| 【発明の名称】 |
圧力変動吸着装置の減量運転方法 |
| 【発明者】 |
【氏名】大野 隆造
【住所又は居所】大阪府大阪市西区靭本町２丁目４番１１号 大陽東洋酸素株式会社内
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| 【要約】 |
【課題】原料空気の消費量を可及的に低減し得て通常運転時と同等又はそれ以上の製造収率を確保することができ、効果的な省エネルギ化を図りうる圧力変動吸着装置の減量運転方法を提供する。
【解決手段】減量運転時においては、吸着工程タイムｔを変更することなく、各吸着塔における吸着工程から再生工程への移行を原料空気及び再生ガスが供給されない待機工程を介して行い、サイクルタイムＴ1を、待機工程に要するタイムｗ分だけ、通常運転時のサイクルタイムＴ0より延長するようにする。減量運転時サイクルタイムＴ1の通常運転時サイクルタイムＴ0に対する増加率が製品ガス製造量の通常運転時に対する減少率に反比例するように、待機工程タイムｗは設定される。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 空気中の特定成分を優先的に吸着する吸着剤を充填した一対の吸着塔を、吸着塔に導入された原料空気を吸着処理して製品ガスを製造する吸着工程と吸着工程終了後の吸着塔に再生ガスを供給して吸着剤を再生処理する再生工程とに所定のサイクルタイムで切り替えることにより、吸着工程にある吸着塔からガス使用部に製品ガスを供給させるようにした圧力変動吸着装置において、ガス使用部の負荷に応じて製品ガスの製造量を通常運転時より減少させた場合に、各吸着塔における吸着工程から再生工程への移行を原料空気及び再生ガスが供給されない待機工程を介して行うことにより、吸着工程タイムを変更することなく上記サイクルタイムを延長するようにしたことを特徴とする圧力変動吸着装置の減量運転方法。
【請求項２】 前記サイクルタイムの通常運転時に対する増加率が製品ガス製造量の通常運転時に対する減少率に反比例するように、待機工程タイムを設定するようにしたことを特徴とする、請求項１に記載する圧力変動吸着装置の減量運転方法。
【請求項３】 一方の吸着塔が吸着工程の開始から待機工程の終了に至る間においては、他方の吸着塔が通常運転時と同一の再生ガス供給による再生工程を行なった後、再生ガス供給を停止した状態で当該吸着塔を大気に開放する減圧再生工程を行なうことを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載する圧力変動吸着装置の減量運転方法。
【請求項４】 圧力変動吸着装置が、吸着剤として分子篩活性炭を使用した窒素ガス製造装置であることを特徴とする、請求項１、請求項２又は請求項３に記載する圧力変動吸着装置の減量運転方法。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧力変動吸着装置の減量運転方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】圧力変動吸着装置（以下「ＰＳＡ装置」という）は、空気中の特定成分を優先的に吸着する吸着剤を充填した一対の吸着塔を、吸着塔に導入された原料空気を吸着処理して製品ガスを製造する吸着工程と吸着工程終了後の吸着塔に再生ガスを供給して吸着剤を再生処理する再生工程とに所定のサイクルタイムで切り替えるようにして、吸着工程にある吸着塔からガス使用部に製品ガスを供給させるように構成されている。
【０００３】而して、ＰＳＡ装置にあっては、ガス使用部における負荷変動に応じて減量運転させる必要があり、例えば、夜間等においてガス使用量が減少した場合、これに応じて吸着塔からガス使用部への製品ガス供給量を減少させる必要がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、吸着塔に充填される吸着剤としては、例えば、製品ガスが窒素である場合には酸素成分を優先的に吸着する分子篩活性炭が使用されるが、かかる分子篩活性炭は、図６に示す如く、酸素成分と窒素成分との吸着速度が異なり、吸着開始から一定時間t0経過すると酸素成分の吸着量が飽和し、爾後、窒素成分の吸着量が増加するといった吸着特性を有する。
【０００５】したがって、分子篩活性炭による吸着処理（窒素ガスの製造）を効率良く行うためには、このような分子篩活性炭の吸着特性に基いて吸着工程を行う時間（吸着工程タイム）を決定することが必要である。すなわち、吸着塔の切替タイム（吸着工程と再生工程とに切り替えるサイクルタイム）は、分子篩活性炭の吸着特性によって一義的に決定され、ＰＳＡ装置の規模等に拘わらず略一定となる。
【０００６】しかし、このように吸着塔の切替タイムを変更できないため、減量運転時においては、製品ガスの製造量の減少割合に比して原料空気の消費量の減少割合が小さくなる。例えば、分子篩活性炭を使用して純度９９％の窒素ガスを製造する場合、通常運転（定格運転）では、原料空気：窒素ガス＝１：０．３〜０．４の比率で窒素ガスを製造できるが、５０％原料運転では、原料空気：窒素ガス＝０．８：０．２の比率で窒素ガスが製造されることになり、窒素ガスの製造量が通常運転時の５０％に低下しているにも拘わらず、原料空気量は通常運転時の８０％が必要となり、消費原料空気は僅かに２０％低減されるにすぎない。すなわち、通常運転時においては原料空気の消費量に対する製品ガスの製造量の割合（以下「製造収率」という）は０．３〜０．４であるが、５０％減量運転時には製造収率が０．２５となるに止まる。このように、減量運転では、通常運転時より製造収率が低くなり、製品ガスの製造量に対する原料空気の消費量が多くなるため、吸着塔に供給される原料空気を圧縮するために必要なエネルギが増大し、ＰＳＡ装置のランニングコストが高くなる等の問題が生じる。
【０００７】本発明は、このような点に鑑みてなされたもので、原料空気の消費量を可及的に低減し得て通常運転時と同等又はそれ以上の製造収率を確保することができ、効果的な省エネルギ化を図りうるＰＳＡ装置の減量運転方法を提供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、空気中の特定成分を優先的に吸着する吸着剤を充填した一対の吸着塔を、吸着塔に導入された原料空気を吸着処理して製品ガスを製造する吸着工程と吸着工程終了後の吸着塔に再生ガスを供給して吸着剤を再生処理する再生工程とに所定のサイクルタイムで切り替えることにより、吸着工程にある吸着塔からガス使用部に製品ガスを供給させるようにしたＰＳＡ装置において、上記の目的を達成すべく、ガス使用部の負荷に応じて製品ガスの製造量を通常運転時（定格運転時）より減少させた場合に、各吸着塔における吸着工程から再生工程への移行を原料空気及び再生ガスが供給されない待機工程を介して行うことにより、吸着工程タイムを変更することなく上記サイクルタイムを延長するようにしたことを特徴とするＰＳＡ装置の減量運転方法を提案する。なお、サイクルタイムとは、具体的には、何れか一方の吸着塔において、吸着工程が開始された時点から当該吸着工程終了後再生工程が開始されるまでの時間（又は再生工程が開始された時点から当該再生工程終了後吸着工程が開始されるまでの時間）を意味する。
【０００９】かかる減量運転方法にあっては、前記サイクルタイムの通常運転時に対する増加率が製品ガス製造量の通常運転時に対する減少率に反比例するように、待機工程タイムを設定することが好ましい。すなわち、待機工程タイムは、製品ガスの製造量が通常運転時の（１／Ｘ）倍となった場合に前記サイクルタイムが通常運転時のＸ倍又は略Ｘ倍となるように、設定される（Ｘは１以上の任意の数値である）。また、一方の吸着塔が吸着工程の開始から待機工程の終了に至る間においては、他方の吸着塔が通常運転時と同一の再生ガス供給による再生工程を行なった後、再生ガス供給を停止した状態で当該吸着塔を大気に開放する減圧再生工程を行なうようにすることが好ましい。また、本発明の減量運転方法は、ＰＳＡ装置が吸着剤として分子篩活性炭を使用した窒素ガス製造装置である場合に、特に好適する。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図１〜図５に基づいて具体的に説明する。
【００１１】図1〜図４に示すＰＳＡ装置は窒素ガス製造装置であり、一対の吸着塔１ａ，１ｂと、原料空気Ａを吸着塔１ａ，１ｂに供給する原料空気供給手段２と、吸着塔１ａ，１ｂで得られた製品ガス（窒素）Ｂをガス使用部３に供給する製品ガス供給手段４と、再生ガス（窒素）Ｃを吸着塔１ａ，１ｂに供給する再生ガス供給手段５と、再生ガスＣを吸着塔１ａ，１ｂから大気中に放出するための再生ガスパージ手段６と、吸着塔１ａ，１ｂの圧力を均等に調整する均圧手段（均圧路７，８及び均圧弁７１，８１）とを具備するものである。
【００１２】各吸着塔１ａ，１ｂは、空気中の酸素成分を優先して吸着する吸着剤である分子篩活性炭９を充填したものであり、その下部から導入された原料空気Ａを吸着処理して、その上部から製品ガスたる窒素ガスＢを導出させるようになっている。
【００１３】原料空気供給手段２は、空気圧縮機２０と、空気圧縮機２０から導かれた原料空気供給管路２１と、原料空気供給管路２１の下流端から分岐されて、一方の吸着塔（以下「第１吸着塔」という）１ａの下部に接続された第１管路２２及び他方の吸着塔（以下「第２吸着塔」という）１ｂの下部に接続された第２管路２３と、第１及び第２開閉弁２６，２７とを具備してなる。空気圧縮機２０としては、エアドライヤー内蔵型のもの（圧力：０．６９ＭＰａ）が使用されている。原料空気供給管路２１にはミストセパレータ２４及び流量計２５が配設されている。第１及び第２管路２２，２３には第１及び第２開閉弁２６，２７が設けられている。而して、原料空気供給手段２によれば、第１又は第２開閉弁２６，２７を開操作することにより、空気圧縮機２０により圧縮，除湿され且つミストセパレータ２４により清浄化（ダスト及び油分の除去）された原料空気Ａが第１又は第２吸着塔１ａ，１ｂに供給されるようになっている。
【００１４】製品ガス供給手段４は、下流端がバッファタンク４０、流量計４１及び流量制御弁（自動弁）４２を経てガス使用部３に導かれた製品ガス供給管路４３と、製品ガス供給管路４３の上流端から分岐されて、第１吸着塔１ａの上部に接続された第３管路４４及び第２吸着塔１ｂの上部に接続された第４管路４５と、第３及び第４管路４４，４５に設けられて、吸着塔１ａ，１ｂ方向への逆流を阻止する第１及び第２逆止弁４６，４７とを具備してなる。而して、製品ガス供給手段４によれば、第１又は第２吸着塔１ａ，１ｂから排出された製品ガスＡが、第３又は第４管路４４，４５を経て製品ガス供給管路４３からバッファタンク４０に供給されるようになっている。
【００１５】再生ガス供給手段５は、上流端を製品ガス供給管路４３におけるバッファタンク４０の上流側部位に接続した再生ガス供給管路５１と、再生ガス供給管路５１の下流端から分岐されて、第１吸着塔１ａの上部に接続された第５管路５２及び第２吸着塔１ｂの上部に接続された第６管路５３と、第３及び第４逆止弁５４，５５と、第３開閉弁５８とを具備してなる。第５及び第６管路５２，５３の下流側部分（吸着塔１ａ，１ｂに接続されている部分）は、製品ガス供給手段４の第３及び第４管路４４，４５の上流側部分（第１及び第２逆止弁４６，４７より吸着塔１ａ，１ｂ側の部分）によって兼用構成されている。第５及び第６管路５２，５３の上流側部分（再生ガス供給管路４３に接続されている部分であって、第３及び第４管路４４，４５によって兼用構成されていない部分）には、再生ガス供給管路４３方向への逆流を阻止する第３及び第４逆止弁５４，５５が設けられている。再生ガス供給管路５１には、流量計５６、流量制御弁（ニードル弁）５７及び第３開閉弁５８が設けられている。而して、再生ガス供給手段５によれば、第３開閉弁５８を開操作することにより、製品ガス供給管路４３からバッファタンク４０に供給される製品ガスＢの一部（窒素ガス）が、再生ガスＣとして、再生ガス供給管路５１から第５又は第６管路５２，５３を経て第１又は第２吸着塔１ａ，１ｂに供給されるようになっている。
【００１６】再生ガスパージ手段６は、第１吸着塔１ａの下部に接続された第７管路６１と、第２吸着塔１ｂの下部に接続された第８管路６２と、第７及び第８管路６１，６２の下流端に合流接続された大気開放の放出管路６３と、第４及び第５開閉弁６４，６５とを具備してなる。第７及び第８管路６１，６２の上流側部分（吸着塔１ａ，１ｂに接続されている部分）は、原料空気供給手段２の第１及び第２管路２２，２３の下流側部分（第１及び第２開閉弁２６，２７より吸着塔１ａ，１ｂ側の部分）によって兼用構成されている。第７及び第８管路６１，６２の下流側部分（放出管路６３に接続されている部分であって、第１及び第２管路２２，２３によって兼用構成されていない部分）には、第４及び第５開閉弁６４，６５が設けられている。而して、再生ガスパージ手段６によれば、第４又は第５開閉弁６４，６５を開操作することにより、第１又は第２吸着塔１ａ，１ｂに供給された再生ガスＣが第７又は第８管路６１，６２を経て放出管路６３から大気中に放出されるようになっている。
【００１７】均圧手段は、両吸着塔１ａ，１ｂの上部間及び下部間を接続する第１及び第２均圧路７，８と、これらに設けられた均圧弁たる第６及び第７開閉弁７１，８１とを具備してなる。第１及び第２均圧路７，８の吸着塔側部分は、前記第３及び第４管路４４，４５（又は第５及び第６管路５２，５３）の吸着塔側部分及び前記第１及び第２管路２２，２３（又は第７及び第８管路６１，６２）の吸着塔側部分で兼用構成されている。而して、均圧手段によれば、第６及び第７開閉弁７１，８１を開操作することにより、両吸着塔１ａ，１ｂを連通して均等圧となしうるようになっている。
【００１８】而して、通常運転時にあっては、図５（Ａ）に示す如く、各吸着塔１ａ，１ｂが一定のサイクルタイムＴ0で切り替えられて、吸着工程、均圧工程及び再生工程が順次連続して行なわれる。
【００１９】まず、一方の吸着塔、例えば第１吸着塔１ａが吸着工程を開始すると共に他方の吸着塔である第２吸着塔１ｂが再生工程を開始し、かかる工程が一定時間（吸着工程タイムｔ）継続される。すなわち、図１に示す如く、第１、第３及び第５開閉弁２６，５８，６５が開とされ、他の開閉弁２７，６４，７１，８１が閉とされて、原料空気Ａが原料空気供給管路２１及び第１管路２２から第１吸着塔１ａに供給される。第１吸着塔１ａに供給された原料空気Ａは、当該吸着塔１ａに充填された吸着剤（分子篩活性炭）９により酸素成分を吸着除去されて、製品ガス（窒素）Ｂとして当該吸着塔１ａの上部から導出され、第３管路４４及び製品ガス供給管路４３からバッファタンク４０に供給される。かかる吸着工程が行なわれる時間（吸着工程タイム）ｔは、冒頭で述べた吸着剤９の吸着特性が最大限有効に発揮されることを条件として設定される。一方、第２吸着塔１ｂには、第１吸着塔１ｂで製造された窒素ガスＢの一部が、再生ガスＣとして再生ガス供給管路５１及び第６管路５３から供給されると共に、第２吸着塔１ｂは第５管路６２及び放出管路６３を介して大気に開放されて、第２吸着塔１ｂに充填された吸着剤９の再生が行なわれる。なお、図１〜図４においては、便宜上、閉状態にある開閉弁を黒塗して、開状態にある開閉弁と区別している。
【００２０】そして、第１吸着塔１ａによる吸着工程が終了すると、図３に示す如く、開状態にある開閉弁２６，５８，６５を閉状態に切り替えて、第１吸着塔１ａへの原料空気Ａの供給及び第２吸着塔１ｂへの再生ガスＣの供給を停止すると共に、第６及び第７開閉弁７１，８１を開操作して、両吸着塔１ａ，１ｂを均圧工程に移行させる。すなわち、高圧状態にある第１吸着塔１ａと低圧状態にある第２吸着塔１ｂとを均圧路７，８を介して連通させて、両吸着塔１ａ，１ｂの圧力を均等化させる。このとき、第１吸着塔１ａの上部に残留する濃縮窒素は第１均圧路７から第２吸着塔１ｂに流入して、第２吸着塔１ｂの吸着工程への移行を円滑ならしめる。
【００２１】そして、均圧工程が終了すると、図４に示す如く、均圧路７１，８１が遮断されると共に第２〜第４開閉弁２７，５８，６５が開とされて、第１吸着塔１ａが再生工程に且つ第２吸着塔１ｂが吸着工程に切り替えられて、上記と同様の吸着工程及び再生工程が行なわれる。爾後、かかる吸着塔１ａ，１ｂの切り替えが一定のサイクルタイムＴ0で繰り返し行なわれて、製品ガスＢの製造が連続して行なわれる。
【００２２】而して、ガス使用部３におけるガス使用量が通常運転時より減少すると、ＰＳＡ装置は、本発明に従って次のように減量運転される。
【００２３】減量運転にあっては、図５（Ｂ）に示す如く、吸着工程から均圧工程及び再生工程への移行が待機工程を介して行なわれ、吸着工程タイムｔは通常運転時と同一であるが、吸着塔１ａ，１ｂの切り替え時間つまりサイクルタイムＴ1が通常運転時のサイクルタイムＴ0より減量程度に応じて延長される。
【００２４】すなわち、一方の吸着塔、例えば第１吸着塔１ａは、図１に示す吸着工程を通常運転時と同一時間ｔ行なった後において、図２に示す如く、第１開閉弁２６が閉状態に切り替えられて、第１吸着塔１ａへの原料空気Ａの供給及び当該吸着塔１ａによる製品ガスＢの製造が停止された待機工程に移行する。待機工程を行なう時間（待機工程タイム）ｗは、待機工程を含めたサイクルタイムＴ1の通常運転サイクルタイムＴ0に対する増加率が製品ガス製造量の通常運転時に対する減少率に略反比例するように、つまり製品ガス製造量が通常運転時の（１／Ｘ）倍となった場合にサイクルタイムＴ1が通常運転サイクルタイムＴ0のＸ倍（又は略Ｘ倍）となるように、設定される。
【００２５】そして、このように設定された待機工程タイムｗが経過すると、第１吸着塔１ａは待機工程を終了して、通常運転時と同様に、図３に示す均圧工程に移行し、更に図４に示す再生工程に移行する。
【００２６】このように、減量運転においては、減量程度に応じて製品ガスＢの製造が所定時間（待機工程タイム）ｗ停止されることから、原料空気Ａの消費量に対する製品ガスの製造量の割合である製造収率が通常運転時と同等若しくはそれ以上となる。換言すれば、原料空気Ａの消費量が、待機工程を設けない場合に比して、大幅に低減されることになる。したがって、空気圧縮機２０の負荷が軽減され、省エネルギ化及びランニングコストの低減が図られる。
【００２７】一方、他方の吸着塔である第２吸着塔１ｂにおいては、第１吸着塔１ａが吸着工程の開始から待機工程の終了に至る間においては、まず、図１に示す如く、通常運転時と同様に再生ガスＣの供給による再生工程が行なわれ、その後、図２に示す如く、第３開閉弁５８が閉状態に切り替えられて、第２吸着塔１ｂへの再生ガスＣの供給が停止された状態で当該吸着塔１ｂを大気に開放する減圧再生工程に移行する。すなわち、減圧再生工程においては、第２吸着塔１ｂの下部が第８管路６２及び放出管路６３を介して大気中に開放されるが、再生ガスＣの供給を行なわずとも、かかる大気への開放のみによっても当該吸着塔１ｂの吸着剤９の再生処理が進行する。したがって、通常の再生工程に加えて減圧再生工程を行なうことにより、吸着剤の再生程度が通常運転時よりも高くなり、爾後の吸着処理をより効果的に行なうことができ、製造収率の更なる向上が図られる。特に、吸着剤９が吸着速度及び脱着速度（再生速度）の遅いものである場合においては、かかる減圧再生工程の付加による効果は顕著である。なお、再生ガスＣの供給による再生工程は、通常、通常運転時と同一時間（吸着工程タイムｔ）行なわれ、再生工程から減圧再生工程への移行時期を吸着工程から待機工程への移行時期に一致させておくが、吸着剤９の性状等の吸着条件によっては、これらの移行時期を齟齬させておくこと（例えば、再生工程から減圧再生工程への移行時期を吸着工程から待機工程への移行時期より早くしておくこと）も可能である。
【００２８】そして、また、第１吸着塔１ａが待機工程から均圧工程に移行すると、第２吸着塔１ｂも減圧再生工程から均圧工程に移行して、爾後、吸着塔１ａ，１ｂは上記した延長サイクルタイムＴ1で切り替えられて上記各工程を行なうが、サイクルタイムＴ1つまり待機工程タイムｗは減量程度に応じて増減される。
【００２９】なお、本発明は上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の基本原理を逸脱しない範囲において、適宜に改良，変更することができる。例えば、上記した実施の形態では、再生ガス供給管路５１を製品ガス供給管路４３におけるバッファタンク４０の上流側に接続して、バッファタンク４０に向かう製品ガスＢの一部を再生ガスＣとして使用するようにしたが、製品ガスＢの一部を再生ガスＣとして使用する場合における再生ガス供給管路５１の接続個所（再生ガスＣの採取個所）や再生ガスＣの供給源の選定は、ＰＳＡ装置の構成や使用条件に応じて任意である。また、上記した実施の形態にあっては、本発明を吸着剤９として分子篩活性炭を使用する窒素ガス製造用のＰＳＡ装置に適用したが、本発明は、吸着剤として窒素成分を優先的に吸着するゼオライト等を使用した酸素ガス製造用のＰＳＡ装置に対しても適用することができる。
【００３０】
【実施例】実施例として、上記したＰＳＡ装置を使用して、サイクルタイムを９６秒として通常運転を行う共に、サイクルタイムを１４６秒（待機工程タイムｗ：５０秒）及び２９６秒（待機工程タイムｗ：２００秒）とした２種類の減量運転Ａ，Ｂ（何れも、吸着工程タイムｔは通常運転と同一）を行い、夫々の場合における減量空気消費量及び窒素製造量から製造収率を求めた。その結果は、表１に示す通りであった。
【００３１】また、比較例として、待機工程を設けない点（待機工程タイム：ｗ＝０）を除いて、実施例と同一の条件で、通常運転及び減量運転ａ，ｂを行い、夫々の場合における減量空気消費量及び窒素製造量から製造収率を求めた。その結果は、表２に示す通りであった。なお、何れの場合も、吸着工程タイムｔ及びサイクルタイムは実施例の通常運転と同一である。また、減量運転ａにおける窒素製造量は減量運転Ａと同一であり、減量運転ｂにおける窒素製造量は減量運転Ｂと同一である。
【００３２】而して、実施例については、表１に示す如く、通常運転においては製造収率が０．３３９であった。そして、サイクルタイムを１４６秒に延長した減量運転Ａでは、製造収率が０．３６２であり、通常運転時の製造収率を上回った。更に、サイクルタイムを２９６秒に延長した減量運転Ｂでは、製造収率が０．４１１であり、通常運転時の製造収率を大幅に上回った。
【００３３】これに対して、比較例については、表２に示す如く、通常運転においては製造収率が当然のことながら実施例の通常運転時と同一（製造収率：０．３３９）であったが、減量運転ａでは、製造収率が０．２７０であり、通常運転時の製造収率を下回った。更に、減量運転ｂでは、製造収率が０．１８３であり、通常運転時の製造収率を大幅に下回った。
【００３４】これらのことから、比較例のようにサイクルタイムを同一とする冒頭の一般的な減量運転方法では、製造収率が通常運転時より下回り、減量程度が高くなるに従って製造収率が更に低下するが、実施例のように、本発明の減量運転方法によれば、製造収率が通常運転時より低下することがなく、通常運転時と同等若しくはそれ以上の製造収率を確保することができ、一般的な減量運転方法とは逆に減量程度が高くなるに従って製造収率が高くなることが理解される。
【００３５】
【表１】
【００３６】
【表２】
【００３７】
【発明の効果】以上の説明から理解されるように、本発明の減量運転方法によれば、通常運転時と同等又はそれ以上の製造収率（原料空気の消費量に対する製品ガスの製造量の割合）を確保することができ、原料空気の消費量を可及的に低減し得て、ＰＳＡ装置の省エネルギ化及びランニングコストの低減を図ることができる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００２０８１６７
【氏名又は名称】大陽東洋酸素株式会社
【住所又は居所】大阪府大阪市西区靱本町２丁目４番１１号
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| 【出願日】 |
平成１４年２月５日（２００２．２．５） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１０００８２４７４
【弁理士】
【氏名又は名称】杉本 丈夫
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| 【公開番号】 |
特開２００３−２２５５２６（Ｐ２００３−２２５５２６Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１５年８月１２日（２００３．８．１２） |
| 【出願番号】 |
特願２００２−２７６６２（Ｐ２００２−２７６６２） |
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