| 【発明の名称】 |
基板処理システム |
| 【発明者】 |
【氏名】濱田 哲也
【住所又は居所】京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株式会社内
【氏名】亀井 謙治
【住所又は居所】京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株式会社内
【氏名】井上 秀和
【住所又は居所】京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株式会社内
【氏名】北本 徹
【住所又は居所】京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株式会社内
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| 【要約】 |
【課題】効率良くオペレータに操作教育を行うことができる基板処理システムを提供する。
【解決手段】基板処理工場４には複数の基板処理装置１が配置されている。また、サポートセンター５にはサポートコンピュータ３が配置されており、サポートコンピュータ３と複数の基板処理装置１とはネットワーク（インターネット）にて接続されている。サポートセンター５のサポートコンピュータ３が備える固定ディスク３４には、教育プログラム３４１が格納されている。サポートコンピュータ３のＣＰＵ３１がこの教育プログラム３４１を読み出して実行することにより、配信部３１５が通信部３８からネットワークを経由して基板処理工場４の各基板処理装置１に該装置の操作に関する教育情報を配信することができる。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 複数の基板処理装置とコンピュータとをネットワークにて結合した基板処理システムであって、前記コンピュータは、前記複数の基板処理装置の操作に関する教育情報を前記ネットワークを介して配信する教育情報配信手段を備え、前記複数の基板処理装置のそれぞれは、前記コンピュータから配信された教育情報を受信する受信手段と、前記受信手段が受信した教育情報を表示する表示手段と、を備えることを特徴とする基板処理システム。
【請求項２】 請求項１記載の基板処理システムにおいて、前記複数の基板処理装置のそれぞれは、前記コンピュータに対して教育情報の配信を要求する配信要求手段をさらに備えることを特徴とする基板処理システム。
【請求項３】 請求項１記載の基板処理システムにおいて、前記コンピュータは、前記複数の基板処理装置に同時に教育情報を配信することを特徴とする基板処理システム。
【請求項４】 請求項１から請求項３のいずれかに記載の基板処理システムにおいて、前記ネットワークは、インターネットであることを特徴とする基板処理システム。
【請求項５】 請求項１から請求項３のいずれかに記載の基板処理システムにおいて、前記ネットワークは、ローカルエリアネットワークであることを特徴とする基板処理システム。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等（以下、単に「基板」と称する）に所定の処理を行う基板処理装置とコンピュータとをネットワーク経由にて結合したネットワーク通信技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体や液晶ディスプレイなどの製品は、基板に対して洗浄、レジスト塗布、露光、現像、エッチング、層間絶縁膜の形成、熱処理などの一連の諸処理を施すことにより製造されている。従来より、これらの諸処理はレジスト塗布処理ユニットや現像処理ユニット等を組み込んだ基板処理装置において行われている。
【０００３】一般にこのような基板処理装置は、半導体等を製造する１つの基板処理工場に多数配置されており、多くのオペレータによって稼働されている。経験の少ない未熟なオペレータに対しては適宜装置の操作方法に関する教育を行う必要があり、またベテランのオペレータであっても装置の仕様等が変更になったときには、新たな操作方法についての講習が必要となる。
【０００４】従来において装置に関する講習を行うときには、多数のオペレータを複数のグループに分割して何回かに分けて説明を行うか、あるいは１回で説明を行うときには１台の基板処理装置の周囲に大人数を集めて行わざるを得なかった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このような講習の方式では、同じ内容について何回も講習を行わなければならなかったり、あるいは全てのオペレータに対する十分な習熟が図れなかったりするため、基板処理装置のユーザにとってもベンダーにとっても非効率であるという問題が生じていた。
【０００６】本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、効率良くオペレータに操作教育を行うことができる基板処理システムを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため、請求項１の発明は、複数の基板処理装置とコンピュータとをネットワークにて結合した基板処理システムにおいて、前記コンピュータに、前記複数の基板処理装置の操作に関する教育情報を前記ネットワークを介して配信する教育情報配信手段を備え、前記複数の基板処理装置のそれぞれに、前記コンピュータから配信された教育情報を受信する受信手段と、前記受信手段が受信した教育情報を表示する表示手段と、を備える。
【０００８】また、請求項２の発明は、請求項１の発明に係る基板処理システムにおいて、前記複数の基板処理装置のそれぞれに、前記コンピュータに対して教育情報の配信を要求する配信要求手段をさらに備える。
【０００９】また、請求項３の発明は、請求項１の発明に係る基板処理システムにおいて、前記コンピュータに、前記複数の基板処理装置に同時に教育情報を配信させている。
【００１０】また、請求項４の発明は、請求項１から請求項３のいずれかの発明に係る基板処理システムにおいて、前記ネットワークをインターネットとしている。
【００１１】また、請求項５の発明は、請求項１から請求項３のいずれかの発明に係る基板処理システムにおいて、前記ネットワークをローカルエリアネットワークとしている。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
【００１３】＜１．システム全体構成＞まず、本発明に係る基板処理システム１０全体の概略について説明する。図１は、本発明に係る基板処理システム１０の概略構成を示す図である。図１に示すように基板処理システム１０は、基板処理工場４に備えられた複数の基板処理装置１および情報蓄積サーバ２と、基板処理装置１の操作についての講習を行う担当者が配置されるサポートセンター５に備えられたサポートコンピュータ３とが、ネットワーク６を介して接続された構成となっている。
【００１４】基板処理システム１０においては、基板処理装置１の操作に関する教育情報がサポートコンピュータ３からネットワーク６を介して基板処理装置１に配信されるようになっている。
【００１５】基板処理工場４において、基板処理装置１と情報蓄積サーバ２とはＬＡＮ（Local Area Network）４１を介して接続されている。ＬＡＮ４１は、ルータやファイアーウォール等の機能を有する接続装置４２を介して広域ネットワーク６１に接続されている。ここでは、広域ネットワーク６１はインターネットである。また、サポートセンター５も、サポートコンピュータ３が接続されるＬＡＮ５１を有しており、ＬＡＮ５１もルータやファイアーウォール等の機能を有する接続装置５２を介して広域ネットワーク６１に接続されている。これにより、基板処理装置１、情報蓄積サーバ２及びサポートコンピュータ３との相互間で各種データ通信が可能となっている。本明細書においてＬＡＮ４１，５１及び広域ネットワーク６１を総称して単にネットワーク６とする。
【００１６】なお、図１において、基板処理工場４には複数の基板処理装置１が備えられているが基板処理装置１は１台であってもよく、同様にサポートセンター５には複数のサポートコンピュータ３が備えられているがサポートコンピュータ３は１台であってもよい。
【００１７】＜２．基板処理装置＞次に、基板処理工場４に配置された基板処理装置１について説明する。図２は、基板処理装置１の概略平面図である。この基板処理装置１は、基板にレジスト塗布処理、現像処理およびそれらに付随する熱処理を行う装置である。基板処理装置１は、未処理の基板をキャリアから払い出すとともに処理済の基板を受け取ってキャリアに収納するインデクサＩＤと、基板を回転させつつその基板主面にフォトレジストを滴下してレジスト塗布処理を行う塗布処理ユニットＳＣ（いわゆるスピンコータ）と、露光後の基板上に現像液を供給することによって現像処理を行う現像処理ユニットＳＤ（いわゆるスピンデベロッパ）と、インデクサＩＤおよび各処理ユニット間で基板の搬送を行う搬送ロボットＴＲとを備えている。また、塗布処理ユニットＳＣおよび現像処理ユニットＳＤの上方には図示を省略する熱処理ユニットがファンフィルタユニットを挟んで配置されている。熱処理ユニットとしては、基板に加熱処理を行う加熱ユニット（いわゆるホットプレート）および加熱された基板を一定温度にまで冷却する冷却ユニット（いわゆるクールプレート）が設けられている。なお、本明細書においては、塗布処理ユニットＳＣ、現像処理ユニットＳＤおよび熱処理ユニットを総称して基板に所定の処理を行う処理ユニット１１０とする。
【００１８】図３は、基板処理装置１の制御システムの構成を示すブロック図である。図３に示すように基板処理装置１の制御システムは、装置全体を制御するシステム制御部１００と、複数の処理ユニット１１０を個別に制御するユニット制御部１１５とにより構成されている。
【００１９】システム制御部１００は装置全体を統括的に制御するものであり、マイクロコンピュータを備えて構成されている。具体的には、その本体部であるＣＰＵ１０１、基本プログラムなどを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ１０２、主として演算の作業領域となる読み書き自在のメモリであるＲＡＭ１０３、ソフトウェアモジュールなどを記憶しておく固定ディスク等からなる記憶部１０４、および、外部装置との間でデータ通信を行う通信部１０５を備えており、それぞれをバスライン１９０によって接続した構成となっている。
【００２０】通信部１０５は、ネットワーク・インターフェイス（図示省略）を介してネットワーク６に接続されており、これにより基板処理装置１は情報蓄積サーバ２やサポートコンピュータ３などとの間で各種データの送受信が可能である。通信部１０５で行われるネットワーク６を介しての通信方式は有線でも無線でもよいが、本実施形態では有線による通信方式が採用されている。
【００２１】バスライン１９０には、システム制御部１００および複数の処理ユニット１１０とともに、各種情報の表示を行う表示部１３０、オペレータからのレシピの入力およびコマンドの操作等を受け付ける操作部１４０、磁気ディスクや光磁気ディスクなどの記録媒体９１から各種データの読み取りを行う読取装置１５０なども電気的に接続されている。これにより、システム制御部１００の制御下において、基板処理装置１の各部間でバスライン１９０を介してデータの受け渡しが可能となっている。
【００２２】処理ユニット１１０は、実際に基板に処理を行う機構部（例えば、基板を回転させる機構、基板に処理液を吐出する機構、基板を加熱する機構等）となる基板処理部１１６とともに、ユニット制御部１１５を備えている。ユニット制御部１１５は、処理ユニット１１０を個別に制御するものであり、具体的にはそのユニット制御部１１５が組み込まれた処理ユニット１１０の基板処理部１１６の動作制御や動作監視を行う。つまり、上述したシステム制御部１００は基板処理装置１の全体における統括的な制御を担い、ユニット制御部１１５は基板処理部１１６の処理内容に応じた制御を担うようにその役割を分担している。ユニット制御部１１５は、システム制御部１００と同様にマイクロコンピュータを備えて構成され、具体的には、その本体部であるＣＰＵ１１１と、基本プログラムなどを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ１１２と、演算の作業領域となる読み書き自在のメモリであるＲＡＭ１１３と、各種データを記憶しておくバッテリーバックアップされたＳＲＡＭなどからなる記憶部１１４とを備えている。
【００２３】システム制御部１００の記憶部１０４には、装置全体にかかわるシステム制御用プログラムが記憶されている。システム制御部１００のＣＰＵ１０１がこのシステム制御用プログラムに従って演算処理を実行することにより、基板処理装置１の全体としての動作制御やデータ処理が実現されることとなる。また、ユニット制御部１１５の記憶部１１４には、当該処理ユニット１１０の基板処理部１１６の処理内容に応じたユニット制御用プログラムが記憶されている。ユニット制御部１１５のＣＰＵ１１１がこのユニット制御用プログラムに従って演算処理を実行することにより、基板処理部１１６の動作制御やデータ処理が実現されることとなる。
【００２４】なお、これらの制御用プログラムは、読取装置１５０を介しての記録媒体９１からの読み出しや、所定のサーバ記憶装置などからネットワーク６を経由してのダウンロードによって取得及び更新することが可能となっている。
【００２５】＜３．情報蓄積サーバ及びサポートコンピュータ＞次に、基板処理工場４に配置された情報蓄積サーバ２およびサポートセンター５に配置されたサポートコンピュータ３について説明する。情報蓄積サーバ２およびサポートコンピュータ３は、ハードウェアとしての構成は一般的なコンピュータと同様の構成である。したがって、情報蓄積サーバ２およびサポートコンピュータ３の基本構成は同様であるため、同一の概略図面である図４を参照して説明する。情報蓄積サーバ２およびサポートコンピュータ３のそれぞれは図４に示すように、各種演算処理を行うＣＰＵ（情報蓄積サーバ２ではＣＰＵ２１，サポートコンピュータ３ではＣＰＵ３１、以下同様）、基本プログラムを記憶するＲＯＭ（２２，３２）および各種情報を記憶するＲＡＭ（２３，３３）をバスラインに接続した構成となっている。また、バスラインには、各種情報を記憶する固定ディスク（２４，３４）、各種情報の表示を行うディスプレイ（２５，３５）、操作者からの入力を受け付けるキーボード（２６ａ，３６ａ）およびマウス（２６ｂ，３６ｂ）、光ディスク、磁気ディスク、光磁気ディスク等の記録媒体９１から各種データの読み取りを行う読取装置（２７，３７）、並びに、ネットワーク６を介して外部装置と通信を行う通信部（２８，３８）が、適宜、インターフェイス（Ｉ／Ｆ）を介する等して接続される。
【００２６】情報蓄積サーバ２とサポートコンピュータ３は、読取装置（２７，３７）を介して記録媒体９１からプログラムを読出し、固定ディスク（２４，３４）に記憶することができる。また、他のサーバー等からネットワーク６を経由してダウンロードして固定ディスク（２４，３４）に記憶することもできる。そして、ＣＰＵ（２１，３１）が固定ディスク（２４，３４）に記憶されたプログラムに従って演算処理を実行することにより各種動作を行うようになっている。すなわち、このプログラムに従っての演算処理を実行した結果として、情報蓄積サーバ２は情報蓄積サーバ２としての動作を行い、サポートコンピュータ３はサポートコンピュータ３としての動作を行うこととなる。
【００２７】＜４．システムの機能および処理内容＞以上、基板処理システム１０およびそれを構成する基板処理装置１、情報蓄積サーバ２、サポートコンピュータ３のハードウェア構成について説明したが、次に基板処理システム１０の機能および処理内容について説明する。図５は、基板処理システム１０の機能構成を示す機能ブロック図である。なお、図５において、配信要求部１０８はシステム制御部１００のＣＰＵ１０１が制御用プログラムを実行することによって実現される処理部であり、配信部３１５はサポートコンピュータ３のＣＰＵ３１が制御用プログラムを実行することによって実現される処理部である。
【００２８】サポートセンター５のサポートコンピュータ３が備える固定ディスク３４には、教育プログラム３４１が格納されている。サポートコンピュータ３のＣＰＵ３１がこの教育プログラム３４１を読み出して実行することにより、配信部３１５が通信部３８からネットワーク６を経由して基板処理工場４の各基板処理装置１に該装置の操作に関する教育情報を配信することができる。配信の形態としては、例えばストリーミング配信の手法を採用すれば良い。サポートコンピュータ３から配信された教育情報は、通信部１０５によって受信され、表示部１３０に表示される。
【００２９】配信のタイミングとしては、基板処理装置１側からの配信要求の有無に関わらず、ある基板処理工場４に配置された複数の基板処理装置１に対して同時に教育情報を配信するようにしても良いし、また基板処理装置１から配信要求があった時点で当該基板処理装置１に対してのみ教育情報を配信するようにしても良い。配信要求を行う具体的な手法としては、操作部１４０から配信要求コマンドが入力されたときに配信要求部１０８が通信部１０５からネットワーク６を経由してサポートコンピュータ３に配信要求を送信する。配信要求を受けたサポートコンピュータ３の配信部３１５は、通信部３８からネットワーク６を経由してその基板処理装置１に対して教育情報を配信する。
【００３０】基板処理工場４の多数のオペレータに対して一斉に操作説明の講習を行うような場合は、複数の基板処理装置１に対して同時に教育情報を配信すれば良い。多数のオペレータは少人数ずつ各基板処理装置１に分散し、表示部１３０に表示された教育情報を見ることによって装置の操作方法を修得することができる。
【００３１】一方、基板処理工場４の一部の未熟なオペレータに対して操作説明の講習を行うような場合は、そのオペレータをいずれか１台の基板処理装置１に配置し、該基板処理装置１から配信要求を行うことによって、その基板処理装置１に対してのみ教育情報を配信すれば良い。オペレータは、表示部１３０に表示された教育情報を見ることによって装置の操作方法を修得することができる。
【００３２】いずれの場合であっても、装置ベンダー側から見れば教育プログラム３４１を作成してサポートコンピュータ３に格納しておくだけで操作説明に関する講習を行うことができ、一方ユーザ側から見れば所望のタイミングでしかも何回も操作説明に関する講習を実施することができ、効率良くオペレータに操作教育を行うことができる。
【００３３】＜５．変形例＞以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明は上記の例に限定されるものではない。例えば、上記実施の形態においては、教育プログラム３４１をサポートコンピュータ３に格納し、サポートセンター５からインターネット経由にて基板処理装置１に教育情報を配信するようにしていたが、サポートコンピュータ３の役割を情報蓄積サーバ２に持たせるようにしても良い。図６は、基板処理システム１０の機能構成の他の例を示す機能ブロック図である。なお、図６において、配信部２１５は情報蓄積サーバ２のＣＰＵ２１が制御用プログラムを実行することによって実現される処理部である。
【００３４】情報蓄積サーバ２が備える固定ディスク２４には、教育プログラム２４１が格納されている。情報蓄積サーバ２のＣＰＵ２１がこの教育プログラム２４１を読み出して実行することにより、配信部２１５が通信部２８からＬＡＮ４１を経由して基板処理工場４の各基板処理装置１に該装置の操作に関する教育情報を配信することができる。配信の形態やタイミングは上記実施形態と同様である。
【００３５】このようにＬＡＮ４１を利用して教育情報を配信するようにしても、装置ベンダー側から見れば教育プログラム２４１を作成して情報蓄積サーバ２に格納しておくだけで操作説明に関する講習を行うことができ、一方ユーザ側から見れば所望のタイミングでしかも何回も操作説明に関する講習を実施することができ、効率良くオペレータに操作教育を行うことができる。
【００３６】また、上記実施形態の基板処理装置１は、基板にレジストの塗布処理および現像処理を行うものであっったが、これに限定されるものではなく、例えば光照射によって基板を加熱するランプアニール装置や、基板を回転させつつパーティクルを除去する洗浄処理を行う洗浄処理装置や、フッ酸等の処理液中に基板を浸漬して表面処理を行う浸漬処理装置など、基板に所定の処理を行う基板処理装置であればどのようなものであっても本発明に係る技術を適用することが可能である。
【００３７】
【発明の効果】以上、説明したように、請求項１の発明によれば、コンピュータが複数の基板処理装置にその操作に関する教育情報をネットワークを介して配信するため、効率良くオペレータに操作教育を行うことができる。
【００３８】また、請求項２の発明によれば、複数の基板処理装置のそれぞれが、コンピュータに対して教育情報の配信を要求する配信要求手段を備えるため、それぞれの基板処理装置ごとに所望のタイミングでオペレータに操作教育を行うことができる。
【００３９】また、請求項３の発明によれば、コンピュータが、複数の基板処理装置に同時に教育情報を配信するため、多数のオペレータに対して一括して操作教育を行うことができる。
【００４０】また、請求項４の発明によれば、ネットワークがインターネットであり、効率良くオペレータに操作教育を行うことができる。
【００４１】また、請求項５の発明によれば、ネットワークがローカルエリアネットワークであり、効率良くオペレータに操作教育を行うことができる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００２０７５５１
【氏名又は名称】大日本スクリーン製造株式会社
【住所又は居所】京都府京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神北町１番地の１
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| 【出願日】 |
平成１３年９月７日（２００１．９．７） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１０００８９２３３
【弁理士】
【氏名又は名称】吉田 茂明 （外２名）
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| 【公開番号】 |
特開２００３−８０１５５（Ｐ２００３−８０１５５Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１５年３月１８日（２００３．３．１８） |
| 【出願番号】 |
特願２００１−２７１３６９（Ｐ２００１−２７１３６９） |
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