| 【発明の名称】 |
スピンコータ |
| 【発明者】 |
【氏名】菅野 孝一
【住所又は居所】東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内
【氏名】岡本 秀俊
【住所又は居所】東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内
|
| 【要約】 |
【課題】ガラス基板のサイズ毎に変更する必要がなく、ガラス基板から飛散したインキを確実に回収することができ、しかも簡単に清掃ができる液跳ね防止板を備えたスピンコータを提供すること。
【解決手段】周囲に液溜まり部を有するカップ１０と、そのカップ１０の中央部に取り付けられ、上面側に凹形状部１３を備えた液跳ね防止板１２とからなり、インキを塗布したガラス基板Ｇを液跳ね防止板１２の凹形状部１３の中に載荷して回転する。凹形状部１３を最大サイズのガラス基板に合わせておくことにより、液跳ね防止板１２をガラス基板のサイズ毎に変更する必要がなく、したがって装置価格が押さえられ、段取り替えの必要がない。また、ガラス基板から飛び出したインキが液跳ね防止板の壁面を伝わるため、流速が落ちて飛散しにくい。しかも、シンプルな形状をしているため、清掃が簡単であり、清掃時間の短縮を図ることができる。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 ガラス基板に対しインキを均一に塗布する工程で使用されるスピンコータであって、周囲に液溜まり部を有するカップと、そのカップの中央部に取り付けられ、上面側に凹形状部を備えた液跳ね防止板とからなり、インキを塗布したガラス基板を液跳ね防止板の凹形状部の中に載荷して回転することを特徴とするスピンコータ。
|
【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス基板に対してインキを均一に塗布する工程で使用されるスピンコータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ガラス基板に対してインキを均一に塗布するに際していわゆるスピンコータが使用されることが多い。この場合、初めにガラス基板上へ一定量のインキを塗布する。次いで、スピンコータを使用してガラス基板を回転させることにより、その遠心力によって不必要なインキを飛ばし、インキの膜厚を均一化するようになっている。
【０００３】図１は従来のスピンコータの一例を示す平面図、図２は図１のＡ−Ａ断面図とＢ−Ｂ断面図である。
【０００４】この図に示されるように、スピンコータは、周囲に液溜まり部２を有する円盤状のカップ１を有しており、そのカップ１の中央部にガラス基板Ｇを載荷した状態で図１の矢印方向に回転する。そして、遠心力によって飛び出した不必要なインキを回収するため、ガラス基板Ｇの周囲を取り囲むように液跳ね防止板３と呼ばれる回収機構を設けている。この液跳ね防止板３は、ガラス基板Ｇから遠心力で飛散したインキを飛行速度が小さい時点（ガラス基板から飛び出した直後）で、カップ１や液跳ね防止板３の内壁部の壁面を伝わらせ移動速度を遅くした上で液溜まり部２に誘導し、ミストの発生を抑制する。また、インキの移動領域を限定することで汚染箇所を少なくする役目も果たしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の技術で述べたように、スピンコータには、不必要なインキを回収し、さらには汚染箇所を少なくするために液跳ね防止板を設けてある。ところが、ガラス基板のサイズ毎に専用の液跳ね防止板が必要となるため、装置価格が高価になるとともに、基板のサイズが替わる度に行う段取り替えに多大な時間を要するという問題点がある。また、液跳ね防止板は、複雑な形状であるため、ミストにより発生した付着物の清掃に多大な時間と労力を必要とする。
【０００６】本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ガラス基板のサイズ毎に変更する必要がなく、ガラス基板から飛散したインキを確実に回収することができ、しかも簡単に清掃ができる液跳ね防止板を備えたスピンコータを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するため、本発明は、ガラス基板に対しインキを均一に塗布する工程で使用されるスピンコータであって、周囲に液溜まり部を有するカップと、そのカップの中央部に取り付けられ、上面側に凹形状部を備えた液跳ね防止板とからなり、インキを塗布したガラス基板を液跳ね防止板の凹形状部の中に載荷して回転することを特徴としている。
【０００８】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【０００９】図３は本発明に係るスピンコータの一例を示す平面図、図４は図３のＡ−Ａ断面図である。
【００１０】これらの図において１０は周囲に液溜まり部１１を有する円盤状のカップであり、そのカップ１０の中央部には液跳ね防止板１２が取り付けられている。液跳ね防止板１２は、図示のように、全体が円盤状であって、その上面には逆四角錐状の凹形状部１３が目一杯の広さで形成されている。
【００１１】このスピンコータは、インキを塗布したガラス基板Ｇを液跳ね防止板１２の凹形状部１３の中に載荷して回転させる。この時、図示の如く、ガラス基板Ｇの四隅を凹形状部１３の稜線に合わせて水平状態で載荷する。したがって、凹形状部１３はガラス基板の四隅を稜線で支持する形状で形成しておく必要がある。この載荷状態でカップ１０を図の矢印方向に回転させると、遠心力により不必要なインキがガラス基板Ｇの端面より飛んで液跳ね防止板１２の壁面に当たり、その壁面を伝わってカップ１０の液溜まり部１１に落下する。このように、ガラス基板Ｇから飛び出したインキは液跳ね防止板１２の壁面を伝わるため、流速が落ちて飛散しにくい。
【００１２】そして、液跳ね防止板１２の大きさ、すなわちガラス基板Ｇを載荷する凹形状部１３の大きさは、スピンコータで処理する最大サイズのガラス基板が載荷できる大きさとしておく。このように液跳ね防止板１２の大きさを設定しておくことにより、サイズの異なるガラス基板を取り扱う際にいちいち液跳ね防止板を交換する必要がなくなる。
【００１３】図５及び図６は中サイズのガラス基板Ｇの他に大サイズのガラス基板Ｇ1 と小サイズのガラス基板Ｇ2 を載荷した場合を図示している。このように、３種類のサイズの異なるガラス基板に対しても、同じ一枚の液跳ね防止板１２で対処することができる。なお、図５及び図６ではガラス基板のサイズを大、中、小の３種類としたが、３種類にとらわれるものではない。
【００１４】以上、本発明を実施の形態に基づいて説明したが、本発明によるスピンコータは、上記した実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能であることは言うまでもない。
【００１５】
【発明の効果】本発明のスピンコータは、ガラス基板に対しインキを均一に塗布する工程で使用されるスピンコータであって、周囲に液溜まり部を有するカップと、そのカップの中央部に取り付けられ、上面側に凹形状部を備えた液跳ね防止板とからなり、インキを塗布したガラス基板を液跳ね防止板の凹形状部の中に載荷して回転することを特徴としているので、凹形状部を最大サイズのガラス基板に合わせておくことにより、液跳ね防止板をガラス基板のサイズ毎に変更する必要がなく、したがって装置価格が押さえられ、段取り替えの必要がなくなる。また、ガラス基板から飛び出したインキが液跳ね防止板の壁面を伝わるため、流速が落ちて飛散しにくくなり、周囲を汚すことが少ない。しかも、シンプルな形状をしているため、清掃が簡単であり、清掃時間の短縮を図ることができる。
|
| 【出願人】 |
【識別番号】０００００２８９７
【氏名又は名称】大日本印刷株式会社
【住所又は居所】東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号
|
| 【出願日】 |
平成１３年９月１７日（２００１．９．１７） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１０００９６６００
【弁理士】
【氏名又は名称】土井 育郎
|
| 【公開番号】 |
特開２００３−８０１６０（Ｐ２００３−８０１６０Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１５年３月１８日（２００３．３．１８） |
| 【出願番号】 |
特願２００１−２８１２２８（Ｐ２００１−２８１２２８） |
|