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【発明の名称】 太陽電池モジュールからのシリコンウエーハおよび強化ガラスの回収方法
【発明者】 【氏名】金城　庸夫
【住所又は居所】千葉県千葉市中央区川崎町１番地　川鉄テクノリサーチ株式会社内

【氏名】島村　頼文
【住所又は居所】千葉県佐倉市太田２０４３の１　株式会社島村ビーム内

【氏名】山内　喜代志
【住所又は居所】千葉県佐倉市太田２０４３の１　株式会社島村ビーム内
【要約】 【課題】廃棄太陽電池モジュールや製造過程で発生する不良品から、シリコンウェーハおよび強化ガラスを回収・再生する方法を提供する。

【解決手段】廃棄太陽電池モジュールを、界面活性剤を添加し、液温を５０℃以上に保った硝酸に浸漬し、ＥＶＡ　を分解除去してシリコンウエーハおよび強化ガラスを高能率に分離回収する。回収された強化ガラスをアルカリ溶液で洗浄し再生する。また、回収されたシリコンウエーハを、有機溶剤で洗浄し、清浄な表面のシリコンウエーハに再生する。なお、有機溶剤による洗浄に先立ち硝酸による洗浄を行ってもよい。また、回収または再生されたシリコンウエーハを、フッ化水素酸、硝酸、および、酢酸および／または硫酸からなる混合溶液あるいは燐酸に浸漬し、高純度のシリコンウエーハに再生する。なお、製造過程で発生した不良品を、同様な方法で清浄な表面のシリコンウエーハや高純度なシリコンウエーハに再生できる。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコンウエーハからなる複数のセルと強化ガラスと少なくともこれらの間に配置されたＥＶＡ　とを含む太陽電池モジュールを、液温を５０℃以上に保った硝酸に浸漬し前記ＥＶＡ　を分解除去して前記シリコンウエーハおよび前記強化ガラスを分離回収するにあたり、前記硝酸に界面活性剤を添加することを特徴とする太陽電池モジュールからのシリコンウエーハおよび強化ガラスの高能率回収方法。
【請求項２】
シリコンウエーハからなる複数のセルと強化ガラスと少なくともこれらの間に配置されたＥＶＡ　とを含む太陽電池モジュールを、液温を５０℃以上に保った硝酸に浸漬し前記ＥＶＡ　を分解除去して前記シリコンウエーハを分離回収するにあたり、前記強化ガラスを予め破損させ、該強化ガラスがひびの入った状態にするとともに、前記硝酸に界面活性剤を添加することを特徴とする太陽電池モジュールからのシリコンウエーハの高効率回収方法。
【請求項３】
請求項２に記載の高能率回収方法により回収されたシリコンウエーハを、有機溶剤で洗浄することを特徴とするシリコンウエーハの再生方法。
【請求項４】
シリコンウエーハからなる複数のセルと強化ガラスと少なくともこれらの間に配置されたＥＶＡ　とを含む太陽電池モジュールを、液温を５０℃以上に保った硝酸に浸漬し前記ＥＶＡ　を分解除去して前記シリコンウエーハおよび／または前記強化ガラスを分離回収し、ついで該分離回収されたシリコンウエーハおよび／または強化ガラスを有機溶剤で洗浄することを特徴とするシリコンウエーハおよび／または強化ガラスの回収・再生方法。
【請求項５】
前記硝酸を、界面活性剤を添加した硝酸とすることを特徴とする請求項４に記載のシリコンウエーハおよび／または強化ガラスの回収・再生方法。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載の方法で回収または再生されたシリコンウエーハまたは製造過程で不良となったシリコンウエーハを、硝酸に浸漬したのち、有機溶剤で洗浄し電極を除去することを特徴とするシリコンウエーハの回収・再生方法。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載の方法で回収または再生されたシリコンウエーハまたは製造過程で不良となったシリコンウェーハを、フッ化水素酸、硝酸、および酢酸からなる混合溶液またはフッ化水素酸、硝酸および硫酸からなる混合溶液またはフッ化水素酸、硝酸、酢酸および硫酸からなる混合溶液または燐酸に浸漬し、高純度のシリコンウエーハとすることを特徴とするシリコンウエーハの再生方法。
【請求項８】
シリコンウエーハからなる複数のセルと強化ガラスと少なくともこれらの間に配置されたＥＶＡ　とを含む太陽電池モジュールを、液温を５０℃以上に保った硝酸に浸漬し前記ＥＶＡ　を分解除去して前記強化ガラスを分離回収し、ついで該分離回収された強化ガラスをアルカリ溶液で洗浄することを特徴とする強化ガラスの回収・再生方法。
【請求項９】
前記硝酸を、界面活性剤を添加した硝酸とすることを特徴とする請求項８に記載の強化ガラスの回収・再生方法。
【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、太陽電池モジュールに係り、とくに使用済みあるいは製造過程で不良となった廃棄太陽電池モジュールからシリコンウエーハおよび強化ガラスを回収・再生する方法、および製造過程で不良となったシリコンウエーハ（不良部品）を再生する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
太陽電池モジュールは、例えば図１に模式的に断面を示すように、シリコンウエーハで作られる多数のセルを透明なＥＶＡ　（エチレンビニルアセテート：Ｅｔｈｙｌｅｎｅ−Ｖｉｎｙｌ　Ａｃｅｔａｔｅ）でサンドイッチ状に配置し、光透過性に優れた特殊な強化ガラスに貼り付け、裏面を防水処理のために水分不透過性の保護フィルムで覆い、ここに電力を取り出すための端子箱を取り付け、モジュール端部にアルミなどのフレームを装着して作り上げられている。
【０００３】
太陽電池モジュールに用いられているシリコンウエーハおよび強化ガラスは高価な材料である。今後、太陽電池モジュールによる発電が本格化するに伴い、使用済みになった太陽電池モジュールの廃棄量も膨大なものとなってくる。このため、環境負荷を減じるための方策として、かつ高価な材料を無駄にしないため、使用済みの太陽電池モジュールあるいは製造過程で発生する不良品から、有用材料であるシリコンウエーハおよび強化ガラスを回収・再生する技術の確立が熱望されている。
【０００４】
太陽電池モジュールからシリコンウエーハおよび強化ガラスを回収するには、まず、フレームおよび端子箱を取り外し、ついでガラス面とセルに貼りついているＥＶＡ　を何らかの方法で除去しなければならない。
ＥＶＡ　を除去する方法として、現在までに、次の４種の処理方法が知られている。すなわち、（１）大気雰囲気中でＥＶＡ　を焼成して除去する燃焼法、（２）窒素雰囲気等の不活性雰囲気中で温度をあげてＥＶＡ　を分解除去する熱分解法、（３）有機溶剤でＥＶＡ　を膨潤あるいは剥離させる有機溶媒法、（４）硝酸に浸漬してＥＶＡ　を分解除去する硝酸浸漬法、である。
【０００５】
この４種の処理方法については、例えば、非特許文献１に概説がある。また、この非特許文献１では有機溶剤浸漬法についての実験室的研究成果が報告されている。
また、非特許文献２には、硝酸浸漬法についての報告がある。また、自然エネルギー推進市民フォーラム（ＲＥＰＰ）では、非特許文献３で、ＰＶモジュールリサイクルを硝酸浸漬法、熱分解法、燃焼法および有機溶媒法で処理した実験的検討結果について紹介している。
【０００６】
燃焼法は、太陽電池モジュールを大気雰囲気中で、４５０　〜４７０　℃−３０ｍｉｎ　程度の条件で処理する方法で、また、熱分解法は、不活性雰囲気中で５２０　℃−９０ｍｉｎ　程度の条件で処理する方法であり、いずれも比較的容易な方法である。しかし、ドープ成分、炭素質等のシリコンウエーハ本体への拡散や、電極、ハンダの溶融拡散などを防止するため、高温での処理はできない。そのため、ＥＶＡ　を完全に焼成あるいは分解して除去することが困難であるという問題がある。また、炭素物質がセルに固着する状態で残存するなどの不具合もある。
【０００７】
また、有機溶媒法は、ＥＶＡ　を有機溶剤で膨潤させ剥離回収する方法である。有機溶媒法では膨潤は有機溶媒に接している部分から起こる。このため、ＥＶＡ　でガラス面に接着しているセルは、端面部分のＥＶＡ　がまず有機溶媒と接触し膨潤する。この膨潤でセル端面は、ガラス面から離れる方向に変形する。ほとんどのセルは膨潤による変形に耐えきれず、破壊する。当て板によって、強制的に変形を抑えても、ＥＶＡ　の膨潤はセルのガラス面側と当て板側で均等に起こるわけではなく、幾分歩留りは向上するものの大部分のセルは割れてしまう。このように、有機溶媒法では膨潤によるセルの変形を完全には抑えることができず、有機溶媒法による太陽電池モジュールからのシリコンウエーハや強化ガラスの回収歩留りは極めて悪いという問題がある。なお、ＥＶＡ　を溶解させる有機溶媒は見つかっていない。
【０００８】
また、太陽電池モジュールを硝酸に浸漬する硝酸浸漬法では、硝酸と接触しているＥＶＡ　は比較的容易に分解除去することができる。
【０００９】
【非特許文献１】
Ｔ．Ｄｏｉ，Ｉ．Ｔｓｕｄａ，Ｈ．Ｕｎａｇｉｄａ，Ａ．Ｍｕｒａｔａ，Ｋ．Ｓａｋｕｔａ　ａｎｄ　Ｋ．Ｋｕｒｏｋａｗａ；“Ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌ　Ｓｔｕｄｙ　ｏｎ　ＰＶ　Ｍｏｄｕｌｅ　Ｒｅｃｙｃｌｉｎｇ　ｗｉｔｈ　Ｏｒｇａｎｉｃ　Ｓｏｌｖｅｎｔ　Ｍｅｔｈｏｄ　”（Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ　Ｄｉｇｅｓｔ　ｏｆ　Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ　ＰＶＳＥＣ−１１（１９９９））
【非特許文献２】
Ｔ．Ｍ．Ｂｒｕｔｏｎ，ｅｔ．ａｌ．　；“Ｒｅ−ｃｙｃｌｉｎｇ　ｏｆ　Ｈｉｇｈ　Ｖａｌｕｅ，　Ｈｉｇｈ　Ｅｎｅｒｇｙ　Ｃｏｎｔｅｎｔ　Ｃｏｍｐｏｎｅｎｔｓ　ｏｆ　Ｓｉｌｉｃｏｎ　ＰＶ　Ｍｏｄｕｌｅｓ”（１２ｔｈ　Ｅｕｒｏｐｉａｎ　Ｐｈｏｔｏｖｏｌｔａｉｃ　Ｓｏｌａｒ　Ｅｎｅｒｇｙ　Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ（１９９４））
【非特許文献３】
ＲＥＰＰ；「太陽電池リサイクルは今」（Ｇｒｅｅｎ　Ｌｅｔｔｅｒ　２００１，１０　Ｖｏｌ．１８）
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、硝酸浸漬法では、強化ガラス面とセルとの間にあるＥＶＡ　の分解は、硝酸の浸透が困難なため、容易でない。硝酸温度を高温にして分解速度を高めても、セルを分離するのに４日程度とかなりの長時間を要するという問題があった。また、このような燃焼法、熱分解法、および硝酸浸漬法による太陽電池モジュールからのシリコンウエーハや強化ガラスの回収歩留りは、有機溶媒法よりも高い。
【００１１】
しかし、上記した従来の燃焼法、熱分解法、硝酸浸漬法により回収されたセル表面には異物が付着した状態であり、このままでは、正常なセルを得ることはできないという問題があった。燃焼法および熱分解法により回収されたセル表面には、煤状物質、コークス状物質などの炭素質がこびりついており、また、硝酸浸漬法により回収されたセル表面には、白色物質が残存しており、いずれも清浄な表面状態ではなく、何らかの清浄化処理を必要としていた。しかし、これら表面の清浄化技術はまだ確立されていないのが現状である。
【００１２】
本発明は、このような従来技術の問題に鑑みて、回収歩留りの高い硝酸浸漬法に着目して成されたものであり、硝酸浸漬法を利用し、短時間に、太陽電池モジュールからシリコンウエーハおよび強化ガラスを回収する方法を提案することを第１の目的とする。また、本発明は、硝酸浸漬法を利用し太陽電池モジュールから回収されたシリコンウエーハおよび／または強化ガラスを、清浄な表面を有するセルおよび／または強化ガラスとする、シリコンウエーハおよび／または強化ガラスの再生方法、および硝酸浸漬法を利用し太陽電池モジュールから回収されたシリコンウエーハ、あるいは製造過程で発生した不良品となったシリコンウエーハから高純度のシリコンウエーハを得るシリコンウエーハの再生方法を提供することも目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、硝酸浸漬法が太陽電池モジュールのＥＶＡ　を分解してセル（シリコンウエーハ）を分離するには長時間を要するものの、回収歩留りが極めて高い利点があることに着目した。そして、上記した課題を達成するために、硝酸浸漬法によるＥＶＡ　の分解に及ぼす要因について、鋭意検討した。
【００１４】
本発明者らは、太陽電池モジュールを硝酸に浸漬し、ＥＶＡ　の分解する状況を観察した。そして、発生した泡がセル（シリコンウエーハ）に付着した状態となり、この泡が付着した部分から奥には、硝酸が充分浸透しない現象があることを見出した。そこで、本発明者らは、この泡を除去することがＥＶＡ　の分解速度を高めるために必要であることに思い至った。そして、硝酸に界面活性剤を添加することにより泡の付着が防止できることに想到した。
【００１５】
また、硝酸浸漬法で太陽電池モジュールから回収されたセルおよび強化ガラスの表面には、白色物質が残存し、この白色物質を除去しなければ使用上の価値は小さいものであることに鑑み、本発明者らは、この回収されたセルおよび強化ガラスの表面に残存する白色物質の除去方法について、鋭意検討した。その結果、硝酸浸漬法で回収されたセルおよび強化ガラスの表面に残存する白色物質は、ＥＶＡ　の分解した成分が付着したもので、ＦＴ−ＩＲ　による分析から、有機性分解生成物質を主体としているという知見を得た。このような知見に基づき、さらに検討した結果、白色物質の除去には有機溶剤およびアルカリ溶液がよいことを見出した。とくに、強化ガラスの再生にはアルカリ溶液による洗浄処理が有効でかつ経済的であることを見出した。なお、アルカリ溶液による洗浄処理は、アルカリ溶液がセル自体を溶解する作用があるためセルの再生には使用できない。
【００１６】
しかし、セル表面に付着した白色物質を有機溶剤洗浄で除去しても、セルには電極が残り、また、セル表面の光無反射コート薄膜が残存している。光無反射コート薄膜を活かしてセルを再生する場合には、電極を除去する必要がある。また、高純度のシリコンウエーハのみが必要となる場合には、電極および光無反射コート薄膜を除去する必要がある。本発明者らは、電極の除去には硝酸と有機溶剤による洗浄が有効であり、美麗な表面のシリコンウエーハを得るという観点からは、フッ化水素酸、硝酸および酢酸を組み合わせた混酸、またはフッ化水素酸、硝酸および硫酸を組み合せた混酸、またはフッ化水素酸、硝酸、酢酸および硫酸を組み合わせた混酸、または燐酸を使用することがよいという知見を得た。
【００１７】
本発明は、　上記した知見に基づき、さらに検討を加えて完成されたものである。
すなわち、本発明は、シリコンウエーハからなる複数のセルと強化ガラスと少なくともこれらの間に配置されたＥＶＡ　とを含む太陽電池モジュールを、液温を５０℃以上に保った硝酸に浸漬し前記ＥＶＡ　を分解除去して前記シリコンウエーハおよび前記強化ガラスを分離回収するにあたり、前記硝酸に界面活性剤を添加することを特徴とする太陽電池モジュールからのシリコンウエーハおよび強化ガラスの高能率回収方法である。
【００１８】
また、本発明は、シリコンウエーハからなる複数のセルと強化ガラスと少なくともこれらの間に配置されたＥＶＡ　とを含む太陽電池モジュールを、液温を５０℃以上に保った硝酸に浸漬し前記ＥＶＡ　を分解除去して前記シリコンウエーハを分離回収するにあたり、前記強化ガラスを予め破損させ、該強化ガラスがひびの入った状態にするとともに、前記硝酸に界面活性剤を添加することを特徴とする太陽電池モジュールからのシリコンウエーハの高効率回収方法である。
【００１９】
また、本発明は、上記した高能率回収方法により回収されたシリコンウエーハを、有機溶剤で洗浄することを特徴とするシリコンウエーハの再生方法である。また、本発明は、シリコンウエーハからなる複数のセルと強化ガラスと少なくともこれらの間に配置されたＥＶＡ　とを含む太陽電池モジュールを、液温を５０℃以上に保った硝酸に浸漬し前記ＥＶＡ　を分解除去して前記シリコンウエーハおよび／または前記強化ガラスを分離回収し、ついで該分離回収されたシリコンウエーハおよび／または強化ガラスを有機溶剤で洗浄することを特徴とするシリコンウエーハおよび／または強化ガラスの回収・再生方法であり、また、本発明では、前記硝酸を、界面活性剤を添加した硝酸とすることが好ましい。
【００２０】
また、本発明は、上記した各方法で回収または再生されたシリコンウエーハまたは製造過程で不良となったシリコンウエーハを、硝酸に浸漬したのち、有機溶剤で洗浄し電極を除去することを特徴とするシリコンウエーハの回収・再生方法である。
また、本発明は、上記した各方法で回収または再生されたシリコンウエーハまたは製造過程で不良となったシリコウェーハを、フッ化水素酸、硝酸、および酢酸からなる混合溶液、またはフッ化水素酸、硝酸および硫酸からなる混合溶液、またはフッ化水素酸、硝酸、酢酸および硫酸からなる混合溶液、または燐酸に浸漬し、高純度のシリコンウエーハとすることを特徴とするシリコンウエーハの再生方法である。
【００２１】
また、本発明は、シリコンウエーハからなる複数のセルと強化ガラスと少なくともこれらの間に配置されたＥＶＡ　とを含む太陽電池モジュールを、液温を５０℃以上に保った硝酸に浸漬し前記ＥＶＡ　を分解除去して前記強化ガラスを分離回収し、ついで該分離回収された強化ガラスをアルカリ溶液で洗浄することを特徴とする強化ガラスの回収・再生方法であり、また、本発明では、前記硝酸を、界面活性剤を添加した硝酸とすることが好ましい。
【００２２】
【発明の実施の形態】
本発明では、予め、太陽電池モジュールのフレームおよび端子ボックスを取り外し、あるいは必要に応じて、裏面の防水保護シートを引き剥し、シリコンウエーハからなる複数のセルと強化ガラスとこれらの間に配置されたＥＶＡ　とからなる構成としておくことが好ましい。
【００２３】
なお、太陽電池モジュールは図１に示すような構造となっているため、シリコンウエーハ同士の隙間や保護フィルム（防水保護シート）を剥離した後のウエーハの裏面にＥＶＡ　が残存してしまう場合があるが、そのようにＥＶＡ　が残存していてもよい。
本発明では、好ましくはこのような状態とした太陽電池モジュールを硝酸に浸漬し、シリコンウエーハと強化ガラスを分離回収する。
【００２４】
太陽電池モジュールを硝酸に浸漬し、この硝酸液を昇温すると、ＥＶＡ　は分解をはじめる。本発明では、硝酸の温度を５０℃以上とする。硝酸の温度が５０℃未満では、ＥＶＡ　の分解速度が遅く、シリコンウエーハと強化ガラスの分離に長時間を要する。このため、硝酸温度は５０℃以上とする。なお、好ましくは、７０℃以上８０℃以下である。特に９０℃を超えて高温とすると、激しいガス発生や沸騰が生じるという問題がある。
【００２５】
硝酸に浸漬された太陽電池モジュールの裏面側、すなわち強化ガラス面と反対側のセル裏面側ではＥＶＡ　が直接硝酸と接触するため、ＥＶＡ　の厚さを分解するのに十分な時間が確保されると、ＥＶＡ　は分解され、セル表面（シリコンウエーハ面）が露出する。一方、強化ガラスとセルの間にあるＥＶＡ　の分解は、強化ガラスとセルからは硝酸が透過できないため、セル端面と強化ガラス面との隙間から浸透した硝酸によってのみ生じる。したがって、強化ガラスとセルに挟まれた部分のＥＶＡ　の分解は、厚み方向を分解するだけのセル裏面側に比較して、長時間を要することとなる。さらに、分解に伴って発生する泡が強化ガラス面とセルの間に停滞し、セル端面からセル中心に向かって浸透しようとする硝酸に対して、泡のバリアーを形成し、硝酸の浸透を著しく阻害する。このため、５０℃以上という高温に保った硝酸であっても、強化ガラス面とセル間のＥＶＡ　を分解して、セルを完全に分離させるには、約１００　時間が必要であった。
【００２６】
そこで、本発明では、太陽電池モジュールを浸漬する硝酸に界面活性剤を添加する。硝酸に界面活性剤を加えることにより、ＥＶＡ　の分解過程で発生した泡がセル（シリコンウエーハ）に付着・停滞することを防止でき、硝酸が極めて効率的にＥＶＡ　に接触することができるようになり、さらに強化ガラス面とＥＶＡ　界面およびセルとＥＶＡ　界面への硝酸の浸透も円滑に進行するようになる。これにより、ＥＶＡ　の分解反応効率を高めることができ、従来１００　時間かかっていたＥＶＡ　の分解時間を約半分の５０時間に短縮することができ、セル（シリコンウエーハ）および強化ガラスの分離回収効率が極めて高くなる。
【００２７】
界面活性剤としては、ＥＶＡ　の分解過程で発生する泡がセルに付着・停滞することを防止でき、さらには硝酸の界面への浸透を早めるるものであればよく、特に限定されない。界面活性剤には、陰イオン性界面活性剤、陽イオン性界面活性剤、両性界面活性剤、非イオン性界面活性剤がある。また作用の点からは、洗浄剤、気泡剤、乳化剤、浸透剤、湿潤剤、分散剤、可溶化剤、帯電防止剤などとして工業的に広く使用されている。本発明で使用する好ましい界面活性剤としては、洗浄剤、浸透剤、可溶化剤として使用されているものを挙げることができる。また、界面活性剤の添加量は、硝酸と界面活性剤の合計量に対し、体積率で１〜１０％とすることが好ましい。界面活性剤の添加量が少なすぎると上記した効果が期待できない。一方、多く添加しても、効果が飽和し添加量に見合う効果が期待できず、経済的に不利となる。なお、硝酸への界面活性剤の添加に加えて、液の流動、超音波振動の利用などを併用してもよい。
【００２８】
上記した、太陽電池モジュールを界面活性剤を添加した硝酸に浸漬する本発明方法は、反応時間が短く、従来４日必要であったものが２日で済む、高能率の分離回収方法である。
また、強化ガラスの回収を行なわない場合には、さらに回収時間を短縮できる。強化ガラスの回収を行わない場合には、太陽電池モジュールの強化ガラスを予め破損させ、ひび割れ状態として、界面活性剤を添加した硝酸に浸漬することが好ましい。強化ガラスは、強化のために応力が掛けられた状態でガラス化しているからどこかに傷が発生すると、応力が開放されるように全面が編目状に破壊する。このひび割れ部を硝酸の通り道とし、ガラス界面側からも硝酸を浸透させ、セルの両面から一気にＥＶＡ　を分解させることができる。この、　予め強化ガラスをひび割れ状態にする方法では、セルの分離時間はさらに短縮され、約１日の硝酸浸漬処理でシリコンウエーハを分離できる。
【００２９】
上記した本発明の方法によれば、廃棄される太陽電池モジュールから有用なシリコンウエーハと強化ガラスを実用的な時間で分離して回収できるようになる。しかし、この回収されたままのシリコンウエーハ、強化ガラスには、ともに表面に付着物が付着しており、完全に除去された清浄な状態ではない。
硝酸でＥＶＡ　を分解除去する方法では、従来法も本発明方法もともに太陽電池モジュールから分離回収したセル表面には白色物質が付着している。この白色物質は、硝酸によるＥＶＡ　の分解過程でＥＶＡ　が変質した、有機物であると見られる物質が主体である。
【００３０】
この白色物質は、通常の水洗では除去することができない。また、ブラッシング等の物理的除去ではセルを傷つける。本発明では、この白色物質を有機溶剤を使用して洗浄除去し、回収されたシリコンウエーハ、強化ガラスを再生し、再利用に供する。白色物質を洗浄除去に使用する溶剤の種類は、白色物質を溶解できるものであればその種類は限定されない。なお、溶剤によって溶解性に差は認められるが、好ましい有機溶剤として、炭化水素類、アルコール類、エーテルアルコール類、エーテル類、エステル類、エーテルエステル類、ケトン類、その他の溶剤が挙げられる。なお、これら溶剤を１種、　あるいは必要に応じ２種以上を複合して用いることができる。
【００３１】
炭化水素類としては、
トルエン、キシレン、ｎ−ヘプタン、ｎ−ヘキサン、工業用ガソリン（ゴム揮発油、ミネラルスピリット）、灯油、石油系混合溶剤、低芳香族含有ミネラルスピリット、１，２，４−トリメチルベンゼン、テトラリン、ジペンテン、テレピン油、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン、イソパラフィン系溶剤など；
アルコール類としては、
メタノール、エタノール、変性アルコール、ｎ−プロパノール、イソプロパノール、ｎ−ブタノール、イソブタノール、セカンダリーブタノール、ターシャリーブタノール、ｎ−アミルアルコール、イソアミルアルコール、２−エチルヘキサノール、メチルイソブチルカルビノール、ベンジルアルコール、フリフリルアルコールなど；
エーテルアルコール類およびエーテル類としては、
メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、セロソルブソルベント、ブチルセロソルブ、イソブチルセロソルブ、ｔｅｒｔ−　ブチルセロソルブ、イソプロピルセロソルブ、ヘキシルセロソルブ、メトキシブタノール、３−メチル−３−　メトキシブタノール、メチルカルビトール、カルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルテーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールｎ−ブチルエーテル、プロピレングリコールｎ−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールｎ−ブチルエーテル、ジオキサン、プロピルセロソルブなど；
エーテル類およびエーテルエステル類としては、
酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ｎ−プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、酢酸イソアミル、酢酸メチルセロソルブ、酢酸セロソルブ、酢酸ブチルセロソルブ、酢酸メトキシプロピル、酢酸メトキシブチル、酢酸カルビトール、酢酸ブチルカルビトール、酢酸３−メチル３−メトキシブタノール、プロピオン酸３−エトキシエタノール、２，２，４−トリメチル−１，３−　ペンタジオールモノイソブチレート、二塩基酸エステルなど；
ケトン類としては、
アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、ジイソブチルケトン、メチル−ｎ−　ヘキシルケトン、メチルアミルケトン、シクロヘキサノン、ダイアセトンアルコール、イソホロンなど；
その他溶剤類としては、
メチレンクロライド、トリクロロエチレン、テトラクロロエチレン、Ｏ−　ジクロロベンゼン、ＨＣＦＣ、テトラヒドロフラン、２−ニトロプロパン、ジメチルホルムアミド、ｎ−メチル−２−　ピロリドンなど；
が例示できる。
【００３２】
なお、強化ガラスに付着した白色物質は、上記した有機溶剤以外に、アルカリ溶液による洗浄によっても除去できる。アルカリ溶液は水溶液でアルカリ性を示すものであればよく、特に限定されるものではない。洗浄に使用するアルカリ溶液は１種類のアルカリを用いても、あるいは数種類のアルカリを組み合わせて用いてもいずれでもよい。好ましいアルカリとしては、アルカリ金属あるいはアルカリ土類金属の水酸化物が例示でき、なかでも水酸化カリウム、水酸化ナトリウム等のアルカリ金属の水酸化物がより好ましい。一方、セルに付着した白色物質の除去には、アルカリ溶液による洗浄は適用できない。これは、アルカリがシリコンウエーハ自体を溶解する作用があり、セルを無傷で再生することができないためである。
【００３３】
上記したような、有機溶剤の洗浄処理を施されたセルには、電極、セル表面の光無反射コート薄膜が残存しているおり、このままの状態で、太陽電池セルとして再利用することもできる。しかし、場合によっては、電極を除去して光無反射コート薄膜のみを残した状態のセルが必要な場合や、これら表面のシリコン以外の物質は全て除去した、高純度のシリコンウエーハのみを必要とする場合もある。電極を除去する場合には、まず硝酸で電極を溶解・剥離し、さらに残存するものを有機溶剤で洗浄して除去することが好ましい。また、高純度のシリコンウエーハのみを得ようとする場合には、混酸または燐酸を使用して、電極、光無反射コート薄膜を除去することが好ましい。
【００３４】
本発明で使用する混酸としては、フッ化水素酸、硝酸および酢酸を組み合わせた混合溶液、またはフッ化水素酸、硝酸および硫酸を組み合せた混合溶液、またはフッ化水素酸、硝酸、酢酸および硫酸を組み合わせた混合溶液とすることが好ましい。フッ化水素酸のみでは、シリコンウエーハは溶解してしまう。また、フッ化水素酸と硝酸を組み合わせた混合溶液では、シリコンウエーハは腐食され、美麗な表面を有するシリコンウエーハを得ることはできない。酢酸または硫酸を加えることでシリコンウエーハは浸食されなくなる。さらに、酢酸と硫酸をともに加えてもよい。フッ化水素酸、硝酸および酢酸の混合溶液、またはフッ素水素酸、硝酸および硫酸の混合溶液、またはフッ化水素酸、硝酸、酢酸および硫酸の混合溶液を使用することによって、電極および光無反射コート薄膜を除去した高純度のシリコンウエーハが回収・再生できる。なお、フッ化水素酸、硝酸および酢酸の混合溶液の混合比率は、フッ化水素酸：１〜１０体積％、硝酸：５〜３０体積％の混合酸１０００ｍｌに対し酢酸：５０〜２００ｍｌ　とすることが好ましい。また、フッ化水素酸、硝酸および硫酸の混合溶液の混合比率は、フッ化水素酸：１〜１０体積％、硝酸：５〜３０体積％の混合酸１０００ｍｌに対して硫酸：５０〜２００ｍｌ　とすることが好ましい。また、フッ化水素酸、硝酸、酢酸および硫酸の混合溶液の混合比率は、フッ化水素酸：１〜１０体積％、硝酸：５〜３０体積％の混合酸１０００ｍｌに対し酢酸：５０〜２００ｍｌ　、硫酸：５０〜２００ｍｌ　とすることが好ましい。また、上記した混酸に代えて燐酸を用いても同様の効果が得られる。
【００３５】
【実施例】
（実施例１）
フレームおよび端子箱を取り除いた太陽電池モジュールを、硝酸に界面活性剤（ＣＭＰ−ＭＯ２　：関東化学（京葉ケミカル）製）を５％添加した溶液に浸漬した。なお、硝酸の液温は７５℃に保持した。浸漬槽部側にあるのぞき窓からの観察では、発生する泡は、セル表面から容易に離脱し、次々に浮上した。浸漬してから２日後に浸漬した太陽電池モジュールを取り出したところ、強化ガラスとセル（シリコンウエーハ）は全て完全に分離しており、破損のない状態で回収することができた。
（比較例１）
フレームおよび端子箱を取り除いた太陽電池モジュールを、界面活性剤を添加していない硝酸溶液に浸漬した。なお硝酸の液温は７５℃に保持した。浸漬槽側部にあるのぞき窓からの観察では、発生する気泡のセル表面からの離脱は十分ではなかった。気泡はセル表面に付着して、時折浮上するのみであった。強化ガラスとセル（シリコンウエーハ）の分離には、浸漬してから４日を要した。
（実施例２）
フレームおよび端子箱を取り除いた太陽電池モジュールの両面を穴のあいた抑え板で固定し、強化ガラスに傷をつけ、強化ガラスを網の目状に破壊し、ひび割れ状態とした。この状態で、界面活性剤（ＣＭＰ−ＭＯ２　：関東化学（京葉ケミカル）製）を５％添加した硝酸溶液に浸漬した。なお、液温は７５℃に保持した。
【００３６】
浸漬後、１日経過したのち、太陽電池モジュールを取り出したところ、セル（シリコンウエーハ）は全て完全に分離しており、破損のない状態で回収することができた。
（実施例３）
実施例１で回収したセル（シリコンウエーハ）を、ＮＭＰ（ｎ−メチル−２−　ピロリドン）に室温で浸漬し、水洗したところ表面に付着していた白色物質は除去され、清浄なセル（シリコンウエーハ）が得られた。
（実施例４）
実施例１で回収した強化ガラスを、ＮＭＰ（ｎ−メチル−２−　ピロリドン）に室温で１５分浸漬し、水洗したところ表面に付着していた白色物質は除去され、清浄な表面を有する強化ガラスが得られた。
（実施例５）
実施例１で回収したセル（シリコンウエーハ）を、超音波洗浄器に入れたエチルセロソルブ（２−エトキシエタノール）に浸漬し、約３０分間超音波洗浄した。これにより、表面に付着していた白色物質は除去され、清浄な表面を有するセル（シリコンウエーハ）が得られた。
（実施例６）
実施例１で回収した強化ガラスを、水酸化カリウム１００ｇを１０リットルの水に溶解し６０℃に保持したアルカリ溶液に３０分浸漬し、水洗し乾燥したところ、表面に付着していた白色物質は除去され、清浄な表面を有する強化ガラスが得られた。（実施例７）
実施例１で回収したセル（シリコンウエーハ）を、超音波洗浄器に入れたキノリンに浸漬し、約３０分間超音波洗浄した。その後、セルを取り出しアセトンで洗浄した後、乾燥させた。これにより、表面に付着していた白色物質は除去された清浄な表面を有するセル（シリコンウエーハ）が得られた。
（実施例８）
実施例３で得られたセル（シリコンウエーハ）を、フッ化水素酸３．１　％、硝酸１８．１％の混酸溶液１０００ｍｌに対し１００　ｍｌの酢酸を混合した溶液に浸漬した。浸漬後、２日経過したのち取り出し、水洗し乾燥させた。これにより、表面の電極、光無反射コート薄膜共に除去され、表面処理物質が全て除去された高純度のシリコンウエーハが得られた。
（実施例９）
実施例３で得られたセル（シリコンウエーハ）を、フッ素水素酸３．１　％、硝酸１８．１％の混合溶液１０００ｍｌに対し３５％濃度の硫酸１００ｍｌ　を混合した溶液に浸漬した。浸漬後、２日経過したのち取り出し、水洗いし乾燥させた。これにより、表面の電極、光無反射コート薄膜共に除去され、表面処理物質が全て除去された高純度のシリコンウエーハが得られた。
（実施例１０）
実施例３で得られたセル（シリコンウエーハ）を、フッ化水素酸３．１　％、硝酸１８．１％の混酸溶液１０００ｍｌに対し１００　ｍｌの酢酸と３５％濃度の硫酸１００ｍｌ　を混合した液温５５℃の溶液に２０分浸漬したのち取り出し、水洗し乾燥させた。これにより、表面の電極、光無反射コート薄膜共に除去され、表面処理物質が全て除去された高純度のシリコンウエーハが得られた。
（実施例１１）
実施例３で得られたセル（シリコンウェーハ）を、６０℃に保持した１７％濃度の硝酸に１５分浸漬し電極を溶解・剥離させたのちに、５０℃に保持したＮＭＰ（ｎ−メチル−２−ピロリドン）に１５分浸漬した。これにより、電極およびその剥離残骸が全て除去された光無反射コート薄膜に覆われた清浄なシリコンウェーハが得られた。
（実施例１２）
製造過程で不良品となったセル（シリコンウエーハ）を、６０℃に保持した１７％濃度の硝酸に１５分浸漬し、電極を溶解・剥離させたのち、５０℃に保持したＮＭＰ（ｎ−メチルー２−ピロリドン）に１５分浸漬した。これにより、電極およびその剥離残骸がすべて除去され、光無反射コート薄膜に覆われた清浄なシリコンウエーハが得られた。これを、さらにフッ化水素酸３．１　％、硝酸１８．１％の混酸溶液１０００ｍｌに対し１００　ｍｌの酢酸と３５％濃度の硫酸１００ｍｌ　を混合した液温５５℃の溶液に２０分浸漬したのち取り出し、水洗し乾燥させた。これにより、光無反射コート薄膜が除去され、表面処理物質が全て除去された高純度のシリコンウエーハが得られた。
（実施例１３）
製造過程で不良品となったセル（シリコンウェーハ）を、６０℃に保持した１７％濃度の硝酸に１５分浸漬し電極を溶解・剥離させたのちに、５０℃に保持したＮＭＰ（ｎ−メチル−２−ピロリドン）に１５分浸漬した。これにより、電極およびその剥離残骸が全て除去された光無反射コート薄膜に覆われた清浄なシリコンウェーハが得られた。これを液温１８０　℃に保持した燐酸（関東化学（株）特級）溶液に２０分浸漬したのち取り出し、水洗いし乾燥させた。これにより、光無反射コート薄膜が除去され、表面処理物質が全て除去された高純度のシリコンウェーハが得られた。
（比較例２）
実施例３で得られたセル（シリコンウエーハ）２枚を、フッ化水素酸３．１　％の溶液、およびフッ化水素酸３．１　％、硝酸１８．１％の混酸溶液に、それぞれ１日間浸漬した。その結果、いずれもぼろぼろに腐食された状態になり、ウエーハとして再利用する状態には程遠いものとなった。
【００３７】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明によれば、硝酸浸漬法を利用し、使用済または不良の廃棄太陽電池モジュール、および製造過程で発生する不良品から再利用可能な状態のシリコンウェーハ、強化ガラスが、従来方法の半分以下の時間という高能率で回収でき、経済的に大きな効果を有し、産業上格段の効果を奏する。また、本発明は、エネルギー節減の面からも時代のニーズに大きく貢献するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】太陽電池モジュールの一例を模式的に示す断面図である。
【出願人】 【識別番号】０００２００２６４
【氏名又は名称】川鉄テクノリサーチ株式会社
【住所又は居所】東京都千代田区内幸町２丁目２番３号
【識別番号】５９８１５４３１６
【氏名又は名称】株式会社島村ビーム
【住所又は居所】千葉県佐倉市太田２０４３の１
【出願日】 平成１５年５月１６日（２００３．５．１６）
【代理人】 【識別番号】１０００９９５３１
【弁理士】
【氏名又は名称】小林　英一
【公開番号】 特開２００４−４２０３３（Ｐ２００４−４２０３３Ａ）
【公開日】 平成１６年２月１２日（２００４．２．１２）
【出願番号】 特願２００３−１３８７６３（Ｐ２００３−１３８７６３）