多層光記録媒体の製造方法および多層光記録媒体

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【発明の名称】	多層光記録媒体の製造方法および多層光記録媒体
【発明者】	【氏名】小巻壮【住所又は居所】東京都中央区日本橋一丁目１３番１号ティーディーケイ株式会社内【氏名】山家研二【住所又は居所】東京都中央区日本橋一丁目１３番１号ティーディーケイ株式会社内
【要約】	【課題】各記録層を偏心させることなくスペーサ層を形成する。【解決手段】装着用中心孔１ａが形成された基材Ｄ１の上にスペーサ層を挟んで積層した２つの記録層を有する多層光記録媒体の製造方法であって、２番目の記録層Ｌ１と、１番目の記録層との間のスペーサ層を形成する際に、１番目の記録層を形成するためのスタンパ２１に形成された嵌合用溝部２１ｂに嵌合可能な嵌合用凸部Ｄ１ａが装着用中心孔１ａの周囲に形成されると共に装着用中心孔１ａにターンテーブル１２のセンターピン１２ｃを挿通させるた状態で基材Ｄ１をターンテーブル１２に固定し、基材Ｄ１の嵌合用凸部Ｄ１ａよりも外周部寄りの所定位置に塗液Ｒを滴下した後に、嵌合用溝部２１ｂと嵌合用凸部Ｄ１ａとを嵌合させつつスタンパ２１を基材Ｄ１に覆い被せ、ターンテーブル１２を回転させて塗液Ｒをスピンコートする。

【特許請求の範囲】
【請求項１】中心部に装着用中心孔が形成された基材の上にスペーサ層を挟んで積層したＮ層（Ｎは２以上の自然数）の記録層を有する多層光記録媒体の製造方法であって、再生用レーザービームまたは記録用レーザービームの入射方向から数えて（Ｍ＋１）番目（Ｍは（Ｎ－１）以下の自然数）の前記記録層と、Ｍ番目の前記記録層との間の前記スペーサ層を形成する際に、前記Ｍ番目の記録層を形成するためのスタンパに形成されたスタンパ側嵌合部に嵌合可能な基材側嵌合部が前記装着用中心孔の周囲に形成されると共に前記（Ｍ＋１）番目の記録層が形成された前記基材の前記装着用中心孔にターンテーブルの中央部に立設された位置決め用ピンを挿通させた状態で当該基材を当該ターンテーブルに固定し、当該基材の上面における前記基材側嵌合部よりも外周部寄りの所定位置に前記スペーサ層形成用の塗液を滴下した後に、前記スタンパ側嵌合部と前記基材側嵌合部とを嵌合させつつ前記スタンパを当該基材に覆い被せ、前記ターンテーブルを回転させることによって前記塗液をスピンコートする多層光記録媒体の製造方法。
【請求項２】中心部に装着用中心孔が形成された基材の上にスペーサ層を挟んで積層したＮ層（Ｎは２以上の自然数）の記録層を有する多層光記録媒体の製造方法であって、再生用レーザービームまたは記録用レーザービームの入射方向から数えて（Ｍ＋１）番目（Ｍは（Ｎ－１）以下の自然数）の前記記録層と、Ｍ番目の前記記録層との間の前記スペーサ層を形成する際に、当該Ｍ番目の記録層を形成するためのスタンパに形成されたスタンパ側嵌合部に嵌合可能な基材側嵌合部が前記装着用中心孔の周囲に形成されると共に前記（Ｍ＋１）番目の記録層が形成された前記基材の前記装着用中心孔にターンテーブルの中央部に立設された位置決め用ピンを挿通させることによって当該基材を当該ターンテーブルに固定し、当該基材の上面における前記基材側嵌合部よりも外周部寄りの所定位置に前記スペーサ層形成用の塗液を滴下した後に、前記ターンテーブルを回転させることによって前記塗液をスピンコートし、その後に前記スタンパ側嵌合部と前記基材側嵌合部とを嵌合させつつ前記スタンパを当該基材に覆い被せ、その状態で前記塗液を硬化させる多層光記録媒体の製造方法。
【請求項３】前記スペーサ層形成用の塗液としてエネルギー線硬化型の樹脂塗液を用い、かつ前記スタンパとしてエネルギー線透過素材で形成されたスタンパを用いる請求項１または２記載の多層光記録媒体の製造方法。
【請求項４】前記スタンパ側嵌合部および前記基材側嵌合部のいずれか一方は、その平面視形状が輪状の嵌合用凸部で構成され、いずれか他方は、前記嵌合用凸部が嵌合可能に形成された嵌合用溝部で構成されている請求項１から３のいずれかに記載の多層光記録媒体の製造方法。
【請求項５】請求項１から４のいずれかに記載の多層光記録媒体の製造方法に従って製造された多層光記録媒体であって、前記基材側嵌合部が前記基材に形成されている多層光記録媒体。

【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、スペーサ層を挟んで複数の記録層が積層された多層光記録媒体の製造方法、および多層光記録媒体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種の多層光記録媒体として、出願人は、図１４に示す多層光記録媒体３１を開発している。この多層光記録媒体３１は、中心部に装着用中心孔１ａが形成された円板状の基材Ｄ１１の上に、記録層Ｌ１、スペーサ層Ｓ、記録層Ｌ０およびカバー層Ｃが順に積層されている。この場合、記録層Ｌ１は、基材Ｄ１１の表面に形成されたグルーブ上やランド上に、記録用レーザービームおよび再生用レーザービーム（以下、区別しないときには「レーザービーム」ともいう）を反射する反射膜や、記録用レーザービームを照射することによって光学的定数の変化に伴って光反射率が変化する相変化膜、および相変化膜を保護する保護膜などを積層して構成されている。また、スペーサ層Ｓは、その厚みが２０μｍ程度となるように光透過性樹脂で薄膜状に形成されている。一方、記録層Ｌ０は、スペーサ層Ｓの表面に形成されたグルーブ上やランド上に、相変化膜や保護膜などを積層して構成されている。カバー層Ｃは、記録層Ｌ０の傷付きを防止すると共に光路の一部（レンズ）としての役割を有する層であって、光透過性樹脂で薄膜状に形成されている。この多層光記録媒体３１では、同図の矢印Ａの向きでレーザービームが照射されることにより、記録層Ｌ０，Ｌ１に対する記録データの記録、または記録層Ｌ０，Ｌ１からの記録データの読み出しが行われる。
【０００３】この多層光記録媒体３１の製造に際しては、まず、基材Ｄ１１の上に例えばスパッタ法によって記録層Ｌ１を成膜する。次に、記録層Ｌ１の上にスピンコート法によって塗液Ｒを塗布することによりスペーサ層Ｓを形成する。この際には、図１５に示すように、まず、記録層Ｌ１が成膜された面を上向きにして、その装着用中心孔１ａにターンテーブル１２のセンターピン１２ｃが挿通するように基材Ｄ１１を基台１２ａの上に載置する。この場合、基台１２ａは、上面が平坦な円板状に形成され、シャフト１２ｂを介して図外のモータに連結されている。また、このターンテーブル１２は、塗液Ｒの塗布時には、負圧によってその内周部（チャッキングエリア）が吸引された基材Ｄ１１を載置した状態でモータによって回転させられる。さらに、センターピン１２ｃは、基材Ｄ１１の中心部とターンテーブル１２の中心部とを位置合わせするための位置決め用ピンであって、基材Ｄ１１の着脱を容易にすべく、装着用中心孔１ａよりも若干細径の円柱状に形成されて、基台１２ａの中心部に立設されている。
【０００４】次に、この状態のターンテーブル１２を低速回転させた状態で、図１６に示すように、ノズル１４ａの先端から基材Ｄ１１の上に塗液Ｒを滴下する。この際には、装着用中心孔１ａの周囲（基材Ｄ１１の内周部）に塗液Ｒを滴下する。次いで、ターンテーブル１２を高速回転させ、塗液Ｒを基材Ｄ１１の外周部まで拡げる。この際には、ターンテーブル１２の回転数や高速回転保持時間などを適宜制御することにより、塗液Ｒが、ターンテーブル１２の回転によって生じる遠心力で基材Ｄ１１の半径方向の向きで内周部から外周部に向けて移動する。また、基材Ｄ１１の外周部に達した余分な塗液Ｒは、遠心力によって基材Ｄ１１から飛散する。これにより、図１７に示すように、基材Ｄ１１の表面全域に亘って塗液Ｒがほぼ平坦に薄膜状に塗布される。
【０００５】次に、図１８に示すように、塗液Ｒの塗布が完了した基材Ｄ１１の上に、その中心孔２１ａにターンテーブル１２のセンターピン１２ｃが挿通するようにしてスタンパ５１を覆い被せる。この場合、スタンパ５１は、後述するように塗液Ｒを硬化させるための紫外線を透過可能な材料で形成されている。また、中心孔２１ａは、装着用中心孔１ａとほぼ同径に形成されている。さらに、このスタンパ５１の下面には、記録層Ｌ０用のグルーブ、ランドおよびピット等を形成するための凹凸加工が施されている。この場合、基材Ｄ１１上に塗布が完了した時点では、塗液Ｒが流動性を有している。このため、スタンパ５１の凹凸形状、すなわちグルーブやランド等の形状に塗液Ｒが馴染みつつ、スタンパ５１は、塗液Ｒの上に覆い被される。次いで、この状態の基材Ｄ１１に紫外線を照射して塗液Ｒを硬化させることにより、スペーサ層Ｓが完成する。続いて、図１９に示すように、基材Ｄ１１からスタンパ５１を取り外す。この後、スペーサ層Ｓの上に記録層Ｌ０を成膜し、その記録層Ｌ０の上に塗液Ｒをスピンコートして硬化させることによりカバー層Ｃを形成する。これにより、多層光記録媒体３１の製造が完了する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記した多層光記録媒体３１の製造方法には、以下の改善すべき課題がある。すなわち、この製造方法では、塗液Ｒのスピンコートが完了した基材Ｄ１１上にスタンパ５１を覆い被せた状態で塗液Ｒを硬化させて、スペーサ層Ｓを形成している。この場合、前述したように、ターンテーブル１２のセンターピン１２ｃは、基材Ｄ１１およびスタンパ５１の着脱を容易にすべく、基材Ｄ１１の装着用中心孔１ａおよびスタンパ５１の中心孔２１ａよりも小径に形成されている。このため、ターンテーブル１２上に載置した基材Ｄ１１における装着用中心孔１ａの口縁と、センターピン１２ｃの周面との間、および基材Ｄ１１上に覆い被せたスタンパ５１における中心孔２１ａの口縁と、センターピン１２ｃの周面との間に、それぞれ僅かな隙間が生じる。この場合、例えば図１８に示すように、基材Ｄ１１とスタンパ５１とが、それぞれ異なる方向に片寄った状態でターンテーブル１２上に載置された際には、記録層Ｌ０，Ｌ１のそれぞれのグルーブおよびランドがずれた状態でスペーサ層Ｓが形成されて、偏心が発生する。したがって、この点を改善するのが好ましい。
【０００７】一方、偏心を小さくするための方法として、基材Ｄ１１の装着用中心孔１ａとスタンパ５１の中心孔２１ａとにセンターピン１２ｃがきつめに嵌り込むように、センターピン１２ｃの外径を太く形成することも考えられる。この方法によれば、基材Ｄ１１の装着用中心孔１ａとスタンパ５１の中心孔２１ａとが一致するように、その位置合わせが可能となる。しかし、この方法には、偏心を改善できるものの、基材Ｄ１１およびスタンパ５１のセンターピン１２ｃへの着脱に問題が生じる。つまり、センターピン１２ｃに対して基材Ｄ１１等を嵌めにくく、かつ取り外しにくいことになる。このため、生産性が著しく低下して多層光記録媒体３１の製造コストが高騰するという問題が発生する。
【０００８】本発明は、かかる改善すべき点に鑑みてなされたものであり、各記録層を偏心させることなくスペーサ層を形成し得る多層光記録媒体の製造方法および多層光記録媒体製造装置を提供することを主目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく本発明に係る多層光記録媒体の製造方法は、中心部に装着用中心孔が形成された基材の上にスペーサ層を挟んで積層したＮ層（Ｎは２以上の自然数）の記録層を有する多層光記録媒体の製造方法であって、再生用レーザービームまたは記録用レーザービームの入射方向から数えて（Ｍ＋１）番目（Ｍは（Ｎ－１）以下の自然数）の前記記録層と、Ｍ番目の前記記録層との間の前記スペーサ層を形成する際に、前記Ｍ番目の記録層を形成するためのスタンパに形成されたスタンパ側嵌合部に嵌合可能な基材側嵌合部が前記装着用中心孔の周囲に形成されると共に前記（Ｍ＋１）番目の記録層が形成された前記基材の前記装着用中心孔にターンテーブルの中央部に立設された位置決め用ピンを挿通させた状態で当該基材を当該ターンテーブルに固定し、当該基材の上面における前記基材側嵌合部よりも外周部寄りの所定位置に前記スペーサ層形成用の塗液を滴下した後に、前記スタンパ側嵌合部と前記基材側嵌合部とを嵌合させつつ前記スタンパを当該基材に覆い被せ、前記ターンテーブルを回転させることによって前記塗液をスピンコートする。
【００１０】また、本発明に係る多層光記録媒体の製造方法は、中心部に装着用中心孔が形成された基材の上にスペーサ層を挟んで積層したＮ層（Ｎは２以上の自然数）の記録層を有する多層光記録媒体の製造方法であって、再生用レーザービームまたは記録用レーザービームの入射方向から数えて（Ｍ＋１）番目（Ｍは（Ｎ－１）以下の自然数）の前記記録層と、Ｍ番目の前記記録層との間の前記スペーサ層を形成する際に、当該Ｍ番目の記録層を形成するためのスタンパに形成されたスタンパ側嵌合部に嵌合可能な基材側嵌合部が前記装着用中心孔の周囲に形成されると共に前記（Ｍ＋１）番目の記録層が形成された前記基材の前記装着用中心孔にターンテーブルの中央部に立設された位置決め用ピンを挿通させることによって当該基材を当該ターンテーブルに固定し、当該基材の上面における前記基材側嵌合部よりも外周部寄りの所定位置に前記スペーサ層形成用の塗液を滴下した後に、前記ターンテーブルを回転させることによって前記塗液をスピンコートし、その後に前記スタンパ側嵌合部と前記基材側嵌合部とを嵌合させつつ前記スタンパを当該基材に覆い被せ、その状態で前記塗液を硬化させる。
【００１１】この場合、前記スペーサ層形成用の塗液としてエネルギー線硬化型の樹脂塗液を用い、かつ前記スタンパとしてエネルギー線透過素材で形成されたスタンパを用いるのが好ましい。
【００１２】また、前記スタンパ側嵌合部および前記基材側嵌合部のいずれか一方を、その平面視形状が輪状の嵌合用凸部で構成し、いずれか他方を、前記嵌合用凸部が嵌合可能に形成された嵌合用溝部で構成するのが好ましい。
【００１３】また、本発明に係る多層光記録媒体は、本発明に係る多層光記録媒体の製造方法に従って製造された多層光記録媒体であって、前記基材側嵌合部が前記基材に形成されている。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発明に係る多層光記録媒体の製造方法および多層光記録媒体の好適な実施の形態について説明する。
【００１５】最初に、多層光記録媒体１の構成について、図１を参照して説明する。
【００１６】多層光記録媒体１は、本発明における（（Ｍ＋１）番目（Ｍは値１）の記録層に相当する記録層Ｌ１、スペーサ層Ｓ、本発明におけるＭ番目（Ｍは値１）の記録層に相当する記録層Ｌ０、およびカバー層Ｃが基材Ｄ１上に順に積層され、カバー層Ｃ側から（同図の矢印Ａの向きで）再生用レーザービームまたは記録用レーザービームが照射されることによって記録データの読出しまたは記録が可能に構成されている。基材Ｄ１は、射出成形によって全体の直径が１２０ｍｍ程度の円板状（平板形状）に形成されている。また、基材Ｄ１の中心部には、基材Ｄ１を記録再生装置に装着するための直径１５ｍｍ程度の装着用中心孔１ａが形成されている。また、基材Ｄ１には、装着用中心孔１ａの外側に位置して、幅１０ｍｍ程度のドーナッツ状のチャッキングエリアが形成され、このチャッキングエリアの上面（チャッキング面）がカバー層Ｃの上面と面一となるように形成されている。さらに、このチャッキング面の外縁部には、嵌合用凸部Ｄ１ａが形成されており、この嵌合用凸部Ｄ１ａは、本発明における基材側嵌合部に相当し、平面視形状が輪状（環状）となるように基材Ｄ１を突出して形成されている。また、嵌合用凸部Ｄ１ａの外周部には、記録層Ｌ１用のグルーブ、ランドおよびピット等が形成されている。記録層Ｌ１は、基材Ｄ１の上に、反射膜、相変化膜および保護膜などをスパッタ法によって成膜することによって形成されている。スペーサ層Ｓは、記録層Ｌ１の上に光透過性の塗液Ｒで２０μｍ程度の厚みに形成されている。また、スペーサ層Ｓの表面には、後述するように、記録層Ｌ０を形成するためのグルーブ、ランドおよびピット等がスタンパ２１によって形成される。記録層Ｌ０は、スペーサ層Ｓの上に相変化膜や保護膜などをスパッタ法によって成膜することによって形成されている。また、カバー層Ｃは、光透過性の樹脂で９０μｍ程度の厚みに形成されている。
【００１７】一方、スタンパ２１は、多層光記録媒体１の製造用専用治具として、その表面にフッ素処理またはシリコン処理などの撥水処理が施された樹脂スタンパまたはガラススタンパであって、図６に示すように、塗液Ｒを硬化させる紫外線（エネルギー線）を透過可能な材料で円板状に形成されている。また、また、スタンパ２１の下面における内周部には、基材Ｄ１の嵌合用凸部Ｄ１ａが嵌合する平面視が輪状（環状）の嵌合用溝部（スタンパ側嵌合部）２１ｂが形成されると共に、その嵌合用溝部２１ｂの外周部には、記録層Ｌ０用のグルーブ、ランドおよびピット等を形成するための凹凸加工が施されている。また、スペーサ層Ｓとの剥離性の点から、スタンパ２１の表面のうち少なくともグルーブ、ランドおよびピット等が形成されている面が、フッ素処理等の表面処理が行われているのが好ましく、エネルギー線硬化型樹脂との剥離性が良好な非晶質環状ポリオレフィン樹脂から形成されるのがより好ましい。さらに、スタンパ２１の中央部には、基材Ｄの装着用中心孔１ａとほぼ同径の中心孔２１ａが形成されている。
【００１８】次に、本発明に係る多層光記録媒体の製造方法に従って多層光記録媒体を製造する多層光記録媒体製造装置の構成について、図２，３を参照して説明する。
【００１９】塗布装置１１は、多層光記録媒体１の製造に際して、基材Ｄ１に塗液Ｒを塗布して硬化させることによりスペーサ層Ｓを形成する多層光記録媒体製造装置であって、図２に示すように、ターンテーブル１２、モータ１３、塗液供給部１４、上下動機構１５、紫外線照射部１６および制御部１７を備えて構成されている。ターンテーブル１２は、図３に示すように、基材Ｄ１を載置可能に上面が平坦に形成された円板状の基台１２ａと、基台１２ａの下面中央に連結されてモータ１３の回転軸に連結されたシャフト１２ｂと、基台１２ａの上面中央部に立設されたセンターピン（位置決めピン）１２ｃとを備えている。この場合、センターピン１２ｃは、その直径が基材Ｄ１の装着用中心孔１ａよりも僅かに小径の円柱形に形成され、その頂部の外縁は、基材Ｄ１の装着用中心孔１ａに容易に挿入できるように面取りされている。なお、ターンテーブル１２としては、その上面が平坦な構成に限らず、最内周部分および最外周部分にその円周方向に沿って凸部を形成して、この凸部上に基材Ｄ１を載置することにより、接触などに起因する基材Ｄ１の傷付きを防止する構成を採用してもよい。また、ターンテーブル１２には、基材Ｄ１のチャッキングエリアと対向する位置に複数の吸入口Ｈ，Ｈ・・が形成されている。したがって、塗液Ｒの塗布時には、基材Ｄ１の下方の空気が吸入口Ｈ，Ｈ・・を介してエアポンプ（図示せず）によって吸引されることで、基材Ｄ１がターンテーブル１２に向けて吸い寄せられる。なお、基材Ｄ１を吸引するためのエアポンプなどについては公知のため、その図示および詳細な説明を省略する。
【００２０】モータ１３は、制御部１７によって駆動制御されてターンテーブル１２を回転させる。塗液供給部１４は、ノズル１４ａと共に塗液滴下部を構成し、制御部１７の制御下で、スペーサ層Ｓを形成するための塗液Ｒをノズル１４ａを介して基材Ｄ１上に滴下する。この場合、ノズル１４ａは、図示しない上下動機構によって、基材Ｄ１に対して上下動させられる。上下動機構１５は、制御部１７の制御下で、スタンパ２１を基材Ｄ１上に載置する。紫外線照射部１６は、制御部１７の制御下で基材Ｄ１に向けて紫外線を照射することにより、基材Ｄ１の表面に塗布されている塗液Ｒを硬化させる。制御部１７は、モータ１３、塗液供給部１４、上下動機構１５および紫外線照射部１６を駆動制御する。
【００２１】次に、多層光記録媒体１の製造方法について、図面を参照して説明する。
【００２２】まず、基材Ｄ１の上に例えばスパッタ法によって記録層Ｌ１を成膜する。次に、記録層Ｌ１の上に塗液Ｒを塗布することによってスペーサ層Ｓを形成する。具体的には、まず、図４に示すように、記録層Ｌ１が成膜された面を上向きにして基材Ｄ１をターンテーブル１２の上に載置する。この場合、基材Ｄ１の装着用中心孔１ａにセンターピン１２ｃを挿通させる。この際に、前述したように、センターピン１２ｃが、基材Ｄ１の装着用中心孔１ａよりも小径の円柱形に形成されているため、装着用中心孔１ａにセンターピン１２ｃが容易に挿通される。次いで、制御部１７が図外のエアポンプを駆動することにより、センターピン１２ｃが挿通した状態の基材Ｄ１がターンテーブル１２側に吸引される。これにより、基材Ｄ１がターンテーブル１２上に固定される。
【００２３】次に、制御部１７は、モータ１３を駆動制御することにより、例えば毎分５０回転程度の回転速でターンテーブル１２を回転させる。次いで、制御部１７は、ノズル１４ａを下動させると共に、塗液供給部１４を駆動制御してノズル１４ａに塗液Ｒを供給させる。この際に、ノズル１４ａの先端が、嵌合用凸部Ｄ１ａの外周部に配置される。続いて、塗液供給部１４が塗液Ｒを供給することにより、図５に示すように、ノズル１４ａの先端部から基材Ｄ１の上に塗液Ｒが滴下される。この際に、後にスタンパ２１を重ねることで塗液Ｒが基材Ｄ１の内周側に自然に拡がって、その内周部分の空間（基材Ｄ１の上面、スタンパ２１の下面、および嵌合用凸部Ｄ１ａの側面によって形成される空間）を塗液Ｒで埋め尽くすのが可能な位置に、塗液Ｒを滴下する。このように滴下することで、空間が残るのを回避することができ、しかも、ターンテーブル１２の高速回転に伴う塗膜の厚みムラの発生を有効に防止することができる。また、この状態では、塗液Ｒがある程度の粘度を有しているため、塗液Ｒは、ノズル１４ａから滴下された直後には、基材Ｄ１上の嵌合用凸部Ｄ１ａの近傍に位置して、その上面視形状が輪状となる。この場合、嵌合用凸部Ｄ１ａの平面視形状が輪状に形成され、この嵌合用凸部Ｄ１ａによって装着用中心孔１ａが囲われているため、基材Ｄ１上に滴下された塗液Ｒの装着用中心孔１ａ側への流れ込みが規制され、これにより、チャッキングエリア側への塗液Ｒの付着が防止される。
【００２４】次いで、制御部１７は、ノズル１４ａを上動させた後に、図６に示すように、上下動機構１５を駆動制御して基材Ｄ１の上にスタンパ２１を移動させる。続いて、図７に示すように、制御部１７は、上下動機構１５を駆動制御して基材Ｄ１の上にスタンパ２１を覆い被せる。この際に、上下動機構１５は、スタンパ２１の中心孔２１ａにセンターピン１２ｃが挿通するようにスタンパ２１を位置決めしつつ、スタンパ２１を下動させる。これにより、センターピン１２ｃが中心孔２１ａに挿通させられると共に、基材Ｄ１の嵌合用凸部Ｄ１ａが嵌合用溝部２１ｂに嵌合させられる。この際に、嵌合用凸部Ｄ１ａおよび嵌合用溝部２１ｂの双方の平面視形状が輪状に形成されているため、スタンパ２１を下動させるだけで嵌合用凸部Ｄ１ａと嵌合用溝部２１ｂとが容易に嵌合される。また、嵌合用凸部Ｄ１ａと嵌合用溝部２１ｂとが嵌合することにより、基材Ｄ１とスタンパ２１とが平行状態に維持されつつ、基材Ｄ１の中心部とスタンパ２１の中心部とが位置合わせされる。また、下動したスタンパ２１と塗液Ｒとが接する際には、まず、塗液Ｒと、スタンパ２１の下面とが線的に接し、その後、両者が徐々に面的に接する。また、スタンパ２１がさらに押し下げられた際には、塗液Ｒは、スタンパ２１の下面に馴染みつつ、基材Ｄ１の外縁部に向けて徐々に押し拡げられる。
【００２５】次いで、制御部１７は、モータ１３の回転数を上昇させることにより、例えば毎分１０００回転程度の回転速までターンテーブル１２の回転を上昇させる。この際には、塗液Ｒに加わる遠心力が大きくなるため、図８に示すように、塗液Ｒが基材Ｄ１とスタンパ２１との間を基材Ｄ１の外縁部に向けて急速に押し拡げられる。この際に、塗液Ｒは、基材Ｄ１の上面およびスタンパ２１の下面に馴染みつつ、その輪郭の平面視形状をほぼ真円形に維持しながら急速に押し拡げられる（延伸される）。また、塗液Ｒの延伸に伴い、塗液Ｒの塗布厚がその分薄くなるため、スタンパ２１も基材Ｄ側（下向き）にその分平行移動（下動）する。したがって、モータ１３の回転数や高速回転保持時間、つまり塗液Ｒの振り切り量を制御することにより、塗液Ｒの塗布厚（スペーサ層Ｓの膜厚）が目標値となるように精度良く制御することができる。なお、この際に、基材Ｄおよびスタンパ２１は、両者に及ぶ遠心力によって互いに平行な状態に維持される。同時に、基材Ｄ１の嵌合用凸部Ｄ１ａがスタンパ２１の嵌合用溝部２１ｂに嵌合しているため、基材Ｄ１とスタンパ２１とのそれぞれの中心部が位置合わせされた状態に維持される。この結果、基材Ｄ１の円周方向に沿った塗液Ｒの塗布厚が均一となる。
【００２６】一方、基材Ｄ１の最外縁部に達した余分な塗液Ｒは、基材Ｄ１に加わる遠心力によって基材Ｄ１から飛散する。これにより、基材Ｄ１とスタンパ２１との間において、その内周から外周に亘って目標塗布厚でほぼ均一に塗布された塗液Ｒの層が形成される。次に、紫外線照射部１６が、制御部１７の制御下で基材Ｄ１に対して紫外線を照射する。この際には、スタンパ２１を透過して照射される紫外線によって塗液Ｒが硬化し、これにより、スペーサ層Ｓの成膜が完了する。次いで、制御部１７は、モータ１３を停止制御してターンテーブル１２の回転を停止させる。次に、エアポンプを停止させた後、基材Ｄ１をターンテーブル１２から取り外す。この際に、センターピン１２ｃが装着用中心孔１ａよりも小径に形成されているため、基材Ｄ１は容易に取り外される。次いで、図９に示すように、基材Ｄ１からスタンパ２１を取り外す。この後、スペーサ層Ｓの上に記録層Ｌ０を成膜した後、その記録層Ｌ０の上に塗液をスピンコートして硬化させることによりカバー層Ｃを形成する。この場合、上記したように、チャッキングエリアの上面がカバー層Ｃの上面と面一となるように、記録層Ｌ０の上にカバー層Ｃを形成する。これにより、図１に示すように、多層光記録媒体１の製造が完了する。
【００２７】このように、この塗布装置１１によれば、スタンパ２１に嵌合用溝部２１ｂを設け、かつこの嵌合用溝部２１ｂに嵌合可能な嵌合用凸部Ｄ１ａを基材Ｄ１に設けたことにより、塗液Ｒが塗布された基材Ｄ１にスタンパ２１を覆い被せた際に、嵌合用凸部Ｄ１ａが嵌合用溝部２１ｂに嵌合するため、基材Ｄ１の中心部とスタンパ２１の中心部とを位置合わせした状態でスペーサ層Ｓを形成することができる。したがって、記録層Ｌ０，Ｌ１を偏心させることなく良品の多層光記録媒体を製造することができる。また、塗液Ｒの延伸時に、嵌合用凸部Ｄ１ａおよび嵌合用溝部２１ｂが嵌合しているため、基材Ｄ１およびスタンパ２１が平行状態に維持される結果、基材Ｄ１の円周方向および半径方向に対する塗液Ｒの塗布厚を均一化することができる。さらに、この多層光記録媒体１によれば、チャッキングエリアの外縁部において嵌合用凸部Ｄ１ａが僅かに突出するため、多層光記録媒体１を重ねた際のディスク面への傷付きを有効に防止することができる。
【００２８】なお、本発明は、上記した発明の実施の形態に限らず、適宜変更が可能である。例えば、基材Ｄ１は円板状に限らず、各種形状の基材を用いることができる。また、本発明の実施の形態では、平面視形状が輪状の嵌合用凸部Ｄ１ａおよび嵌合用溝部２１ｂを有する基材Ｄ１およびスタンパ２１を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されず、例えば２本以上、好ましくは３本以上のピン状の嵌合用凸部を基材の上面およびスタンパの下面のいずれか一方に立設し、このピン状の嵌合用凸部が嵌合可能な嵌合用凹部を基材の上面およびスタンパの下面のいずれか他方に形成することにより、基材とスタンパとを位置決め可能に構成してもよい。また、ピン状の嵌合用凸部に代えて弧状の嵌合用凸部を基材の上面およびスタンパの下面のいずれか一方に立設し、この弧状の嵌合用凸部に嵌合する弧状の嵌合用溝部を基材の上面およびスタンパの下面のいずれか他方に形成してもよい。さらに、本発明の実施の形態では、スタンパ２１側に嵌合用溝部２１ｂを形成すると共に基材Ｄ１側に嵌合用凸部Ｄ１ａを形成した例を挙げて説明したが、本発明はこれに限定されず、例えば図１０に示すスタンパ２２および基材Ｄ２のように、スタンパ２２側に嵌合用凸部２２ｂを形成すると共に基材Ｄ２側に嵌合用溝部Ｄ２ａを形成してもよい。この構成を採用した場合、図１１に示す多層光記録媒体が製造される。なお、図１０，１１に示す構成については、上記した多層光記録媒体１およびその製造装置の構成要素と同一のものに同一の符号を付して重複した説明を省略する。
【００２９】また、図１３に示す多層光記録媒体３のように、チャッキングエリア全域またはその一部を環状の嵌合用凸部（基材側嵌合部）Ｄ３ａとして形成することもできる。この多層光記録媒体３を製造する際には、図１２に示すように、中心孔２１ａの外縁部に嵌合用凹部（スタンパ側嵌合部）２３ｂが形成されたスタンパ２３を用いて、この嵌合用凹部２３ｂと基材Ｄ３の嵌合用凸部Ｄ３ａとを互いに嵌合させることにより、記録層Ｌ０，Ｌ１を偏心させることなく、チャッキングエリアおよびカバー層Ｃの各上面が面一となる良品の多層光記録媒体３を製造することができる。なお、図１１～１３に示す構成については、上記した多層光記録媒体１およびその製造装置の構成要素と同一のものに同一の符号を付して重複した説明を省略する。
【００３０】また、本発明の実施の形態では、塗液Ｒの滴下が完了した時点で基材Ｄ１にスタンパ２１を覆い被せた後にターンテーブル１２を高速回転させて、塗液Ｒをスピンコートする例を挙げて説明したが、基材Ｄ１の表面に対する塗液Ｒのスピンコートが完了した後に、嵌合用溝部２１ｂと嵌合用凸部Ｄ１ａとを嵌合させつつスタンパ２１を基材Ｄ１に覆い被せることもできる。この製造方法であっても、上記した製造方法と同様にして、基材Ｄ１にスタンパ２１を覆い被せる際に、嵌合用凸部Ｄ１ａが嵌合用溝部２１ｂに嵌合して基材Ｄ１とスタンパ２１とが位置合わせされる結果、記録層Ｌ０，Ｌ１を偏心させることなく良品の多層光記録媒体を製造することができる。さらに、本発明の実施の形態では、２層の記録層Ｌ１，Ｌ０を有する多層光記録媒体１を例に挙げて説明したが、３層以上の記録層を有する多層光記録媒体を製造する際にも、本発明に係る多層光記録媒体の製造方法を有効に適用することができる。また、本発明の実施の形態では、相変化膜を有する記録層Ｌ０，Ｌ１の製造を例に挙げて説明したが、本発明における記録層はこれに限定されず、例えば色素系樹脂の薄膜を有する記録層で構成することもできる。また、情報を記録層Ｌ０，Ｌ１に予め記録したピット形成によるＲＯＭの製造にも適用することができる。
【００３１】
【発明の効果】以上のように、本発明に係る多層光記録媒体の製造方法によれば、（Ｍ＋１）番目の記録層と、Ｍ番目の記録層との間のスペーサ層を形成する際に、基材側嵌合部が装着用中心孔の周囲に形成された基材の装着用中心孔にターンテーブルの位置決め用ピンを挿通させることによって基材をターンテーブルに固定し、基材における基材側嵌合部よりも外周部寄りの所定位置にスペーサ層形成用の塗液を滴下した後に、スタンパ側嵌合部と基材側嵌合部とを嵌合させつつスタンパを基材に覆い被せ、ターンテーブルを回転させることによってスピンコートすることにより、基材にスタンパを覆い被せた際に、基材側嵌合部とスタンパ側嵌合部とが嵌合して基材の中心部とスタンパの中心部とを位置合わせした状態で塗液をスピンコートすることができるため、各記録層を偏心させることなく良品の多層光記録媒体を製造することができる。また、塗液の延伸時に、基材およびスタンパを平行状態に維持することができる結果、基材の円周方向および半径方向に対する塗液の塗布厚を均一化することもできる。
【００３２】また、本発明に係る多層光記録媒体の製造方法によれば、（Ｍ＋１）番目の記録層と、Ｍ番目の記録層との間のスペーサ層を形成する際に、基材側嵌合部が装着用中心孔の周囲に形成された基材の装着用中心孔にターンテーブルの位置決め用ピンを挿通させることによって基材をターンテーブルに固定し、基材における基材側嵌合部よりも外周部寄りの所定位置にスペーサ層形成用の塗液を滴下した後に、ターンテーブルを回転させることによって塗液をスピンコートし、その後にスタンパ側嵌合部と基材側嵌合部とを嵌合させつつスタンパを基材に覆い被せた状態で塗液を硬化させることにより、基材にスタンパを覆い被せた際に、基材側嵌合部とスタンパ側嵌合部とが嵌合して基材の中心部とスタンパの中心部とを位置合わせした状態で塗液を硬化させることができるため、各記録層を偏心させることなく良品の多層光記録媒体を製造することができる。
【００３３】さらに、本発明に係る多層光記録媒体の製造方法によれば、スペーサ層形成用の塗液として紫外線硬化型の樹脂塗液を用い、かつスタンパとして紫外線透過素材で形成されたスタンパを用いることにより、例えば熱を加えて硬化させる熱硬化型塗液を用いる方法と比較して、スペーサ層を短時間で形成することができる結果、多層光記録媒体の製造コストを十分に低減することができる。
【００３４】また、本発明に係る多層光記録媒体の製造方法によれば、スタンパ側嵌合部および基材側嵌合部のいずれか一方を平面視形状が輪状の嵌合用凸部で構成し、いずれか他方を嵌合用凸部が嵌合可能に形成した嵌合用溝部で構成したことにより、基材にスタンパを覆い被せる際のスタンパ側嵌合部および基材側嵌合部の嵌合作業が容易となる。また、平面視形状が輪状の嵌合用凸部で基材側嵌合部を構成することにより、基材に滴下された塗液の装着用中心孔側への流れ込みを阻止することができる結果、チャッキングエリア側への塗液の付着を防止することもできる。
【００３５】さらに、本発明に係る多層光記録媒体によれば、スペーサ層の形成に際してスタンパ側嵌合部に嵌合可能な基材側嵌合部を基材に形成したことにより、この多層光記録媒体の製造時に基材に対してスタンパを覆い被せた際に、基材側嵌合部がスタンパ側嵌合部に嵌合して基材の中心部とスタンパの中心部とが位置合わせされた状態でスペーサ層を形成することができるため、（Ｍ＋１）番目の記録層とＭ番目の記録層とが偏心することのない良品の多層光記録媒体を提供することができる。

【出願人】	【識別番号】０００００３０６７【氏名又は名称】ティーディーケイ株式会社【住所又は居所】東京都中央区日本橋１丁目１３番１号
【出願日】	平成１３年１０月４日（２００１．１０．４）
【代理人】	【識別番号】１００１０４７８７【弁理士】【氏名又は名称】酒井伸司
【公開番号】	特開２００３－１２３３３１（Ｐ２００３－１２３３３１Ａ）
【公開日】	平成１５年４月２５日（２００３．４．２５）
【出願番号】	特願２００１－３０８１１１（Ｐ２００１－３０８１１１）