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【発明の名称】 電気部品保持装置のフィルタの目詰まり状態検査，清掃方法および装置
【発明者】 【氏名】磯貝 武義
【住所又は居所】愛知県知立市山町茶碓山１９番地 富士機械製造株式会社内

【氏名】鈴木 雅登
【住所又は居所】愛知県知立市山町茶碓山１９番地 富士機械製造株式会社内

【氏名】岩城 範明
【住所又は居所】愛知県知立市山町茶碓山１９番地 富士機械製造株式会社内
【要約】 【課題】電気部品保持装置において、フィルタを装着したまま目詰まり状態の検査や清掃を可能とする。

【解決手段】圧力供給通路内に設けられたフィルタ１５２の前後に圧力差を発生させる圧力供給装置１６０を設け、その圧力供給装置１６０には可変絞りおよび圧力センサを設ける。フィルタ１５２とノズル保持部１４０を接続する圧力供給通路にも圧力センサＰｆ２０４を設ける。フィルタ１５２の前後の圧力差によりフィルタ１５２を通過する気流が発生するが、目詰まりした状態のフィルタ１５２の通気抵抗は正常なフィルタ１５２と比較して大きく、各圧力センサで測定される圧力や圧力変化速度が変わる。よって、この圧力や圧力変化速度の変化に基づいてフィルタ１５２の目詰まり状態等を検査することができる。フィルタ１５２の清掃は、圧力供給装置１６０よりフィルタ１５２に正圧を供給し、さらに脈動させることにより良好に行うことができる。
【特許請求の範囲】
【請求項１】 吸着ノズルを保持するノズル保持部と、そのノズル保持部に圧力供給通路を経て圧力を供給する圧力供給装置と、前記圧力供給通路に設けられたフィルタとを含む電気部品保持装置における前記フィルタの目詰まりを検査する方法であって、前記フィルタを前記電気部品保持装置に装着したままで、そのフィルタを通過する空気の流れを生じさせ、フィルタの通気抵抗に基づいてフィルタの目詰まり状態を検査することを特徴とするフィルタの目詰まり検査方法。
【請求項２】 前記フィルタを通過する空気の流れを生じさせ、フィルタの通気抵抗の変化によって生じる前記圧力供給通路の圧力の変化に基づいて、前記フィルタの目詰まり状態を検査する請求項１に記載の目詰まり検査方法。
【請求項３】 前記圧力供給装置により前記圧力供給通路に負圧を供給した状態で前記通気抵抗の変化に起因して生じる前記圧力供給通路の負圧の変化に基づいて、前記フィルタの目詰まり状態を検査する請求項１または２に記載の目詰まり検査方法。
【請求項４】 前記フィルタの前後に圧力差がない状態から圧力差がある状態に急激に変化させた場合における前記圧力供給通路の圧力変化速度に基づいて、フィルタの目詰まり状態を検査する請求項１ないし３のいずれかに記載の目詰まり検査方法。
【請求項５】 前記目詰まり状態の検査を、前記ノズル保持部に前記吸着ノズルを保持させない状態で行う請求項１ないし４のいずれかに記載の目詰まり検査方法。
【請求項６】 前記目詰まり状態の検査を、前記ノズル保持部に前記吸着ノズルを保持させた状態で行う請求項１ないし５のいずれかに記載の目詰まり検査方法。
【請求項７】 吸着ノズルを保持するノズル保持部と、そのノズル保持部に圧力供給通路を経て圧力を供給する圧力供給装置と、前記圧力供給通路に設けられたフィルタとを含む電気部品保持装置における前記フィルタを清掃する方法であって、前記フィルタを前記電気部品保持装置に装着したままで、前記圧力供給通路の前記フィルタより前記ノズル保持部側の部分に負圧を供給することと、反対側の部分に正圧を供給することとの少なくとも一方により、フィルタに前記ノズル保持部に向かう向きの空気の流れを生じさせて、フィルタの目詰まりを解消することを特徴とするフィルタ清掃方法。
【請求項８】 吸着ノズルを保持するノズル保持部と、そのノズル保持部に圧力供給通路を経て圧力を供給する圧力供給装置と、前記圧力供給通路に設けられたフィルタとを含む電気部品保持装置における前記フィルタを清掃する方法であって、前記フィルタを前記電気部品保持装置に装着したままで、そのフィルタの目詰まりを検出する目詰まり検出工程と、その目詰まり検出工程においてフィルタの目詰まりが検出された場合に、そのフィルタを電気部品保持装置に装着したままで、目詰まりを解消する目詰まり解消工程とを含むことを特徴とするフィルタ清掃方法。
【請求項９】 吸着ノズルを保持するノズル保持部と、そのノズル保持部に圧力供給通路を経て圧力を供給する圧力供給装置と、前記圧力供給通路に設けられたフィルタとを含む電気部品保持装置における前記フィルタの目詰まりを自動で検査するためにコンピュータにより実行される目詰まり検査プログラムであって、前記フィルタが前記電気部品保持装置に装着された状態でそのフィルタを通過する空気の流れを生じさせる空気流生成ステップと、前記空気の流れに対する前記フィルタの通気抵抗に基づいてフィルタの目詰まり状態を判定する目詰まり状態判定ステップとを含むことを特徴とする目詰まり検査プログラム。
【請求項１０】 吸着ノズルを保持するノズル保持部と、そのノズル保持部に圧力供給通路を経て圧力を供給する圧力供給装置と、前記圧力供給通路に設けられたフィルタとを含む電気部品保持装置における前記フィルタの目詰まりを自動で検査し、目詰まりが検出された前記フィルタを自動で清掃するためにコンピュータにより実行されるフィルタ清掃プログラムであって、前記フィルタが前記電気部品保持装置に装着された状態でそのフィルタを通過する空気の流れを生じさせる空気流生成ステップと、前記空気の流れに対する前記フィルタの通気抵抗に基づいてフィルタの目詰まり状態を判定する目詰まり状態判定ステップと、前記フィルタが前記電気部品保持装置に装着された状態でそのフィルタに前記ノズル保持部に向かう向きの空気の流れを生じさせる目詰まり状態解消ステップとを含むことを特徴とするフィルタ清掃プログラム。
【請求項１１】 吸着ノズルを保持するノズル保持部と、そのノズル保持部に圧力供給通路を経て圧力を供給する圧力供給装置と、前記圧力供給通路に設けられたフィルタとを含む電気部品保持装置において、前記圧力供給通路に圧力センサを設けるとともに、その圧力センサの検出値に基づいて前記フィルタの目詰まり状態を判定する目詰まり状態判定装置を接続したことを特徴とする電気部品保持装置。
【請求項１２】 前記圧力供給通路が複数に分岐させられ、それら分岐部の各々に前記ノズル保持部，前記フィルタおよび前記開閉弁が互いに直列に設けられた請求項１１に記載の電気部品保持装置。
【請求項１３】 前記圧力供給通路に、前記圧力供給装置側より前記ノズル保持部側が低く、かつ、前記フィルタの目詰まりを解消するに十分な大きさの圧力差を生じさせる圧力差発生装置を含む請求項１１または１２に記載の電気部品保持装置。
【請求項１４】 吸着ノズルを保持するノズル保持部と、そのノズル保持部に圧力供給通路を経て圧力を供給する圧力供給装置と、前記圧力供給通路に設けられたフィルタとを含む電気部品保持装置において、前記圧力供給通路に、前記圧力供給装置側より前記ノズル保持部側が低く、かつ、前記フィルタの目詰まりを解消するに十分な大きさの圧力差を生じさせる圧力差発生装置を設けたことを特徴とする電気部品保持装置。
【請求項１５】 吸着ノズルを保持するノズル保持部と、そのノズル保持部に圧力供給通路を経て圧力を供給する圧力供給装置と、吸着ノズルを経て吸入される外気に含まれる異物を除去するフィルタとを含む電気部品保持装置において、前記圧力供給通路に圧力センサを設けるとともに、その圧力センサの検出値に基づいて前記フィルタの目詰まり状態を判定する目詰まり状態判定装置を接続したことを特徴とする電気部品保持装置。
【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、負圧により電気部品（電子部品を含む）を吸着し、保持する電気部品保持装置に関するものであり、特に、電気部品吸引力の低下の原因となるフィルタの目詰まり等の検査および清掃に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】電気部品を吸着ノズルにより吸着し、保持する電気部品保持ヘッドを備えた電気部品保持装置が知られている。この装置において、フィルタは、圧力供給通路の途中に設けられ、電気部品吸着時の吸入空気中の異物を除去する。その結果、フィルタにより捕集された異物が増加すれば当然ながら通気抵抗が増大し、吸着ノズルに供給される負圧が減少するため吸引力が低下する。吸引力が低下すれば、一旦吸着ノズルに吸着された電気部品が途中で落下し、あるいは吸着ノズルが電気部品を吸着できなくなるなどの吸着ミスが発生する。吸着ミスを防ぐためには、定期的にメンテナンスを行いフィルタの目詰まり状態を確認することが有効である。しかし、フィルタが保持装置の圧力供給通路内、例えばヘッド本体内に設けられているため、外部から確認することはできない。圧力供給通路を形成する複数の部材を分解し、フィルタの状態を確認することが必要なのである。確認の結果、フィルタが汚れている場合は、清掃するか新しいフィルタと交換し、複数の部材を一体的に組み付け直す。
【０００３】しかしながら、フィルタの目詰まり状態を確認する度に圧力供給通路を形成する複数の部材の分解および組み付けが必要なため、メンテナンスに要する労力が多大であり、定期的なメンテナンスの間隔を長くせざるを得ない。そのため、メンテナンスの際には未だ汚れが少なく、使用可能なフィルタであるにもかかわらず、次回のメンテナンスまで吸着ミスの発生を確実に回避するために、交換を余儀なくされて、無駄なコストが生じる。一方、メンテナンスが遅れると、汚れがひどく、使用限度を超えたフィルタであるにもかかわらず使用され、吸着ミス発生の一因となる。フィルタの適切な交換時期あるいは清掃時期の決定が容易ではないのである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題，課題解決手段および効果】本発明は以上の事情を背景とし、フィルタの目詰まりの検出を容易にし、あるいはフィルタの清掃時期ないし交換時期の決定と、フィルタの清掃との少なくとも一方を容易に行うことができるようにすることを課題として為されたものであり、本発明によって、下記各態様のフィルタの目詰まり検査方法，フィルタ清掃方法，フィルタ管理方法，目詰まり検査プログラム，フィルタ清掃プログラム，電気部品保持装置等が得られる。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも本発明の理解を容易にするためであり、本明細書の記載の技術的特徴およびそれらの組み合わせが以下の各項に記載のものに限定されると解釈されるべきではない。また、一つの項に複数の事項が記載されている場合、それら複数の事項を一緒に採用しなければならないわけではない。一部の事項のみを選択して採用することも可能なのである。
【０００５】なお、以下の各項において、(1)項が請求項１に相当し、(2)項が請求項２に、(3)項が請求項３に、(5)項が請求項４に、(7)項が請求項５に、(8)項が請求項６に、(10)項と(11)項を併せた項が請求項７に、(13)項が請求項８に、(15)項が請求項９に、(17)項が請求項１０に、(18)項が請求項１１に、(22)項が請求項１２に、(33)項が請求項１３に、(29)項が請求項１４に、(34)項が請求項１５に、それぞれ相当する。
【０００６】○フィルタを装着したままで目詰まり状態を検査する方法（１）吸着ノズルを保持するノズル保持部と、そのノズル保持部に圧力供給通路を経て圧力を供給する圧力供給装置と、前記圧力供給通路に設けられたフィルタとを含む電気部品保持装置における前記フィルタの目詰まりを検査する方法であって、前記フィルタを前記電気部品保持装置に装着したままで、そのフィルタを通過する空気の流れを生じさせ、フィルタの通気抵抗に基づいてフィルタの目詰まり状態を検査することを特徴とするフィルタの目詰まり検査方法。フィルタの通気抵抗に基づいてフィルタの目詰まり状態を検査するためには、フィルタの前後に圧力差を生じさせてフィルタを通過する気体の流れを生じさせることが必要である。そのためには、圧力供給通路のフィルタに対してノズル保持部とは反対側の部分に負圧または正圧を供給することが簡便さの点で優れているが、フィルタの両側にそれぞれ正圧と負圧とを供給すること、例えば、圧力供給通路のフィルタよりノズル保持部側の部分に負圧（以後、第２負圧と称する）を、反対側の部分に正圧をそれぞれ供給することによって、比較的弱い負圧および正圧を使用しながらフィルタの両側の圧力差を大きくすることができる。フィルタの通気抵抗の検出には、例えば、圧力供給通路の圧力の変化の検出やフィルタ等が気流に押される力の変化の検出などを利用し得る。
（２）前記フィルタを通過する空気の流れを生じさせ、フィルタの通気抵抗の変化によって生じる前記圧力供給通路の圧力の変化に基づいて、前記フィルタの目詰まり状態を検査する (1)項に記載の目詰まり検査方法。圧力供給通路における気体流量はフィルタの通気抵抗の変化に影響される。そして、供給される圧力が一定であると仮定すると、フィルタの目詰まり状態がひどければ通気抵抗が大きいため気体流量が少なくなり、目詰まりのない正常な状態であれば気体流量は多くなる。すなわち、フィルタの目詰まり状態の違いによる通気抵抗の違いが気体流量を変化させ、その影響によって圧力供給通路内の圧力が変化する。その圧力の変化に基づきフィルタの目詰まり状態を検査することが可能である。なお、ここでいう圧力とは正圧，負圧および絶対圧のいずれをも包含する。検査対象のフィルタについての圧力の変化は、例えば、次のような量に基づいて検出することができる。（ａ）圧力供給通路の気流および圧力が安定した状態における圧力である気流安定時圧力。（ｂ）圧力供給通路に供給される圧力の急激な変化に伴う圧力供給通路の圧力変化途中における圧力である過渡状態圧力。（ｃ）圧力供給通路において気流が存在しない状態における圧力と気流安定時圧力との差である圧力増減量。（ｄ）圧力供給通路のフィルタの前後における圧力の差である差圧。（ｅ）供給される圧力が変化した際に生じる圧力供給通路の圧力変化の速度である圧力変化速度。上記をはじめとする圧力に関連した物理量である圧力関連量としきい圧力関連量との比較によってフィルタの目詰まり状態を判定することが可能である。また、フィルタの目詰まり状態検査に使用する圧力関連量は１つでも良いし複数でも良い。圧力関連量およびしきい圧力関連量は、正圧，負圧，絶対圧のいずれに関連するものでも良い。
（３）前記圧力供給装置により前記圧力供給通路に負圧を供給した状態で前記通気抵抗の変化に起因して生じる前記圧力供給通路の負圧の変化に基づいて、前記フィルタの目詰まり状態を検査する (1)項または(2)項に記載の目詰まり検査方法。フィルタの目詰まり状態が激しいほどフィルタより圧力供給装置側の圧力供給通路の負圧が強くなるため、例えば、圧力供給通路の実際の負圧としきい負圧とを比較し、実際の負圧がしきい負圧より強ければ、目詰まり状態になったと判定されるようにすることができる。また、フィルタの目詰まり状態が激しい状態において、フィルタよりノズル保持部側の圧力供給通路の負圧は弱くなり、それによっても目詰まり状態の判定が可能である。その他の負圧関連量としきい負圧関連量との比較による判定も可能である。
（４）前記圧力供給装置により圧力供給通路に正圧を供給した状態で、前記通気抵抗の変化に起因して生じる前記圧力供給通路の正圧の変化に基づいて、前記フィルタの目詰まり状態を検査する (1)項ないし(3)項のいずれかに記載の目詰まり検査方法。前項と同様に、正圧関連量としきい正圧関連量との比較により目詰まり状態の判定が可能である。また、本項が(3)項に従属する形態においては、正圧による検査と負圧による検査を選択的に行うことや、相前後して両方を行うことが可能である。
（５）前記フィルタの前後に圧力差がない状態から圧力差がある状態に急激に変化させた場合における前記圧力供給通路の圧力変化速度に基づいて、フィルタの目詰まり状態を検査する(1)項ないし(4)項のいずれかに記載の目詰まり検査方法。圧力変化速度に基づく量としては、圧力変化の勾配や、圧力供給通路の圧力が定常状態になる前の状態において、圧力差が発生してから予め設定された設定圧力に達するまでの時間や，圧力差が発生してから予め設定された設定時間後における圧力などがある。本形態においては、圧力差による気流が圧力供給通路に発生してから、圧力供給通路の圧力が定常状態になる時点より手前の時点（過渡時点と称する）における圧力が測定される。詳細は実施形態の目詰まり等監視モードにて説明する。
（６）前記フィルタの前後に圧力差がある状態から圧力差がない状態に急激に変化させた場合における前記圧力供給通路内の圧力変化速度に基づいて、フィルタの目詰まり状態を検査する(1)項ないし(5)項のいずれかに記載の目詰まり検査方法。例えば、圧力の供給を停止することにより圧力差がある状態から圧力差がない状態に急激に変化させることが可能である。その変化に応じて、フィルタの前後の圧力供給通路における圧力は等しくなっていくが、その際の圧力変化速度はフィルタの目詰まり状態に影響されるため、その圧力変化速度に基づいて目詰まり状態を検査することができる。
（７）前記目詰まり状態の検査を、前記ノズル保持部に前記吸着ノズルを保持させない状態で行う(1)項ないし(6)項のいずれかに記載の目詰まり検査方法。吸着ノズルを保持させない状態であれば、吸着ノズルの通気抵抗による影響を受けることなく目詰まり状態の検査を行うことができる。
（８）前記目詰まり状態の検査を、前記ノズル保持部に前記吸着ノズルを保持させた状態で行う(1)項ないし(7)項のいずれかに記載の目詰まり検査方法。吸着ノズルを保持した状態で検査を行えば、吸着ノズルを取り外す手間が省ける。また、フィルタの検査とともに吸着ノズルの詰まりの検査を行うことが可能な場合もある。電気部品保持装置に複数のノズル保持部およびフィルタが備えられている場合は、全てのノズル保持部に吸着ノズルが保持されている必要はなく、吸着ノズルが保持されないノズル保持部が混在していても本項の検査を行うことができる。また、ノズル保持部が複数ある場合や、吸着ノズルを保持した状態と保持しない状態との両方で検査を行う場合等においては、本項は前項と排他的な関係にはなく、ノズル保持部に吸着ノズルを保持しない状態では前項の方法の実施が可能である。
（９）前記目詰まり状態の検査を、前記ノズル保持部に保持されている吸着ノズルの内径が設定値以上である場合に、その吸着ノズルをノズル保持部に保持させたままの状態で行う (8)項に記載の目詰まり検査方法。例えば、ノズル保持部に内径が設定値以上である吸着ノズルが保持されている間の適宜の時期に目詰まり状態の検査を行えば、吸着ノズルを取り外すことなく、しかも、確実に目詰まり状態を検出することができる。もし、予め定められた条件が満たされた時点、例えば、フィルタ使用量が設定使用量を超えた時点、さらに具体的には、累積吸着回数が設定回数を超えた時点や、装着装置の累積運転時間が設定時間を超えた時点などに、未だ、一度も内径が設定値以上である吸着ノズルが保持されたことがないノズル保持部があった場合には、そのノズル保持部については、吸着ノズルを取り外して、そのノズル保持部に対応するフィルタの目詰まり状態を検査することが望ましい。
○フィルタを装着したままで清掃する方法（１０）吸着ノズルを保持するノズル保持部と、そのノズル保持部に圧力供給通路を経て圧力を供給する圧力供給装置と、前記圧力供給通路に設けられたフィルタとを含む電気部品保持装置における前記フィルタを清掃する方法であって、前記フィルタを前記電気部品保持装置に装着したままで、前記圧力供給装置から前記フィルタに向かう向きの空気の流れを生じさせて、フィルタの目詰まりを解消することを特徴とするフィルタ清掃方法。フィルタの目詰まりは、圧力供給装置により圧力供給通路に負圧が供給された際に、ちり等の異物がノズル保持部側から吸引され、フィルタの穴より大きい異物が主にフィルタのノズル保持部側の面に付着することによって生じるため、フィルタからノズル保持部に向かう向きの気流により少なくとも一部の異物を除去することができる。
（１１）前記圧力供給通路の前記フィルタより前記圧力供給装置側の部分に正圧を供給することと、反対側の部分に負圧を供給することとの少なくとも一方により、前記圧力供給装置から前記フィルタに向かう向きの空気の流れを生じさせる(10)項に記載のフィルタ清掃方法。
（１２）前記圧力供給装置から前記フィルタに向かう向きの空気の流れに脈動を生じさせる (10)項または(11)項に記載のフィルタ清掃方法。例えば、間欠的な圧力の供給により気流に脈動を生じさせることが可能であり、清掃の効果が高まる。
○フィルタを装着したままで目詰まり状態検査し、必要があれば清掃する方法（１３）吸着ノズルを保持するノズル保持部と、そのノズル保持部に圧力供給通路を経て圧力を供給する圧力供給装置と、前記圧力供給通路に設けられたフィルタとを含む電気部品保持装置における前記フィルタを清掃する方法であって、前記フィルタを前記電気部品保持装置に装着したままで、そのフィルタの目詰まりを検出する目詰まり検出工程と、その目詰まり検出工程においてフィルタの目詰まりが検出された場合に、そのフィルタを電気部品保持装置に装着したままで、目詰まりを解消する目詰まり解消工程とを含むことを特徴とするフィルタ清掃方法。前記 (1)項ないし(12)項のいずれかに記載の特徴は本項のフィルタ清掃方法にも採用することができる。全てのフィルタを清掃するのではなく、目詰まりしたフィルタだけを清掃することで、清掃にかかる時間を短縮し得る。
○フィルタ管理方法（１４） (10)項ないし(13)項のいずれかに記載のフィルタ清掃方法と、そのフィルタ清掃方法の実行後にフィルタの目詰まり状態を検査する工程と、その検査工程において、前記フィルタ清掃方法の実行にもかかわらずフィルタの目詰まり状態が解消されていない場合には、そのフィルタを別のフィルタと交換するフィルタ交換工程とを含むフィルタ管理方法。前記 (1)項ないし(9)項のいずれかに記載の特徴は本項のフィルタ管理方法にも適用することができる。清掃後に検査を行うことにより、清掃の効果が得られない使用限度を超えた目詰まりフィルタがあれば、そのフィルタを正常なものと交換することによりその後の吸着ミスの発生を防止することができる。
○目詰まり検査プログラム（１５）吸着ノズルを保持するノズル保持部と、そのノズル保持部に圧力供給通路を経て圧力を供給する圧力供給装置と、前記圧力供給通路に設けられたフィルタとを含む電気部品保持装置における前記フィルタの目詰まりを自動で検査するためにコンピュータにより実行される目詰まり検査プログラムであって、前記フィルタが前記電気部品保持装置に装着された状態でそのフィルタを通過する空気の流れを生じさせる空気流生成ステップと、前記空気の流れに対する前記フィルタの通気抵抗に基づいてフィルタの目詰まり状態を判定する目詰まり状態判定ステップとを含むことを特徴とする目詰まり検査プログラム。前記(2)項ないし(9)項のいずれかに記載の特徴は本項の目詰まり検査プログラムにも採用可能である。後述する(18)項ないし(28)項のいずれかに記載の技術的特徴は本項の目詰まり検査プログラムにも採用可能である。
○フィルタ清掃プログラム（１６）吸着ノズルを保持するノズル保持部と、そのノズル保持部に圧力供給通路を経て圧力を供給する圧力供給装置と、前記圧力供給通路に設けられたフィルタとを含む電気部品保持装置における前記フィルタを自動で清掃するためにコンピュータにより実行されるフィルタ清掃プログラムであって、前記フィルタが前記電気部品保持装置に装着された状態で前記圧力供給装置からそのフィルタに向かう向きの空気の流れを生じさせる目詰まり状態解消ステップを含むことを特徴とするフィルタ清掃プログラム。(11)項ないし(14)項のいずれかに記載の特徴は本項のフィルタ清掃プログラムにも採用可能である。後述する(29)項ないし(32)項のいずれかに記載の技術的特徴は本項のフィルタ清掃プログラムにも採用可能である。
（１７）吸着ノズルを保持するノズル保持部と、そのノズル保持部に圧力供給通路を経て圧力を供給する圧力供給装置と、前記圧力供給通路に設けられたフィルタとを含む電気部品保持装置における前記フィルタの目詰まりを自動で検査し、目詰まりが検出された前記フィルタを自動で清掃するためにコンピュータにより実行されるフィルタ清掃プログラムであって、前記フィルタが前記電気部品保持装置に装着された状態でそのフィルタを通過する空気の流れを生じさせる空気流生成ステップと、前記空気の流れに対する前記フィルタの通気抵抗に基づいてフィルタの目詰まり状態を判定する目詰まり状態判定ステップと、前記フィルタが前記電気部品保持装置に装着された状態で前記圧力供給装置からそのフィルタに向かう向きの空気の流れを生じさせる目詰まり状態解消ステップとを含むことを特徴とするフィルタ清掃プログラム。前記(2)項ないし(14)項のいずれかに記載の方法の各工程を自動で行うプログラムを作成することが可能である。後に示す(18)項ないし(32)項に記載の特徴は本項のフィルタのメンテナンス・プログラムにも採用可能である。以上の検査や清掃等の方法を実施する各プログラムは、コンピュータにより読み取り可能な状態で記録媒体に記録される態様も本発明の一実施態様である。特に取り外し可能なもの（ＦＤ，ＣＤ−ＲＯＭ，ＨＤ，ＭＯ等）に記録されることが望ましい。
○フィルタを装着したままで目詰まり状態を検査する装置（１８）吸着ノズルを保持するノズル保持部と、そのノズル保持部に圧力供給通路を経て圧力を供給する圧力供給装置と、前記圧力供給通路に設けられたフィルタとを含む電気部品保持装置において、前圧力供給通路に圧力センサを設けるとともに、その圧力センサの検出値に基づいて前記フィルタの目詰まり状態を判定する目詰まり状態判定装置を接続したことを特徴とする電気部品保持装置。圧力供給通路は、圧力供給装置の外部のみを意味せず、圧力供給装置内部の圧力源にまでつながっているものとする。本項ないし(28)項に係る電気部品保持装置は、前記(2)項ないし(9)項のいずれかに係るフィルタの目詰まり状態検査方法の実施に好適なものである。
（１９）前記圧力センサが、前記フィルタと前記圧力供給装置との間の前記圧力供給通路と、前記フィルタと前記ノズル保持部との間の前記圧力供給通路との少なくとも一方に設けられた(18)項に記載の電気部品保持装置。フィルタとノズル保持部との間に圧力センサが設けられる場合は、圧力センサから外気までの圧力供給通路の長さがある程度確保されていることと、圧力センサから外気までの圧力供給通路に適度な通気抵抗が存在していることとの少なくとも一方の条件が満たされていることが望ましい。例えば、ノズルの内径が設定内径以上である吸着ノズルが装着されている場合などである。
（２０）前記圧力供給通路に設けられ、その部分を必要に応じて遮断する開閉弁を含む(18)項または(19)項に記載の電気部品保持装置。開閉弁の連通・遮断により急激な圧力差の発生・消滅や気流の脈動等が可能となる。
（２１）前記圧力供給通路が複数に分岐させられ、それら分岐部の各々に前記ノズル保持部および前記フィルタが互いに直列に設けられた(18)項ないし(20)項のいずれかに記載の電気部品保持装置。
（２２）前記圧力供給通路が複数に分岐させられ、それら分岐部の各々に前記ノズル保持部，前記フィルタおよび前記開閉弁が互いに直列に設けられた(18)項ないし(20)項のいずれかに記載の電気部品保持装置。圧力センサを圧力供給装置と圧力供給通路の分岐との間に設けることにより、１つの圧力センサで複数のフィルタに対する検査を行うことが可能となる。
（２３）前記圧力供給装置が前記圧力供給通路に負圧および正圧を個別に供給可能なものである(18)項ないし(22)項のいずれかに記載の電気部品保持装置。
（２４）前記フィルタに対して前記圧力供給装置と反対側において、前記電子部品保持装置と接続可能な負圧供給装置を含む(18)項ないし(23)項のいずれかに記載の電気部品保持装置。
（２５）前記目詰まり状態判定装置が、前記圧力供給装置により前記圧力供給通路に圧力が供給されている状態で前記圧力センサの検出値から求められる圧力関連量としきい圧力関連量との比較によって前記フィルタの目詰まり状態を判定するしきい圧力関連量依拠判定部を含む(18)項ないし(24)項のいずれかに記載の電気部品保持装置。
（２６）前記目詰まり状態判定装置が、前記圧力供給装置により前記圧力供給通路に負圧が供給されている状態で前記圧力センサの検出値から求められる負圧関連量としきい負圧関連量との比較によって前記フィルタの目詰まり状態を判定するしきい負圧関連量依拠判定部を含む(18)項ないし(25)項のいずれかに記載の電気部品保持装置。
（２７）前記目詰まり状態判定装置が、前記圧力供給装置により前記圧力供給通路に正圧が供給されている状態で前記圧力センサの検出値から求められる正圧関連量としきい正圧関連量の比較によって前記フィルタの目詰まり状態を判定するしきい正圧関連量依拠判定部を含む(18)項ないし(26)項のいずれかに記載の電気部品保持装置。
（２８）前記フィルタの前後の圧力差を急変させる圧力差急変装置を含み、かつ、前記目詰まり状態判定装置が、その圧力差急変装置により前記圧力差が急変させられた場合における前記圧力供給通路内の圧力変化速度に基づいて、フィルタの目詰まり状態を判定する圧力変化速度依拠判定部を含む(18)項ないし(27)項のいずれかに記載の電気部品保持装置。圧力差急変装置としては、複数の圧力源を備えた圧力供給装置，開閉弁，絞り弁，方向切換弁などが挙げられる。また、それらを組み合わせても良い。圧力差急変装置により、圧力を十分急激に変化させることで圧力供給通路の圧力変化速度に基づくフィルタの目詰まり状態の判定を行い易くなる。
○フィルタを装着したままで清掃する装置（２９）吸着ノズルを保持するノズル保持部と、そのノズル保持部に圧力供給通路を経て圧力を供給する圧力供給装置と、前記圧力供給通路に設けられたフィルタとを含む電気部品保持装置において、前記圧力供給通路に、前記圧力供給装置側より前記ノズル保持部側が低く、かつ、前記フィルタの目詰まりを解消するに十分な大きさの圧力差を生じさせる圧力差発生装置を設けたことを特徴とする電気部品保持装置。本項ないし(32)項に係る電気部品保持装置は、前記(10)項ないし(12)項のいずれかに係るフィルタの目詰まり状態検査方法の実施に好適なものである。
（３０）前記圧力差発生装置が、前記圧力供給通路に正圧を供給することが可能な圧力供給装置を含む(29)項に記載の電気部品保持装置。
（３１）前記圧力差発生装置が、前記フィルタに対して前記圧力供給装置と反対側において、前記電子部品保持装置と接続可能な負圧供給装置を含む(29)項または(30)項に記載の電気部品保持装置。フィルタに対して圧力供給装置と反対側に負圧を供給することにより、気流によりフィルタから除去された異物の飛散を防止でき、負圧供給装置手前の圧力供給通路に別のフィルタを設ければ、除去された異物を捕集することが可能となる。また、フィルタの前後に発生する圧力差を大きくすることができる。
（３２）前記圧力供給装置から前記フィルタに向かう向きの空気の流れに脈動を生じさせる脈動発生装置を含む(29)項ないし(31)項のいずれかに記載の電気部品保持装置。気流の脈動を生じさせる手段としては、例えば圧力の供給と停止とを繰り返す制御、圧力供給通路の一部を連通，遮断する開閉弁、圧力供給装置の複数の圧力源と圧力供給通路との接続を切り換える方向切換弁、圧力供給通路と外気との連通，遮断を選択可能な通気口などが挙げられる。
○フィルタを装着したままで検査や清掃を行う装置（３３）前記圧力供給通路に、前記圧力供給装置側より前記ノズル保持部側が低く、かつ、前記フィルタの目詰まりを解消するに十分な大きさの圧力差を生じさせる圧力差発生装置を含む(18)項ないし(28)項のいずれかに記載の電気部品保持装置。本項に係る電気部品保持装置には、(30)項または(31)項に記載の圧力差発生装置や(32)項に記載の脈動発生装置が採用可能である。本項に係る電気部品保持装置は、前記(2)項ないし(14)項のいずれかに係るフィルタの目詰まり状態検査やフィルタの清掃方法の実施に好適なものである。フィルタの検査が可能な装置に、圧力供給装置からフィルタに向かう向きの気流を発生させる装置を設ければ、検査と清掃とを必要に応じて適宜行うことが可能となる。
（３４）吸着ノズルを保持するノズル保持部と、そのノズル保持部に圧力供給通路を経て圧力を供給する圧力供給装置と、吸着ノズルを経て吸入される外気に含まれる異物を除去するフィルタとを含む電気部品保持装置において、前記圧力供給通路に圧力センサを設けるとともに、その圧力センサの検出値に基づいて前記フィルタの目詰まり状態を判定する目詰まり状態判定装置を接続したことを特徴とする電気部品保持装置。前記(19)項ないし(28)項，(33)項のいずれかに記載の特徴は本項の電気部品保持装置にも適用可能である。本項に(22)項が従属する形態においては、圧力供給装置側から開閉弁，ノズル保持部，フィルタの順に直列に設けられた電気部品保持装置も含まれる。本項に記載の電気部品保持装置は、前記(2)項ないし(9)項のいずれかに係るフィルタの目詰まり状態検査方法の実施に好適なものである。フィルタが圧力供給装置とノズル保持部との間の圧力供給通路に設けられても良く、吸着ノズルや吸着管に設けられても良い。
（３５）吸着ノズルを保持するノズル保持部と、そのノズル保持部に圧力供給通路を経て圧力を供給する圧力供給装置と、吸着ノズルを経て吸入される外気に含まれる異物を除去するフィルタとを含む電気部品保持装置における前記フィルタの目詰まりを検査する方法であって、前記フィルタを前記電気部品保持装置に装着したままで、そのフィルタを通過する空気の流れを生じさせ、フィルタの通気抵抗に基づいてフィルタの目詰まり状態を検査することを特徴とするフィルタの目詰まり検査方法。前記(2)項ないし(6)項，(8)項のいずれかに記載の特徴は本項のフィルタ目詰まり検査方法にも適用可能である。
【０００７】以上に述べた(1)項ないし(35)項の各々は、フィルタの目詰まり検査や清掃を目的としているが、後に実施形態において例を示すように、それらを採用してフィルタの目詰まりと吸着ノズルの詰まりとの検査と清掃との少なくとも一方を実施することができる。電気部品の吸着能力低下の主な原因は、フィルタの目詰まりと吸着ノズルの詰まりとの少なくとも一方であるため、それらを検査または清掃することはそれぞれ電気部品保持装置の吸着能力の検査または維持につながる。よって、(1)項ないし(35)項の各々は、フィルタの検査や清掃に限らず、単独または複数の特徴を組み合わせて、電気部品保持装置の吸着能力の維持を図る検査と清掃との少なくとも一方を含むメンテナンス方法，メンテナンス・プログラム，メンテナンス装置として考えることもできる。
【０００８】＜実施形態・ハード構成＞本発明の一実施形態である電子部品装着システムを図１に示す。図において符号１０はシステム本体としてのベースを示す。ベース１０上には、回路基板の一種であるプリント配線板１４を搬送する配線板コンベヤ１６、プリント配線板１４を水平に保持する基板保持装置としての配線板保持装置１８、プリント配線板１４に電気部品の一種である電子部品２０（図３参照）を装着する部品装着装置２２および部品装着装置２２に電子部品２０を供給する部品供給装置２４，２６等が設けられている。
【０００９】部品装着装置２２には、複数（図示の例においては３つ）で１組の部品装着ユニット３０およびそれら部品装着ユニット３０を水平移動させるＸＹロボット３２が備えられている。ＸＹロボット３２は、図１および図２に示すように、ベース１０上にＹ軸方向に移動可能に設けられたＹ軸スライド３４と、Ｙ軸スライド３４を移動させるＹ軸スライド移動装置３６と、Ｙ軸スライド３４上にＸ軸方向に移動可能に設けられたＸ軸スライド３８と、Ｘ軸スライド３８を移動させるＸ軸スライド移動装置４０とを含む。１組の部品装着ユニット３０はＸＹロボット３２により、ＸＹ座標面内の任意の位置へ移動させられて、部品供給装置２４または２６から供給される電子部品２０を吸着により保持して搬送し、プリント配線板１４の表面４２（図３参照）に装着する。
【００１０】１組の部品装着ユニット３０は、Ｘ軸スライド３８上にＸ軸方向に平行に一列に並んで設けられている。これら部品装着ユニット３０の構成は同じであり、１つを代表的に説明する。部品装着ユニット３０は、図３に示すように、吸着ノズル５０を着脱可能に保持するノズルホルダ５６と、そのノズルホルダ５６を前記水平なＸＹ座標面に直角な方向である垂直方向に移動させるホルダ昇降装置５８とを含む。
【００１１】本電子部品装着システムにおいては、電子部品２０の装着時には、複数の吸着ノズル５０のうちの少なくとも１つが電子部品２０を吸着して装着する。複数のノズルホルダ５６には、種類が同じあるいは異なる複数の吸着ノズル５０がそれぞれ１個ずつ保持される。
【００１２】図４に示すように、ノズルホルダ５６はアダプタ６０を介して吸着ノズル５０を保持する。アダプタ６０は、保持軸６２の下端部に設けられたノズルホルダ５６に形成された嵌合穴６４に軸方向に相対移動可能に嵌合されており、複数の保持部材６６（図３には代表的に１個のみ図示）の各係合突起６８が係合部７０に係合することにより保持されるとともに、付勢装置の一種である弾性部材であって、ばね部材たる圧縮コイルスプリング７１により、ノズルホルダ５６から下方に突出する向きに付勢されている。ノズルホルダ５６には保持軸６２の軸線に平行に延びる複数の切欠７２が等角度間隔に形成されている。前記複数の保持部材６６の各々は、それら切欠７２に回動可能に嵌合されるとともに、突部７４が切欠７６へ嵌入させられ、かつ、ノズルホルダ５６に巻き付けられたリング状のばね部材７８により中心方向へ付勢されることによってノズルホルダ５６に保持されている。
【００１３】吸着ノズル５０は、係合部材としての係合レバー９０により、固定解除操作なしには離脱不能にアダプタ６０に装着される。アダプタ６０には、図５に示すように、保持軸６２の軸線に平行に延びる切欠９２が形成されている。係合レバー９０はその切欠９２に嵌合されるとともに、係合レバー９０の突部９４がアダプタ６０に形成された切欠９６に嵌入し、かつ、アダプタ６０に巻き付けられたリング状のばね部材９８により中心方向へ付勢されることによってアダプタ６０に保持される。係合レバー９０の下部には、アダプタ６０の軸線側へ突出する係合突部１００が一体に形成されており、吸着ノズル５０の円環状の係合溝１０２に係合する係合位置にあるロック状態において、吸着ノズル５０がアダプタ６０から離脱することを防止する。
【００１４】吸着ノズル５０は、吸着管保持体１１０およびその吸着管保持体１１０に保持された吸着管１１２を有している。吸着管保持体１１０は、図５および図６に示すように、テーパ外周面１１６を有するテーパ軸部１１８を備え、アダプタ６０に設けられたテーパ内周面１２０を有するテーパ穴１２２に嵌合されるとともに、ばね部材１２６によりアダプタ６０に保持されている。ばね部材１２６は、平行に向かい合う一対のアーム部とそれらアーム部の基端同士を連結する連結部とを有してコの字形をなしており、コの字の平行に向かい合う一対のアーム部の中央部が、図６に示すように、アダプタ６０に形成された一対の切欠１３４を貫通し、吸着管保持体１１０のテーパ面１３８に係合している。テーパ面１３８は、吸着管保持体１１０の円環状の係合溝１０２の開口の上縁に形成され、下方に向かうに従って吸着管保持体１１０の軸線に近づく向きに傾斜させられており、ばね部材１２６のアーム部とテーパ面１３８との係合により、吸着管保持体１１０が斜面の効果でテーパ穴１２２内に引き込まれて位置決めされる。アダプタ６０のテーパ穴１２２を形成する部分が、吸着ノズル５０を保持するノズル保持部１４０を構成しており、このノズル保持部１４０内の空間は、テーパ内周面１２０とテーパ外周面１１６との密着により気密性が保たれている。
【００１５】＜フィルタ＞前記アダプタ６０のテーパ穴１２２の上方に続いた穴であるフィルタ設置穴１５０の上部に板状のフィルタ１５２が水平に設けられている。フィルタ１５２はフィルタ設置穴１５０の上部に嵌合され、その下側にリング状のフィルタ押さえ１５４がフィルタ設置穴１５０にしまり嵌合されることによって固定される。フィルタ１５２は厚さ数百μｍ以下の金属板であり、空気透過面に円相当径が数百μｍ以下の穴（形状は問わないが、本実施形態では正方形の穴）が多数、均一に形成されている。
【００１６】フィルタ押さえ１５４の一部を鉛直方向に切断するようにスリット１５６が設けられており、フィルタ押さえ１５４の水平断面形状がアルファベットのC状にされ、フィルタ押さえ１５４の外径が弾性的に変化することが可能となっている。フィルタ設置穴１５０の内径よりもわずかに大きな外径を持つフィルタ押さえ１５４が、円周が減少するように弾性変形させられた状態でフィルタ設置穴１５０に嵌合させられることにより、フィルタ設置穴１５０から容易に離脱しないようにされている（図５）。フィルタ押さえ１５４には、離脱時に離脱方向の力を作用させるための係合面である円環溝１５７が設けられている。
【００１７】前記ノズルホルダ５６の前記嵌合穴６４につながる前記保持軸６２の中央にある穴１５８は（図４）、吸着ノズル５０とは反対の側から圧力が供給される通路であり、前記アダプタ６０の中央を鉛直方向に貫通するよう設けられた穴１５９およびフィルタ押さえ１５４のスリット１５６を通してノズル保持部１４０内の空間と気体の通路でつながっており、吸着ノズル５０の装着状態ではそのノズル保持部１４０内の空間が吸着管１１２を鉛直方向に貫通する穴を通して外気と連通する。電子部品２０吸着時に吸着管１１２より吸引される外気はアダプタ６０の穴１５９へ流れる前にフィルタ１５２を通過し、フィルタ１５２の網目よりも大きな異物は捕集される。
【００１８】＜実施形態回路図＞図７に本実施形態の回路図を示す。本装置には、圧力供給装置１６０の各圧力源によって発生させられた圧力を供給すべきヘッド部（各々フィルタ１５２およびノズル保持部１４０を含む）が３組設けられ、それら３組のヘッド部それぞれに異なる圧力が独立に供給可能なように各圧力源，複数の方向切換弁，複数の開閉弁および３組のヘッド部が、圧力を供給するための気体の通路である圧力供給通路によって接続されている。まず、１組のヘッド部に各種の圧力を供給するための構成について説明する。圧力供給装置１６０は、圧力源として、正圧供給装置１６２，大気開放口１６４および第１負圧供給装置１６６を備えている。正圧供給装置１６２および第１負圧供給装置１６６内には圧力制御弁および流量制御弁が設けられており（図示省略）、常に安定した圧力を供給することが可能とされている。正圧供給装置１６２から供給される正圧が供給される圧力供給通路は２本に分岐し、一方には減圧されない第１正圧が供給され、他方には減圧された第２正圧が供給される。そのために、他方の圧力供給通路には圧力調整弁１７０および可変絞り１７２が直列に接続されており、２つの正圧のどちらかが方向切換弁１７４により選択されるようになっている。
【００１９】第１負圧供給装置１６６と大気開放口１６４とのいずれかが方向切換弁１７６により選択され、方向切換弁１７８と接続される。方向切換弁１７８は、正圧供給装置１６２から供給される正圧と、第１負圧供給装置１６６または大気開放口１６４から供給される負圧または大気圧とを選択し、開閉弁１８０を経てヘッド部に供給する。
【００２０】次に、３組のヘッド部に各種の圧力を独立に供給するための構成について説明する。開閉弁１８０，方向切換弁１７８および方向切換弁１７６が３組設けられ、第１負圧供給装置１６６につながる１本の圧力供給通路，大気開放口１６４につながる１本の圧力供給通路および前記方向切換弁１７４につながる１本の圧力供給通路は、それぞれ３本に分岐し、１つのヘッド部の場合に上述したように接続される。第１負圧供給装置１６６からの圧力供給通路の分岐点前の部分に可変絞り１８２が設けられている。この可変絞り１８２および前記可変絞り１７２が設けられている理由、ならびに可変絞り１７２，１８２の設定については後に詳述する。大気開放口１６４からの圧力供給通路の分岐点前の部分にフィルタ１８４が設けられている。フィルタ１８４はフィルタ１５２と同等以上の濾過機能を有し、濾過面積が十分大きなものであれば、いかなるものでもよい。方向切換弁１７８は３系統のヘッド部につながる３つの開閉弁１８０とそれぞれ１対１で接続され、前記３組のヘッド部においてはフィルタ１５２およびノズル保持部１４０が直列に接続されている。可変絞り１７２と方向切換弁１７４の間の圧力供給通路に圧力測定点Ｐｐが、可変絞り１８２と圧力供給通路の分岐点との間に圧力測定点Ｐｎが、フィルタ１５２とノズル保持部１４０との間の圧力供給通路に圧力測定点Ｐｆが設定されている。圧力測定点Ｐｐ，ＰｎおよびＰｆ（以後、それぞれを測定点Ｐｐ，ＰｎおよびＰｆと略記する）には、圧力センサＰｐ２００，Ｐｎ２０２およびＰｆ２０４が設けられている。圧力センサＰｆ２０４は、図６に示すように、ノズルアダプタ６０の側部に設けられており、圧力センサＰｆ２０４の設置空間とテーパ穴１２２とが穴２１０によって接続されている。前記フィルタ押さえ１５４は前述のようにスリット１５６が形成されており、圧力センサＰｆ２０４にはこのスリット１５６を経てフィルタ１５２下部空間の圧力が供給される。前記フィルタ押さえ１５４がフィルタ設置穴１５０に嵌合される際には、スリット１５６と穴２１０との距離が近い方が望ましく、また、スリット１５６の位置が常に同じであることが望ましい。
【００２１】＜ノズル収容装置＞電子部品装着システムの吸着ノズル５０の交換領域が、図１の配線板保持装置１８と電子部品供給装置２６との間に設定されており、保持具収容装置としての吸着ノズル収容装置２１４（以後、ノズル収容装置と略記する。）が設けられている。ＸＹロボット３２およびホルダ昇降装置５８によって部品装着ユニット３０が移動させられ、ノズル収容装置２１４の所定の収納位置に吸着ノズル５０が収納され、あるいは所定の収納位置から吸着ノズル５０が自動的に取り出される。
【００２２】本電子部品装着システムは、図７に示すように、前記第１負圧供給装置１６６とは別に第２負圧供給装置２２０を備えている。この第２負圧供給装置２２０内には圧力制御弁および流量制御弁が設けられており（図示省略）、常に安定した圧力を供給することが可能とされている。その第２負圧供給装置２２０の接続時に使用されるダミーノズル２２２および接続部２２４の１組を代表的に図８に示す。接続部２２４には鉛直方向の穴２３０があり、その穴２３０は接続部２２４の下方で開閉弁２３２（図７参照）と接続されている。接続部２２４上面には穴２３０の開口部の周りに閉曲線である円周に沿って溝２３４が設けられており、その溝２３４にはそれぞれ閉曲線である円周に沿ったシール部材であるＯリング２３６がはめ込まれている。
【００２３】ダミーノズル２２２には、吸着管１１２は設けられておらず、中央には鉛直方向の穴が設けられており、その穴の断面積は大径の吸着管１１２の中空部の断面積およびフィルタ１５２の総開口面積等よりも十分大きくされている。ダミーノズル２２２には、吸着ノズル５０と同様の位置に係合溝１０２およびテーパ面１３８等が設けられ、吸着ノズル５０と同様にアダプタ６０を介してノズル保持部１４０に保持される。ダミーノズル２２２は、ノズル収容装置２１４に収納されており、吸着ノズル５０と同様に自動的に着脱可能である。
【００２４】以上に述べた穴２３０，円環状の溝２３４およびＯリング２３６が、接続部２２４上面に３組設けられており、３つの穴２３０の配置が、３つのノズル保持部１４０に保持された３つのダミーノズル２２２の配置と等しいため、３つのノズル保持部１４０に保持された３つのダミーノズル２２２と同時に接続可能である。ダミーノズル２２２を保持したノズル保持部１４０が、接続部２２４に接続されることにより、３つのノズル保持部１４０と３つの開閉弁２３２が接続部２２４を介してそれぞれ１対１で接続される。３つの開閉弁２３２に個別につながっている３本の圧力供給通路が１本に集合し、その１本の圧力供給通路が容量の大きなフィルタ２４０を通過した後に第２負圧供給装置２２０に接続されている。なお、接続部２２４は通常の吸着ノズル５０とも接続可能である。
【００２５】前述のように、圧力供給装置１６０は３つの開閉弁１８０を経て３つの並列なヘッド部と接続され、各ヘッド部に正圧，負圧および大気圧を個別に供給する。吸着ノズル５０は負圧により電子部品２０を吸着するものであり、圧力供給装置１６０から圧力供給通路を通じて供給される圧力が、大気圧以上の圧力から負圧に切り換わると吸着ノズル５０の吸着面２４２に電子部品２０を吸着する吸着状態となり、圧力供給装置１６０から吸着ノズル５０の通路内に供給される圧力が、負圧から大気圧以上の圧力に切り換わると吸着ノズル５０から電子部品２０を解放する解放状態となる。
【００２６】＜制御装置＞フィルタの目詰まり状態検査および清掃は、電子部品装着システムの制御装置によって実行され、フィルタの検査・清掃制御に関係の深い部分のみを制御装置２６０として図９に示す。制御装置２６０は、ＰＵ（プロセッシングユニット））２６２，ＲＯＭ（リードオンリメモリ）２６４，ＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）２６６，入出力インタフェース２６８がバスラインにより接続されてなるコンピュータを備えている。入出力インタフェース２６８にはホストコンピュータ２８０が接続され、フィルタの目詰まり状態検査およびフィルタの清掃プログラムおよび各種の設定値がホストコンピュータ２８０に保存されており、フィルタの目詰まり状態等の検査およびフィルタ等の清掃プログラム実行時にＲＡＭ２６６に読み込まれる。
【００２７】入出力インタフェース２６８の入力側には、入力装置２８２としてキーボードやマウス等が接続され、圧力センサＰｐ２００，Ｐｎ２０２およびＰｆ２０４が接続される。入出力インタフェース２６８の出力側には駆動回路２８４を介して、Ｘ軸スライド移動装置４０，Ｙ軸スライド移動装置３６，ホルダ昇降装置５８，開閉弁１８０・２３２，方向切換弁１７４・１７６・１７８，可変絞り１７２・１８２，圧力調整弁１７０および表示装置２８６が接続されている。図９において、同種類の部品が複数存在する場合は１つの部品番号を代表的に示し、残りの番号は括弧内に示す。第１負圧供給装置１６６および正圧供給装置１６２のそれぞれの手前に接続された可変絞り１８２および１７２は、吸着ノズル５０の脱着時または交換時に、ノズルの内径にあわせて予め設定されている絞り量に自動調節される。ノズルの内径とは、吸着ノズル５０に設けられている吸着管１１２の内径を意味し、以後、ノズルの内径あるいはノズル内径と称する。目詰まり状態判定装置の主な構成要素であるしきい圧力関連量依拠判定部には、主に圧力センサＰｐ２００，Ｐｎ２０２，Ｐｆ２０４の少なくとも１つと制御装置２６０とが含まれる。
【００２８】＜検査・清掃制御プログラムのメインルーチン＞主にフィルタの目詰まりおよびノズルの詰まり状態の検査および清掃を行う検査・清掃制御プログラムは電子部品装着システムの制御装置２６０によって、電子部品装着システムを制御するシステム制御プログラムや、システム制御プログラムの一部であってプリント配線板１４へ電子部品２０を装着するための部品装着装置制御プログラム等と共に、時分割で実行される。図１０に検査・清掃制御プログラムのメインルーチンのフロチャート（以後、検査・清掃制御メインルーチンと略記）を示す。検査・清掃制御プログラムには主として、フィルタ目詰まりおよびノズルの詰まり状態監視（以後、目詰まり等監視と略記），フィルタ目詰まり状態検査（以後、目詰まり検査と略記），フィルタの清掃，フィルタ目詰まり状態等検査および清掃（以後、検査および清掃と略記），フィルタ目詰まりおよびノズルの詰まり清掃および状態検査（以後、清掃および検査と略記）の５つのモードがある。
【００２９】検査・清掃制御メインルーチンのステップ１（以下Ｓ１と略記する。他のステップについても同様とする）においては、変数およびメモリの初期化，ノズル内径の読込み，各種のしきい値の読込み，各時間間隔の設定および下記モードの設定などが行われる。Ｓ２では目詰まり等監視モードの実行指示がＯＮかＯＦＦかが判断され、ＯＮの場合、Ｓ３の目詰まり等監視ルーチンが実行された後、Ｓ４の処理が行われる。残りの４つのモードは、上記Ｓ１の初期設定においては自動的に非選択状態に設定されるが、自動設定の終了後、表示装置２８６にオペレータがいずれかのモードの設定を希望するか否かを問い合わせる表示、および希望する場合の設定操作ガイドが表示され、その表示に応じてオペレータが設定操作を行えば、いずれか１つのモードが設定される。その結果、Ｓ４，５，６，７のいずれかの判定がＹＥＳとなり、対応するモードのステップ（それぞれＳ８，９，１０，１１）が実行される。上記の処理が行われた後Ｓ１２が実行され、再び処理がＳ２から実行される。
【００３０】各モードの選択はＳ１の初期設定で行われるが、Ｓ１２にて各種フラグの状態が確認されており、モード選択が変更可能である。各モードの選択はコンピュータ画面上で行われ、図示は省略するが画面にはマウスでクリックされることによりＯＮ・ＯＦＦの状態が切り換えられるスイッチの画像が複数と、各スイッチの名称および説明とが表示されている。各モードそれぞれに対応するスイッチの画像があり、そのスイッチがＯＮにされるとそれぞれのモードに対応するフラグがＯＮにされ、図１０検査・清掃制御メインルーチンの条件分岐で前記フラグに対応するモードの判定がＹＥＳとなる。
【００３１】「フィルタの清掃」，「検査および清掃」および「清掃および検査」モードにおいて、初期状態では処理対象のヘッド部が自動的に選択されるが、オペレータにより処理対象のヘッド部が直接選択される場合もある。各ヘッド部１〜３に対応するスイッチである３つの処理対象選択ボタン１〜３のうち１つ以上がＯＮ状態にされると、そのＯＮ状態の処理対象選択ボタンに対応するヘッド部が処理される。前記処理対象選択ボタンに対応するフラグはＸ１〜３であり、処理対象選択ボタンがＯＮ状態にされると対応するフラグＸ１〜３がＯＮ状態にされ、後に出てくる処理で使用される。
【００３２】＜１．目詰まり等監視＞電子部品２０は、第１負圧供給装置１６６からノズル保持部１４０に負圧が供給され、吸着管１１２より外気が吸入されて吸着面２４２に生じる吸引力により吸着される。電子部品の吸着動作において、吸着ノズル５０が部品の鉛直上方から下降させられるが、吸着ノズル５０先端である吸着面２４２が電子部品２０上面に接触した後速やかにその電子部品吸着に必要な吸引力を発生させるため、吸着面２４２が電子部品上面に接触する位置より少し手前にある時期に負圧の供給が開始される。
【００３３】このように、本実施形態の電子部品装着システムは負圧による吸引力により電子部品２０を吸着するため、大気中やプリント配線板１４上面などに存在するダスト等の異物の吸入は避けられず、それら異物のうち微少なもの以外は、圧力供給通路を通じて開閉弁１８０等に侵入しないようフィルタ１５２が設けられている。フィルタ１５２には円相当径が数百μｍまたはそれ以下のほぼ均一な大きさの穴が多数設けられており、吸入された異物の微少なもの以外は上記のフィルタ１５２に設けられた穴を通過できず、主にフィルタ１５２の吸着ノズル５０側の面、本実施例の場合は下側の面（以後、フィルタ１５２下面と称する）、に付着し、捕集される。なお、フィルタ１５２下面に付着した異物に微少な異物が付着し、捕集されることもある。
【００３４】フィルタ１５２に付着した異物の量が増加してくると、吸入された外気が通過するフィルタ１５２の実質的な開口面積が減少する結果、フィルタ１５２の通気抵抗が増大し、外気吸入流量が減少するとともに、電子部品２０の吸引力も低下し、電子部品２０吸着時に電子部品２０が保持されない吸着ミスなどが発生する要因となる。この現象をフィルタの目詰まりと称する。吸着ノズル５０の吸着管１１２内部に異物が付着しても電子部品２０の吸引力が低下し、吸着ミスなどが発生する要因となる。この現象を吸着ノズルの詰まり（以後、ノズルの詰まりと略記する）と称する。吸引力の低下は装着作業中に進行するため、吸着ミスなどが装着作業中に発生する前に吸引力の低下を招くフィルタの目詰まりやノズルの詰まりが、フィルタ１５２や吸着ノズル５０が装着されたままで検出されれば装着作業上のミスが減少し、フィルタ１５２や吸着ノズル５０が適正な時間使用可能になるため、消耗部品コストやメンテナンス労力の低減等の効果が得られる。
【００３５】Ｓ３の目詰まり等監視処理は前記目詰まり検出工程に該当する処理の１つであり、電子部品装着システムが電子部品装着作業（以下装着作業と略記する）の実行中にフィルタ１５２の目詰まり等を検査するための処理である。この処理は、１群の電子部品２０の装着が終了し、新たな１群の電子部品２０を吸着するために、部品装着ユニット３０が電子部品を保持せずに部品供給装置２４または２６上へ移動する電子部品不保持移動（以下、不保持移動と略記する）の間に行われる。そのため、電子部品の装着作業を制御する部品装着装置制御プログラムにおいて、不保持移動の開始時に検査の実行を許可する許可フラグがＯＮとされ、それに応じて後述されるフィルタ目詰まり等を検出する処理が実行される。
【００３６】＜電子部品装着フロー概要＞システム制御プログラムの一部である部品装着装置制御プログラムのフロチャートを図１１に示す。Ｓ２１で許可フラグがＯＦＦにリセットされる。Ｓ２２の処理で電子部品２０が吸着され、Ｓ２３の処理で吸着された電子部品２０がプリント配線板１４表面の所定の位置に装着される。その後、Ｓ２４で許可フラグがＯＮにセットされ、図示は省略するが、電子部品装着システム全体を制御する上位ルーチンに処理が戻った後、再び本部品装着装置制御プログラムの実行が開始されてＳ２１で許可フラグがリセットされるまで許可フラグのＯＮ状態が維持される。Ｓ３の目詰まり等監視処理においては、本許可フラグによって目詰まりを検出するタイミングが決定される。
【００３７】Ｓ３の目詰まり等監視処理におけるフィルタ１５２および吸着ノズル５０の監視は、前記フィルタの目詰まりおよびノズルの詰まりの少なくとも一方の状態では、フィルタ１５２および吸着ノズル５０が正常な状態と比較して、圧力供給通路の少なくとも１つの圧力測定点における圧力に関連した物理量である圧力関連量が変化することに基づいている。そのため、本実施形態においては、負圧の供給が開始されて一定時間後（時間Ｔ２後、後に説明する。）のまだ圧力の変化が完了していない過渡的な状態の測定点ＰｎおよびＰｆにおける負圧値である過渡負圧ＰｎａおよびＰｆａが測定され、予め設定された複数のしきい値であるしきい過渡負圧とその過渡負圧とが比較されてフィルタ１５２または吸着ノズル５０等の状態が推測される。測定点の圧力が変化途中であれば、その状態で測定された圧力を過渡状態圧力と称する。そして、圧力変化が開始されてから一定時間後であって圧力変化が完了していない時期に測定された圧力が過渡状態における圧力であり、この過渡圧力が圧力変化速度に基づく値の一例である。なお、過渡状態における負圧を過渡負圧と称する。
【００３８】＜目詰まり等監視＞図１０におけるＳ３の目詰まり等監視ルーチンを図１２に示す。目詰まり等監視ルーチンは電子部品装着システムにより装着作業が行われている間に実行され、装着作業が停止中であれば実行されない。そのため、Ｓ３１で運転状態が確認され、装着作業中であれば次の処理Ｓ３２が実行される。装着作業中でない場合は制御が検査・清掃制御メインルーチンに移行し、Ｓ４を始めとする処理が進められた後再びＳ３の目詰まり等監視ルーチンが実行される。Ｓ３２ではフラグＦ１が分岐条件となり、初期設定でフラグＦ１がＯＦＦとされているため判定はＮＯとなり、Ｓ３３が実行される。Ｓ３３の検査ルーチンでは検査対象となるＮ番目のヘッド部−Ｎ（変数Ｎは１，２，３のどれか）に負圧が供給され、吸着ノズル５０から外気が吸引されている状態における測定点ＰｆおよびＰｎの負圧測定値からフィルタ１５２または吸着ノズル５０の状態が判定される。この処理については後に詳述する。Ｓ３４にて変数Ｎが１増加させられ、Ｓ３５で変数Ｎが３以下の場合は検査・清掃制御メインルーチンに移行した後、再度Ｓ３３が実行される。変数Ｎはヘッド部−１〜３の番号を表し、初期値は１である。変数Ｎの値が１，２，３と増加させられてＳ３３が計３回実行されることはヘッド部−１から３まで順に検査されることを意味する。Ｓ３３の検査ルーチンが変数Ｎの値が３で実行され、３つで１セットのヘッド部の検査が終了すると、Ｓ３４にて変数Ｎの値が４となるためＳ３５の判定がＹＥＳとなり、Ｓ３６が実行されて変数Ｎが１にリセットされる。
【００３９】Ｓ３７でタイマ１が０からスタートさせられ、そのタイマ１の値がＴ１未満の間はＳ３８の判定がＮＯとなり、フラグＦ１がＯＮにされてから（Ｓ３９）検査・清掃制御メインルーチンに移行し、次の処理からＳ３２の条件分岐によりＳ３３〜３７がパスされる。タイマ１の値がＴ１以上になるとＳ４０でフラグＦ１がＯＦＦにされ、Ｓ４１の終了処理後に検査・清掃制御メインルーチンに戻る。以上のような処理でヘッド部−１〜３を１セットとした検査がＴ１間隔で行われる。そのＴ１を検査実行間隔と称するが、その検査実行間隔Ｔ１に０または十分微少な値が設定された場合、部品装着と部品吸着の間の不保持移動毎に３つのヘッド部が順次１つずつ検査される。
【００４０】＜目詰まり等監視・検査ルーチン＞図１２におけるＳ３３の検査ルーチンを図１３に示す。本ルーチンによる検査処理は、許可フラグがＯＦＦからＯＮにされた時点で速やかに開始されることが望ましく、許可フラグがＯＦＦになる寸前等では検査処理が開始されないことが望ましい。そのため、Ｓ５１〜Ｓ５５において、本検査ルーチンの実行開始時に許可フラグが既にＯＮ状態であった場合は検査処理が開始されず、許可フラグがＯＦＦからＯＮに切り換えられた直後に検査処理が実行されるようにされている。
【００４１】本検査ルーチンの実行開始時に、許可フラグがＯＮ状態であれば、Ｓ５１で判定がＹＥＳとなり、Ｓ５２ではフラグＦ２が最初ＯＦＦのため判定がＮＯとなりＳ５３が実行される。フラグＦ３は初期設定においてＯＦＦ状態にされているためＳ５３の判定はＹＥＳとなり、処理が検査・清掃制御メインルーチンに移行され、その後再び検査ルーチンが実行された際に許可フラグがＯＮ状態であっても、フラグＦ３がＯＦＦ状態である限り検査・清掃制御メインルーチンに移行される。そして、許可フラグがＯＦＦにされると、Ｓ５１でＮＯの判定がなされ、Ｓ５４でフラグＦ３がＯＮにされて処理が検査・清掃制御メインルーチンに移行する。そのため、次に本検査ルーチンの実行開始が開始された際には、フラグＦ３がＯＮ状態であるのでＳ５３の判定がＮＯとなり、Ｓ５６が実行される。
【００４２】Ｓ５６において、ＲＡＭ２６６に記憶されている可変絞り１８２の設定値と、検査対象のヘッド部に装着されている吸着ノズル５０の内径に適した設定値とが等しいかどうか判定され、等しくなかった場合に判定がＮＯとなり、Ｓ５７が実行される。Ｓ５７の可変絞り調節処理では、上記吸着ノズル５０の内径に適した可変絞り１８２の設定値が選択され、入出力インタフェース２６８から駆動回路２８４に信号が出力され、可変絞り１８２が自動的に設定される。この、可変絞り１８２の設定については後に詳述する。可変絞り１８２が調節された後、設定値がＲＡＭ２６６に記憶され、処理が検査・清掃制御メインルーチンに移行する。
【００４３】Ｓ５６の判定がＹＥＳの場合はＳ５８が実行され、その後Ｓ５５にてＯＮ状態であったフラグＦ３がＯＦＦにリセットされる。フラグＦ３がＯＦＦ状態になると一旦許可フラグがシステム制御プログラムによってＯＦＦ状態にされ、Ｓ５４においてフラグＦ３がＯＮ状態にセットされるまではＳ５３の判定によって処理が検査・清掃制御メインルーチンに移行する。以上のような処理によって許可フラグがＯＦＦ状態からＯＮ状態に切り換わった時に検査処理が実行される。本実施形態においては、この処理によって装着と吸着の間の不保持移動毎に１つずつのヘッド部の検査が行われるのであるが、不保持移動時間と検査にかかる時間のバランスによっては、１回の不保持移動の間に複数のノズルが検査されるようにすることも可能である。
【００４４】Ｓ５８の負圧供給準備ルーチンでは、第１負圧供給装置１６６と検査するヘッド部−Ｎ（変数Ｎ＝１，２，３のどれか）に対応する閉状態の開閉弁１８０−Ｎ（変数Ｎ＝１，２，３のどれか）とが接続され、開閉弁１８０−Ｎが開かれた時に直ちに負圧がヘッド部に供給される状態とされる。この処理については後に詳述する。Ｓ５９〜Ｓ６２の処理で、開閉弁１８０−Ｎが開かれて時間Ｔ２後に圧力センサＰｎ２０２およびＰｆ２０４によって負圧値が測定される。すなわち、入出力インタフェース２６８から変数Ｎの値に対応する駆動回路２８４に信号が出力され、開閉弁１８０−Ｎが開かれる（Ｓ５９）。Ｓ５８で負圧が準備され、Ｓ５９で開閉弁１８０が開かれることにより気流が発生し、主にこの２つのステップが本目詰まり等監視モードにおける空気流生成ステップとなる。その後すぐにタイマ２が０からスタートさせられ（Ｓ６０）、タイマ２のカウント時間が監視され、開閉弁１８０−Ｎが開かれてからの時間が時間Ｔ２と等しいかまたはわずかに越えた時点で判定がＹＥＳとなり（Ｓ６１）、開閉弁１８０が開かれてから時間Ｔ２後の測定点ＰｎおよびＰｆにおける過渡的な状態の負圧測定値である過渡負圧ＰｎａおよびＰｆａが圧力センサＰｎ２０２およびＰｆ２０４によって測定され（Ｓ６２）、その結果に基づいてノズルの詰まり状態を判定する目詰まり等状態判定１（Ｓ６３）が行われる。
【００４５】本目詰まり等監視モードにおける目詰まり状態判定ステップであるＳ６３の目詰まり等状態判定１では、装着されている吸着ノズル５０およびフィルタ１５２が正常な状態と、吸着ノズル５０の詰まりまたはフィルタ１５２の目詰まりの少なくとも一方の状態とでは、開閉弁１８０−Ｎが開かれてから測定点ＰｎまたはＰｆの少なくとも一方の負圧の値および変化速度が異なることに基づき、予め設定されたしきい値と比較することにより吸着ノズル５０やフィルタ１５２の状態が推測される。この処理については後に詳述する。
【００４６】なお、装着された吸着ノズル５０の内径が小さい場合、吸着ノズル５０の通気抵抗の影響が、フィルタ１５２の通気抵抗による影響に対して無視できない大きさとなり、フィルタ１５２の目詰まり状態が正確に検出されにくい。そのため、吸着ノズル５０の内径によって異なる判定法が用いられ、装着されている吸着ノズル５０の内径が、予め設定されたしきい値であるノズル内径しきい値Ｄｓ（以後、しきい値Ｄｓと略記。）未満の場合はノズルの詰まりのみ判定され、装着されている吸着ノズル５０の内径がしきい値Ｄｓ以上の場合はノズルの詰まりおよびフィルタの目詰まりの両方が判定される。
【００４７】Ｓ６４では、Ｓ５７において検査対象のヘッド部に装着された吸着ノズル５０の内径に合わせて設定されていた可変絞り１８２が元の状態に戻され、設定値が記憶される。通常、可変絞り１８２は内径が最大の吸着ノズル５０に合わせて設定されている。その後、フラグＦ２がＯＦＦにリセットされ（Ｓ６５）、負圧の供給が停止され（Ｓ６６）、処理はフィルタ１５２の目詰まり等監視ルーチンに戻る。Ｓ６１では、タイマ２の値が時間Ｔ２未満の場合判定がＮＯとなり、Ｓ６７でフラグＦ２がＯＮにされ、処理が検査・清掃制御メインルーチンに移行される。その後、本検査ルーチンが実行されるとＳ５２の条件分岐で判定がＹＥＳとなり、Ｓ５３〜Ｓ６０の処理がパスされる。
【００４８】＜目詰まり等監視・負圧供給準備＞図１３におけるＳ５８の負圧供給準備ルーチンを図１４に示す。最初はフラグＦ４がＯＦＦ状態であるためＳ７１の判定がＮＯとなり、Ｓ７２が実行される。対象となるヘッド部−Ｎに対応する開閉弁１８０−Ｎが閉じられてから（Ｓ７２）、同じく対象となるヘッド部−Ｎに対応する方向切換弁１７６−ＮがＯＮにされて大気開放口１６４から第１負圧供給装置１６６へと接続が切り換えられ（Ｓ７３）、負圧が開閉弁１８０−Ｎの手前まで供給される。方向切換弁１７６−ＮがＯＮにされると、圧力測定点Ｐｎの圧力が短時間ではあるが若干不安定になる。
【００４９】検査時に安定した負圧が供給されるように、以下の処理で一定時間開閉弁１８０−Ｎが閉じられたままの密閉状態が保持される。そして、供給する負圧が安定するまでに必要な時間である供給負圧安定化時間Ｔ３が経過すると、安定した状態の圧力である密閉時圧力を取得すべく、測定点Ｐｎの密閉時負圧Ｐｎｃが測定される。タイマ３が０からスタートさせられ（Ｓ７４）、タイマ３の値がＴ３未満の場合はＳ７５にてＮＯの判定となりフラグＦ４がＯＮにされて（Ｓ７６）検査・清掃制御メインルーチンに移行する。次にこの負圧供給ルーチンが実行される場合は、Ｓ７１の条件分岐で判定がＹＥＳとなるため、Ｓ７２〜７４の処理はパスされる。タイマ３の値がＴ３以上となってＳ７５の判定がＹＥＳとなる時点では負圧値がすでに安定しており、開閉弁１８０−Ｎが閉じられた状態の測定点Ｐｎにおける密閉時負圧Ｐｎｃが測定される（Ｓ７７）。
【００５０】Ｓ７８，Ｓ７９では圧力センサＰｎ２０２によって測定された密閉時負圧Ｐｎｃが予め設定された値である第１負圧下限値Ｐｎ-ｍｉｄおよび第２負圧下限値Ｐｎ−ｌｏｗ（Ｐｎ−ｍｉｄ＞Ｐｎ−ｌｏｗ）と比較され、適正な負圧値であるかどうか判断される。密閉時負圧Ｐｎｃが第１負圧下限値のＰｎ-ｍｉｄ以上であれば正常であり、Ｓ７８で判定がＹＥＳとなり、処理は検査ルーチンへ移行する。密閉時負圧Ｐｎｃが第１負圧下限値Ｐｎ-ｍｉｄ未満かつ第２負圧下限値のＰｎ-ｌｏｗ以上であれば、電子部品２０の吸着は可能であるが供給される負圧が低下しており、負圧低下の記憶および警告表示が行われて（Ｓ８０，Ｓ８１）オペレーターに注意が促される。密閉時負圧Ｐｎｃが第２負圧下限値のＰｎ-ｌｏｗ未満であれば電子部品の吸着ミスが発生する可能性が高く、Ｓ７９で判定がＮＯとなり、負圧不足の記憶ならびに負圧不足および作業停止の表示が実行された後（Ｓ８２，Ｓ８３）、装着作業停止フラグがＯＮにされる（Ｓ８４）。この装着作業停止フラグがＯＮ状態であると、システム制御プログラムにより電子部品を吸着する前に装着作業が停止させられる。以上の判定その他が終了するとＳ８５でフラグＦ４がＯＦＦにリセットされ、処理は検査ルーチンへ戻る。
【００５１】＜目詰まり等監視・目詰まり等状態判定１＞先に述べたように、装着されている吸着ノズル５０の内径がノズル内径しきい値Ｄｓ以上の場合にフィルタの目詰まりおよびノズルの詰まりが検査され、装着されている吸着ノズル５０の内径がしきい値Ｄｓ未満の場合は、ノズルの詰まりが検査される。図１３のＳ６３目詰まり等状態判定１のフロチャートを図１５に示す。吸着ノズル５０−Ｎの内径ＤＮ（変数Ｎは１，２，３のどれか）がしきい値Ｄｓ以上であればＳ９１の判定がＹＥＳとなり、Ｓ９２目詰まり等状態判定２ルーチンが実行され、ノズルの詰まりおよびフィルタの目詰まり等が判定された後、検査ルーチンに戻る。この処理については後に詳述する。吸着ノズル５０−Ｎの内径ＤＮがしきい値Ｄｓ未満の場合はＳ９３，９４，９５の条件分岐でノズルの詰まりを判定する処理が実行される。
【００５２】図１３のＳ５９において１つのヘッド部−Ｎに対応する開閉弁１８０−Ｎが開かれた際の、測定点ＰｆおよびＰｎの圧力変化の傾向を図１７に模式的に示す。測定点Ｐｎの圧力状態は、開閉弁１８０が開かれるまでは密閉状態であるため、ほぼ供給された負圧と等しい負圧値であるが、開閉弁１８０が開かれると吸着ノズル５０の吸着面２４２より外気が吸入されて急速に負圧値が減少し、一定時間後には負圧値が一定量減少した状態で安定となる。一方、測定点Ｐｆの圧力状態は、開閉弁１８０が開かれるまでは大気圧状態であるが、開閉弁１８０が開かれて負圧が供給されると急速に圧力が変化して一定時間後に安定した負圧状態となる。開閉弁１８０が開かれると、圧力供給装置１６０側から負圧が供給されると同時に吸着面２４２から外気が吸引され、測定点ＰｎおよびＰｆにおける負圧値の変化量および変化速度は、主に第１負圧供給装置１６６による圧力供給通路内への負圧を供給する速度（負圧供給速度と略称する）と吸着面２４２からの外気の吸入流量とに基づいて決まる。
【００５３】吸着ノズル５０の内径が設定値未満である場合には、上記外気の吸入流量は、主に吸着ノズル５０の詰まりにより生じる通気抵抗の増加に影響され、ノズルの詰まりによって測定点ＰｆおよびＰｎの負圧値の変化量および変化速度が、次のように変化する。ノズルの詰まりがなく通気抵抗が正常な状態と比較して、吸着ノズル５０が詰まった状態（あるいは、吸着ノズル５０が吸着した電子部品２０の装着操作が行われたにもかかわらず電子部品２０が吸着ノズル５０先端の吸着面２４２に付着したままの状態）では、通気抵抗が大きく外気の吸入流量が小さいため、測定点Ｐｎの負圧値の減少量および変化速度（減少速度）が小さくなり、一方、測定点Ｐｆの負圧値の増加量および変化速度（増加速度）が大きくなる。
【００５４】この事実に基づけば、吸着ノズル５０の詰まり（あるいは、電子部品２０の装着ミス）を検出することができるのであり、その検出のために、開閉弁１８０が開かれてから一定時間後（後に詳述するが時間Ｔ２後）の測定点ＰｆおよびＰｎにおける負圧値である過渡負圧ＰｆａおよびＰｎａが測定され、それらの測定値と予め設定されたしきい過渡負圧Ｐｆａ-ｔおよびＰｎａ-ｔとをそれぞれ比較することにより判定が行われる（図１５）。なお、しきい過渡負圧Ｐｆａ-ｔおよびＰｎａ-ｔは、図１７には記載されていないが、正常な吸着ノズル５０が装着された場合の測定値と、詰まり気味の吸着ノズル５０が装着された場合の測定値の間の値であり、それぞれ実験結果に基づいて設定される。内径が設定値未満である各吸着ノズル５０について、実際上問題となる程度の詰まり状態が意図的に生じさせられ、それら詰まり状態の各吸着ノズル５０を装着した場合の測定点ＰｆおよびＰｎにおける負圧値が測定され、その測定結果に基づいて、ノズルの詰まり状態を判定するためのしきい過渡負圧Ｐｆａ-ｔおよびＰｎａ-ｔが設定されるのである。
【００５５】負圧測定値ＰｆおよびＰｎがともにそれぞれのしきい過渡負圧Ｐｆａ-ｔおよびＰｎａ-ｔよりも小さい場合、該当する吸着ノズル５０−Ｎ（変数Ｎは検査対象ヘッド部−Ｎに対応しており１，２，３のどれか）は正常と判定され、その結果がＳ９６で記憶され（変数Ｊａ−Ｎ＝０、変数Ｎは検査対象ヘッド部−Ｎに対応しており１，２，３のどれか）、Ｓ９７で表示される。過渡負圧ＰｆａまたはＰｎａのどちらかがしきい値以上で他方がしきい値未満の場合、ある程度の詰まりが吸着ノズル５０−Ｎ（変数Ｎは検査対象ヘッド部−Ｎに対応）に発生していると判定され、ノズル詰まり注意という結果がＳ９８で記憶され（変数Ｊａ−Ｎ＝１１、変数Ｎは検査対象ヘッド部−Ｎに対応）、Ｓ９９で表示される。過渡負圧ＰｆａおよびＰｎａがともにそれぞれのしきい値以上である場合、該当する吸着ノズル５０が詰まっている状態、または電子部品が付着した状態と判定され、その結果がＳ１００で記憶され（変数Ｊａ−Ｎ＝１２、変数Ｎは検査対象ヘッド部−Ｎに対応）、Ｓ１０１で表示される。判定処理が終了すると検査ルーチンに戻る。
【００５６】＜目詰まり等監視・目詰まり等状態判定２＞Ｓ９２目詰まり等状態判定２のフロチャートを図１６に示す。装着されている吸着ノズル５０の内径がノズル内径しきい値Ｄｓ以上の場合に実行されるＳ９２目詰まり等状態判定２では、目詰まり等状態判定１と同様、フィルタ１５２および吸着ノズル５０が正常な状態と比較して、フィルタの目詰まりおよびノズルの詰まり等の状態では、開閉弁１８０が開かれ、外気が吸入される状態の測定点ＰｆおよびＰｎにおける負圧値の変化量および変化速度が異なること（図１７参照）に基づいてフィルタ１５２および吸着ノズル５０等の状態が判定される。
【００５７】フィルタ１５２が目詰まりした状態ではフィルタ１５２の通気抵抗が大きくノズル保持部１４０への負圧供給速度が低下し、その結果外気吸入流量も減少するため、測定点ＰｆおよびＰｎにおける負圧値の変化量および変化速度が小さくなる（図１７参照）。一方、吸着ノズル５０が詰まっている状態では吸着面２４２からの外気の吸入流量が少なくなるため、測定点Ｐｆにおける負圧値の変化量および変化速度は大きくなり、測定点Ｐｎにおける負圧値の変化量および変化速度は小さくなる。また、フィルタ１５２を装着していない場合は、フィルタ１５２の通気抵抗がないためノズル保持部１４０への負圧供給速度は大きく測定点Ｐｆにおける負圧値の変化量および変化速度が大きくなり、かつ、全体として通気抵抗が減少するため外気吸入流量が増加し測定点Ｐｎにおける負圧値の変化量および変化速度が大きくなる。
【００５８】フィルタの目詰まりとノズルの詰まりとが同時に発生した状態では、フィルタ１５２の通気抵抗が大きいことからノズル保持部１４０への負圧供給速度が低下し、測定点Ｐｆにおける負圧値の変化量および変化速度を小さくする影響と、吸着ノズル５０の通気抵抗が大きいことから外気吸入流量が少なくなり、測定点Ｐｆにおける負圧値の変化量および変化速度を大きくする影響とが互いにある程度打ち消し合い、測定点Ｐｆにおける負圧値の変化量および変化速度が正常なフィルタ１５２および吸着ノズル５０が装着された場合に近くなる。それに対し、フィルタ１５２と吸着ノズル５０の通気抵抗の和が大きく、外気吸入流量が減少するため、測定点Ｐｎにおける負圧値の変化量および変化速度は小さくなる。ただし、これは、測定点Ｐｆにおける負圧値の変化量および変化速度に対するフィルタの目詰まりの影響度合いと、ノズルの詰まりの影響度合いとが同レベルである場合であって、どちらかの影響が非常に大きい場合はこのような状態にはならない。
【００５９】上記に基づいてしきい値を設定するために、ヘッド部に装着されたフィルタ１５２および吸着ノズル５０が意図的に次に記す状態とされ、開閉弁１８０が開かれてから時間Ｔ２後の測定値が実験値として求められる。（ａ）正常なフィルタ１５２および正常な吸着ノズル５０が装着された状態。（ｂ）目詰まり状態のフィルタ１５２および正常な吸着ノズル５０が装着された状態。（ｃ）正常なフィルタ１５２および半ば詰まり状態の吸着ノズル５０が装着された状態。（ｄ）フィルタ１５２を装着せず正常な吸着ノズル５０が装着された状態。
【００６０】求められた実験値から、次のようにしきい値が設定される（図１７参照）。測定点Ｐｆにおけるしきい値として、正常なフィルタ１５２装着時の測定点Ｐｆでの負圧測定値と目詰まり状態のフィルタ１５２装着時の測定点Ｐｆでの負圧測定値との間の値に一つ目のしきい過渡負圧Ｐｆａ１が設定され、正常なフィルタ１５２装着時の測定点Ｐｆでの負圧測定値とノズル詰まり状態またはフィルタ１５２未装着時の測定点Ｐｆでの負圧測定値との間の値に二つ目のしきい過渡負圧Ｐｆａ２が設定される。もし、測定点Ｐｆ単独で判定を行うとすれば、Ｓ３３の検査ルーチンにおいて測定された過渡負圧Ｐｆａの値が、Ｐｆａ１より小さければフィルタ１５２が目詰まりしていると推測され、Ｐｆａ１とＰｆａ２の間であれば正常と推測され、Ｐｆａ２以上であればノズル詰まり状態またはフィルタ１５２未装着と推測される。一方、測定点Ｐｎにおけるしきい値として、新品フィルタ１５２装着時の測定点Ｐｎでの負圧測定値と目詰まり状態のフィルタ１５２装着時の測定点Ｐｎでの負圧測定値との間の値にしきい過渡負圧Ｐｎａｓが設定される。もし、測定点Ｐｎ単独で判定を行うとすれば、フィルタ１５２の目詰まり状態検査時に測定された過渡負圧Ｐｎａの値が、Ｐｎａｓ以上であれば吸着ノズル５０の詰まりまたはフィルタ１５２の目詰まりと推測され、Ｐｎａｓ未満であればフィルタ１５２および吸着ノズル５０は正常と推測される。
【００６１】以上に述べた事柄に基づいて、図１６に示すように、過渡負圧ＰｆａおよびＰｎａからＳ１１１〜Ｓ１１５の条件分岐により、フィルタ１５２−Ｎおよび吸着ノズル５０−Ｎ（変数Ｎは検査対象ヘッド部−Ｎに対応しており１，２，３のどれか）の状態等が判定される。その最新の判定結果が変数Ｊａ−Ｎに保存された後、表示される。本実施形態では、測定点Ｐｆ，Ｐｎ両方で圧力を測定しており、両者の変化を組み合わせて判定する方が望ましく、フィルタの目詰まりやノズルの詰まりだけでなく、次のような状態の可能性が推測される。それぞれの判定項目の最後にあるステップは、それぞれの判定結果を記憶し表示する処理を表す。（ａ）Ｐｆａ≦Ｐｆａ１かつＰｎａ＜Ｐｎａｓであれば変数Ｊａ−Ｎ＝５：第１負圧供給速度不足または吸着ノズル非装着−Ｓ１１６，１１７。（ｂ）Ｐｆａ≦Ｐｆａ１かつＰｎａ≧Ｐｎａｓであれば変数Ｊａ−Ｎ＝１：フィルタの目詰まり−Ｓ１１８，１１９。（ｃ）Ｐｆａ１＜Ｐｆａ≦Ｐｆａ２かつＰｎａ＜Ｐｎａｓであれば変数Ｊａ−Ｎ＝０：フィルタおよび吸着ノズル正常−Ｓ１２０，１２１。（ｄ）Ｐｆａ１＜Ｐｆａ≦Ｐｆａ２かつＰｎａ≧Ｐｎａｓであれば変数Ｊａ−Ｎ＝２：ノズルの詰まり中期かつフィルタの目詰まり中期−Ｓ１２２，１２３。（ｅ）Ｐｆａ＞Ｐｆａ２かつＰｎａ＜Ｐｎａｓであれば変数Ｊａ−Ｎ＝４：フィルタ非装着−Ｓ１２４，１２５。（ｆ）Ｐｆａ＞Ｐｆａ２かつＰｎａ≧Ｐｎａｓであれば変数Ｊａ−Ｎ＝３：ノズルの詰まり，電子部品付着または負圧供給速度過剰−Ｓ１２６，１２７。
【００６２】＜目詰まり等監視・短遅延時間Ｔ２＞目詰まり等監視モードの検査処理において、判定に使用される負圧測定値は開閉弁１８０が開かれてから時間Ｔ２後に測定されるが、時間Ｔ２の根拠および設定方法について説明する。開閉弁１８０が開かれたからといって、測定点Ｐｆ、Ｐｎの圧力が直ちに変化するわけではない。したがって、測定点Ｐｆ、Ｐｎにおける負圧測定は開閉弁１８０が開かれてから所定の時間経過後に行われるべきであることは勿論である。一方、電子部品の吸着動作において、吸着ノズル５０が部品の鉛直上方から下降させられるが、吸着ノズル５０先端である吸着面２４２が電子部品２０上面に接触した後速やかにその電子部品吸着に必要な吸引力を発生させるため、吸着面２４２が電子部品上面に接触する位置より少し手前にある時期に負圧の供給が開始される。上記時間Ｔ２は、この「開閉弁１８０が開かれてから電子部品上面に十分な吸引力が発生するまでに許容される時間」である許容遅れ時間や、測定点Ｐｆ，Ｐｎにおける負圧の変化状況測定の実験結果等を基に設定される。
【００６３】目詰まり等監視モードにおいて、負圧の測定は、部品装着ユニット３０が電子部品を保持せずに部品供給装置２４または２６上へ移動する不保持移動中に行われるため、上記時間Ｔ２は、本来、上記遅れ許容時間の拘束は受けない。したがって、時間Ｔ２は、開閉弁１８０が開かれたことによる圧力変化が完了した後に負圧の測定が行われるように、十分な長さに設定することも可能であり、そのようにした場合には、目詰まり状態検査法が圧力値の変化量のみに基づくものとなる。
【００６４】しかし、ノズルの詰まりやフィルタの目詰まりが問題となるのは、電子部品の吸着ミス等の原因となるためであることを考えれば、開閉弁１８０が開かれてから比較的短い時間後には吸着ノズル５０の吸着面２４２に十分な負圧が供給されることが望ましい。したがって、測定点Ｐｆの負圧も短時間に十分な大きさになること、すなわち圧力の変化速度が十分に大きいことが望ましいのであり、本実施形態においては、このことを考慮して、上記時間Ｔ２が、圧力変化が完了する少し手前の時期である過渡時点に負圧が測定されることになる長さに設定される。そのことから時間Ｔ２を短遅延時間Ｔ２と称する。したがって、本実施形態における目詰まり状態検査法は、圧力値の変化量と変化速度との両方に基づく検査法であることになる。このように、圧力の変化が完了して圧力が安定するのに必要な時間と比較して、時間Ｔ２が短く設定されれば、測定に必要な時間が短縮され、部品装着装置２２がより高速に移動する電子部品装着システムにも適用可能となる利点もある。さらに、一般に、圧力の変化が完了して圧力が安定した後の負圧値より、圧力変化が完了する少し手前の時期における負圧の方が、フィルタの目詰まりや吸着ノズル５０の詰まりの影響が表れ易いため、時間Ｔ２を短く設定すれば、目詰まり状態検査の信頼性が向上する利点もある。
【００６５】上述したように電子部品２０の吸着時には、吸着ノズル５０の先端の吸着面２４２に短時間で十分な負圧が供給されることが望ましく、フィルタの目詰まり等の影響によって電子部品２０の吸着に必要な大きさの負圧を供給するために必要な時間が長くなることは、供給圧力の変化に対する吸着面２４２における圧力の応答速度の低下を意味し、吸着ミスを発生させる要因となる。つまり、圧力変化完了手前の過渡時点における圧力関連量に基づくフィルタの目詰まり等の検査には、供給圧力の変化に対する吸着面２４２における圧力の応答速度の影響も反映されており、より吸着時に近い状態で検査できるという利点がある。
【００６６】以下のような検査条件であっても、以上に述べたいくつかの利点の少なくとも１つが得られる。例えば、過渡時点における圧力と密閉時圧力との差（過渡時点における圧力増減量であるため過渡圧力増減量と称する）や過渡時点における圧力供給通路のフィルタの前後における圧力の差である差圧などを測定してもよい。また、圧力供給通路に供給される圧力が負圧でなく正圧であってもよいし、さらには正圧と負圧とがそれぞれフィルタ１５２等を挟む両側の圧力供給通路に供給されてもよい。目詰まり等監視モードでは、圧力差のない状態からある状態へ供給圧力が変化させられるが、圧力差の小さい状態から大きい状態への変化、あるいは圧力差の大きい状態から小さい状態への変化の際に、過渡時点における圧力関連量に基づく検査であっても同様な利点がある。過渡時点において測定される圧力関連量の値は正圧，負圧，絶対圧のいずれかの適用しやすいものを選択できる。
【００６７】＜可変絞りの設定＞本目詰まり等監視処理は、前述のように、各内径の吸着ノズル５０が装着された状態で行われる。そのため、吸着ノズル５０の通気抵抗がフィルタ１５２の通気抵抗より小さい場合、フィルタ１５２の通気抵抗とほぼ等しい場合、およびフィルタ１５２の通気抵抗より大きい場合が生じる。吸着ノズル５０の内径が大きく、その吸着ノズル５０の通気抵抗がフィルタ１５２の通気抵抗に比較して十分に大きい場合には、吸着ノズル５０の通気抵抗の圧力測定点Ｐｆ，Ｐｎの負圧値に対する影響は小さいが、吸着ノズル５０の内径が小さくなるに従って影響が大きくなり、やがて圧力測定点Ｐｆ，Ｐｎの負圧値に基づいてフィルタ１５２の目詰まり状態を判定することができなくなる。また、目詰まり状態の判定ができる場合であっても、判定に用いられる圧力関連量のしきい値であるしきい圧力関連量を吸着ノズル５０の内径に応じて変更することが必要になる。実際にしきい圧力関連量を吸着ノズル５０の内径に応じて種々の値に設定し、目詰まり状態の判定を行うことも可能であるが、本実施形態においては、そうする代わりに可変絞り１８２を設け、その可変絞り１８２の絞りを吸着ノズル５０の内径に応じて変えることにより、吸着ノズル５０の内径の変化に基づく圧力測定点Ｐｆ，Ｐｎの負圧値の変化をできる限り小さくし、判定のしきい圧力関連量をすべての内径の吸着ノズル５０について一定とすることとした。
【００６８】以上が可変絞り１８２の配設目的であるため、可変絞り１８２の絞りの設定値が以下のようにして決定される。まず、標準とする内径を持つ吸着ノズル５０（以後、標準の吸着ノズル５０と略記する。）について、フィルタの目詰まり等の影響が圧力測定点Ｐｆ，Ｐｎの負圧値の変化または変化速度として明確に現れるように、可変絞り１８２が設定される。標準の吸着ノズル５０が装着された状態で測定された圧力測定点Ｐｆ，Ｐｎの負圧値が標準値とされ、異なる内径の吸着ノズル５０が装着された状態で測定された負圧値が標準値とできる限り等しくなるように可変絞り１８２の設定値が決定される。このように、可変絞り１８２の設定値が各内径の吸着ノズル５０に対して標準値とほぼ等しい負圧値が得られるように決定される結果、異なる内径の吸着ノズル５０が装着されたとしても判定時におけるしきい値等が共用可能になる。
【００６９】しかし、可変絞り１８２によって負圧供給速度が調節されたとしても、吸着ノズル５０の内径がある値より小さい場合は、吸着ノズル５０の通気抵抗はフィルタ１５２の通気抵抗よりも遙かに大きくなり、フィルタ１５２が多少目詰まり状態であったとしてもその影響が現れにくくなってしまう。そこで本目詰まり等監視モードでは、吸着ノズル５０の内径がしきい値Ｄｓ未満の場合において、フィルタの目詰まりは検査の対象とされず、ノズルの詰まりが検査される。
【００７０】＜２．目詰まり検査＞図１０に示す検査・清掃制御メインルーチンでは、Ｓ４の目詰まり検査モードがＯＮの場合、前記目詰まり検出工程に該当する処理の１つであるＳ８の目詰まり検査処理が実行される。その目詰まり検査処理では、吸着ノズル５０が取り外された状態でヘッド部に負圧が供給され、外気吸入状態における測定点Ｐｎの負圧測定値がフィルタの目詰まり状態によって変化することに基づいてフィルタの目詰まり状態が判定される。そのため、本処理は、外気吸入状態における測定点Ｐｎの負圧測定値がフィルタの目詰まり状態によって明確に変化するように、可変絞り１８２の絞りが予め定められた設定値に設定された状態で行われる。また、外気吸入状態の負圧測定値は、負圧の供給が開始されてから測定点Ｐｎの圧力状態が安定するために十分な時間をおいてから測定される。また、フィルタの目詰まり状態の判定には、開閉弁１８０が閉じられた状態で測定点Ｐｎにおける密閉時の負圧測定値と外気吸入状態の測定点Ｐｎの負圧測定値との差が用いられることにより、もし供給負圧の変動が若干あったとしても、その影響が排除される。
【００７１】Ｓ８の目詰まり検査ルーチンを図１８に示す。この目詰まり検査は吸着ノズル５０を外した状態で行われるため、ヘッド部に吸着ノズル５０が装着された状態であれば（Ｓ１９１）、システム制御プログラムに吸着ノズル５０の取り外しを要求する「ノズル取り外し要求フラグ」がＯＮにされる（Ｓ１９２）。システム制御プログラムによりノズル取り外し要求フラグのＯＮ状態が検知され、吸着ノズル５０が装着された状態であって、かつ他の処理が実行されていない時期に吸着ノズル５０の取り外しが行われる。吸着ノズル５０の取り外しが完了すると、装着された吸着ノズル５０の種類を記憶するメモリのデータがその旨を表すデータに書き換えられる。そのため、Ｓ１９１において、吸着ノズル５０が非装着状態であることが確認される。
【００７２】吸着ノズル５０が非装着状態であればＳ１９１の判定がＹＥＳとなり、Ｓ１９３において可変絞り１８２の絞りが前述の設定値に設定されているかどうか確認される。その結果、設定値が異なっている場合は判定がＮＯとなり、Ｓ１９４の可変絞り調節処理が実行される。このＳ１９４は目詰まり等監視モードのＳ５７可変絞り調節とほぼ同様であるため簡単に説明する。Ｓ１９４では、吸着ノズル５０非装着状態に適した可変絞り１８２の設定値が選択され、自動的に設定される。可変絞り１８２が調節された後、設定値が記憶され、処理が検査・清掃制御メインルーチンに移行する。その後、再び目詰まり検査ルーチンが実行されると、Ｓ１９３の判定がＹＥＳとなりＳ１９５が実行される。
【００７３】Ｓ１９５の検査２は、３つのフィルタ１５２−１，２，３のうちＮ番目の値に対応するフィルタ１５２−Ｎ（変数Ｎは１，２，３のどれか）の目詰まり状態を検査するルーチンである。そのＳ１９５の検査２ルーチンは最初変数Ｎが１の状態で実行されるが、詳細は後述する。Ｓ１９５の検査２ルーチンにて使用されるフラグＧ１がＯＮ状態にされ（Ｓ１９６）、Ｓ１９７にて１増加させられた変数Ｎの値が３以下の場合は、処理がフィルタの検査・清掃制御メインルーチンに移行し（Ｓ１９８）、その後再びこの検査実行ルーチンが実行される。変数Ｎの値が１，２，３と増加しながらＳ１９５が実行されることにより、３つのフィルタ１５２−１〜３が全て検査される。変数Ｎが４になるとＳ１９８の判定がＹＥＳとなり、変数Ｎが１にリセットされ（Ｓ１９９）、フラグＧ１がＯＦＦにされ（Ｓ２００）、Ｓ２０１の終了処理が実行される。Ｓ２０１では、開閉弁や方向切換弁、Ｓ１９２のノズル取り外し要求フラグを含む各種のフラグ等、ならびに可変絞り１８２の設定および可変絞り１８２の設定値の記憶を目詰まり検査実行前の状態に戻す処理などが行われる。
【００７４】＜目詰まり検査・検査２＞図１８におけるＳ１９５の検査２ルーチンを図１９に示す。フラグＧ２およびフラグＧ１は最初ＯＦＦ状態のためＳ２１１，２１２の判定がＮＯとなりＳ２１３が実行される。Ｓ２１３の負圧供給準備は、目詰まり等監視における負圧供給準備（図１４参照）とほぼ同様な処理であり、開閉弁１８０まで負圧が供給される。ただし、後に詳述するように、開閉弁１８０および方向切換弁の切換え状態と、負圧値が適正かどうかの判断が少し異なっている。Ｓ２１３の負圧供給準備が１回実行された後は、フラグＧ１またはフラグＧ２の少なくとも一方がＯＮ状態にされるため、フィルタ１５２全てが検査されるまでＳ２１３はパスされる。
【００７５】負圧が準備されると、目詰まり状態の判定に必要な密閉時負圧Ｐｎｃが測定されてから（Ｓ２１４）、検査対象のフィルタ１５２−Ｎ（変数Ｎは１，２，３のどれか）に対応する開閉弁１８０−Ｎ（変数Ｎは１，２，３のどれか）が開かれ（Ｓ２１５）、ノズル保持部１４０に負圧が供給される。なお、Ｓ２１３およびＳ２１５の処理で気流が発生し、主にこの２つのステップが本目詰まり検査モードにおける空気流生成ステップとなる。開閉弁１８０−Ｎが開かれるとノズル保持部１４０から外気が吸入され、測定点Ｐｎにおける負圧値が変化し、低下する。一定の時間が経過するとノズル保持部１４０からの外気吸入流量が安定すると共に測定点Ｐｎの圧力状態も安定する。この時の圧力を気流安定時圧力と称し、負圧が測定される場合は気流安定時負圧とし、測定点Ｐｎの気流安定時負圧が測定された値をＰｎｏとする。また、正圧供給装置１６２より正圧がヘッド部に供給される場合、供給された流体である気体がノズル保持部１４０から外気へ流れ出す向きの吐出方向となり、その吐出方向の気流が安定した状態の圧力も気流安定時圧力と称する。
【００７６】検査対象フィルタ１５２−Ｎ（変数Ｎは１，２，３のどれか）に対応する開閉弁１８０−Ｎ（変数Ｎは１，２，３のどれか）が開かれた直後に０からスタートさせられたタイマ４の値が（Ｓ２１６）、測定点Ｐｎの圧力状態が安定するのに十分な値に設定された気流安定化時間Ｔ４以上になると、Ｓ２１７の判定がＹＥＳとなり、安定した外気吸入状態の測定点Ｐｎにおける圧力である気流安定時負圧Ｐｎｏが測定される（Ｓ２１８）。タイマ４の値がＴ４未満であれば、Ｓ２１７の判定がＮＯとなり、フラグＧ２がＯＮにされてから（Ｓ２１９）、処理が検査・清掃制御メインルーチンに移行する。そして、検査・清掃制御メインルーチンにおいてＳ１２を始めとする処理が実行された後にＳ８の目詰まり検査ルーチンが実行される。再びこの検査２ルーチンが実行される際には、Ｓ２１１の判定がＹＥＳとなりＳ２１２〜Ｓ２１６の処理がパスされる。本目詰まり検査モードにおける目詰まり状態判定ステップであるＳ２２０の目詰まり等状態判定３では密閉時負圧Ｐｎｃおよび気流安定時負圧Ｐｎｏの値に基づき目詰まり状態が判定された後、開かれていた開閉弁１８０−Ｎが閉じられ（Ｓ２２１）、フラグＧ２がＯＦＦにリセットされる（Ｓ２２２）。以上でフィルタ１５２の１つの検査が終了し、処理が検査実行ルーチンへ戻る。Ｓ２２０の目詰まり等状態判定３については後に詳述する。
【００７７】＜目詰まり検査・負圧供給準備２＞図１９におけるＳ２１３の負圧供給準備２ルーチンを図２０に示す。Ｓ２３１において、フラグＧ３は最初ＯＦＦ状態のため判定がＮＯとなり、３つの開閉弁１８０が閉じられ（Ｓ２３２）、３つの方向切換弁１７６がＯＮにされて第１負圧供給装置１６６に接続される（Ｓ２３３）。方向切換弁１７６がＯＮにされると、測定点Ｐｎの圧力が短時間ではあるが若干不安定になる。測定時における負圧値および負圧の供給を安定させるために、方向切換弁１７６が切り換えられた直後に０からスタートさせられたタイマ５の値が、供給する負圧が安定するまでに必要な時間である供給負圧安定化時間Ｔ５になるまで（Ｓ２３４，２３５）、開閉弁１８０が閉じられたままの密閉状態が保持され、その後の安定した状態の測定点Ｐｎにおける圧力が密閉時負圧Ｐｎｃとして測定される（Ｓ２３６）。
【００７８】タイマ５の値がＴ５未満であれば、Ｓ２３５の判定がＮＯとなり、Ｓ２３７でフラグＧ３がＯＮにされてから処理が検査・清掃制御メインルーチンに移行する。再びこの負圧供給準備２ルーチンが実行される際には、Ｓ２３１の判定がＹＥＳとなりＳ２３２〜Ｓ２３４の処理がパスされる。Ｓ２３８で密閉時負圧Ｐｎｃが予め設定された第１負圧下限値Ｐｎ−ｍｉｄ以上であれば供給される負圧が適正であると判定され、密閉時負圧Ｐｎｃが第１負圧下限値Ｐｎ−ｍｉｄ未満であればＳ２３８の判定がＮＯとなり、負圧不足が記憶され（Ｓ２３９）、負圧不足の警告が表示されて（Ｓ２４０）、圧力供給装置１６０等の点検が促される。上記Ｓ２３８の判定がどちらであっても、Ｓ２４１でフラグＧ３がＯＦＦにリセットされた後、検査２ルーチンに戻る。
【００７９】＜目詰まり検査・目詰まり等状態判定３＞図１９におけるＳ２２０の目詰まり等状態判定３ルーチンを図２１に示す。検査対象のフィルタ１５２−Ｎ（変数Ｎは１，２，３のどれか）に対応する開閉弁１８０−Ｎ（変数Ｎは１，２，３のどれか）が開かれると測定点Ｐｎの圧力は密閉時負圧Ｐｎｃから気流安定時負圧Ｐｎｏに負圧値が低下するが、フィルタ１５２の目詰まりの度合いによって負圧値低下の度合いが異なる。Ｓ２５１で密閉時負圧Ｐｎｃと気流安定時負圧Ｐｎｏの差である負圧増減量Ｐｎ−ｄが求められ、Ｓ２５２〜Ｓ２５４で負圧増減量Ｐｎ−ｄと３つのしきい負圧増減量Ｐｎ−ｄ１，Ｐｎ−ｄ２，Ｐｎ−ｄ３とを比較することによりフィルタ１５２の目詰まり状態が判定される。図２２に示すように、しきい負圧増減量Ｐｎ−ｄ１〜３は測定点Ｐｎにおける密閉時負圧Ｐｎｃと以下の値との差に基づいて決定されている。Ｐｎ−ｄ１はフィルタ１５２非装着時の気流安定時負圧値と、正常なフィルタ１５２装着時の気流安定時負圧値との間の値。Ｐｎ−ｄ２とＰｎ−ｄ３は正常なフィルタ１５２装着時の気流安定時負圧と、目詰まり状態のフィルタ１５２装着時の気流安定時負圧との間の値。なお、Ｐｎ−ｄ２はＰｎ−ｄ３より大きい。
【００８０】目詰まり状態の判定は次のように行われる。変数Ｊｂ−Ｎ（変数Ｎは検査対象フィルタ１５２−Ｎに対応しており１，２，３のどれか）は最新の目詰まり検査の判定結果を記憶する変数であり、それぞれの判定項目の最後にあるステップは、それぞれの判定結果が記憶され表示される処理を表す。（ａ）Ｐｎ−ｄ＞Ｐｎ−ｄ１であれば変数Ｊｂ−Ｎ＝４：フィルタ非装着等または負圧供給速度不足−Ｓ２５５，２５６。（ｂ）Ｐｎ−ｄ１≧Ｐｎ−ｄ＞Ｐｎ−ｄ２であれば変数Ｊｂ−Ｎ＝０：フィルタ正常−Ｓ２５７，２５８。（ｃ）Ｐｎ−ｄ２＞Ｐｎ−ｄ≧Ｐｎ−ｄ３であれば変数Ｊｂ−Ｎ＝１：フィルタ目詰まり初期−Ｓ２５９，２６０。（ｄ）Ｐｎ−ｄ３＞Ｐｎ−ｄであれば変数Ｊｂ−Ｎ＝２：フィルタ目詰まりまたは負圧供給速度過剰−Ｓ２６１，２６２。目詰まり検査モードでは、目詰まり等監視モードと異なり、開閉弁１８０が開かれてから外気吸入状態の圧力が安定するのに十分な時間をおいてからＰｎｏが測定され、密閉時負圧Ｐｎｃとの差を求めてからしきい値と比較される。
【００８１】＜３．フィルタの清掃＞図１０に示す検査・清掃制御メインルーチンにおいて、Ｓ５のフィルタの清掃モードがＯＮの場合、前記目詰まり解消工程に該当する処理の１つであるＳ９のフィルタの清掃処理が実行される。このフィルタの清掃処理では、第２負圧供給装置２２０がノズル保持部１４０に接続され、正圧供給装置１６２によって発生させられる第１正圧と、第２負圧供給装置２２０によって発生させられる第２負圧とが、圧力供給通路を通じて清掃対象のフィルタ１５２に互いに逆の側から同時に供給され、その圧力差によって生じる気流がフィルタ１５２面を開閉弁１８０側からノズル保持部１４０側へ勢いよく通過する。それにより、フィルタ１５２のノズル保持部１４０側の面であるフィルタ１５２下面に付着し、フィルタ１５２の実効的な開口面積の減少要因となっているダスト等の異物が、付着したときとは逆向きの力を気流から受けることにより除去される。また、開閉弁１８０が一定微小時間間隔で開閉させられることにより、気流に脈動が生じさせられ、より効果的にフィルタ１５２の清掃が行われる。
【００８２】電子部品の装着作業中は吸着ノズル５０がノズル保持部１４０に装着されており、第２負圧供給装置２２０が接続されていないため、フィルタの清掃前に吸着ノズル５０が、図８に示すダミーノズル２２２と交換されてから、第２負圧供給装置２２０に接続される。吸着ノズル５０とダミーノズル２２２との交換時には、ノズル保持部１４０に保持された吸着ノズル５０が、ノズル収容装置２１４のノズル収容位置に移動させられて取り外された後、吸着ノズル５０非装着のノズル保持部１４０がノズル収容装置２１４のダミーノズル２２２収容位置に移動させられて、ダミーノズル２２２が装着される。ダミーノズル２２２が装着されたノズル保持部１４０と第２負圧供給装置２２０との接続時には、ダミーノズル２２２が装着されたノズル保持部１４０が接続位置まで移動させられ、ダミーノズル２２２の底面と接続部２２４上面とが密着させられ、Ｏリング２３６により気密が保たれた状態となる。第２負圧が供給されることにより開閉弁１８０側からの正圧と、ノズル保持部１４０側からの負圧とが同時に供給され、フィルタ１５２前後における圧力差が大きくなって清掃効果が高まる。また、第２負圧により吸引されることによって、フィルタ１５２から除去された異物の飛散が防止される。
【００８３】Ｓ９のフィルタの清掃ルーチンを図２３に示す。まず最初に第２負圧が接続されているかどうかが確認され（Ｓ３０１）、接続されていなければ、ダミーノズル２２２が装着されているかが確認される（Ｓ３０２）。ダミーノズル２２２が装着されていなければ、システム制御プログラムに対してダミーノズル２２２の装着を要求するダミーノズル装着要求フラグがＯＮにされてから（Ｓ３０３）、処理が検査・清掃制御メインルーチンに移行する。ダミーノズル装着要求フラグのＯＮ状態がシステム制御プログラムによって検出されると、装着作業やその他の処理が行われていない時期にダミーノズル２２２が装着され、装着ノズルの種類を記憶するメモリのデータがその旨を表すデータに書き換えられる。それに基づいて、Ｓ３０２でダミーノズル２２２が装着状態にあることが確認される。
【００８４】ノズル保持部１４０に保持されたダミーノズル２２２は、定められたＸＹ座標に移動させられて接続部２２４の鉛直上方に位置した後（Ｓ３０４）、ノズル保持部１４０に保持されたダミーノズル２２２が接続部２２４の上面に密着させられ、Ｏリング２３６により気密が保持される状態になる規定の位置まで下降させられて（Ｓ３０５）、ノズル保持部１４０と第２負圧供給装置２２０とがダミーノズル２２２を介して接続される。第２負圧供給装置２２０が接続された後、処理が一旦検査・清掃制御メインルーチンに移行し、次にこのフィルタの清掃ルーチンが実行されると、Ｓ３０６において最初フラグＨ１がＯＦＦのため判定がＮＯとなり、Ｓ３０７のフィルタの選択が実行される。このフィルタの選択については後に詳述するが、フィルタの清掃は、目詰まり等監視モードにおいて「フィルタの目詰まり」または「ノズルの詰まり中期かつフィルタの目詰まり中期」と判定されたフィルタ１５２について行われる。ただし、Ｓ１の初期設定で３つのフィルタ１５２のうち少なくとも１つが選択されている場合は、選択されたフィルタ１５２が清掃される。フィルタの選択の後、Ｓ３０８でフラグＨ１がＯＮにされ、再度このフィルタの清掃ルーチンが実行されてもＳ３０６の条件分岐によりＳ３０７、３０８はパスされる。
【００８５】Ｓ３０９では、フィルタ１５２−Ｎ（変数Ｎは１，２，３のどれか）に対応するフラグＸＮ（変数Ｎは１，２，３のどれか）がＯＮ状態の時に判定がＹＥＳとなり、Ｓ３１０の清掃実行ルーチンが実行され、フラグＸＮがＯＦＦの場合Ｓ３１０はパスされる。変数Ｎの初期値は１に設定されており、最初はフィルタ１５２−１に対応するフラグＸ１の値が調べられる。本フィルタの清掃モードにおける目詰まり状態解消ステップであるＳ３１０の清掃実行ルーチンでは、清掃対象のフィルタ１５２−Ｎに第１正圧と第２負圧が供給され、清掃対象フィルタ１５２−Ｎに対応する開閉弁１８０−Ｎ（変数Ｎは１，２，３のどれか）が一定時間間隔で開閉させられることにより気流が脈動させられてフィルタ１５２−Ｎが清掃される。Ｓ３１１で変数Ｎが１増加させられ、Ｓ３１２にて変数Ｎが３以下の場合は判定がＮＯとなり、処理が検査・清掃制御メインルーチンに移行する。その後再びこの清掃ルーチンが実行され、変数Ｎの値が１，２，３と増加しながらＳ３０９，３１０が実行されることにより、選択されたフィルタ１５２全てについて清掃処理が実行される。変数Ｎが４になるとＳ３１２の判定がＹＥＳとなり、Ｓ３１３で変数Ｎが１にリセットされる。Ｓ３１４でフラグＨ１がＯＦＦにリセットされた後、Ｓ３１５終了処理により各種のフラグがＯＦＦにリセットされ、ダミーノズル２２２が吸着ノズル５０と交換される等の処理が行われてから検査・清掃制御メインルーチンに戻る。
【００８６】＜清掃・フィルタの選択＞図２３におけるＳ３０７のフィルタの選択ルーチンを図２４に示す。Ｓ１の初期設定において、清掃するフィルタ１５２が指定された場合は、指定されたフィルタ１５２−１，２，３に対応するフラグＸ１，Ｘ２，Ｘ３の少なくとも１つがＯＮ状態にされており、Ｓ３３１の判定がＹＥＳとなりフィルタの清掃ルーチンに戻る。全てがＯＦＦの状態であれば、目詰まり等監視モードの判定結果が目詰まり等であったフィルタ１５２−Ｍ（変数Ｍ＝１，２，３のどれか）に対応するフラグＸＭ（変数Ｍ＝１，２，３）がＯＮにされる（Ｓ３３２〜Ｓ３３５）。フィルタ１５２−１，２，３の目詰まり等監視モードにおける最終的な判定結果が変数Ｊａ−１，２，３に記憶されており、目詰まり等監視モードの目詰まり等状態判定２（図１６）において、判定結果がフィルタ目詰まりの場合は変数Ｊａ−Ｍ（変数Ｍ＝１，２，３）の値が１に設定され、ノズルの詰まり中期かつフィルタの目詰まり中期の場合は変数Ｊａ−Ｍの値が２に設定されている。Ｓ３３２，Ｓ３３３においては、この変数Ｊａ−Ｍの値に基づいて、フィルタ目詰まりあるいは、ノズルの詰まり中期かつフィルタの目詰まり中期の場合にそのフィルタ１５２−Ｍに対応するフラグＸＭがＯＮ状態にされる。Ｓ３３６で変数Ｍが１にリセットされてから、処理がフィルタの清掃ルーチンに戻る。
【００８７】＜フィルタの清掃・清掃実行＞図２３におけるＳ３１０の清掃実行ルーチンを図２５に示す。フラグＨ２は最初ＯＦＦ状態のためＳ３４１の判定がＮＯとなり、清掃対象となるフィルタ１５２−Ｎ（変数Ｎは１，２，３のどれか）に第２負圧の供給および第１正圧の供給が開始される。すなわち、清掃対象となるフィルタ１５２−Ｎに対応する開閉弁２３２−Ｎ（変数Ｎは１，２，３のどれか）が開かれて第２負圧が供給され（Ｓ３４２）、方向切換弁１７４がＯＮにされて第１正圧が選択され（Ｓ３４３）、方向切換弁１７８−ＮがＯＮにされて第１正圧が供給される（Ｓ３４４）。その後、タイマ６が０からスタートさせられ（Ｓ３４５）、フラグＨ２がＯＮにされ（Ｓ３４６）、Ｓ３４７の気流脈動ルーチンが実行される。この気流脈動ルーチンは、開閉弁１８０−Ｎを一定時間間隔で開閉させる処理である。そして、この第１正圧の脈動を伴う供給が一定時間（清掃時間Ｔ６）続けられる。この脈動を生じさせるための開閉弁１８０−Ｎの開閉制御はよく知られたものであるため、詳細な説明は書略する。
【００８８】Ｓ３４８ではタイマ６の値が予め設定された値のＴ６以上になるまで判定がＮＯとなり、処理が検査・清掃制御メインルーチンに移行する。そして、Ｓ１２を始めとする処理が実行された後再びＳ９のフィルタの清掃ルーチンが実行される。その後、再びこの清掃実行ルーチンが実行される際には、フラグＨ２がＯＮ状態であるためＳ３４１の判定がＹＥＳとなり、Ｓ３４２〜Ｓ３４６の処理がパスされる。そしてタイマ６の値が予め設定された値のＴ６以上になるまで気流脈動ルーチンが繰り返し実行される。タイマ６の値が予め設定された値のＴ６以上になるとＳ３４８の判定がＹＥＳとなり、フィルタ１５２の１つの清掃が終了する。方向切換弁１７８−ＮがＯＦＦにされて正圧供給装置１６２との接続が切断され、開閉弁２３２−Ｎが閉じられ第２負圧の供給が停止される（Ｓ３４９，３５０）。フラグＨ２がＯＦＦにリセットされて（Ｓ３５１）、処理はフィルタの清掃ルーチンへ戻る。
【００８９】＜４．検査および清掃＞図１０に示す検査・清掃制御メインルーチンにおいて、Ｓ６の検査および清掃モードがＯＮの場合、Ｓ１０の検査および清掃ルーチンが実行される。このルーチンでは、予め処理対象のフィルタ１５２が選択されていれば、それら選択されたフィルタ１５２について検査および清掃処理が行われ、処理対象のフィルタ１５２が選択されていない場合、電子部品の装着作業中にフィルタ１５２の使用量を監視し、いずれかのフィルタ１５２の使用量が設定値以上になった時に、システム制御プログラムに対して装着作業上都合の良い時点で装着作業を停止するよう要求する検査実行フラグがＯＮ状態にされる。システム制御プログラムによって、そのＯＮ状態の検査実行フラグが検出されると、１つのプリント配線板１４に必要な装着作業が終了し、プリント配線板１４が交換される時に検査処理が実行可能なように停止状態となる。その後、検査および清掃処理が終了すると再び装着作業が開始される。
【００９０】Ｓ１０の検査および清掃ルーチンでは、処理対象のノズル保持部１４０に装着されている吸着ノズル５０の内径がノズル内径しきい値Ｄｓ以上の場合は吸着ノズル５０が装着されたまま第２負圧供給装置２２０に接続されて検査および清掃が行われ、装着された吸着ノズル５０の内径がしきい値Ｄｓ未満の場合は吸着ノズル５０がダミーノズル２２２と交換されてから第２負圧供給装置２２０に接続されて検査および清掃が行われる。なお、上記吸着ノズル５０の内径がしきい値Ｄｓ未満の場合は、装着作業の進行に伴い内径がしきい値Ｄｓ以上の吸着ノズル５０と交換される可能性を考慮し、一定期間検査が保留され、その間に内径がしきい値Ｄｓ以上の吸着ノズル５０と交換された場合は検査が行われ、そうでない場合は吸着ノズル５０をダミーノズル２２２と交換して検査が行われる。
【００９１】検査処理では、第２正圧および第２負圧が圧力供給通路に供給される。吸着ノズル５０が装着されたまま検査される場合は目詰まり等監視モードの場合と同様な種類の判定結果が得られ、ダミーノズル２２２に交換されてから検査される場合は目詰まり検査モードの場合と同様な種類の判定結果が得られる。検査終了後に、フィルタの目詰まりまたはノズルの詰まり等と判定されたヘッド部があれば、検査時に第２負圧供給装置２２０と接続された状態のまま引き続き清掃が行われる。清掃処理では第１正圧および第２負圧が圧力供給通路に供給され、清掃方法はフィルタの清掃モードと同様、脈動する気流を一定時間発生させて行われる。
【００９２】Ｓ１０の検査および清掃ルーチンを図２６に示す。まず最初に、Ｓ１の初期設定実行時にモード選択とともに処理対象のフィルタ１５２が選択され、フラグＸ１〜３のどれかがＯＮ状態にされているかどうかが判断される。何も選択されていなければフラグＸ１〜３は全てＯＦＦ状態であり、Ｓ４０１の判定はＮＯとなりＳ４０２が処理される。フラグＩ１は最初ＯＦＦのためＳ４０２の判定がＹＥＳとなり、Ｓ４０３の検査時期確認ルーチンにおいて、それぞれのフィルタ１５２が検査時期に該当するかどうか、さらに検査の際に吸着ノズル５０をダミーノズル２２２と交換する必要があるかどうかが判断されて変数ＹＭ（変数Ｍは１，２，３のどれか）の値が設定され、検査時期に該当していればシステム制御プログラムに対してフィルタ検査を行うために装着作業停止を促す検査時期フラグがＯＮにされる。このＳ４０３の検査時期確認ルーチンの詳細については後述する。
【００９３】上記処理対象のフィルタ１５２が選択されていた場合は、Ｓ４０１の判定がＹＥＳとなり、Ｓ４０４が実行される。フラグＩ２は最初ＯＦＦのためＳ４０４の判定がＹＥＳとなり、Ｓ４０５の選択フィルタ設定ルーチンにおいて、選択されたフィルタ１５２が検査される際に吸着ノズル５０をダミーノズル２２２と交換する必要があるかどうかが判断されて変数ＹＭの値が設定され、検査が必要であればシステム制御プログラムに対してフィルタ等の検査を行うために装着作業停止を促す検査時期フラグがＯＮにされる。このＳ４０５の選択フィルタ設定ルーチンの詳細については後述する。選択されたフィルタ１５２についての設定が終了するとフラグＩ２がＯＮ状態にされ（Ｓ４０６）、再び検査および清掃ルーチンが実行される際にはＳ４０４の判定がＮＯとなり、Ｓ４０５がパスされる。
【００９４】電子部品装着システムが装着作業中の場合、Ｓ４０７のＹＥＳ判定でＳ４０８〜Ｓ４１５がパスされ、フラグＩ３がＯＦＦにされて（Ｓ４１６）から処理が検査・清掃制御メインルーチンに戻る。電子部品装着システムが装着作業中でなければフラグＩ１がＯＮにされ（Ｓ４０８）、Ｓ４０９，４１０の判定が実行される。最初フラグＩ３，Ｉ４はＯＦＦ状態であるので判定がＹＥＳとなり、フィルタ１５２の目詰まり状態等を検査するＳ４１１の検査処理ルーチンが実行される。このＳ４１１の検査処理ルーチンは本検査および清掃モードにおける前記目詰まり検出工程に該当する処理の１つであり、空気流生成ステップと目詰まり状態判定ステップを含んでいる。Ｓ４１１の詳細については後述する。Ｓ４１１の処理が終了すると、フラグＩ４がＯＮ状態にされ（Ｓ４１２）、再び本検査および清掃ルーチンが実行される時はＳ４１０の判定によりＳ４１１，４１２の検査処理がパスされる。Ｓ４１３の清掃処理ルーチンにおいて、目詰まりが検出されたフィルタ１５２および詰まりが検出された吸着ノズル５０について清掃が行われ、フィルタの清掃モードと同様に第１正圧と第２負圧が供給され、一定時間脈動する気流が発生させられる。このＳ４１３は本検査および清掃モードにおける前記目詰まり解消工程に該当する処理の１つであり、目詰まり状態解消ステップである。なお、Ｓ４１３の詳細な説明は省略する。
【００９５】Ｓ４１４の終了処理でフラグＸ１〜３および変数Ｙ１〜３およびフラグＩ１，Ｉ２，Ｉ４〜Ｉ７などがＯＦＦにリセットされ、ダミーノズル２２２が吸着ノズル５０と交換され、検査実行フラグがＯＦＦにリセットされると、その後の装着作業の予定がある場合はシステム制御プログラムによって装着作業が開始される。電子部品装着システムの停止状態が続いた場合、フラグＩ３がＯＮにされているため（Ｓ４１５）、再び検査および清掃ルーチンが実行された際は、Ｓ４０９の判定がＮＯとなりＳ４１０〜Ｓ４１５の処理はパスされ、一旦電子部品装着システムが装着作業を開始し、フラグＩ３がＯＦＦにリセットされた（Ｓ４１６）後でないと検査および清掃は行われない。
【００９６】＜検査および清掃・検査時期確認＞図２６におけるＳ４０３の検査時期確認ルーチンを図２７に示す。フィルタ１５２の使用量として、装着された吸着ノズル５０の内径（以後、装着ノズル内径と略記する。）がフィルタ１５２の使用量の重み付けに利用され、「吸着回数×装着ノズル内径」で求められた値が使用され、新規のフィルタ１５２装着時より累積された吸着回数および吸着回数×装着ノズル内径の計算値である総累積使用量と、前回の検査が行われてから現在までの吸着回数および吸着回数×装着ノズル内径の計算値の累積である累積使用量とがホストコンピュータ２８０に保存されている。電子部品装着システム（以後、装着システムと略記）の起動時や、新しい種類のプリント配線板に対する電子部品の装着が開始される時等、予め定められた使用量データダウンロード条件が満たされた時に、ホストコンピュータ２８０から装着システムのコンピュータに総累積使用時間と累積使用時間とのデータがダウンロードされる。装着システムのコンピュータはこれらデータを電子部品の装着作業の間リアルタイムで更新し、一定稼動時間の経過時、装着システムの作動停止時、一種類のプリント配線板に対する電子部品の装着の完了時等、予め定められた使用量データアップロード条件が満たされた時に、ホストコンピュータ２８０にアップロードする。上記フィルタ１５２の累積使用量の監視は電子部品の装着毎に行われる点において、前記目詰まり等監視モードと似ており、目詰まり等監視モードで使用される許可フラグがＯＦＦ状態の時に１回行われ、その後、一旦許可フラグがＯＮ状態になってから再びＯＦＦ状態になった時に、累積使用量の監視が再び行われる（Ｓ４２１〜Ｓ４２４）。
【００９７】上記累積使用量は変数Ｗｄに設定され、しきい値としてＷａおよびＷｂが設定されている（Ｗａ＜Ｗｂ）。Ｓ４２５〜Ｓ４３５において、Ｍ番目のフィルタ１５２についての累積使用量Ｗｄ−Ｍ（変数Ｍは１，２，３のどれか）の値としきい値ＷａおよびＷｂとの比較および、装着ノズル内径ＤＭ（変数Ｍは１，２，３のどれか）とノズル内径しきい値Ｄｓとの比較から変数ＹＭ（変数Ｍは１，２，３のどれか）の値が次のように設定される。（ａ）Ｗｄ＜ＷａであればＹＭ＝０：該当フィルタ１５２−Ｍはまだ検査時期に達していない。（ｂ）Ｗｂ＞Ｗｄ≧ＷａかつＤＭ＜ＤｓであればＹＭ＝１：該当フィルタ１５２−Ｍは検査時期であるがノズル内径ＤＭがしきい値Ｄｓ以上の吸着ノズル５０が装着されるまで検査が保留される。（ｃ）Ｗｂ＞Ｗｄ≧ＷａかつＤＭ≧ＤｓであればＹＭ＝２：該当フィルタ１５２−Ｍは検査時期に達しており適宜のタイミングで検査される。（ｄ）Ｗｄ≧ＷｂかつＤＭ≧ＤｓであればＹＭ＝２：該当フィルタ１５２−Ｍは検査されぬまま設定された検査時期が過ぎており、システム制御によって設定された適宜のタイミングで検査される。（ｅ）Ｗｄ≧ＷｂかつＤＭ＜ＤｓであればＹＭ＝３：該当フィルタ１５２−Ｍは装着ノズル内径ＤＭがしきい値Ｄｓ以上の吸着ノズル５０が装着される時期まで待機させられていたが、しきい値Ｄｓ以上の吸着ノズル５０が装着されることなく設定された検査時期が過ぎており、装着されている吸着ノズル５０をダミーノズル２２２に交換して検査される。以上の処理が変数Ｍの値が１，２，３の場合について行われ、全てのフィルタ１５２−１，２，３についての変数Ｙ１，２，３が設定される。Ｙ１，２，３のうち少なくとも１つが２以上の値であれば検査実行フラグがＯＮにされ、そうでない場合は検査実行フラグがＯＦＦにされる（Ｓ４３６〜Ｓ４３８）。
【００９８】＜検査および清掃・検査フィルタ設定＞図２６におけるＳ４０５の検査フィルタ設定ルーチンを図２８に示す。オペレーターによって検査および清掃処理が設定されたフィルタ１５２は、装着ノズル内径ＤＭ（変数Ｍは１，２，３のどれか）がノズル内径しきい値Ｄｓ以上であれば検査対象フィルタ１５２に対応する変数ＹＭ（変数Ｍは１，２，３のどれか）が２に設定され、適宜のタイミングで検査される。装着ノズル内径ＤＭがしきい値Ｄｓ未満であれば変数ＹＭは３に設定され、装着ノズルをダミーノズル２２２に交換して検査される。以上の処理が変数Ｍが１，２，３について行われ、全てのフィルタ１５２−１，２，３についての変数Ｙ１，２，３が設定される（Ｓ４４１〜Ｓ４４９）。最後に検査実行フラグがＯＮにされて（Ｓ４５０）、検査および清掃ルーチンに戻る。
【００９９】＜検査および清掃・検査処理＞図２６におけるＳ４１１の検査処理ルーチンを図２９に示す。変数Ｙ１，２，３の少なくとも１つが３であった場合は、検査対象のノズル保持部１４０全てにダミーノズル２２２が装着されてから第２負圧供給装置２２０に接続される（Ｓ４６１〜Ｓ４６７）。そして、Ｓ４６８〜Ｓ４７１において、ダミーノズル２２２装着状態であれば、検査時期に該当しているにもかかわらず装着ノズル内径がしきい値未満であるために検査が保留されている変数ＹＮ（変数Ｎは１，２，３のどれか）が１に設定されたフィルタ１５２も検査されるように、変数ＹＮが１以上の場合に検査が行われ、吸着ノズル５０が装着された状態であれば、変数ＹＮが２以上の場合に検査が行われる。
【０１００】Ｓ４７１の検査３では、フロチャートによる詳細な説明は省略するが、使用される第２正圧は、圧力調整弁１７０により大気圧との差の絶対値が第１負圧と同程度の正圧に減圧されており、さらに可変絞り１７２の設定を変更することにより検査対象のヘッド部に装着された吸着ノズル５０の内径またはダミーノズル２２２に合わせて圧力供給速度が調整される。可変絞り１７２の設定値の決定方法は、目詰まり等監視モードにおける方法とほぼ同様であるため説明は省略する。可変絞り１７２の設定が終了すると、第２正圧と第２負圧が同時に供給され、開閉弁１８０が閉じられた状態で測定点ＰｐおよびＰｆにおける密閉時圧力ＰｐｃおよびＰｆｃと、開閉弁１８０が開かれて圧力供給通路内の気流が安定し、測定点ＰｐおよびＰｆにおける圧力状態が安定するのに十分な時間である気流安定化時間が経過した時点で、安定な圧力状態の測定点ＰｐおよびＰｆにおける気流安定時圧力ＰｐｏおよびＰｆｏとが測定される。密閉時圧力ＰｐｃおよびＰｆｃが測定された際には、密閉時圧力Ｐｐｃが下限値以上であるかどうかおよび密閉時圧力Ｐｆｃが上限値以下であるかどうか確認され、密閉時圧力Ｐｐｃが下限値未満であれば第２正圧不足状態が、密閉時圧力Ｐｆｃが上限値以下であれば第２負圧不足状態が、記憶および警告表示される。
【０１０１】目詰まり状態等の判定において、吸着ノズル５０が装着されている場合とダミーノズル２２２が装着されている場合では異なる判定法が用いられ、以下にそれぞれの判定法を説明する。まず、吸着ノズル５０が装着されている場合について説明する。測定された気流安定時圧力ＰｐｏおよびＰｆｏとそれぞれの密閉時圧力ＰｐｃおよびＰｆｃとの差である圧力増減量Ｐｐ−ｄおよびＰｆ−ｄが求められ、それぞれのしきい圧力増減量と比較される。圧力増減量Ｐｐ−ｄのしきい値は図３０に示すように、正常なフィルタ１５２および吸着ノズル５０が装着された場合と、目詰まり状態のフィルタ１５２または詰まり気味の吸着ノズル５０等が装着された場合とにおける測定点Ｐｐの２つの気流安定時圧力の間の値と、Ｐｐｃとの差であるしきい圧力増減量Ｐｐ−ｄｓが設定されている。
【０１０２】圧力増減量Ｐｆ−ｄのしきい値は２つあり、それぞれ次に記述する３種類の測定点Ｐｆにおける気流安定時圧力の１つ目と２つ目の間の値および２つ目と３つ目の間の値と、Ｐｆｃとの差がしきい圧力増減量Ｐｆ−ｄ１およびしきい圧力増減量Ｐｆ−ｄ２として設定されている。（i）目詰まり状態のフィルタ１５２および正常な吸着ノズル５０が装着された場合の測定値。（ii）正常なフィルタ１５２および正常な吸着ノズル５０が装着された場合の測定値。(iii)正常なフィルタ１５２および詰まり気味の吸着ノズル５０が装着された場合またはフィルタ１５２が非装着で正常な吸着ノズル５０が装着された場合の測定値。圧力増減量Ｐｐ−ｄおよびＰｆ−ｄが上に述べたそれぞれのしきい圧力増減量と比較され、目詰まり等監視モードにおける目詰まり等状態判定２ルーチンとほぼ同様に判定される。ただし、このＳ４１１の検査処理ルーチンでは、判定に密閉時圧力と気流安定時圧力の差である圧力増減量が用いられており、もし供給された圧力に若干の変動が生じても補正されるため測定値が安定している。
【０１０３】吸着ノズル５０が装着されている場合の判定結果は次のようになる。（ａ）Ｐｆ−ｄ≦Ｐｆ−ｄ１かつＰｐ−ｄ＞Ｐｐ−ｄｓであれば第２正圧供給速度不足またはノズル非装着。（ｂ）Ｐｆ−ｄ≦Ｐｆ−ｄ１かつＰｐ−ｄ≦Ｐｐ−ｄｓであればフィルタの目詰まり。（ｃ）Ｐｆ−ｄ１＜Ｐｆ−ｄ≦Ｐｆ−ｄ２かつＰｐ−ｄ＞Ｐｐ−ｄｓであればフィルタおよび吸着ノズル正常。（ｄ）Ｐｆ−ｄ１＜Ｐｆ−ｄ≦Ｐｆ−ｄ２かつＰｐ−ｄ≦Ｐｐ−ｄｓであればノズルの詰まり中期かつフィルタの目詰まり中期。（ｅ）Ｐｆ−ｄ＞Ｐｆ−ｄ２かつＰｐ−ｄ＞Ｐｐ−ｄｓであればフィルタ非装着。（ｆ）Ｐｆ−ｄ＞Ｐｆ−ｄ２かつＰｐ−ｄ≦Ｐｐ−ｄｓであればノズルの詰まり，電子部品付着または第２正圧供給速度過剰もしくは第２負圧供給速度不足。
【０１０４】次にダミーノズル２２２が装着されている場合の判定法について説明する。測定点ＰｐおよびＰｆにおいてそれぞれ測定された気流安定時圧力ＰｐｏとＰｆｏの差圧Ｐｄが求められ、しきい差圧と比較される。フィルタ１５２の正圧供給装置１６２側と、第２負圧供給装置２２０側との圧力差を求めることにより、目詰まりによるフィルタ１５２の通気抵抗増加が、主にフィルタ部の圧損の増加としてより明確に測定結果に反映される。しきい差圧は図３１に示すように、正常なフィルタ１５２が装着された場合の差圧よりも小さいＰｄ１と、正常なフィルタ１５２が装着された場合の差圧と目詰まり状態のフィルタ１５２が装着された場合の差圧との間の値であるＰｄ２，Ｐｄ３（Ｐｄ２＜Ｐｄ３）とが設定されている。判定結果は次のようになる。（ａ）Ｐｄ＜Ｐｄ１：フィルタ非装着または圧力差不足。（ｂ）Ｐｄ１≦Ｐｄ＜Ｐｄ２：フィルタ正常。（ｃ）Ｐｄ２≦Ｐｄ＜Ｐｄ３：フィルタ目詰まり初期。（ｄ）Ｐｄ３≦Ｐｄ：フィルタ目詰まりまたは圧力差過剰。
【０１０５】一旦Ｓ４７１の検査３ルーチンが実行された後、Ｓ４７２でフラグＩ７がＯＮ状態にされる。フラグＩ７は、Ｓ４７１の検査３ルーチン内で使用され、１回目の処理で圧力供給準備処理が行われ、２回目以降はフラグＩ７がＯＮ状態のため圧力供給準備処理がパスされる（目詰まり検査ルーチンのＳ２０３検査２参照）。変数Ｎの値が１〜３まで増加させられながらＳ４６８〜Ｓ４７０の判断が行われると検査対象のヘッド部は全て検査が終了し、変数Ｎが１に、フラグＩ７がＯＦＦにリセットされる（Ｓ４７５，Ｓ４７６）。Ｓ４７７の終了処理では、ダミーノズル２２２が装着されていた場合は吸着ノズル５０と交換され、また、吸着ノズル５０が交換されたか否かにかかわらず可変絞り１７２の絞りの設定が内径が最大の吸着ノズル５０に合わせて設定される。
【０１０６】＜５．清掃および検査＞図１０に示す検査・清掃制御メインルーチンにおいて、Ｓ７の清掃および検査モードがＯＮの場合、Ｓ１１の清掃および検査ルーチンが実行される。Ｓ１１では、予め処理対象のフィルタ１５２が選択されている場合は、それら選択されたフィルタ１５２について清掃および検査処理が行われ、処理対象のフィルタ１５２が選択されていない場合は、目詰まり等監視モードでフィルタの目詰まりまたはノズルの詰まり等が検出されたヘッド部が、吸着ノズル５０を装着したまま接続部２２４を介して第２負圧供給装置２２０に接続され、第１正圧および第２負圧により発生させられた気流によりフィルタ１５２もしくは吸着ノズル５０またはそれら両方が清掃され、その後、清掃されたヘッド部が検査されてフィルタの目詰まりまたはノズルの詰まり等が十分に解消されていなかった場合、フィルタ１５２もしくは吸着ノズル５０がオペレーターによって新規の部品と交換される。
【０１０７】Ｓ１１の清掃および検査ルーチンのフロチャートを図３２に示す。Ｓ５０１では処理対象のヘッド部に対応するフラグＸＮ（変数Ｎは１，２，３のどれか）がＯＮ状態に設定される。図１０のＳ１初期設定において予め処理対象のヘッド部が選択されていれば、３つのヘッド部に対応するフラグＸ１，２，３の少なくとも１つがＯＮ状態にされており、フラグＸＮの値がそのまま使用される。予め処理対象のヘッド部が選択されていなかった場合は、目詰まり等監視モードでフィルタの目詰まりまたはノズルの詰まり等が検出されたヘッド部に対応するフラグＸＮがＯＮ状態にされる。処理対象のヘッド部が設定された後、電子部品装着システムが装着作業中でなければ、ノズル保持部１４０に保持された吸着ノズル５０が接続部２２４上にＸＹ移動させられた後、下降させられて第２負圧供給装置２２０と接続される（Ｓ５０２）。
【０１０８】Ｓ５０３の清掃処理２は、前記目詰まり解消工程に該当する処理の１つであり、本清掃および検査モードにおける目詰まり状態解消ステップである。Ｓ５０３の清掃処理２では、フィルタの清掃モードと同様に対象となるヘッド部１つにおいて、第１正圧が開閉弁１８０側からノズル保持部１４０に供給されると同時に第２負圧が吸着ノズル５０側からノズル保持部１４０に供給され、開閉弁１８０から接続部２２４へヘッド部を通じて流れる気流が生じる。さらに、一定時間間隔で開閉弁１８０が開閉されることにより、一定時間気流が脈動させられ、対象となるヘッド部１つの清掃処理が終了する。選択された、つまりフラグＸＮ（変数Ｎは１，２，３のどれか）がＯＮ状態であるヘッド部全ての清掃処理が終了すると、Ｓ５０４の検査処理２が実行される。
【０１０９】＜清掃および検査・検査処理２＞Ｓ５０４検査処理２は、前記目詰まり検出工程に該当する処理の１つであり、本清掃および検査モードにおける空気流生成ステップと目詰まり状態判定ステップとを含む。Ｓ５０４検査処理２では、清掃処理が行われたヘッド部、つまりＳ５０１においてＯＮ状態に設定されたフラグＸＮ（変数Ｎは１，２，３のどれか）に対応するヘッド部について検査が行われる。可変絞り１７２が対象となるヘッド部に装着された吸着ノズル５０の内径に適した設定値に設定された後、対象となるヘッド部１つに対して、開閉弁１８０が閉じられた状態で第２正圧が開閉弁１８０手前まで供給されると同時に、第２負圧が吸着ノズル５０側からノズル保持部１４０に供給される。そして、密閉時圧力ＰｐｃおよびＰｆｃが測定され、検査および清掃モードの検査３ルーチンと同様に、密閉時圧力ＰｐｃおよびＰｆｃがそれぞれ下限値以上または上限値以下であるかどうか確認され、密閉時圧力Ｐｐｃが下限値未満であれば第２正圧不足状態が、密閉時圧力Ｐｆｃが上限値以下であれば第２負圧不足状態が、記憶および警告表示される。圧力の供給が開始されて圧力安定化時間経過後に、圧力供給通路内の圧力が安定した状態で測定点ＰｐおよびＰｆにおける密閉時圧力ＰｐｃおよびＰｆｃが測定される。開閉弁１８０が開かれると、開閉弁１８０側から接続部２２４側へ流れる気流が生じ、各圧力測定点の圧力状態は急激に変化するが、一定時間後には圧力供給通路を流れる気体流量はほぼ安定し、その安定した圧力状態の圧力測定値である気流安定時圧力ＰｐｏおよびＰｆｏが測定点ＰｐおよびＰｆにおいて測定される。
【０１１０】測定点ＰｐおよびＰｆにおいて測定された密閉時圧力と気流安定時圧力の差がそれぞれ求められ、予め設定されたしきい値であるしきい圧力増減量と比較することによりフィルタ１５２および吸着ノズル５０等の状態が判定される。なお、対象ヘッド部に装着された吸着ノズル５０の内径がノズル内径しきい値Ｄｓ以上の場合は、検査および清掃モードにおいて吸着ノズル５０が装着された状態の検査処理と同じ判定方法が用いられるため説明は省略する。一方、吸着ノズル５０の内径がしきい値Ｄｓ未満の場合は、目詰まり等監視モードの目詰まり判定１と同様な判定方法が用いられ、以下に説明する。
【０１１１】対象ヘッド部に装着された吸着ノズル５０の内径がしきい値Ｄｓ未満である場合には、密閉時圧力ＰｐｃおよびＰｆｃと気流安定時圧力ＰｐｏおよびＰｆｏの差の圧力増減量Ｐｐ−ｄおよびＰｆ−ｄが求められ、予め設定されたしきい圧力増減量と比較される。それらのしきい圧力増減量には、図３０に示されている各測定値との大小関係が、しきい圧力増減量Ｐｐ−ｄｓおよびＰｆ−ｄ２と同様なしきい圧力増減量Ｐｐ−ｄｔおよびＰｆ−ｄｔがそれぞれ設定されており、Ｐｐ−ｄ＞Ｐｐ−ｄｔかつＰｆ−ｄ＜Ｐｆ−ｄｔであれば吸着ノズル５０は正常と判定される。逆に、Ｐｐ−ｄ≦Ｐｐ−ｄｔかつＰｆ−ｄ≧Ｐｆ−ｄｔであればノズルの詰まりと判定され、それ以外はノズルの詰まり中期と判定される。
【０１１２】清掃処理後にフィルタの目詰まりまたはノズルの詰まり等が検出された場合、Ｓ５０５の終了処理でオペレーターにフィルタ１５２または吸着ノズル５０の交換を促す表示がなされる。また、目詰まり等が検出されなくとも各種のフラグや変数のリセット、開閉弁や方向切換弁を初期の状態に戻す処理、可変絞り１７２の設定を元に戻す処理等が行われて、検査・清掃制御メインルーチンに戻る。
【０１１３】清掃および検査モードでは、吸着ノズル５０を装着したまま清掃および検査が行われる。このままでは、フィルタの目詰まり清掃および検査時に内径の小さい吸着ノズル５０が装着されているとフィルタ１５２の清掃の効果および検査の精度が低くなる可能性がある。しかし、装着された吸着ノズル５０の内径が大きい場合は吸着ノズル５０の通気抵抗が比較的小さく外気の吸入流量が多いためフィルタの目詰まりによる影響が現れやすい傾向となり、一方、吸着ノズル５０の内径が小さい場合は吸着ノズル５０の通気抵抗が大きいためフィルタの目詰まりによる影響が現れにくく、逆にフィルタ１５２が多少目詰まり状態であっても外気の吸入流量が少ないため問題になりにくい。つまり、電子部品２０の吸着ミスを防ぐという観点において、装着された吸着ノズル５０の内径が小さい場合（ノズル内径しきい値Ｄｓ未満）は、吸着ノズル５０の通気抵抗が大きいためフィルタ１５２の目詰まり状態が問題となる可能性は低く、主に吸着ノズル５０の詰まりを清掃および検査すれば良いことになる。
【０１１４】＜補足＞本実施形態では電子部品装着システムにヘッド部が３つ設けられている例を示したが、ヘッド部の数が１つでも、複数であってもフィルタ等の検査および清掃の少なくとも一方が実行可能である。
【０１１５】フィルタの清掃モード・検査および清掃モード・清掃および検査モードにおいて、ノズル保持部１４０に第２負圧供給装置２２０が接続され、清掃時に第２負圧が供給されていたが、第２負圧供給装置２２０が接続されず、第２負圧の供給なしで、すなわち第１正圧のみで清掃を行うことも可能である。逆に、第１正圧なしで、すなわち第２負圧のみでフィルタの清掃を行うことも不可能ではない。また、目詰まり検査モード・検査および清掃モード・清掃および検査モードにおいては、第２負圧供給装置２２０が接続され、検査時に第２負圧が供給されていたが、第２負圧の供給なしで、すなわち第２正圧または第１負圧のどちらかのみで検査を行うことも可能である。また、第２負圧のみでフィルタの検査を行うことも可能である。
【０１１６】第２負圧供給装置２２０につながる圧力供給通路には、フィルタ１５２と気流の通過穴のサイズは同等で、濾過面積が大きなフィルタ２４０が設けられており、フィルタの清掃によって除去された異物が捕集される。フィルタの清掃は第２負圧供給装置２２０を接続しなくとも第１正圧の供給のみで実行可能であるが、第２負圧供給装置２２０を接続してフィルタの清掃を行うことにより、圧力差を増大させ得る上、異物の飛散が防止できる。
【０１１７】開閉弁１８０は可能な範囲でフィルタ１５２の近くに配置されることが望ましい。また、全てのヘッド部において開閉弁１８０からフィルタ１５２までの圧力供給通路の長さが、可及的に等しくなることが望ましい。開閉弁１８０の存在は必須ではないが、上記のように、開閉弁１８０を配設することにより、圧力をより急速に変化させることが可能となる。また、ヘッド部による測定値のばらつきが低下すると期待される。そのほかに、方向切換弁１７８を切り換えるよりも清掃時の脈動が強くなるメリットや、検査および清掃モードや清掃および検査モードの検査処理において測定点Ｐｆにおける密閉時圧力を測定できるメリット等がある。なお、第２負圧供給装置２２０とフィルタ１８４との間の圧力供給通路に可変絞りと圧力センサを設ければ、１つの圧力センサで開閉弁１８０と第２負圧供給装置２２０との間の圧力供給通路や、開閉弁２３２と第２負圧供給装置２２０との間の圧力供給通路における密閉時圧力を測定することが可能である。なお、可変絞りは圧力センサより第２負圧供給装置２２０側に設けることが望ましい。
【０１１８】検査・清掃制御プログラムにおいて、検査および清掃モードで一定の使用量を越えたフィルタ１５２を検査するために検査実行フラグがＯＮにされる。また、目詰まり等監視モードで密閉時負圧が低すぎる場合に装着作業停止フラグがＯＮにされる。検査実行フラグのように検査や清掃を目的として作業停止を要求するフラグがＯＮ状態とされた場合には、システム制御プログラムにより適宜のタイミングで装着作業が停止され、その後に検査・清掃制御プログラムのダミーノズル装着要求フラグなどの何らかの処理を要求するフラグがＯＮ状態であると、要求された処理がシステム制御プログラムによって実行される。一方、供給圧力の異常などが原因で装着作業の停止が要求された場合は、システム制御プログラムにより装着作業が停止された後に検査・清掃制御プログラムの何らかの処理を要求するフラグがＯＮ状態とされても無視され、処理は行われない。つまり、検査・清掃制御プログラムの要求を実行するか否かは、システム制御プログラムに決定権があり、システム制御プログラムによって許可される時のみ検査・清掃制御プログラムの要求が実行される。
【０１１９】検査・清掃制御プログラムのフロチャートにおいて、処理が「リターン・メイン」に進むと、処理が検査・清掃制御メインルーチンに移行し、実行されていた各モードのルーチンの次に行われるべき処理が実行される。例えば、検査および清掃モードであれば、処理が「リターン・メイン」に進むと、検査・清掃制御メインルーチンにおけるＳ１０の検査および清掃ルーチンの処理が１回終わったと見なされて、次にＳ１２のその他の処理が実行された後、Ｓ２の処理を始めとする処理が実行される。他のモードについても同様である。フロチャートをいたずらに複雑にせず、理解を容易にするためこのような表現とした。
【０１２０】フィルタの目詰まり等の検査は、開閉弁１８０が閉じられヘッド部に圧力差のない状態から、開閉弁１８０が開かれて圧力差が発生した状態に変化した際の圧力変化速度を始めとする圧力関連量の変化に基づいてフィルタの目詰まり等の判定がなされるようにされていたが、逆に、開閉弁１８０が開かれヘッド部に圧力差が存在する状態から、開閉弁１８０が閉じられ圧力差のない状態にされることによりフィルタの目詰まり等の判定が行われるようにすることも可能である。
【０１２１】「フィルタの目詰まり」または「フィルタの目詰まりおよびノズルの詰まり」の清掃において、第１正圧・第２負圧の供給能力に余裕があれば、清掃時に複数のヘッド部に圧力を供給し、一度に複数のフィルタ１５２と吸着ノズル５０との少なくとも一方を清掃することも可能であり、清掃時間の短縮となる。さらに、開閉弁１８０の開閉により気流を脈動させ、その際、ヘッド部によって開閉弁１８０を開閉するタイミングをずらせば圧力を効率よく使用できる。
【０１２２】「フィルタの目詰まり」または「フィルタの目詰まりおよびノズルの詰まり」の検査において、各ヘッド部の方向切換弁１７８とフィルタ１５２との間に可変絞りと圧力センサとを設置すれば、全てのフィルタを同時に検査可能である。ただし、圧力センサは可変絞りよりもフィルタ１５２に近い側に設置すべきである。
【０１２３】「フィルタの目詰まり」または「フィルタの目詰まりおよびノズルの詰まり」の検査および清掃を行う場合、検査を第１負圧で行い、清掃を第１正圧で行えば、あるヘッド部を検査している間に別のヘッド部を清掃することが可能であり、メンテナンス時間の短縮となる。さらに、開閉弁２３２を方向切換弁とし、第２負圧と大気圧を切り換えられるようにすれば、第１正圧と第２負圧を用いて清掃を行いながら、同時に他のヘッド部を第１負圧で検査することができる。
【０１２４】検査および清掃モードおよび清掃および検査モードでは、第２正圧および第２負圧が同時に使用されており、フィルタ１５２を通過する気流の向きが、フィルタ１５２に付着した異物を除去する向きであるため、強固に付着しているのでなければ検査時に除去されることもある。可能な範囲で圧力差を大きくして検査が行われれば、ある程度の清掃効果が期待され、清掃しながら検査可能になる。つまり、圧力供給によりフィルタ１５２の異物が減少すれば通気抵抗が小さくなり、一定時間間隔で圧力測定すれば異物減少の度合いが確認でき、圧力値，圧力増減量または差圧等が正常な範囲になった時点または変化が無くなったところで清掃を終了させることができる。
【０１２５】目詰まり検査モードではフィルタの目詰まり状態が３段階で評価されるが、このように複数のしきい圧力関連量を用いてフィルタの目詰まりおよびノズルの詰まり等の判定を行えば目詰まり状態等が段階的に把握可能になり、フィルタ１５２および吸着ノズル５０の管理の効率化が上がる。しきい圧力関連量を３つ用いて４段階以上で評価することも可能であり、逆に２段階のみで評価することも可能である。同様に、他の検査処理を含む各モードにおける目詰まり状態等の判定が、２段階または３段階以上で評価されるようにすることも可能である。
【０１２６】圧力センサＰｐ２００，Ｐｎ２０２，Ｐｆ２０４のいずれかが設けられていればフィルタの目詰まり状態検査は実施可能である。検査および清掃モード，清掃および検査モードの説明において、各種の圧力関連量およびしきい圧力関連量の値は正圧または絶対圧のいずれかを用いることが望ましい。正圧を用いる場合、負圧は負の値で表せばよい。本実施形態では、フィルタ１５２が圧力供給装置１６０とノズル保持部１４０との間の圧力供給通路に設けられているが、フィルタ１５２が吸着ノズル５０や吸着管１１２に設けられている場合であっても、フィルタの目詰まり検査や清掃を行うことが可能である。
【０１２７】以上、本発明の実施形態を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、本発明は、前記〔発明が解決しようとする課題，課題解決手段および効果〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。
【出願人】 【識別番号】０００２３７２７１
【氏名又は名称】富士機械製造株式会社
【住所又は居所】愛知県知立市山町茶碓山１９番地
【出願日】 平成１４年１月３０日（２００２．１．３０）
【代理人】 【識別番号】１０００７９６６９
【弁理士】
【氏名又は名称】神戸 典和
【公開番号】 特開２００３−２２４３９７（Ｐ２００３−２２４３９７Ａ）
【公開日】 平成１５年８月８日（２００３．８．８）
【出願番号】 特願２００２−２１７１０（Ｐ２００２−２１７１０）