| 【発明の名称】 |
レーザ加工装置 |
| 【発明者】 |
【氏名】栗田 亘
【住所又は居所】埼玉県八潮市大字鶴ヶ曽根７１３番地 リコーユニテクノ株式会社内
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| 【要約】 |
【課題】ガルバノスキャナ走査系を備えたレーザ加工装置において、装置の異常による意図しないレーザ光の放射に対してレーザ光の漏洩を防止して安全性を高めるような機能をガルバノスキャナ制御系に追加したレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ加工装置１の異常により、レーザ光の出力異常や安全スイッチ作動などのエラー信号が制御装置に入力されると、ガルバノスキャナ４内のミラー１０で反射されたレーザ光３の方向をｆθレンズ５の方向からレーザ加工装置の内部に向けることで外部への漏洩を防止する。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光源と、その光源からのレーザ光を制御部からの位置信号に応じて被加工物の所定の位置に走査する１つ以上のガルバノスキャナと、ガルバノスキャナによるレーザ光の照射位置の変化に対応して、焦点を補正するｆθレンズとを備えたレーザ加工装置において、ガルバノスキャナと、ｆθレンズの間を光学的に密閉状態とし、レーザ光はｆθレンズを通してのみレーザ加工装置の外へ照射出来る構造をもち、レーザ加工装置の異常によりレーザ光源からの意図しないレーザ光の放射があった場合は、レーザ光をｆθレンズの外周の外側方向に反射するようにガルバノスキャナのミラーの角度を制御して、レーザ光がレーザ加工装置から漏洩しない方向に反射方向を制御することを特徴としたレーザ加工装置。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】
ガルバノスキャナによるレーザ光走査系を備えたレーザ加工装置に関する技術。
【０００２】
【従来の技術】
レーザ加工装置では、レーザの誤照射に関して安全対策を施す事が定められており、特にシャッタに関してはＪＩＳ Ｃ６８０２において規定されている。
【０００３】
こうした中で、実用新案登録第２６０３８７６号のレーザマーク装置のように、レーザ発振器から放射されたレーザ光を遮るシャッタを用いる方法や、特開平５−１８３２２３の固体レーザ発振器のようにシャッタの動作状態を検出する光センサと、この光センサから出力される信号を増幅して２値化レベルに変換する手段の出力信号と内部シャッタを閉じる信号との論理積出力によりレーザ電源部の出力電流値をレーザ発振しきい値以下に設定して発振を停止する方法などの安全策が考えられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このように、レーザを扱う機器に於いては、レーザ漏洩に関しての安全装置が二重、三重に設けられているものが好ましいと言える。
【０００５】
本発明は、ガルバノスキャナ走査系を備えたレーザ加工装置において、ガルバノスキャナの制御に新たな機能を追加することにより、レーザ漏洩を防止して安全性を高めることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
ガルバノスキャナのレーザ光の照射方向を大きく変移する制御を追加して、レーザ光をレーザ加工装置の内部に向けて反射して外部への漏洩を防止する。
【０００５】
【発明の実施例】
図１は本発明を説明した概略図である。レーザ加工装置１はレーザ光源２を備えており、レーザ光源２から放射されたレーザ光３は、ガルバノスキャナ４の回転軸１１に固定されたミラー１０により反射され、ｆθレンズ５を通して被加工物６に照射される。
【０００６】
ガルバノスキャナ４内のミラー１０は制御装置７からの角度決定信号８の制御により変化する回転軸１１の角度変化に従ってレーザ光３の反射方向を変え、被加工物６の所望の位置にレーザ光を照射して加工を施す。
【０００７】
なお、本発明の説明では、ガルバノスキャナが１つとして説明しているが、レーザ加工装置の多くは、ガルバノスキャナを２つ以上の複数を備えており、被加工物を２次元または３次元の座標に対して加工出来るようになっている。
【０００８】
制御装置７には、レーザ光源２の動作状態を監視する信号の他、図示しないレーザ加工装置１のカバーが解放されると働く、安全スイッチ作動信号や、同じく図示しない緊急停止ボタンが押下される、などのエラー信号を含む、動作状態監視信号９が入力されている。
【０００９】
【発明の効果】
レーザ加工装置１に異常が発生し、レーザ光の出力異常や、安全スイッチ作動などのエラー信号が含まれた動作状態監視信号９が制御装置７に入力されると、制御装置７は角度制御信号８に、ガルバノスキャナ４内の回転軸１１の回転角をミラー１０で反射されたレーザ光３が図３のようにｆθレンズ外周の外側方向のレーザ加工装置内に反射される角度まで大きく動かす指令を出し、レーザ光をレーザ加工装置内に閉じ込める。
【００１０】
このように、本発明はレーザ加工を意図していない時に、レーザ光３を装置の外に照射出来ない角度にガルバノスキャナ４のミラー１０の角度を制御しているので、シャッタ等の安全装置と併用することにより、さらなる安全性を機器に備えることが可能である。
【００１１】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の構成例の説明図
【図２】正常動作時のレーザ光反射方向を表した図
【図３】異常発生時のレーザ光反射方向を表した図
【符号の説明】
１は、レーザ加工装置
２は、レーザ光源
３は、レーザ光
４は、ガルバノスキャナ
５は、ｆθレンズ
６は、被加工物
７は、制御装置
８は、角度制御信号
９は、動作状態監視信号
１０は、ミラー
１１は、回転軸
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００１１５７５１
【氏名又は名称】リコーユニテクノ株式会社
【住所又は居所】埼玉県八潮市大字鶴ケ曽根７１３番地
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| 【出願日】 |
平成１５年６月１６日（２００３．６．１６） |
| 【代理人】 |
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| 【公開番号】 |
特開２００５−７４７０（Ｐ２００５−７４７０Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１７年１月１３日（２００５．１．１３） |
| 【出願番号】 |
特願２００３−１９９４８４（Ｐ２００３−１９９４８４） |
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