トップ :: B 処理操作 運輸 :: B81 マイクロ構造技術

【発明の名称】
膜、自己再構成可能なロボット、膜を提供する方法、コンピュータが読取り可能なメモリを含む製品、スマート膜用のソフトウェアを提供する方法、及び膜を制御する方法
マイクロ構造体の光駆動装置およびその方法
微小流路構造体
アクチュエータ及びスイッチ
マイクロメカニカルデバイス及びその製造方法
振動子を用いた流体内推進機構
アレイ化マイクロ流体素子
レーザーマニピュレーション装置
微小構造体
薄膜構造部材とその製造方法およびこれを用いたスイッチング素子
マイクロアクチュエータ
マイクロマシンを高密度に収容するシステム
静電アクチュエータ
貫通孔を有する構造体、その製造方法及び液体吐出ヘッド
貫通孔を有する構造体、その製造方法及び液体吐出ヘッド
静電駆動デバイス
マイクロ構造体、物理量検出装置及びその製造方法
半導体マイクロアクチュエータ及びこれを用いたマイクロバルブ、マイクロリレー
静電アクチュエータ及び該アクチュエータを用いた静電マイクロリレーその他の機器
光スキャナおよびその製造方法
自走体
マイクロマシン、インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置
化学マイクロデバイス
マトリクス型アクチュエータ
マイクロアクチュエータ、並びに、これを用いたマイクロアクチュエータ装置、光スイッチ及び光スイッチアレー
熱分解反応駆動ポンプ
光ピンセット捕捉力強化光学系
接点支持機構、接点開閉器、計測装置及び無線機
圧電型マイクロアクチュエータ及びこれを備えたマイクロミラー
静電駆動型MEMS素子とその製造方法、光学MEMS素子、光変調素子、GLVデバイス、及びレーザディスプレイ
液晶アクチュエータおよびそれを用いた液晶アクチュエータデバイス
微小駆動素子の変位量増大システム
低電圧駆動のマイクロスイッチング素子
マイクロアクチュエータ、液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット記録装置、マイクロポンプ、光学デバイス
静電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置、マイクロポンプ、光学デバイス
薄膜多自由度アクチュエータ
マイクロマシーン
マイクロシステム用マイクロ発電機
電子式高集積化モジュールの組付方法及び電子式流体制御装置
ダイオード型ナノピンセット及びこれを用いたナノマニピュレータ装置
粘着防止膜を有する超小型機械構造体及びその製造方法
微小物体固定装置及び微小物体固定方法
MEMS構造物用捻れバネ
液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット記録装置、マイクロアクチュエータ、マイクロポンプ、光学デバイス
静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置
ステップアップ構造を有する片持ちばり及びその製造方法
シリコン構造の熱隔離のためのシステム及び方法
サーマルアクチュエータ
熱MEMSアクチュエータの面外作動方法及び熱MEMSアクチュエータ
静電駆動装置
12