| 【発明の名称】 |
表面平滑化装置およびその方法 |
| 【発明者】 |
【氏名】深 谷 勝 美
【住所又は居所】東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内
【氏名】加 藤 千 明
【住所又は居所】東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内
|
| 【要約】 |
【課題】基材上に形成された樹脂膜の表面の欠陥部位を効率良く除去して製品の歩留まりを向上させることができる表面平滑化装置を提供する。
【解決手段】表面平滑化槽１０において、基材４１上に形成された樹脂膜４２の表面に対して、微粒子分散液ノズル１３により微粒子分散液を吹き付けながら、回転したロール状ブラシ１２を物理的に接触させ、基材４１上に形成された樹脂膜４２の表面の欠陥部位を除去して当該樹脂膜４２の表面を平滑化する。次いで、拭取洗浄槽２０において、基材４１上に形成された樹脂膜４２の表面に対して、洗浄液ノズル２３により水等の洗浄液を吹き付けながら、回転したロール状ブラシ２２を物理的に接触させ、表面が平滑化された基材４１上の樹脂膜４２から微粒子分散液および除去後の樹脂膜片を拭き取る。その後、水洗槽３０において、基材４１上に形成された樹脂膜４２の表面に対して水洗用ノズル３２により水を吹き付けることにより、基材４１上に形成された樹脂膜４２の表面に付着した微粒子分散液等を除去する。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】基材上に形成された樹脂膜の表面を平滑化する表面平滑化装置において、基材上に形成された樹脂膜の表面の欠陥部位を除去して当該樹脂膜の表面を平滑化する表面平滑化槽を備え、前記表面平滑化槽は、前記基材上に形成された樹脂膜の表面に対して微粒子分散液を供給する微粒子分散液供給部と、微粒子分散液が供給された前記樹脂膜の表面に物理的に接触して当該樹脂膜の表面の欠陥部位を除去する表面平滑化用ブラシとを有することを特徴とする表面平滑化装置。
【請求項２】前記微粒子分散液供給部は、前記基材に対して微粒子分散液を直接吹き付けることにより前記樹脂膜の表面に対して微粒子分散液を供給することを特徴とする請求項１記載の表面平滑化装置。
【請求項３】前記微粒子分散液供給部は、前記表面平滑化用ブラシに対して微粒子分散液を吹き付けることにより前記樹脂膜の表面に対して微粒子分散液を供給することを特徴とする請求項１記載の表面平滑化装置。
【請求項４】前記表面平滑化用ブラシはスポンジ状の材料からなることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか記載の表面平滑化装置。
【請求項５】前記表面平滑化用ブラシはロール状をなしていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか記載の表面平滑化装置。
【請求項６】前記表面平滑化用ブラシは平坦な接触面を有するディスク状をなしていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか記載の表面平滑化装置。
【請求項７】前記表面平滑化槽は、前記微粒子分散液供給部により供給された微粒子分散液を回収する回収容器と、この回収容器により回収された微粒子分散液を前記基材上の前記樹脂膜の表面に対して再度供給する微粒子分散液再供給路とをさらに有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか記載の表面平滑化装置。
【請求項８】前記表面平滑化槽の前記表面平滑化用ブラシは、樹脂膜が下方を向くよう支持された前記基材の下方に設置されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか記載の表面平滑化装置。
【請求項９】前記微粒子分散液供給部により供給される微粒子分散液は、平滑化される樹脂膜の主成分よりも硬度が高い微粒子を含有することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか記載の表面平滑化装置。
【請求項１０】前記微粒子分散液の粒子濃度は０．０１〜１．０ｗｔ％であることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか記載の表面平滑化装置。
【請求項１１】前記微粒子分散液中に含有された前記微粒子はその粒子径が１０〜１０００ｎｍであることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか記載の表面平滑化装置。
【請求項１２】前記表面平滑化槽により表面が平滑化された前記基材上の前記樹脂膜から微粒子分散液および除去後の樹脂膜片を拭き取る拭取洗浄槽をさらに備えたことを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか記載の表面平滑化装置。
【請求項１３】前記拭取洗浄槽は、前記基材上の前記樹脂膜の表面に物理的に接触して当該基材から微粒子分散液および除去後の樹脂膜片を拭き取る拭取洗浄用ブラシを有することを特徴とする請求項１２記載の表面平滑化装置。
【請求項１４】前記拭取洗浄槽は、前記基材上の前記樹脂膜の表面に対して洗浄液を供給する洗浄液供給部をさらに有することを特徴とする請求項１３記載の表面平滑化装置。
【請求項１５】基材上に形成された樹脂膜の表面を平滑化する表面平滑化方法において、基材上に形成された樹脂膜の表面に対して微粒子分散液を供給する工程と、微粒子分散液が供給された前記樹脂膜の表面に表面平滑化用ブラシを物理的に接触させて当該樹脂膜の表面の欠陥部位を除去する工程とを含むことを特徴とする表面平滑化方法。
【請求項１６】表面が平滑化された前記基材上の前記樹脂膜から微粒子分散液および除去後の樹脂膜片を拭き取る工程をさらに含むことを特徴とする請求項１５記載の表面平滑化方法。
|
【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基材上に形成された樹脂膜の表面を平滑化する表面平滑化装置に係り、とりわけ、基材上に形成された樹脂膜の表面の欠陥部位（突起物や連続的な微小凹凸等）を効率良く除去して製品の歩留まりを向上させることができる表面平滑化装置および表面平滑化方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、液晶ディスプレイ用カラーフィルタは、ガラス基板等からなる基材上に規則的なパターンを有する着色された樹脂膜を形成することにより製造されている。このような製造プロセスにおいて、基材上に形成される樹脂膜は、基材上に樹脂の溶解液をコーティングした後に当該溶解液を硬化させることにより形成される。また、このようにして基材上に形成される樹脂膜は、フォトリソ法等により、規則的なパターンに成形される。
【０００３】ここで、基材上に形成される樹脂膜の表面には、製造プロセス中に混入した樹脂膜中の異物等に起因して突起物が発生することが多い。また、樹脂膜を形成するための樹脂の溶解液中に顔料等の成分が含有されている場合には、当該溶解液を硬化させた際に樹脂膜の表面に連続的な微小凹凸が発生することが多い。なお、このような微小凹凸の発生傾向は、樹脂膜中に含まれる顔料の含有率が高くなる程、顕著になる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したようにして製造された液晶ディスプレイ用カラーフィルタにおいて、基材上に形成された樹脂膜の表面に突起物が存在していると、樹脂膜上に形成される透明電極とそれに対向する駆動電極とが接触して両者がショートし、表示画像の乱れを引き起こす原因となる。また、カラーフィルタ側基板と駆動電極側基板との間の距離（セルギャップ）が不均一になり、これによっても表示画像の乱れが生じる。すなわち、樹脂膜の表面に存在する突起物は表示画像の不良を引き起こす重要な要因の一つとなる。
【０００５】また、上述したようにして製造された液晶ディスプレイ用カラーフィルタにおいて、基材上に形成された樹脂膜の表面に連続的な微小凹凸が存在していると、ポリイミド等からなる配向膜を表面に均一にコーティングすることができなくなり、配向不良を引き起こす要因となる。
【０００６】ここで、樹脂膜の表面に存在する突起物は、製造プロセス中の様々な要因によって発生することから、突起物の発生数そのものを直接減少させることは困難である。また、樹脂膜の表面に存在する連続的な微小凹凸は、着色のために用いられる顔料等に起因するものであることから、このような連続的な微小凹凸の発生を直接抑制することは困難である。このため、製造プロセス中において、基材上に形成された樹脂膜の表面の欠陥部位（突起物や連続的な微小凹凸等）を効率良く除去して樹脂膜の表面を平滑化することが強く求められている。
【０００７】本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、基材上に形成された樹脂膜の表面の欠陥部位（突起物や連続的な微小凹凸等）を効率良く除去して製品の歩留まりを向上させることができる表面平滑化装置および表面平滑化方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、その第１の解決手段として、基材上に形成された樹脂膜の表面を平滑化する表面平滑化装置において、基材上に形成された樹脂膜の表面の欠陥部位を除去して当該樹脂膜の表面を平滑化する表面平滑化槽を備え、前記表面平滑化槽は、前記基材上に形成された樹脂膜の表面に対して微粒子分散液を供給する微粒子分散液供給部と、微粒子分散液が供給された前記樹脂膜の表面に物理的に接触して当該樹脂膜の表面の欠陥部位を除去する表面平滑化用ブラシとを有することを特徴とする表面平滑化装置を提供する。
【０００９】なお、上述した第１の解決手段において、前記微粒子分散液供給部は、前記基材に対して微粒子分散液を直接吹き付けることにより前記樹脂膜の表面に対して微粒子分散液を供給することが好ましい。また、前記微粒子分散液供給部は、前記表面平滑化用ブラシに対して微粒子分散液を吹き付けることにより前記樹脂膜の表面に対して微粒子分散液を供給することが好ましい。さらに、前記表面平滑化用ブラシはスポンジ状の材料からなることが好ましい。さらに、前記表面平滑化用ブラシはロール状、または平坦な接触面を有するディスク状をなしていることが好ましい。さらに、前記表面平滑化槽は、前記微粒子分散液供給部により供給された微粒子分散液を回収する回収容器と、この回収容器により回収された微粒子分散液を前記基材上の前記樹脂膜の表面に対して再度供給する微粒子分散液再供給路とをさらに有することが好ましい。さらに、前記表面平滑化槽の前記表面平滑化用ブラシは、樹脂膜が下方を向くよう支持された前記基材の下方に設置されていることが好ましい。さらに、前記微粒子分散液供給部により供給される微粒子分散液は、平滑化される樹脂膜の主成分よりも硬度が高い微粒子を含有することが好ましい。ここで、前記微粒子分散液の粒子濃度は０．０１〜１．０ｗｔ％であることが好ましい。また、前記微粒子分散液中に含有された前記微粒子はその粒子径が１０〜１０００ｎｍであることが好ましい。
【００１０】また、上述した第１の解決手段においては、前記表面平滑化槽により表面が平滑化された前記基材上の前記樹脂膜から微粒子分散液および除去後の樹脂膜片を拭き取る拭取洗浄槽をさらに備えることが好ましい。ここで、前記拭取洗浄槽は、前記基材上の前記樹脂膜の表面に物理的に接触して当該基材から微粒子分散液および除去後の樹脂膜片を拭き取る拭取洗浄用ブラシを有することが好ましい。また、前記拭取洗浄槽は、前記基材上の前記樹脂膜の表面に対して洗浄液を供給する洗浄液供給部をさらに有することが好ましい。
【００１１】本発明は、その第２の解決手段として、基材上に形成された樹脂膜の表面を平滑化する表面平滑化方法において、基材上に形成された樹脂膜の表面に対して微粒子分散液を供給する工程と、微粒子分散液が供給された前記樹脂膜の表面に表面平滑化用ブラシを物理的に接触させて当該樹脂膜の表面の欠陥部位を除去する工程とを含むことを特徴とする表面平滑化方法を提供する。
【００１２】なお、上述した第２の解決手段において、表面が平滑化された前記基材上の前記樹脂膜から微粒子分散液および除去後の樹脂膜片を拭き取る工程をさらに含むことが好ましい。
【００１３】本発明の第１および第２の解決手段によれば、基材上の樹脂膜の表面に対して、微粒子分散液を吹き付けながら、表面平滑化用ブラシを物理的に接触させて当該樹脂膜の表面の欠陥部位を除去するので、樹脂膜の表面の欠陥部位（突起物や連続的な微小凹凸等）を効率良く除去して基材上の樹脂膜の表面を平滑化することができる。このため、突起物や連続的な微小凹凸等に起因した表示画像の不良等を効果的に防止することができ、製品の歩留まりを向上させることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明による表面平滑化装置の一実施の形態を示す図である。なお、本実施の形態においては、処理対象物として、ガラス基板からなる基材４１上にネガ型レジストからなる着色された樹脂膜４２が形成されたカラーフィルタ基板等を用いる場合を例に挙げて説明する。
【００１５】図１に示すように、表面平滑化装置１は、基材４１上に形成された樹脂膜４２の表面を平滑化するものであり、基材４１上に形成された樹脂膜４２の表面の欠陥部位（突起物や連続的な微小凹凸等）を除去して当該樹脂膜４２の表面を平滑化する表面平滑化槽１０と、表面平滑化槽１０により表面が平滑化された基材４１上の樹脂膜４２から微粒子分散液および除去後の樹脂膜片を拭き取る拭取洗浄槽２０と、拭取洗浄槽２０により微粒子分散液および除去後の樹脂膜片が拭き取られた樹脂膜４２付きの基材４１を水洗する水洗槽３０とを備えている。なお、表面平滑化槽１０、拭取洗浄槽２０および水洗槽３０にはそれぞれ搬送ローラ１１，２１，３１が設けられており、表面平滑化槽１０の挿入口（ローダ）３５から挿入された樹脂膜４２付きの基材４１が水平状態で排出口（アンローダ）３６まで搬送されるようになっている。なお、本実施の形態においては、樹脂膜４２付きの基材４１が、樹脂膜４２が上方を向くよう支持された状態で搬送されるようになっている。
【００１６】表面平滑化槽１０は、搬送ローラ１１により搬送される基材４１上の樹脂膜４２の表面に対して微粒子分散液を供給する微粒子分散液ノズル（微粒子分散液供給部）１３と、微粒子分散液が供給された樹脂膜４２の表面に物理的に接触するロール状ブラシ（表面平滑化用ブラシ）１２とを有し、基材４１上に形成された樹脂膜４２の表面に対して、微粒子分散液ノズル１３により微粒子分散液を吹き付けながら、回転したロール状ブラシ１２を物理的に接触させることにより、基材４１上の樹脂膜４２の表面の欠陥部位を除去して当該樹脂膜４２の表面を平滑化するようになっている。なお、ロール状ブラシ１２は、スポンジ状の材料からなることが好ましい。また、ロール状ブラシ１２は、必要に応じて任意の数だけ設置することが好ましい。さらに、ロール状ブラシ１２は、基材４１上の樹脂膜４２の表面に均一に接触した状態で樹脂膜４２付きの基材４１の搬送速度と異なる速度で回転させることが好ましい。
【００１７】ここで、表面平滑化槽１０においては、微粒子分散液ノズル１３により、樹脂膜４２付きの基材４１に対して微粒子分散液を直接吹き付けることにより基材４１上の樹脂膜４２の表面に対して微粒子分散液を供給しているが、これに限らず、図２に示すように、微粒子分散液ノズル１４により、ロール状ブラシ１２に対して微粒子分散液を吹き付けることにより、微粒子分散液ノズル１４単独で、または微粒子分散液ノズル１３と協働で、基材４１上の樹脂膜４２の表面に対して間接的に微粒子分散液を供給するようにしてもよい。また、表面平滑化槽１０においては、図２に示すように、微粒子分散液ノズル１３，１４により吹き付けられた微粒子分散液を回収する回収トレイ（回収容器）１５と、この回収トレイ１５により回収された微粒子分散液を微粒子分散液ノズル１３，１４に対して再度供給する、ポンプ（図示せず）等を備えた微粒子分散液再供給路１６とを有し、表面平滑化槽１０内にて微粒子分散液を再利用することができるようになっている。なお、微粒子分散液再供給路１６には、除去後の樹脂膜片を捕集する濾過機能を付与してもよい。
【００１８】なお、微粒子分散液ノズル１３，１４により供給される微粒子分散液としては、水や有機溶剤（樹脂膜４２付きの基材４１や微粒子等に影響がないもの）等の液体に微粒子を含有させたものを用いることが好ましい。微粒子としては、金属酸化物等の無機物の他、樹脂ビーズ等の有機物や、無機物と有機物との混合物を用いることができる。なお、微粒子の硬度は、表面の平滑化効果を高めるため、平滑化される樹脂膜４２の主成分の硬度よりも高いことが好ましい。また一方で、微粒子の硬度は、樹脂膜４２が形成されていない基材４１の表面に傷が入ることと等を防止するため、基材４１の硬度よりも低いことが好ましい。また、微粒子分散液の粒子濃度は０．０１〜１．０ｗｔ％であることが好ましい。さらに、微粒子の粒子径は、１０〜１０００ｎｍであることが好ましく、特に、樹脂膜４２中の顔料分子の粒径（顔料の１次凝集体の最大粒径２μｍ）よりも小さいことが好ましい。さらにまた、このような微粒子分散液には、必要に応じて、界面活性剤等を添加してもよい。なお、ロール状ブラシ１２の材質としては、このような微粒子分散液に対して耐性があることが好ましく、例えばポリビニルアルコールやポリ塩化ビニル、ポリウレタン等を用いることが好ましい。
【００１９】拭取洗浄槽２０は、搬送ローラ２１により搬送される基材４１上の樹脂膜４２の表面に対して水等の洗浄液を供給する洗浄液ノズル（洗浄液供給部）２３と、洗浄液が供給された基材４１上の樹脂膜４２の表面に物理的に接触するロール状ブラシ（拭取洗浄用ブラシ）２２とを有し、基材４１上に形成された樹脂膜４２の表面に対して、洗浄液ノズル２３により洗浄液を吹き付けながら、回転したロール状ブラシ２２を物理的に接触させることにより、樹脂膜４２付きの基材４１から微粒子分散液および除去後の樹脂膜片を拭き取るようになっている。なお、ロール状ブラシ２２は、スポンジ状の材料からなることが好ましい。また、ロール状ブラシ２２は、必要に応じて任意の数だけ設置することが好ましい。さらに、ロール状ブラシ２２は、基材４１上の樹脂膜４２の表面に均一に接触した状態で樹脂膜４２付きの基材４１の搬送速度と異なる速度で回転させることが好ましい。なお、ロール状ブラシ２２および洗浄液ノズル２３は樹脂膜４２付きの基材４１の下面側に設けることも可能であり、この場合には、樹脂膜４２付きの基材４１の裏面に回り込んだ微粒子分散液および除去後の樹脂膜片を確実に取り除くことができる。なお、これに伴って、水洗槽３０においても、樹脂膜４２付きの基材４１の裏面に対して水を吹き付ける水洗用ノズルを設けるようにするとよい。
【００２０】ここで、拭取洗浄槽２０においては、洗浄液ノズル２３により、樹脂膜４２付きの基材４１に対して水等の洗浄液を直接吹き付けているが、これに限らず、ロール状ブラシ２２に対して、または樹脂膜４２付きの基材４１とロール状ブラシ２２の両方に対して、洗浄液を吹き付けるようにしてもよい。
【００２１】水洗槽３０は、搬送ローラ３１により搬送される基材４１上の樹脂膜４２の表面に対して水を吹き付ける水洗用ノズル３２を有し、基材４１上に形成された樹脂膜４２の表面に付着した微粒子分散液等を除去するようになっている。なお、水洗槽３０は、必要な洗浄度合いに応じて任意の構成で複数設けることができる。また、水洗槽３０には、必要に応じて、基材４１上に形成された樹脂膜４２の表面に物理的に接触して樹脂膜４２付きの基材４１から微粒子分散液等を取り除くためのロール状またはディスク状のブラシを設けるようにしてもよい。なお、水洗用ノズル３１により吹き付けられる水としては、オゾン水や水素水等を用いてもよく、また必要に応じて、洗浄剤を用いてもよい。
【００２２】次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【００２３】まず、表面平滑化装置１において、樹脂膜４２付きの基材４１が表面平滑化槽１０の挿入口３５から挿入される。表面平滑化槽１０においては、搬送ローラ１１により搬送される基材４１上の樹脂膜４２の表面に対して、微粒子分散液ノズル１３により微粒子分散液を吹き付けながら、回転したロール状ブラシ１２を物理的に接触させる。これにより、ロール状ブラシ１２により基材４１上の樹脂膜４２の表面が擦られ、樹脂膜４２の表面の欠陥部位（突起物や連続的な微小凹凸等）が除去されることにより基材４１上の樹脂膜４２の表面が平滑化される。
【００２４】次いで、樹脂膜４２付きの基材４１は次段の拭取洗浄槽２０に送り込まれ、拭取洗浄槽２０において、搬送ローラ２１により搬送される基材４１上の樹脂膜４２の表面に対して、洗浄液ノズル２３により水等の洗浄液を吹き付けながら、回転したロール状ブラシ２２を物理的に接触させる。これにより、ロール状ブラシ２２により基材４１上の樹脂膜４２の表面が擦られ、表面が平滑化された基材４１上の樹脂膜４２から微粒子分散液および除去後の樹脂膜片が拭き取られる。
【００２５】その後、拭取洗浄槽２０により微粒子分散液および除去後の樹脂膜片が除去された樹脂膜４２付きの基材４１は次段の水洗槽３０に送り込まれ、水洗槽３０において、搬送ローラ３１により搬送される基材４１上の樹脂膜４２の表面に対して水洗用ノズル３２により水を吹き付けることにより、基材４１上の樹脂膜４２の表面に付着した微粒子分散液等を除去する。
【００２６】最後に、水洗槽３０により基材４１上の樹脂膜４２の表面に付着した微粒子分散液等が除去された樹脂膜４２付きの基材４１を必要に応じて乾燥させた後、排出口３６から取り出す。
【００２７】このように本実施の形態によれば、表面平滑化槽１０において、基材４１上の樹脂膜４２の表面に対して、微粒子分散液ノズル１３により微粒子分散液を吹き付けながら、回転したロール状ブラシ１２を物理的に接触させて樹脂膜４２の表面の欠陥部位を除去するので、樹脂膜４２の表面の欠陥部位（突起物や連続的な微小凹凸等）を効率良く除去して基材４１上の樹脂膜４２の表面を平滑化することができる。このため、突起物や連続的な微小凹凸等に起因した表示画像の不良等を効果的に防止することができ、カラーフィルタ基板等の製品の歩留まりを向上させることができる。
【００２８】なお、上述した実施の形態においては、基材４１としてガラス基板を用いる場合を例に挙げて説明したが、微粒子分散液に対して耐久性があるものであれば、ガラス基板に限らず、金属やプラスチック等からなる任意の基板を用いることができる。また、基材４１上に形成された樹脂膜４２としてネガ型レジストを用いる場合を例に挙げて説明したが、これに限らず、その他の硬化型樹脂やポジ型レジスト等からなる任意の樹脂膜を用いることができる。
【００２９】また、上述した実施の形態においては、表面平滑化用ブラシおよび拭取洗浄用ブラシとしてロール状ブラシ１２，２２を用いているが、これに限らず、平坦な接触面を有するディスク状ブラシ等の任意のものを用いることができる。また、ロール状ブラシとディスク状ブラシとを併用して用いることも可能である。
【００３０】さらに、上述した実施の形態においては、樹脂膜４２が上方を向くよう支持された状態で樹脂膜４２付きの基材４１が搬送される場合を例に挙げて説明したが、これに限らず、図３に示すように、樹脂膜４２が下方を向くよう支持された状態で樹脂膜４２付きの基材４１を搬送し、表面平滑化槽１０のロール状ブラシ１２を樹脂膜４２付きの基材４１の下方に設置するようにしてもよい。なお、樹脂膜４２付きの基材４１の下方には、微粒子分散液を収容する供給トレイ１８が設置されており、ロール状ブラシ１２の一部を供給トレイ１８内の微粒子分散液に浸漬させた状態でロール状ブラシ１２を回転させることにより、樹脂膜４２付きの基材４１に対して微粒子分散液を供給することができるようになっている。この場合には、樹脂膜４２付きの基材４１の裏面側にのみ微粒子分散液が供給され、表面側に微粒子分散液が回り込むことがないので、少量の微粒子分散液によって基材４１上の樹脂膜４２の表面を平滑化することが可能となり、拭取洗浄槽２０や水洗槽３０における洗浄の負担を軽くすることができる。なお、図３において、供給トレイ１８の代わりに、樹脂膜４２付きの基材４１の下方に微粒子分散液ノズルを設置し、樹脂膜４２付きの基材４１やロール状ブラシ１２に対して微粒子分散液を吹き付けるようにしてもよい。
【００３１】さらに、上述した実施の形態においては、表面平滑化槽１０および拭取洗浄槽２０において、基材４１の一方の面にのみロール状ブラシ１２，２２を接触させて基材４１上の樹脂膜４２の表面を平滑化するようにしているが、図４に示すように、基材４１の両面に樹脂膜４２，４２が形成されているような場合には、樹脂膜４２，４２の両方の表面にロール状ブラシ１２，２２を接触させて基材４１の両面に形成された樹脂膜４２の表面を平滑化するようにしてもよい。
【００３２】さらにまた、上述した実施の形態においては、表面平滑化槽１０と拭取洗浄槽２０とを分離して設置しているが、これに限らず、表面平滑化槽１０と拭取洗浄槽２０とを一体化し、ノズルから吹き付けられる液の種類を適宜変えることにより、一つの槽において、表面平滑化槽１０および拭取洗浄槽２０の両方の処理を行うようにしてもよい。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、基材上に形成された樹脂膜の表面の欠陥部位（突起物や連続的な微小凹凸等）を効率良く除去して製品の歩留まりを向上させることができる。
|
| 【出願人】 |
【識別番号】０００００２８９７
【氏名又は名称】大日本印刷株式会社
【住所又は居所】東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号
|
| 【出願日】 |
平成１３年１０月１１日（２００１．１０．１１） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１０００７５８１２
【弁理士】
【氏名又は名称】吉武 賢次 （外６名）
|
| 【公開番号】 |
特開２００３−１１７８０１（Ｐ２００３−１１７８０１Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１５年４月２３日（２００３．４．２３） |
| 【出願番号】 |
特願２００１−３１３６７０（Ｐ２００１−３１３６７０） |
|