縁基板1の下面の中央部には接地用の配線導体4a,電源用の配線導体4bに電気的に接続された第3の接続パッド5a,5bが形成されている。そして、第1の接続パッド2a,2b,2cには半田バンプ6が溶着されており、第2の接続パッド3a,3b,3cには半田層7が溶着されている。さらに、第3の接続パッド5a,5bにはコンデンサ素子8が半田9を介して接続されている。
【0014】
絶縁層1aは、本例の配線基板の芯体となる部材であり、例えばガラス繊維束を縦横に織り込んだガラス織物にエポキシ樹脂やビスマレイミドトリアジン樹脂等の熱硬化性樹脂を含浸させて成り、厚みが0.3〜1.5mm程度であり、その上面から下面にかけて直径が0.1〜1mm程度の複数の貫通孔12を有している。そして、その上下面および各貫通孔12の内面には導体層から成る配線導体4a,4b,4cの一部が被着されており、上下面の配線導体4a,4b,4cが貫通孔12を介して電気的に接続されている。
【0015】
このような絶縁層1aは、ガラス織物に未硬化の熱硬化性樹脂を含浸させた絶縁シートを熱硬化させた後、これに上面から下面にかけてドリル加工を施すことにより製作される。なお、絶縁層1a上下面の配線導体4a,4b,4cは、絶縁層1a用の絶縁シートの上下全面に厚みが3〜50μm程度の銅箔を貼着しておくとともにこの銅箔をシートの硬化後にエッチング加工することにより所定のパターンに形成される。また、貫通孔12内面の配線導体4a,4b,4cは、絶縁層1aに貫通孔12を設けた後に、この貫通孔12内面に無電解めっき法および電解めっき法により厚みが3〜50μm程度の銅めっき膜を析出させることにより形成される。
【0016】
さらに、絶縁層1aは、その貫通孔12の内部にエポキシ樹脂やビスマレイミドトリアジン樹脂等の熱硬化性樹脂から成る樹脂柱13が充填されている。樹脂柱13は、貫通孔12を塞ぐことにより貫通孔12の直上および直下に配線導体4a,4b,4cおよび各絶縁層1bを形成可能とするためのものであり、未硬化のペースト状の熱硬化性樹脂を貫通孔12内にスクリーン印刷法により充填し、それを熱硬化させた後、その上下面を略平坦に研磨することにより形成される。そして、この樹脂柱13を含む絶縁層1aの上下面に絶縁層1bがそれぞれ2層ずつ積層されている。
【0017】
絶縁層1aの上下面に積層された各絶縁層1bは、それぞれの厚みが20〜60μm程度であり、各層の上面から下面にかけて直径が30〜100μm程度の複数の貫通孔14を有している。これらの各絶縁層1bは、配線導体4a,4b,4cを高密度に配線するための絶縁間隔を提供するためのものである。そして、上層の配線導体4a,4b,4cと下層の配線導体4a,4b,4cとを貫通孔14を介して電気的に接続することにより高密度配線が立体的に形成可能となっている。このような各絶縁層1bは、厚みが20〜60μm程度の未硬化の熱硬化性樹脂の絶縁フィルムを絶縁層1aの上下面に貼着し、これを熱硬化させるとともにレーザ加工により貫通孔14を穿孔し、さらにその上に同様にして次の絶縁層1bを順次積み重ねることによって形成される。なお、各絶縁層1bの表面および貫通孔14内に被着された配線導体4a,4b,4cは、各絶縁層1bを形成する毎に各絶縁層1bの表面および貫通孔14内に5〜50μm程度の厚みの銅めっき膜を公知のセミアディティブ法やサブトラクティブ法等のパターン形成法により所定のパターンに被着させることによって形成される。
【0018】
また、絶縁基板1の上面に形成された第1の接続パッド2a,2b,2cならびに絶縁基板1の下面に形成された第2の接続パッド3a,3b,3cおよび第3の接続パッド5a,5bは、厚みが3〜50μm程度の銅めっき膜から成る導体層により形成されており、それぞれ対応する配線導体4a,4b,4cに電気的に接続されている。そして、第1の接続パッド2a,2b,2cは半導体素子を接続するための端子として、第2の接続パッド3a,3b,3cは外部電気回路に接続するための端子として、第3の接続パッド5a,5bはコンデンサ素子8を接続するための端子としてそれぞれ機能する。このような第1の接続パッド2a,2b,2cおよび第2の接続パッド3a,3b,3c,第3の接続パッド5a,5bは、絶縁層1bの表面に公知のセミアディティブ法やサブトラクティブ法により銅めっき膜を所定のパターンに被着させることにより形成される。なお、第1の接続パッド2a,2b,2cには半田バンプ6が溶着されており、第2の接続パッド3a,3b,3cには半田層7が溶着されている。また、第3の接続パッド5a,5bにはコンデンサ素子8が半田9を介して接続されている。
【0019】
また、絶縁基板1の上面から下面にかけて配設された接地用,電源用,信号用の各配線導体4a,4b,4cは、それぞれ半導体素子の各電極を外部電気回路に電気的に接続するための導電路として機能し、接地用および電源用の配線導体4a,4bであれば、広面積の導体パターンを含んでおり、信号用の配線導体4cであれば、細い帯状の導体パターンを含んでいる。そして、接地用および電源用の配線導体4a,4bは、半導体素子に接地電位や電源電位を供給するための導体として機能するとともに信号用の配線導体4cを電磁的に遮蔽するシールドとしても機能し、信号用の配線導体4cは、半導体素子に信号の出し入れを行なうための導体として機能する。また、例えは接地用の配線導体4aや電源用の配線導体4bと信号用の配線導体4cとが絶縁層1bを挟んで対向することにより信号用の配線導体4cに所定の特性インピーダンスが付与される。
【0020】
第1の接続パッド2a,2b,2cの表面に溶着された半田バンプ6は、例えば鉛−錫合金から成り、第1の接続パッド2a,2b,2cと半導体素子とを接続するための接続部材として機能する。そして、半導体素子の電極を半田バンプ6に接触させた状態で半田バンプ6を溶融させることにより第1の接続パッド2a,2b,2cと半導体素子の電極とが半田バンプ6を介して電気的に接続されることとなる。このように半田バンプ6を第1の接続パッド2a,2b,2cに予め溶着させておくことにより第1の接続パッド2a,2b,2cへの半導体素子の接続の作業性が極めて良好なものとなる。
【0021】
また、第2の接続パッド3a,3b,3cに溶着された半田層7は、第2の接続パッド3a,3b,3cの酸化を防止するとともに第2の接続パッド3a,3b,3cに半田ボール11を接合させる際にその接合を容易かつ強固とするための下地金属として機能し、半田バンプ6よりも融点の高い錫−銀−銅合金から成る。そして、半田ボール11を半田層7に接触させた状態で半田ボール11を加熱溶融させることにより、半田ボール11が第2の接続パッド3a,3b,3cに接合される。このとき、本発明の配線基板によれば、第2の接続パッド3a,3b,3cに半田層7が溶着されていることから、第2の接続パッド3a,3b,3cに半田ボール11を接合させる際に半田層7により第2の接続パッド3a,3b,3cの酸化が有効に防止され、その結果、第2の接続パッド3a,3b,3cと半田ボール11とが強固に接合される。したがって、配線基板を外部電気回路基板に実装した後に、半導体素子が作動時に発生する熱や外部環境の温度変化に伴う熱が長期間にわたり繰り返し加えられたとしても、半田ボール11が第2の接続パッド3a,3b,3cから外れることはなく、配線基板に搭載された半導体素子と外部電気回路との電気的な接続を良好に保つことができる。
【0022】
また、第3の接続パッド5a,5bに半田9を介して接続されたコンデンサ素子8は、一般的にはセラミックチップコンデンサであり、その両端に一対の電極を有している。このコンデンサ素子8は、いわゆるデカップリングコンデンサとして機能し、一方の電極が接地用の第3の接続パッド5aに接続されており、他方の電極が電源用の第3の接続パッド5bに接続されている。そして、第3の接続パッド5a,5bを介して接地用の配線導体4aや電源用の配線導体4bに電荷を供給することによって接地および電源電位の変動を抑えることが可能となっている。なお、コンデンサ素子8を第3の接続パッド5a,5bに接続している半田9は半田層7と同一組成の半田から成り、半田バンプ6よりも融点が高い。このようにコンデンサ素子8を第3の接続パッド5a,5bに接続している半田9の融点が半田バンプ6の融点よりも高いことから、半導体素子を第1の接続パッド2a,2b,2cに半田バンプ6を介して接続する際に、半田バンプ6の融点以上でかつ半田9の融点未満の温度に加熱して半田バンプ6のみを溶融させることによりコンデンサ素子8を第3の接続パッド5a,5bにしっかりと固定した状態で半導体素子を接続することが可能となる。
【0023】
また、最表層の絶縁層1bの上に積層されたソルダーレジスト層10は、例えばアクリル変性エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂にシリカやタルク等のフィラーを含有させて成り、上面側のソルダーレジスト層10であれば、第1の接続パッド2a,2b,2cの中央部を露出させる開口部10aを有しているとともに半田バンプ6よりも薄い厚みである。また、下面側のソルダーレジスト層10であれば、第2の接続パッド3a,3b,3cの中央部を露出させる開口部10bおよび第3の接続パッド5a,5bの中央部をそれぞれ露出させる開口部10cを有しているとともに半田層7の厚みよりも厚く、半田9の厚みと略同じ厚みである。
【0024】
これらのソルダーレジスト層10は、第1の接続パッド2a,2b,2c同士や第2の接続パッド3a,3b,3c同士および第3の接続パッド5a,5b同士の電気的な絶縁信頼性を高めるとともに、第1の接続パッド2a,2b,2cや第2の接続パッド3a,3b,3cおよび第3の接続パッド5a,5bの絶縁層1bへの接合強度を大きなものとする作用をなす。
【0025】
なお、ソルダーレジスト層10の厚みが半田バンプ6よりも低い厚みであることにより、半導体素子を第1の接続パッド2a,2b,2cに半田バンプ6を介して電気的に接続する際に、半導体素子の電極と半田バンプ6とが良好に接触することができるので、半田バンプ6を介した半導体素子と第1の接続パッド2a,2b,2cとの電気的な接続が容易となる。
【0026】
また、半田層7の厚みがソルダーレジスト層10の厚みよりも薄いことにより、半田層7上にソルダーレジスト層10の開口部10bによる窪みが形成されるので、第2の接続パッド3a,3b,3c上に半田ボール11を接合させる際に半田ボール11がソルダーレジスト層10の開口部10b内の窪みに良好に位置決めされて、半田ボール11と第2の接続パッド3a,3b,3cとの接合が容易となる。
【0027】
このようなソルダーレジスト層10は、その厚みが10〜50μm程度であり、感光性を有するソルダーレジスト層10用の未硬化樹脂ペーストをロールコーター法やスクリーン印刷法を採用して最表層の絶縁層1b上に塗布し、これを乾燥させた後、露光および現像処理を行なって第1の接続パッド2a,2b,2cや第2の接続パッド3a,3b,3cおよび第3の接続パッド5a,5bの中央部を露出させる開口部10a,10b,10cを形成した後、これを熱硬化させることによって形成される。あるいは、ソルダーレジスト層10用の未硬化の樹脂フィルムを最表層の絶縁層1b上に貼着した後、これを熱硬化させ、しかる後、第1の接続パッド2a,2b,2cや第2の接続パッド3a,3b,3cおよび第3の接続パッド5a,5bに対応する位置にレーザ光を照射し、硬化した樹脂フィルムを部分的に除去することによって第1の接続パッド2a,2b,2cや第2の接続パッド3a,3b,3cおよび第3の接続パッド5a,5bを露出させる開口部10a,10b,10cを有するように形成される。
【0028】
さらに、本発明の配線基板においては、図2に示すように、第3の接続パッド5a,5bは、ソルダーレジスト層10の開口部10cの各角部に位置する部位に導体層の非形成部Aが設けられており、この導体層の非形成部Aの少なくとも一部が開口部10c内に露出している。このように、第3の接続パッド5a,5bは、ソルダーレジスト層10の開口部10cの各角部に位置する部位に導体層の非形成部Aが設けられていることから、第3の接続パッド5a,5bとコンデンサ素子8とを接続する半田9が開口部10cの角部に位置する部位に設けられた導体層の非形成部Aには濡れないので、開口部10cの角部においては半田9とソルダーレジスト層10とが接触せずに、その結果、半田9による熱応力がソルダーレジスト層10の開口部10cの角部に加えられることはない。したがって、ソルダーレジスト層10に開口部10cの角部を起点とするクラックが発生することはなく、第3の接続パッド5a,5bにおける電気的な接続信頼性に優れるコンデンサ素子付きの配線基板を提供することができる。
【0029】
なお、導体層の非形成部Aは、その一部が開口部10c内に露出し、残部がソルダーレジスト層10で覆われていることが好ましい。導体層の非形成部Aの一部が開口部10c内に露出し、残部がソルダーレジスト層10で覆われている場合、開口部10cの角部には導体層が露出しないので開口部10cの角部において半田9がソルダーレジスト層9に接触することを極めて有効に防止することができる。他方、導体層の非形成部Aの全部が開口部10c内に露出している場合、開口部10cの角部に導体層が露出するので、その導体層を伝って半田が開口部10cの角部に回り込んでしまい、その結果、半田9による熱応力がソルダーレジスト層10の開口部10cの角部に加えられ、ソルダーレジスト層10にクラックが発生してしまう危険がある。
【0030】
なお、本発明は上述の実施の形態例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可能である。例えば上述の実施の形態例では、導体層の非形成部Aは三角形状であったが図3に示すように、導体層の非形成部Aは図3に示すように開口部10cの角部に沿ったL字形状であってもよい。このように導体層の非形成部Aを開口部10cの角部に沿ったL字形状とすることにより、半田9の接合面積を広いものとして接続パッド5a,5bとコンデンサ素子8とを半田9を介して強固に接続することができる。非形成部Aは、さらに別の形状であってもよいことは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【0031】
【図1】本発明の配線基板を実施するための最良の形態例を示す断面図である。
【図2】本発明の配線基板の要部平面図である。
【図3】本発明の配線基板の別の実施の形態例における要部平面図である。
【符号の説明】
【0032】
1:絶縁基板
5a,5b:コンデンサ素子8の電極が接続される接続パッド
8:コンデンサ素子
9:半田
10:ソルダーレジスト層
10c:開口部
A:導体層の非形成部
【出願人】 【識別番号】000006633
【氏名又は名称】京セラ株式会社
【住所又は居所】京都府京都市伏見区竹田鳥羽殿町6番地
【出願日】 平成16年1月22日(2004.1.22)
【代理人】
【公開番号】 特開2005−209844(P2005−209844A)
【公開日】 平成17年8月4日(2005.8.4)
【出願番号】 特願2004−14174(P2004−14174)