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【発明の名称】 真空マイクロ波解凍機
【発明者】 【氏名】米倉 正治
【住所又は居所】愛知県瀬戸市穴田町９９１番地 株式会社東芝愛知工場内

【氏名】湧野 孝
【住所又は居所】愛知県瀬戸市穴田町９９１番地 株式会社東芝愛知工場内

【氏名】狩野 久雄
【住所又は居所】東京都港区芝浦一丁目１番１号 東芝ライフ・エンジニアリング株式会社内
【要約】 【課題】主として、チャンバ内の放電を検知する放電センサに、チャンバ内の減圧による悪影響が及ばず、チャンバ内に照射されたマイクロ波による悪影響が及ぶこともないようにする。

【解決手段】チャンバ８内領域と放電センサ２４側領域との間に放電光を透過する圧力隔壁３７を設け、この圧力隔壁３７の周囲部に弾性体３８を装着してチャンバ８内領域と放電センサ２４側領域とを気密に隔てた。又、圧力隔壁３７とチャンバ８内との間には、マイクロ波を遮断するカバー４０を設けた。
【特許請求の範囲】
【請求項１】 被解凍物を収容するチャンバと、このチャンバ内を減圧する減圧手段と、前記チャンバ内を復圧する復圧手段と、前記チャンバ内に照射するマイクロ波を発生するマイクロ波発生器と、前記チャンバ内における放電を検知する放電センサとを具備し、前記チャンバ内を減圧する行程とそのチャンバ内を復圧する行程とを交互に実行しつつ、チャンバ内にマイクロ波を照射して前記被解凍物の解凍を行うものにおいて、前記チャンバ内領域と前記放電センサ側領域との間に放電光を透過する圧力隔壁を設け、この圧力隔壁の周囲部に弾性体を装着して前記チャンバ内領域と前記放電センサ側領域とを気密に隔て、圧力隔壁とチャンバ内との間にマイクロ波を遮断するカバーを設けたことを特徴とする真空マイクロ波解凍機。
【請求項２】 放電センサの近傍に、該放電センサの作動を確認するための光源を具えたことを特徴とする請求項１記載の真空マイクロ波解凍機。
【請求項３】 放電センサと、これの作動を確認するための光源とを、同一の回路基板に実装したことを特徴とする請求項２記載の真空マイクロ波解凍機。
【請求項４】 放電センサの作動を確認するための光源が、チャンバ内を照明する庫内灯を兼ねることを特徴とする請求項２記載の真空マイクロ波解凍機。
【請求項５】 放電センサを導電性部材で覆ったことを特徴とする請求項１記載の真空マイクロ波解凍機。
【請求項６】 放電センサがケースで覆われ、このケースが通気孔を有することを特徴とする請求項１記載の真空マイクロ波解凍機。
【請求項７】 放電センサがケースで覆われ、このケースが圧力隔壁を固定するのを兼ねて取付けられていることを特徴とする請求項１記載の真空マイクロ波解凍機。
【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、減圧状態でマイクロ波を照射することにより冷凍食品等の被解凍物の解凍を行う真空マイクロ波解凍機に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、真空マイクロ波解凍機においては、被解凍物を収容するチャンバが具えられると共に、そのチャンバ内を減圧する真空ポンプと、チャンバ内を復圧する復圧弁、及びチャンバ内に照射するマイクロ波を発生するマイクロ波発生器が具えられ、これらによって、チャンバ内を減圧する行程とチャンバ内を復圧する行程とを交互に実行しつつ、チャンバ内にマイクロ波を照射することにより、被解凍物の解凍が行われるようになっている。
【０００３】このように被解凍物の解凍を行う真空マイクロ波解凍機の長所は、減圧によって被解凍物の表面部分の昇華（固体から気体へ）が促進されることにより、該被解凍物の表面部分の水分（液体）にマイクロ波が及ぶことによる昇温が抑えられ、もって被解凍物の表面部分が昇温し過ぎることなく内部と均一に解凍できる点にある。
【０００４】しかしながら、このものの場合、減圧状態でマイクロ波が照射されることにより、チャンバ内で放電が発生しやすい。この放電は、被解凍物に発生するものと、チャンバに発生するものとがある。そのうち、特にチャンバに発生した放電は、チャンバに損傷を与えるおそれがある。このため、従来の真空マイクロ波解凍機においては、放電センサが具えられ、これによってチャンバ内での放電の発生が検知されたときに、マイクロ波の照射を停止し、もしくは解凍運転を全面的に停止するようにしたものが供されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述のように放電センサが具えられた真空マイクロ波解凍機においては、チャンバ内を減圧したとき、それ（負圧）による悪影響が放電センサに及ぶことが考えられる。又、放電センサには、チャンバ内に照射されたマイクロ波による悪影響が及ぶことも考えられる。
【０００６】本発明は上述の事情に鑑みてなされたものであり、従ってその目的は、主として、チャンバ内の放電を検知する放電センサに、チャンバ内の減圧による悪影響が及ばず、チャンバ内に照射されたマイクロ波による悪影響が及ぶこともない真空マイクロ波解凍機を提供するにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために、本発明の真空マイクロ波解凍機は、被解凍物を収容するチャンバと、このチャンバ内を減圧する減圧手段と、前記チャンバ内を復圧する復圧手段と、前記チャンバ内に照射するマイクロ波を発生するマイクロ波発生器と、前記チャンバ内における放電を検知する放電センサとを具備し、前記チャンバ内を減圧する行程とそのチャンバ内を復圧する行程とを交互に実行しつつ、チャンバ内にマイクロ波を照射して前記被解凍物の解凍を行うものにおいて、前記チャンバ内領域と前記放電センサ側領域との間に放電光を透過する圧力隔壁を設け、この圧力隔壁の周囲部に弾性体を装着して前記チャンバ内領域と前記放電センサ側領域とを気密に隔て、圧力隔壁とチャンバ内との間にマイクロ波を遮断するカバーを設けたことを特徴とする（請求項１の発明）。
【０００８】このものによれば、チャンバ内領域と放電センサ側領域とが放電光を透過する圧力隔壁にて隔絶され、しかも、その圧力隔壁の周囲部に装着した弾性体にてチャンバ内領域と放電センサ側領域とが気密に隔てられることにより、チャンバ内の放電を検知する放電センサに、チャンバ内の減圧の悪影響が及ぶことが避けられる。又、圧力隔壁とチャンバ内との間に設けたカバーによりマイクロ波が遮断されることにより、チャンバ内に照射されたマイクロ波による悪影響が放電センサに及ぶことも避けられる。
【０００９】この場合、放電センサの近傍に、該放電センサの作動を確認するための光源を具えると良い（請求項２の発明）。このものでは、放電センサの作動の確認が、放電センサの近傍に設けた光源ででき、もってチャンバ内に発生した放電の検知がより確実にできる。
【００１０】又、放電センサの作動を確認するための光源と放電センサは、同一の回路基板に実装すると良い（請求項３の発明）。このものでは、放電センサと、これの作動を確認するための光源とをコンパクトに組み合わせることができる。
【００１１】更に、放電センサの作動を確認するための光源は、チャンバ内を照明する庫内灯を兼ねるようにすると良い（請求項４の発明）◎このものでは、チャンバ内を照明する庫内灯を兼ねる光源で放電センサの作動の確認ができる。
【００１２】このほか、放電センサは導電性部材で覆うと良い（請求項５の発明）。このものでは、導電性部材がノイズを遮断することにより、放電センサをノイズから保護できる。又、放電センサがケースで覆われ、このケースが通気孔を有するのも良い（請求項６の発明）。このものでは、放電センサの保護がケースででき、しかも、放電センサの冷却がケースに形成した通気孔でできる。
【００１３】更に、放電センサがケースで覆われ、このケースが圧力隔壁を固定するのを兼ねて取付けられているのも良い（請求項７の発明）。このものでは、放電センサを覆うケースの取付けで、圧力隔壁の固定が同時にできる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例につき、図面を参照して説明する。まず、図５には、真空マイクロ波解凍機の全体を正面形で示しており、下部に機械収納部１を有するキャビネット２の前面上部に、把手３を有するドア４を設け、その上方部に操作部５と表示部６とを設けている。このうち、操作部５は、使用者が真空マイクロ波解凍機の運転に係る各種の操作をするためのもので、多数の操作キー５ａを有している。
【００１５】表示部６は、真空マイクロ波解凍機の運転に係る各種の表示をするもので、この場合、デジタル表示をする表示器６ａと、各種の表示ランプ６ｂとを有している。又、キャビネット２の底部の外下面には複数個のキャスタ７を設けている。
【００１６】次いで、図６には、上記キャビネット２の内部の上部に配設したチャンバ８を示しており、これは金属製の耐圧容器から成っていて、その内壁はマイクロ波を反射し得る構造となっている。又、このチャンバ８は前面部が開放し、その開放口を上記ドア４が開閉するようになっている。なお、ドア４は、詳しくは図示しないが、裏面の周縁部にパッキンを有しており、閉鎖状態では、このパッキンをチャンバ８の上記開放口の周縁部に圧接させて該開放口を気密に封鎖するようになっている。
【００１７】チャンバ８の内底部には、ターンテーブル９を設けている。このターンテーブル９は、支軸１０の上端部に着脱可能に取付けており、支軸１０はチャンバ８の底壁を上下に貫通して軸受１１により回転可能に支承され、下端部を減速機付きのモータ１２の出力軸１２ａに接続している。従って、ターンテーブル９は、モータ１２により、支軸１０を介して回転駆動される。
【００１８】一方、チャンバ８の上方部には、真空圧力センサ１３と、大気開放弁１４、並びに調圧弁１５を設けている。これらは、いずれもチャンバ８内に連通しており、その構造で、真空圧力センサ１３はチャンバ８内の真空圧力を検知する圧力検知手段として機能し、大気開放弁１４はチャンバ８内を大気に開放させる大気開放手段、調圧弁１５はチャンバ８内の真空圧力を調整、特には後述のごとく減圧した該チャンバ８内を復圧させる復圧手段としてそれぞれ機能するようになっている。
【００１９】そして、チャンバ８の背部には、マイクロ波を発生するマイクロ波発生器たるマグネトロン１６と、このマグネトロン１６が発生したマイクロ波をチャンバ８内に導く導波管１７とを配設しており、これらによって、チャンバ８内にマイクロ波が照射されるようになっている。
【００２０】更に、チャンバ８の背部には、下部に、真空ポンプ１８を、逆止弁１９ａを有する減圧管路１９を介して接続している。この真空ポンプ１８はチャンバ８内を減圧する減圧手段として機能するもので、モータ２０により駆動されるようになっている。なお、この真空ポンプ１８とこれの駆動用モータ２０、及び前記ターンテーブル９駆動用のモータ１２等を、前記機械収納部１に収納している。
【００２１】チャンバ８の背部の上部には、放電センサユニット２１を設けている。図１及び図２は、この放電センサユニット２１の構成を示しており、これらの図から明らかなように、放電センサユニット２１はケース２２を外殻としている。このケース２２はアルミニウムや鉄等の導電性材料から成っており、導電性部材である。又、このケース２２は、この場合、前面部が開放した直方体状を成しており、そのほかの面部、この場合、対向する上面部と下面部とにそれぞれ通気孔２３を複数ずつ有している。
【００２２】なお、通気孔２３をケース２２の上面部と下面部とに形成したのは、空気の対流でケース２２内の冷却が自然に効率良く行われるように考慮してのことであり、それに代わって図示しないファンによる送風によりケース２２内の冷却が行われるようにするならば、通気孔２３はケース２２の他の対向する面部、すなわち、左側面部と右側面部とにそれぞれ形成するようにしても良い。
【００２３】ケース２２内には、放電センサ２４と、トランス２５、及びランプ２６等を実装した１枚の回路基板２７を、それらの実装部品がケース２２の上記前面部の開放口側を指向する向きに収納して、複数のスペーサ２８を介し、同じく複数のねじ２９によって取付けている（図２では省略）。このうち、放電センサ２４は、チャンバ８内の放電を検知する放電検知手段たるものであり、この場合、放電光でもって放電を検知する光センサ、特には放電光の検知がより確実にできる紫外線センサから成っている。ランプ２６は、該放電センサ２４の作動を確認するための光源として、放電センサ２４の近傍に位置している。
【００２４】スペーサ２８は、プラスチック等の非磁性体から成っており、その長さで、回路基板２７の実装部品のリードの先端がケース２２に接触するのを防ぐ絶縁距離を確保するようになっている。しかして、ケース２２の前面部の周縁部（四辺部）には、フランジ２２ａを折曲形成しており、このフランジ２２ａにはそれぞれ取付孔３０を複数ずつ形成している。
【００２５】さて、以上の放電センサユニット２１に対して、チャンバ８の後壁の上部には、開口３１を形成している。この開口３１は、上記放電センサユニット２１のケース２２の前面部の開放口より小さなもので、この場合、円形を成しており、その周囲部には複数の取付孔３２を形成している。又、同じく開口３１の周囲部に位置して、チャンバ８の背面には、取付板３３を例えば溶接３４により取付けている。
【００２６】取付板３３は矩形の枠状を成しており、且つ、その各辺部の断面形は凹状を成していて、更に、その前側部３３ａを後側部３３ｂより厚く形成し、そのうちの前側部３３ａに、マイクロ波の漏れを防止するための有底の取付孔３５を、上記チャンバ８後壁の取付孔３２と同数、同位置に形成している。又、後側部３３ｂには、前後に貫通する取付孔３６を、前記放電センサユニット２１のケース２２の取付孔３０と同数、同位置に形成している。
【００２７】取付板３３の枠内には、圧力隔壁３７を装填している。この圧力隔壁３７は、チャンバ８内の後述する真空圧力に耐え得る大きな機械的強度を有し、且つ、放電光を透過すべく光透過性の良い無機質材料、例えば耐熱ガラスや、石英ガラス、ほう酸ガラス等から成っており、前記放電センサユニット２１のケース２２の前面部の開放口及びチャンバ８の開口３１よりやゝ大きな矩形を成している。
【００２８】そして又、この圧力隔壁３７の周囲部には、弾性体３８を装着している。この弾性体３８は、例えばシリコンゴムや、テフロン（登録商標）ゴム等の、絶縁性を有すると共に、柔軟性が高くて密着性の良い材質により形成したもので、上記取付板３３より一回り小さな矩形の枠状を成しており、その各辺部の断面形は取付板３３と対称的な凹状を成している。この構造で、弾性体３８を、圧力隔壁３７の周囲部の上下面と前面及び背面に確実に密着させており、前記取付板３３の枠内には、圧力隔壁３７をこの弾性体３８と共に装填している。
【００２９】ここで、図３は、圧力隔壁３７及び弾性体３８と、取付板３３との寸法関係を示している。この図で明らかなように、圧力隔壁３７の前後寸法（板厚）Ａは取付板３３の前後寸法Ｃより小さく、弾性体３８の前後寸法Ｂは取付板３３の前後寸法Ｃより大きい。この構成で、前記放電センサユニット２１のケース２２のフランジ２２ａを弾性体３８の背面に押し当て、前記取付孔３０から取付孔３６へそれぞれねじ３９を螺挿して締め付ける。
【００３０】すると、ケース２２が取付板３３に取付けられると共に、弾性体３８が、弾性体３８の前後寸法Ｂと取付板３３の前後寸法Ｃとの差ｄの分、圧縮されて圧力隔壁３７が挟圧固定され、かくして、チャンバ８内の領域と放電センサ２４側の領域であるケース２２内との間に圧力隔壁３７を位置させると共に、それらチャンバ８内の領域とケース２２内（放電センサ２４側の領域）とを弾性体３８により気密に隔てるようにしており、しかも、それを、ケース２２の取付けを圧力隔壁３７の固定を兼ねて行う構成で実現するようにしている。
【００３１】一方、チャンバ８内には、前記開口３１を覆うカバー４０を取付けている。このカバー４０は、例えば円形にて、周囲部を除くほゞ全域に小孔４１をパンチングにより多数形成しており、この小孔４１の径はマイクロ波を遮断する大きさとしている。又、このカバー４０周囲部には、取付孔４２を、前記チャンバ８後壁の取付孔３２と同数、同位置に形成しており、この構造で、カバー４０をチャンバ８内後面の開口３１周囲に当て、取付孔４２から前記取付孔３２，３５へそれぞれねじ４３を螺挿して締め付けることにより、該カバー４０をチャンバ８に取付け、前記圧力隔壁３７とチャンバ８内との間に設けている。
【００３２】なお、図４はチャンバ８を正面より見て表しており、この図から明らかなように、チャンバ８の後壁には、前記導波管１７が中央部でマイクロ波を通す第２の圧力隔壁４４を介して臨むのに対し、上述のカバー４０が左上の隅部に位置し、そして、前記減圧管路１９がマイクロ波を遮断する第２のカバー４５を介して臨んでいる。
【００３３】図７には、真空マイクロ波解凍機の運転全般を制御する制御手段たる制御装置４６を示している。この制御装置４６は、マイクロコンピュータ等により構成したもので、前記操作部５から操作入力回路４７を介して操作信号が入力されると共に、放電センサ２４から検知入力回路４８を介して放電検知信号が入力され、更に、真空圧力センサ１３から検知入力回路４９を介して圧力検知信号が入力されると共に、前記ドア４の開閉を検知するように設けたドア開閉センサ５０（詳しくは図示せず）から検知入力回路５１を介して開閉検知信号が入力されるようになっている。
【００３４】そして、制御装置４６は、それらの入力とＲＯＭ４６ａにあらかじめ記憶した制御プログラムに基づいて、前記表示部６の作動を表示制御回路５２を介して制御すると共に、前記ランプ２６の作動を点灯制御回路５３を介して制御し、更に、前記ターンテーブル駆動用のモータ１２を駆動制御回路５４を介して制御すると共に、前記真空ポンプ駆動用モータ２０を駆動制御回路５５を介して制御し、前記マグネトロン１６を駆動制御回路５６を介して制御し、そして、大気開放弁１４を開閉制御回路５７を介して制御し、調圧弁１５を開閉制御回路５８を介して制御するようになっている。
【００３５】次に、上記構成のものの作用を述べる。上記構成のもので、被解凍物を解凍するには、まず、ドア４を開ける。すると、ドア開閉センサ５０がそれを検知してドア開検知信号を出力するので、制御装置４６は、それに基づき、ランプ２６を点灯させる。同時に、制御装置４６は、そのランプ２６の光を放電センサ２４が検知したか否かの判断をし、これによって、放電センサ２４の作動の確認（チェック）をする。この場合、ランプ２６の光を放電センサ２４が検知したと判断されたときに、放電センサ２４は正常に作動すると判定される。
【００３６】又、この場合、ランプ２６の光は、圧力隔壁３７を透過し、更に、チャンバ８の開口３１からカバー４０の小孔４１を通ってチャンバ８内に達することにより、該チャンバ８内を照明するものであり、かくしてランプ２６はチャンバ８内を照明する庫内等を兼ねるようになっている。そして、このチャンバ８内が照明された状態で、使用者は、チャンバ８内のターンテーブル９上に被解凍物を載置する。かくして、該被解凍物をチャンバ８が収容する状態として、その後にドア４を閉じる（これにより、ランプ２６は消灯する）。
【００３７】そして、操作部５を操作することにより、解凍運転を開始させる。すると、制御装置４６は、大気開放弁１４と調圧弁１５とを閉鎖させた状態で、真空ポンプ駆動用モータ２０を作動させることにより、真空ポンプ１８を駆動させ、これによって、真空ポンプ１８が減圧管路１９を介してチャンバ８内の空気を吸引し、該チャンバ８内の減圧をする。従って、チャンバ８内の気圧は、図８にＥで示すように、大気圧の約１０１〔ｋＰａ〕（参考値：７６０〔Ｔｏｒｒ〕）から減じられるもので、このチャンバ８内の気圧Ｅが減圧平衡域Ｆに達するまで、真空ポンプ１８を駆動させ続けて、減圧行程が実行される。この減圧行程により、被解凍物の予備解凍が行われる。
【００３８】なお、減圧平衡域とは、単位時間当たりの減圧量がきわめて小さくなる領域であり、この減圧平衡域における平衡圧力はチャンバ８内の飽和蒸気圧によって上下するが、この減圧平衡域に達したか否かの判断は、制御装置４６が真空圧力センサ１３からの圧力検知信号に基づき演算して行う。
【００３９】その後、制御装置４６は、真空ポンプ１８を停止させた状態で、調圧弁１５を所定の開度で開放させる。これにより、チャンバ８内の気圧は、図８にＧで示すように、減圧平衡域Ｆから上昇し復されるもので、このチャンバ８内の気圧Ｇが復圧上限値Ｈ｛例えば約６．７〔ｋＰａ〕（参考値：５０〔Ｔｏｒｒ〕）｝に達するまで、調圧弁１５を開放させ続けて、復圧行程が実行される。
【００４０】又、この復圧行程におけるチャンバ８内の気圧Ｇが一般的に真空放電を起こさない下限値Ｐ1 （例えば約１．３〔ｋＰａ〕（参考値：１０〔Ｔｏｒｒ〕）を越えた後のＩ点からは、マグネトロン１６からチャンバ８内へのマイクロ波の照射を開始する。上記復圧上限値Ｈに達したか否かの判断も、制御装置４６が真空圧力センサ１３からの圧力検知信号に基づき演算して行う。
【００４１】この後、制御装置４６は、調圧弁１５を閉鎖させた状態で、再び真空ポンプ駆動用モータ２０を作動させることにより、真空ポンプ１８を駆動させて、減圧行程を実行する。そして、それにより、チャンバ８内の気圧Ｅ´が上述の一般的に真空放電を起こさない下限値Ｐ1 に達する手前のＪ点に達するまで、上記マグネトロン１６によるチャンバ８内へのマイクロ波の照射を継続することにより、被解凍物を加熱する。
【００４２】更にその後、制御装置４６は、チャンバ８内の気圧Ｅ´が減圧平衡域Ｆ´に達した後、上述同様の復圧行程、減圧行程を、上述同様のマイクロ波の照射を伴って繰り返し実行する。すると、被解凍物の温度が上昇するのに伴い、チャンバ８内の飽和蒸気圧が上昇するので、減圧平衡域Ｆ、Ｆ´…における減圧値は漸次上昇し、この減圧平衡域Ｆ、Ｆ´…の減圧値が所定の値に達したと判断されたときに、大気開放弁１４を開放させて解凍運転を終了する。
【００４３】このように、本構成のものでは、減圧状態で（チャンバ８内の気圧が復圧上限値Ｈ未満の状態にあるとき）マイクロ波を照射することにより被解凍物の解凍を行うもので、そして、その解凍中、チャンバ８内に放電が発生すれば、その放電光が、図１に示したカバー４０の小孔４１から、チャンバ８の開口３１、及び圧力隔壁３７を順に透過して、放電センサユニット２１中の放電センサ２４に達することにより、該放電センサ２４がチャンバ８内における放電を検知し、放電検知信号を出力する。よって、制御装置４６は、それに基づき、マイクロ波の照射を停止し、もしくは解凍運転を全面的に停止する。
【００４４】そして、このようにチャンバ８内における放電を検知する構造において、減圧されるチャンバ８内の領域と放電センサ２４側の領域との間には、上述の圧力隔壁３７を設け、更に、その圧力隔壁３７の周囲部に弾性体３８を装着して上記チャンバ８内領域と放電センサ２４５側領域とを気密に隔てている。
【００４５】従って、チャンバ８内領域と放電センサ２４側領域とは圧力隔壁３７により隔絶され、しかも、その圧力隔壁３７の周囲部に装着した弾性体３８にてチャンバ８内領域と放電センサ２４側領域とが気密に隔てられることにより、チャンバ８内の放電を検知する放電センサ２４に、チャンバ８内の減圧の悪影響が及ぶことのないようにできる。
【００４６】又、圧力隔壁３７とチャンバ８内との間にはマイクロ波を遮断するカバー４０を設けており、これによってマイクロ波が遮断されることにより、チャンバ８内に照射されたマイクロ波による悪影響が放電センサ２４に及ぶこともないようにできる。
【００４７】加えて、本構成のものの場合、放電センサ２４の近傍に、該放電センサ２４の作動を確認するための光源としてランプ２６を具えている。これにより、放電センサ２４の作動の確認が、放電センサ２４の近傍に設けたランプ２６ででき、もってチャンバ８内に発生した放電の検知がより確実にできる。又上述のランプ２６と放電センサ２４は、同一の回路基板２７に実装しており、これによって、それらランプ２６と放電センサ２４とをコンパクトに組み合わせることができる。
【００４８】更に、ランプ２６はチャンバ８内を照明する庫内灯を兼ねるようにもしており、その庫内灯を兼ねるランプ２６で放電センサ２４の作動の確認ができるので、放電センサ２４の作動確認専用の光源を必要としない。そのほか、放電センサ２４は導電性部材であるケース２２で覆っている。これにより、ケース２２がノイズを遮断するので、放電センサ２４をノイズから保護することができ、もってチャンバ８に発生した放電の検知がより確実にできる。
【００４９】又、放電センサ２４を覆ったケース２２には、通気孔２３を有している。これにより、放電センサ２４の保護がケース２２でできながら、放電センサ２４の冷却がケース２４に形成した通気孔２３でできる。更に、放電センサ２４を覆ったケース２２を、圧力隔壁２３を固定するのを兼ねてチャンバ８に取付けている。これにより、放電センサ２４を覆うケース２２の取付けで、圧力隔壁２３の固定が同時にでき、それらの組み立てが合理的にできる。
【００５０】なお、カバー４０はチャンバ８と一体に形成しても良い。又、ランプ２６の点灯による放電センサ２４の作動の確認は、ドア４開放時とは別に、例えば最初の減圧行程の初期等に行うようにしても良い。そのほか、本発明は上記し且つ図面に示した実施例にのみ限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して実施し得る。
【００５１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の真空マイクロ波解凍機によれば、主として、チャンバ内の放電を検知する放電センサに、チャンバ内の減圧による悪影響が及ばず、チャンバ内に照射されたマイクロ波による悪影響が及ぶこともないようにできる。
【出願人】 【識別番号】０００００３０７８
【氏名又は名称】株式会社東芝
【住所又は居所】東京都港区芝浦一丁目１番１号
【出願日】 平成１４年１月２５日（２００２．１．２５）
【代理人】 【識別番号】１０００７１１３５
【弁理士】
【氏名又は名称】佐藤 強
【公開番号】 特開２００３−２１９８５０（Ｐ２００３−２１９８５０Ａ）
【公開日】 平成１５年８月５日（２００３．８．５）
【出願番号】 特願２００２−１６８５６（Ｐ２００２−１６８５６）