| 【発明の名称】 |
回転塗布装置 |
| 【発明者】 |
【氏名】木▲崎▼ 幸治
【住所又は居所】京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株式会社内
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| 【要約】 |
【課題】排気通路内への塗布液ミストの付着を防止することにより、排気機能の低下等のトラブル発生を回避する。
【解決手段】基板Ｗをテーブル１２に保持して回転させながらその遠心力により基板Ｗの表面に塗布液を塗布するスピンコータ１（回転塗布装置）において、塗布液の外部飛散を防止するカップ４の内部に、カップ４の下部２０と整流板２８とによって廃液貯溜部２２に向って開口する無端状の中空部分２９を形成するとともに、この中空部分２９に対応する箇所に排気管２６を接続した。これにより排気管２６および中空部分２９によりカップ４内の雰囲気を排気する排気通路を構成した。排気通路の排気口（開口３０）近傍には、排気中に含まれる塗布液ミストを捕捉するための多孔状の部材からなるミストトラップ３２を設けた。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 基板を保持して回転させる基板保持部と、この基板保持部を包囲して塗布液の外部飛散を防止するカップと、前記カップに連通して該カップ内の雰囲気を外部排気する排気通路とを備えた回転塗布装置において、前記排気通路内であって、かつ排気口近傍に、前記雰囲気中に含まれる塗布液ミストを捕捉するためのミストトラップが設けられていることを特徴とする回転塗布装置。
【請求項２】 請求項１記載の回転塗布装置において、前記排気通路がカップ内部に延設されて前記ミストトラップがカップ内に設けられていることを特徴とする回転塗布装置。
【請求項３】 請求項１又は２記載の回転塗布装置において、前記ミストトラップは、前記排気通路を塞ぐ多孔状の部材からなることを特徴とする回転塗布装置。
【請求項４】 請求項１又は２記載の回転塗布装置において、前記ミストトラップは、前記排気通路に凹凸を設けて通路表面積を増大させることにより構成されていることを特徴とする回転塗布装置。
【請求項５】 請求項１乃至４の何れかに記載の回転塗布装置において、前記ミストトラップに洗浄液を供給することにより付着した塗布液ミストを洗浄、除去する洗浄手段を備えていることを特徴とする回転塗布装置。
【請求項６】 請求項５記載の回転塗布装置において、塗布処理に伴い飛散した塗布液を溜めながら排出する廃液貯溜部が前記カップ内に設けられるものであって、前記排気通路の排気口がこの廃液貯溜部に臨むように設けられ、前記洗浄手段は、排気通路におけるミストトラップよりも排気方向下流側から該ミストトラップに向って洗浄液を供給するように構成されていることを特徴とする回転塗布装置。
【請求項７】 請求項６記載の回転塗布装置において、前記排気通路の排気口が水平又は下向きに設けられるものであって、前記洗浄手段は、排気方向におけるミストトラップよりも下流側に洗浄液貯溜部を有し、この洗浄液貯溜部に洗浄液を洗浄しながらオーバーフローさせるように構成されていることを特徴とする回転塗布装置。
【請求項８】 請求項７記載の回転塗布装置において、前記洗浄液貯溜部における洗浄液のオーバーフロー部分に、洗浄液を通路幅方向に均等に案内する凹凸が形成されていることを特徴とする回転塗布装置。
【請求項９】 請求項５乃至８の何れかに記載の回転塗布装置において、前記洗浄手段は洗浄液を吐出する複数のノズルと各ノズルに対して洗浄液を供給する供給系統とを有するものであって、前記ノズルが洗浄液の供給エリアに基づいて複数のグループに区分され、各グループ毎に独立した前記供給系統が設けられていることを特徴とする回転塗布装置。
【請求項１０】 請求項５乃至９の何れかに記載の回転塗布装置において、前記洗浄手段は、洗浄液の供給源として未使用の洗浄液と使用済みの洗浄液とを貯溜するタンクを夫々有し、これらのタンクから選択的に洗浄液を供給するように構成されていることを特徴とする回転塗布装置。
【請求項１１】 請求項１乃至１０の何れかに記載の回転塗布装置において、前記排気通路を通じて前記カップ内を強制的に吸引する吸引手段を有するものであって、この吸引手段は、塗布処理以外のときには、吸引を停止し、又は塗布処理中の吸引力よりも低い吸引力でカップ内を吸引するように構成されていることを特徴とする回転塗布装置。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶表示パネル用のガラス基板、半導体ウエハ、半導体製造用のマスク基板などの基板（以下、単に『基板』という）の表面に、例えばフォトレジスト液などの塗布液を塗布する回転塗布装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から、テーブル上に吸着保持した基板に塗布液を供給した後、基板とテーブルとを一体に回転させることにより、遠心力を利用して塗布液を基板面上に拡張させる、いわゆるスピンコータと呼ばれる塗布装置は一般に知られている。
【０００３】この装置では、テーブルの周囲が廃液回収用のカップで覆われており、基板の処理中（回転中）は、このカップの上部に蓋体がセットされて基板が閉空間内に配置され、この状態で処理を行うことにより塗布液の外部飛散を防止するように構成されている。
【０００４】前記カップには、廃液口および排気口が開口しており、処理中は、前記廃液口から廃液通路を通じてカップ内に溜まった廃液を排出するとともに、前記排気口から排気通路を通じてカップ内の雰囲気（塗布液が蒸発した溶剤ガスや塗布液ミストを含んだ空気）を吸引するように構成されている。これによってカップ内で廃液が乾燥固化することによりできる塵埃（パーティクル）や塗布液ミスト等が基板へ付着することに起因する基板の汚損を防止するように構成されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のように排気通路を通じてカップ内の空気を強制排気する装置では、排気口から排気通路内にかけて塗布液ミストが付着することとなる。
【０００６】このような塗布液ミストの付着を長期に亘って放置していると、塗布液ミスト（乾燥固化したもの）が排気口や排気通路内壁に堆積して通路を塞ぎ、例えばカップ内雰囲気の吸引力の低下を招くことが考えられる。このような場合には、処理中にカップ内の排気が滞り、その結果、基板に対する塗布液ミストの付着防止機能が低下することが考えられるため、何らかの対策を打つ必要がある。
【０００７】なお、特開平１０−５５９４８号公報に、排気管の途中にミスト除去部を設けた装置が開示されているが、この構成ではミスト除去部に至るまでの排気管部分での塗布液ミストの付着を防ぐことはできず、依然として排気能力の低下を避けることはできない。
【０００８】本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、排気通路内への塗布液ミストの付着を防止することにより、排気機能の低下等のトラブル発生を回避することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するために、本発明は、基板を保持して回転させる基板保持部と、この基板保持部を包囲して塗布液の外部飛散を防止するカップと、前記カップに連通して該カップ内の雰囲気を外部排気する排気通路とを備えた回転塗布装置において、前記排気通路内であって、かつ排気口近傍に、前記雰囲気中に含まれる塗布液ミストを捕捉するためのミストトラップが設けられているものである（請求項１）。
【００１０】この回転塗布装置によると、排気口近傍で塗布液ミストが捕捉されるので、実質的な排気通路内への塗布液ミストの侵入が抑えられ、排気通路内への塗布液ミストの付着が略全域に亘って防止されることとなる。
【００１１】この装置において、特に、排気通路をカップ内部に延設してミストトラップをカップ内に設けるようにすれば（請求項２）、カップ外部への塗布液ミストの持ち出しを良好に防止することができる。
【００１２】なお、ミストトラップは、前記排気通路を塞ぐ多孔状の部材から構成されるものであってもよいし（請求項３）、あるいは前記排気通路に凹凸を設けて通路表面積を増大させることにより構成されるもの（請求項４）であってもよい。
【００１３】上記のような回転塗布装置においては、ミストトラップに洗浄液を供給することにより付着した塗布液ミストを洗浄、除去する洗浄手段を備えているのが好ましい（請求項５）。
【００１４】この装置によれば、ミストトラップを交換することなく、ミストトラップに付着した塗布液ミストによって排気通路が塞がれるのを防止することができる。また、ミストトラップによって捕捉した塗布液ミストが乾燥してパーティクルが発生するのを有効に防止することができる。
【００１５】なお、塗布処理に伴い飛散した塗布液を溜めながら排出する廃液貯溜部が前記カップ内に設けられている場合には、排気通路の排気口をこの廃液貯溜部に臨むように設け、排気通路におけるミストトラップよりも排気方向下流側から該ミストトラップに向って洗浄液を供給するように前記洗浄手段を構成するのが好ましい（請求項６）。
【００１６】このようにすれば、合理的な構成で、塗布液ミストが含まれた使用済みの洗浄液を排気と分離した状態で廃液（飛散した塗布液）と共に外部に排出することができるようになる。
【００１７】この場合、シャワーノズルや扇形ノズル等、各種ノズルを使って洗浄液を直接ミストトラップに吹き付けて洗浄してもよいが、例えば排気通路の排気口を水平又は下向きに設け、さらに排気方向におけるミストトラップよりも下流側に洗浄液貯溜部を設けてこの洗浄液貯溜部に洗浄液を貯溜しながらオーバーフローさせるように洗浄手段を構成してもよい（請求項７）。
【００１８】このようなオーバーフロー方式の洗浄手段によれば、洗浄液が排気通路に沿って流動しながらミストトラップに供給されるため、排気通路の形状、あるいはミストトラップが設けられる場所等によっては、シャワーノズル等により洗浄液を吹き付けて洗浄する場合に比べ、少ない洗浄液で効率的にミストトラップ及びその近傍を洗浄することが可能となる。
【００１９】なお、こようなオーバーフロー方式の洗浄手段においては、洗浄液貯溜部における洗浄液のオーバーフロー部分に、洗浄液を通路幅方向に均等に案内する凹凸が形成されているのがより好ましい（請求項８）。
【００２０】このようにすれば、ミストトラップの特定の部分に洗浄液が偏って供給されるのを防止することができ、より適切にミストトラップを洗浄することが可能となる。
【００２１】上記の回転塗布装置においては、洗浄手段が洗浄液を吐出する複数のノズルと各ノズルに対して洗浄液を供給する供給系統とを有する場合であって、例えば、洗浄エリアが広い場合等には、ノズルを洗浄液の供給エリアに基づいて複数のグループに区分し、各グループ毎に独立した供給系統を設けるのが好ましい（請求項９）。
【００２２】このようにすれば、洗浄エリアが広い場合でも、洗浄液の供給時に要求される洗浄液の圧力や量をより適切に確保することができるようになる。
【００２３】また、洗浄手段は、洗浄液の供給源として未使用の洗浄液と使用済みの洗浄液とを貯溜するタンクを夫々有し、これらのタンクから選択的に洗浄液を供給するように構成されているのが好ましい（請求項１０）。
【００２４】ミストトラップの洗浄は必ずしも未使用の洗浄液を使用する必要はなく、洗浄能力を有していれば使用済みの洗浄液を用いることも可能である。そのため、上記のように未使用の洗浄液と使用済みの洗浄液との使い分けが可能な構成とすることで、洗浄液を有効活用することが可能となる。なお、ここで「使用済みの洗浄液」は、ミストトラップの洗浄に使用されたものに限らず、例えば基板自体の洗浄等、基板の一連の処理工程で使用された洗浄液であっても構わない。
【００２５】なお、上記の回転塗布装置において、排気通路を通じてカップ内を強制的に吸引する吸引手段を有する場合、この吸引手段は、塗布処理以外のときには、吸引を停止し、又は塗布処理中の吸引力よりも低い吸引力でカップ内を吸引するように構成されているのが好ましい（請求項１１）。
【００２６】このようにすれば、ミストトラップによって捕捉した塗布液ミストが乾燥するのを抑制することができ、捕捉した塗布液ミストに起因するパーティクルの発生を有効に防止することができる。
【００２７】
【発明の実施の形態】本発明の第１の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００２８】図１及び図２は、本発明に係る回転塗布装置（スピンコータ）を断面図で概略的に示している。この図に示すように、スピンコータ１は、基板Ｗを保持するための基板保持部２と、この基板保持部２を包囲するカップ４と、このカップ４の上部開口４ａを塞ぐ蓋部材６とを備えている。
【００２９】前記基板保持部２は、基板Ｗを支持するためのテーブル１２を有している。このテーブル１２は、駆動シャフト１０の先端（上端）にボス１０ａを介して結合されており、図外のモータの作動による駆動シャフト１０の回転駆動に伴い該シャフト１０と一体に回転するように構成されている。
【００３０】テーブル１２の表面（上面）には、吸着部（図示せず）が設けられるとともに、所定の配列で支持ピン１４が突設されており、処理時には、基板Ｗが前記ピン１４ａ上に支持され、かつ吸着部に真空吸着された状態でテーブル上に保持されるように構成されている。
【００３１】また、テーブル１２の周縁部には、円環状のスペーサ１６が設けられており、処理時には、蓋部材６を構成する後記トッププレート４４がこのスペーサ１６を介してテーブル１２上に合体することにより、テーブル１２、スペーサ１６及びトッププレート４４により略密閉された基板処理用の空間をテーブル１２上に形成するように構成されている。
【００３２】前記カップ４は、前記テーブル１２の下側を覆う円盤状の下部２０の周囲にテーブル１２を外側から覆う無端状の外周部２１を備えた皿型の部材である。
【００３３】このカップ４において下部２０の周縁部分には、カップ中心から径方向外側に向って先下がりの傾斜面２０ａが形成されており、これによってカップ４の周縁部分に、その全周に亘って溝状の廃液貯溜部２２が形成されている。
【００３４】廃液貯溜部２２の底部には廃液管２４が接続されており、処理に伴い飛散して廃液貯溜部２２に溜まった塗布液や、あるいは後述するようにミストトラップの洗浄に供されて廃液貯溜部２２に溜まった洗浄液等の廃液がこの廃液管２４を通じて外部に排出されるようになっている。なお、図示していないが、廃液管２４は、例えばカップ４の周方向に均等な間隔で複数箇所に接続されている。
【００３５】また、カップ４内において、廃液貯溜部２２の内側（カップ４の径方向内側）の部分には、前記下部２０と整流板２８とによって廃液貯溜部２２に向って開口（開口３０）する無端円環状の中空部分２９が形成されている。より詳しく説明すると、前記整流板２８は、カップ４と中心を同じくする略円環形状であって、図２に示すようにその外周部分が下部２０の前記傾斜面２０ａの部分まで延設されて該傾斜面２０ａと平行に延びており、その結果、前記中空部分２９は、その外周部分がカップ４の径方向中心から外側に向って先下がりに形成されて開口３０が廃液貯溜部２２内に下向きに臨んだ状態で形成されている。
【００３６】カップ４の下部２０において中空部分２９に対応する箇所には排気管２６が接続されており、処理中は、カップ４内の雰囲気が前記開口３０から中空部分２９および排気管２６を通って図外の吸引手段により吸引されながら外部排気されるように構成されている。つまり、当実施形態では、排気管２６および中空部分２９等により本発明の排気通路が、前記開口３０により本発明の排気口が夫々構成されている（以下、排気管２６および中空部分２９等に形成される通路を必要に応じて排気通路とよぶことにする）。なお、前記排気管２６は複数箇所に接続されており、当実施形態では、図３に示すように周方向に均等な間隔で４本の排気管２６がカップ４に接続されている。
【００３７】排気通路を構成する前記中空部分２９には、排気される雰囲気中に含まれる塗布液ミストを捕捉するためのミストトラップ３２と、このミストトラップ３２を洗浄するための洗浄手段が設けられている。
【００３８】ミストトラップ３２は、排気通路を塞ぐ多孔状の部材で、排気中に含まれる塗布液ミストを付着させることにより捕捉するもので、当実施形態では、図５に示すような格子状のミストトラップ３２が採用されている。ミストトラップ３２は、図２に示すように開口３０（排気口）の直ぐ近傍であって中空部分２９の全周に亘って設けられており、塗布液ミストの付着面積をできるだけ多く確保できるように奥行き方向（排気方向）にある程度厚みを有して設けられている。
【００３９】洗浄手段は、洗浄液を貯溜しつつオーバーフローさせる洗浄液貯溜部３４と、洗浄液をミストトラップ３２に対して噴射するノズル３６と、これら洗浄液貯溜部３４およびノズル３６に対して洗浄液を供給する洗浄液の供給系統とから構成されている。
【００４０】前記洗浄液貯溜部３４は、図２及び図３に示すように、カップ４の前記下部２０であって、排気管２６の直ぐ外側（すなわち傾斜面２０ａの上端部分）に形成される無端状の溝からなる。洗浄液貯溜部３４の底部にはポート３８が周方向に一定の間隔で設けられており、これらポート３８に対して洗浄液の供給管３９が接続されている。つまり、供給管３９およびポート３８を通じて洗浄液貯溜部３４に洗浄液を供給することにより、一定量の洗浄液を洗浄液貯溜部３４に貯溜しながらオーバーフローさせ、これによって洗浄液をその自重により傾斜面２０ａに沿って流下させながらミストトラップ３２を洗浄するように構成されている。
【００４１】なお、洗浄液貯溜部３４の側壁のうち内側の側壁（径方向内側の側壁；図２では左側の側壁）は外側の側壁よりも高く形成されており、その結果、貯溜される洗浄液は傾斜面２０ａ側にのみオーバーフローするようになっている。また、洗浄液貯溜部３４の外側の側壁上端部分（洗浄液のオーバーフロー部分）には、カップ４の径方向に延びる細溝が周方向に等間隔で刻設されており、これによって洗浄液がカップ４の全周に亘って均等にオーバーフローし得るように構成されている。
【００４２】前記ノズル３６は、洗浄液の噴射孔を一定の間隔で備えた円環状のパイプノズルであって、図２に示すように洗浄液貯溜部３４内であってその内側の側壁に沿って固定され、ミストトラップ３２およびその近傍の整流板２８に対して洗浄液を吹き付けるように設けられている。なお、当実施形態においてこのノズル３６は、図３及び図４に示すようにカップ４の周方向に分割された４つの単位ノズル３６ａ〜３６ｄからなり、これら単位ノズル３６ａ〜３６ｄが協働して円環状の前記ノズル３６を構成している。そして、各単位ノズル３６ａ〜３６ｄに夫々独立した処理液の供給管３７が接続されることにより独立した供給系統に接続され、洗浄時には、各単位ノズル３６ａ〜３６ｄ毎に夫々処理液が供給されるように構成されている。
【００４３】一方、蓋部材６は、図１に示すように、上部フード４２と、その下側に連結されるトッププレート４４とから構成されている。
【００４４】上部フード４２は、図外の駆動機構により昇降可能に支持されており、処理時には、下降端位置にセットされることによりカップ４の前記上部開口４ａを塞いでカップ４内に閉空間を形成するように構成されている。
【００４５】トッププレート４４は、上部フード４２と共に昇降し、処理時には、前記スペーサ１６を介してテーブル１２上に合体することにより、テーブル１２、スペーサ１６及びトッププレート４４によってテーブル上に閉空間を形成し、テーブル１２上に保持された基板Ｗをその空間内に配するように構成されている。
【００４６】上部フード４２及びトッププレート４４は、上部フード４２の中央部分に形成された中空部４５にトッププレート４２上部に形成された円盤状の被係合部４４ａが介装されることにより連結されており、蓋部材６の上昇時には、上部フード４２に連設される係合部４２ａが被係合部４４ａに対して下側から係合することにより（図１の二点鎖線図参照）、トッププレート４４と上部フード４２とが一体に上昇するように構成されている。なお、処理に伴う蓋部材６の下降時には、まずトッププレート４４がテーブル１２に合体して被係合部４２ａと被係合部４４ａとの係合状態が解除され、その後、トッププレート４４がカップ４上にセットされて上部開口４ａを塞ぐように前記係合部４２ａ及び被係合部４４ａの位置関係が設定されており（図１の実線図参照）、これによって基板Ｗの処理中は、トッププレート４４が上部フード４２から独立（分離）した状態となり、トッププレート４４がテーブル１２と共に一体に回転するように構成されている。
【００４７】また、上記フード４２の中央部分近傍には、クリーンルーム内の清浄な下降気流を取り入れるための開口４２ｂが形成されている。
【００４８】次に、以上のように構成されたスピンコータ１の動作について説明する。
【００４９】まず、蓋部材６が所定の上昇端位置にセットされ、これによりカップ４の上部開口４ａが開放された状態で（図１の二点鎖線に示す状態）、図外の搬送手段により基板Ｗが搬入されて前記テーブル１２上にセットされる。
【００５０】基板Ｗがセットされると、移動可能な塗布液供給ノズル（図示せず）がテーブル１２の中央であって、かつその上方に設定された液供給位置に配置され、所定量の塗布液が基板Ｗの中央部分に滴下される。
【００５１】そして、カップ４の外部に塗布液供給ノズルが移動した後、蓋部材６が下降し、図１の実線図に示すように、テーブル１２上にトッププレート４４が合体するとともに、カップ４の上部開口４ａが上部フード４２によって塞がれる。
【００５２】こうして処理準備が完了すると、排気管２６に接続された図外の吸引手段が吸引動作を開始し、カップ４内の雰囲気が開口３０から排気通路を通じて外部排気され始めるとともに、図外のモータの作動によりテーブル１２が回転駆動され、これにより基板Ｗが高速で回転する。このように基板Ｗが回転すると、その遠心力により塗布液が基板上に拡散され、その結果、塗布液が基板上に薄く塗布されることとなる。
【００５３】なお、このような基板Ｗの処理中、回転によって基板Ｗから振り切られた余剰の塗布液は、前記スペーサ１６とテーブル１２との間に形成された隙間１６ａを通じてカップ４内に流出、あるいは飛散しながら底部の廃液貯溜部２２内に案内され、この廃液貯溜部２２に廃液として集められ、前記廃液管２４を通じて外部に排出されることとなる。
【００５４】また、上記のように排気通路を通じてカップ４内が吸引されることによりカップ４内の雰囲気（空気）が開口３０からカップ４外へ排気され、これにより空気中に含まれる塗布液ミスト等の基板Ｗへの付着が防止される。排気によって陰圧となったカップ４内には、開口４２ｂを介して清浄な気体が取り入れられ、これによりトッププレート４４上で中心から外向きの気流が生じ、カップ４内の円滑な排気が実現されている。なお、空気と共に開口３０から排気通路内に吸引された塗布液ミストは、排気通路（中空部分２９）内でミストトラップ３２を通過する際にこれに付着し、排気管２６に至ることなくカップ４内で捕捉されることとなる。
【００５５】基板Ｗの塗布処理が完了すると、テーブル２０が停止し、蓋部材６が上昇端位置にリセットされることによりカップ４が開放される。また、これと同時にカップ４内の吸引が停止される。そして、テーブル１２から前記搬送手段に基板Ｗが受け渡され、該搬送手段により基板Ｗが搬出される。これにより当該基板Ｗに対する塗布液の塗布処理が終了することとなる。
【００５６】そして、例えば予め設定された数の基板Ｗに対して処理液の塗布動作が繰り返された後、あるいは生産ロットの切替え等のタイミングでミストトラップ３２の洗浄が行われ、ミストトラップ３２に付着した塗布液ミストが除去される。これにより、ミストトラップ３２に塗布液ミストが堆積して排気通路面積が縮小するのが防止され、また、塗布液ミストが乾燥固化することによるパーティクルの発生が防止されることとなる。
【００５７】ミストトラップ３２の洗浄は、上述したように、洗浄液貯溜部３４に洗浄液を貯溜しながらオーバーフローさせるとともに、ノズル３６からミストトラップ３２およびその近傍の整流板２８に洗浄液を噴射することにより行われる。このようにすると、洗浄液貯溜部３４からオーバーフローした洗浄液が傾斜面２０ａに沿って流下し、該傾斜面２０ａおよびミストトラップ３２に付着した塗布液ミストを溶解しながら廃液貯溜部２２内に流入する一方、ノズル３６から噴射された洗浄液が整流板２８およびミストトラップ３２に付着した塗布液ミストを溶解しながら傾斜面２０ａおよび整流板２８に沿って廃液貯溜部２２内に流下することとなる。従って、ミストトラップ３２のみならずその近傍の傾斜面２０ａや整流板２８に付着した塗布液ミストも洗浄除去されることとなる。なお、上記のように洗浄に供された洗浄液は、全て廃液貯溜部２２に集められて廃液として廃液管２４を通じて外部に排出されることとなる。
【００５８】以上のようなスピンコータ１によると、排気通路を通じてカップ４内の空気（雰囲気）を排気する構成において、その排気口（開口３０）近傍にミストトラップ３２を設けることによって排気通路内への塗布液ミストの侵入を防止するようにしているので、排気通路内への塗布液ミストの付着、堆積を略全域に亘って防止することができる。従って、排気通路内に塗布液ミストが堆積することによるトラブル、例えば実質的な排気通路面積の縮小に伴うカップ内の吸引力低下（排気機能の低下）といった事態の発生を有効に防止することができる。特に、このスピンコータ１では、カップ４内に形成した中空部分２９に排気管２６を連通接続して排気通路を構成し、ミストトラップ３２を前記中空部分２９に設けているので、すなわちカップ４内にミストトラップ３２を設けているので、カップ４外への塗布液ミストの持ち出しを効果的に防止することができる。従って、排気管２６等、カップ４以外の部分への塗布液ミストの堆積をより効果的に防止することができ、排気管２６等の保守点検作業を軽減することができるという利点がある。
【００５９】しかも、このスピンコータ１では、洗浄手段を設けてミストトラップ３２に付着した塗布液ミストを洗浄、除去できるように構成されているので、ミストトラップ３２に付着した塗布液ミストによって排気通路が塞がれたり、あるいは塗布液ミストが乾燥固化することに起因してパーティクルが発生するといった弊害を有効に防止することができる利点がある。特に、このスピンコータ１では、ミストトラップ３２の洗浄に供した洗浄液が自ずと廃液貯溜部２２内に流入するように排気通路や洗浄手段が構成されているので、使用済みの洗浄液を廃液（飛散した塗布液）と共に外部に排出することができる合理的な構成が達成されるという利点がある。
【００６０】次に、本発明の第２の実施形態について図６を用いて説明する。
【００６１】この図は、排気通路をカップ４の外周部２１に設けた構成のスピンコータ１を断面図で概略的に示している。すなわち、図６に示すスピンコータ１では、カップ４を構成する外周部２１の内側に沿って整流板２８が設けられており、この整流板２８と外周部２１とによって真下に向って開口する無端状の中空部分２９が形成されている。そして、この中空部分２９に対して外周部２１の外側から排気管２６が接続されることにより、これら中空部分２９及び排気管２６により排気通路が構成されている。
【００６２】また、中空部分２９の開口３０の近傍にミストトラップ３２が設けられ、中空部分２９の内部であってこのミストトラップ３２に対向する位置に洗浄手段としてノズル３６が設けられている。
【００６３】このように排気通路の排気口（開口３０）は、必ずも第１の実施形態のようにカップ４の下部２０（テーブル１２の下側）に設けられている必要はなく、カップ４の外周部２１に設けられているものであってもよく、このような第２の実施形態の構成においても第１の実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【００６４】次に、本発明の第３の実施形態について図７を用いて説明する。
【００６５】この図は、ミストトラップとして第１の実施形態のような多孔状の部材かなるミストトラップ３２を設けるのではなく、排気通路自体に通路表面積を増大させるような形状的な特徴を持たせることによりミストトラップを設けた構成を示している。
【００６６】すなわち、この図に示すスピンコータ１では、開口３０の近傍、具体的にはカップ４の傾斜面２０ａの部分において整流板２８および傾斜面２０ａの相対向する面に凹凸を適宜形成し、排気通路自体をラビリンス状に形成することによりミストトラップが構成されている。
【００６７】このような構成によると、開口３０の近傍において排気通路内壁面に塗布液ミストが効果的に付着することとなり、第１の実施形態の同様、塗布液ミストを開口３０近傍で良好に捕捉することができる。なお、同図においては、便宜上洗浄手段の図示を省略しているが、勿論、この構成においても洗浄手段を設けて付着した塗布液ミストを洗浄、除去するのが好ましい。
【００６８】次に、本発明の第４の実施形態について図９を用いて説明する。
【００６９】この図は、第１の実施形態において、ミストトラップ３２を傾斜面２０ａに設ける代わりに洗浄液貯溜部３４に設けたものである。すなわち、上記ノズル３６の代わりにミストトラップ３２を洗浄液貯溜部３４に設け、ミストトラップ３２の一部をここに貯溜される洗浄液に浸漬した状態で設けたものである。
【００７０】このような構成によると、ミストトラップ３２に付着した塗布液ミストに対して洗浄液が自然と含浸し、これにより付着した塗布液ミストが溶けだして除去されることとなる。そして、除去された塗布液ミストは、洗浄液貯溜部３４からオーバーフローする洗浄液と共に傾斜面２０ａに沿って流下する。なお、この構成においても洗浄液貯溜部３４は、貯まった洗浄液が傾斜面２０ａの方へオーバーフローするように内外（同図では左右）の側壁高さが設定されている。
【００７１】ところで、第１〜第４の実施形態に示したスピンコータ１は、本発明に係る回転塗布装置の代表的な構成例であって、その具体的な構成は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、以下のような構成を採用することもできる。
【００７２】■ ミストトラップとして多孔状の部材を排気通路に介設する場合、ミストトラップ３２は、第１の実施形態のような格子状のものに限らず、図８に示すように多数の円形開口を打ち抜いたパンチング板や、あるいはネット状のものであってもよい。
【００７３】■ 第１の実施形態では、洗浄手段であるノズル３６を４つの単位ノズル３６ａ〜３６ｄから構成し、洗浄液の供給系統として各単位ノズル３６ａ〜３６ｄ毎に独立した供給系統を設けるようにしているが、勿論、ノズル３６を単一のノズル構成とし一つの供給系統で洗浄液を供給するようにしてもよい。但し、広域に亘って設けたノズルに対して単一の供給系統で洗浄液を供給しようとすると、要求される圧力や量を確保することが難しくなるため、洗浄エリアが広い場合には、第１の実施形態のようにノズルを洗浄液の供給エリアに基づいて複数のグループに区分し、各グループ毎に独立した供給系統を設けるのが好ましい。
【００７４】■ ミストトラップの洗浄は必ずしも未使用の洗浄液を使用する必要はなく、使用済みの洗浄液を用いるようにしてもよい。例えば、この種のスピンコータ１には、通常、その後工程として基板縁部に塗布された塗布液を洗浄除去する除去装置が設置されるため、この除去装置で使用された洗浄液を再度ミストトラップの洗浄液として使用するように構成してもよい。これによれば洗浄液を有効活用することが可能となる。なお、この場合、未使用の洗浄液と使用済みの洗浄液を夫々貯溜するタンクを設け、これらのタンクから選択的に洗浄液を供給できるように洗浄液の供給系統を構成し、ミストトラップへの塗布液ミストの付着具合に応じて未使用の洗浄液と使用済みの洗浄液とを使い分けるように構成してもよい。これによれば、洗浄液を有効活用しながら、塗布液ミストの付着具合に応じた効果的な洗浄が可能になるというメリットがある。
【００７５】■ 上記スピンコータ１では吸引手段により排気通路を通じてカップ４内を吸引するように構成し、塗布処理中にのみカップ４内を吸引するようにしているが、係るカップ４内の吸引は、例えば常時行うようにしてもよい。但し、カップ４内を常時吸引すると、排気通路内の気流によってミストトラップ３２に付着した塗布液ミストの乾燥が促進され、パーティクルが発生し易くなることが考えられる。そのため、カップ４内を常時吸引する場合には、非処理時のカップ４内の吸引力を塗布処理中の吸引力よりも低く設定して排気通路内での気流の発生を抑え、これにより塗布液ミストの乾燥を抑制するのが好ましい。なお、吸引手段としては、排気管２６に吸引ポンプを設けてもよいし、クリーンルームに設置されている排気手段に接続して吸引手段として利用してもよい。吸引の断続制御は、吸引ポンプのオン・オフ、あるいは、排気管２６内にダンパーを設けてそれを開閉すること等により実現することができる。
【００７６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、液飛散防止用のカップ内で基板を回転させて塗布液を塗布しながら、カップに連通した排気通路を通じてカップ内の雰囲気を外部排気するようにした回転塗布装置において、排気通路の排気口近傍にミストトラップを設けて塗布液ミストを捕捉するようにしたので、排気通路内への塗布液ミストの付着を略全域に亘って防止することができる。従って、塗布液ミストの付着による排気機能の低下等のトラブル発生を回避することができる。
【００７７】特に、ミストトラップに洗浄液を供給して付着した塗布液ミストを洗浄する洗浄手段を設けるようにすれば、ミストトラップを交換することなく、ミストトラップに付着した塗布液ミストによって排気通路が塞がれるのを防止することができ、また、ミストトラップによって捕捉した塗布液ミストが乾燥してパーティクルが発生するのを有効に防止することができるようになる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００２０７５５１
【氏名又は名称】大日本スクリーン製造株式会社
【住所又は居所】京都府京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神北町１番地の１
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| 【出願日】 |
平成１３年９月１０日（２００１．９．１０） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１０００６７８２８
【弁理士】
【氏名又は名称】小谷 悦司 （外２名）
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| 【公開番号】 |
特開２００３−８０１５９（Ｐ２００３−８０１５９Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１５年３月１８日（２００３．３．１８） |
| 【出願番号】 |
特願２００１−２７３８１３（Ｐ２００１−２７３８１３） |
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