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【発明の名称】
静電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置並びにマイクロデバイス
三層のサーマルアクチュエーター及び操作方法
二重作動熱アクチュエータ及びその運転方法
MEMSアクチュエータ
超小型電子マシンデバイス用のフレクシュアおよび超小型電子マシンデバイス
微小電気機械システム、及び、静電力を用いて可動電極を移動させる方法
マイクロマシン及びその製造方法
電磁アクチュエータ、電磁アクチュエータを用いた光偏向器、及び光偏向器を用いた画像表示装置、画像形成装置、並びにその製法
電子部品およびその製造方法
光マイクロポンプ
MEMSアレイとその製造方法及びそれに基づくMEMSデバイスの製造方法
微小流体駆動装置とその製造方法、及び微小流体の駆動方法
マイクロ流体及びマイクロ機械アプリケーション用加熱要素
微細電気機械的(MEM)スイッチおよびその製造方法
双安定微小電子機械システムに基づくシステム、その作動方法及びその製造方法
微細構造を有する型およびこの型を用いる成形体の製造方法
マイクロ構造体及びその製造方法
マイクロチップ
陽極接合構造体及びその製造方法並びにこれを利用した光スキャナーの製造方法
流体プロセッサー用デバイスおよびその流体流通経路設定装置並びに流体プロセッサー
マイクロアクチュエータ、並びに、これを用いた光変調素子及び光変調素子アレー
レーザー駆動マイクロタービン
流路接続方法、流路接続用部材、マイクロ流体デバイス及びマイクロ流体デバイスの接続構造
マイクロマシンおよびその製造方法
マイクロ化学システム用チップ部材及びその製造方法
マイクロマシンおよびその製造方法
予備成形フォトレジストシートを使用した超小型構造及びその製造
マイクロチャンネルチップ
薄膜立体構造体およびその製造方法
半導体装置
微小可動デバイス
可動構造部を有する微小構造体
アクチュエータ並びにこれを用いたアクチュエータ装置及び液体制御装置
静電型アクチュエータ及びそれを用いた光スイッチ
電気部品およびその製造方法
静電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、インクジェット記録装置及び液供給カートリッジ
固体電解質、それを含む可撓性積層体およびそれよりなる全固体アクチュエータ
液滴生成用微小流路構造体、これを用いた液滴生成方法及びその生成物
液体搬送装置
アクチュエータ、その製造方法、液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット記録装置、マイクロポンプ及び光変調デバイス
流体用導管、流体用導管を形成する方法、マイクロアレイシステム、DPNシステム、流体回路、及びマイクロアレイの製造方法
マイクロアクチュエータ装置及びこれを用いた光スイッチシステム
球状半導体装置及びその製造方法
マイクロマシン
マイクロアセンブリー装置
マイクロマシン用半導体装置
MEMS素子及びその製造方法
半導体デバイスとその製造方法
マイクロアクチュエータ装置及びこれを用いた光スイッチシステム
マイクロ部品及びその製造方法
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