| 【発明の名称】 |
電子線照射装置 |
| 【発明者】 |
【氏名】徳永 千恵子
【氏名】金子 七三雄
【氏名】白川 忠秀
【氏名】片岡 義経
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| 【要約】 |
【課題】エネルギー損失の少ない電子線照射装置を提供する。
【解決手段】金属よりも原子番号の小さい物質に電子線が照射されると、電子線との相互作用によるエネルギー損失が金属の場合と比べて低下し、熱やＸ線の発生が減少する。従って金属よりも原子番号の小さい物質からなる窓１０を電子線の出射口に用いることによりエネルギー損失の少ない電子線照射装置の提供を実現できる。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 電子銃からの電子を真空中で加速し、真空領域と大気圧領域とを仕切る窓を透過させて大気中の照射対象物に照射する電子線照射装置において、上記窓が金属よりも原子番号の小さい物質からなることを特徴とする電子線照射装置。
【請求項２】 上記窓の物質がセラミックスである請求項１に記載の電子線照射装置。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子線照射装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来の電子線照射装置の概念図である。
【０００３】電子線照射装置１は、電子銃２と、電子銃２から電子線３を真空中で加速する加速管４と、真空領域と大気圧領域とを仕切るとともに加速された電子線５を透過させ、透過した電子線６を照射対象物７に照射させるＴｉ薄膜からなる窓８とで構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、加速された電子線５が窓８に当たると、窓８に熱が発生すると共に窓８を構成する金属の原子軌道上の電子と干渉してＸ線を発生するので、電子線５のエネルギーに損失が生じてしまうという問題があった。
【０００５】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、エネルギー損失の少ない電子線照射装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために本発明の電子線照射装置は、電子銃からの電子を真空中で加速し、真空領域と大気圧領域とを仕切る窓を透過させて大気中の照射対象物に照射する電子線照射装置において、窓が金属よりも原子番号の小さい物質からなるものである。
【０００７】上記構成に加え本発明の電子線照射装置の窓の物質が熱に強いセラミックスであるのが好ましい。
【０００８】本発明によれば、金属よりも原子番号の小さい物質に電子線が照射されると、電子線との相互作用によるエネルギー損失が金属の場合と比べて低下し、熱やＸ線の発生が減少する。従って金属よりも原子番号の小さい物質からなる窓を電子線の出射口に用いることによりエネルギー損失の少ない電子線照射装置の提供を実現できる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて詳述する。
【００１０】図１は本発明の電子線照射装置の一実施の形態を示す概念図である。尚、図２に示した従来例と同様の部材には共通の符号を用いた。
【００１１】電子線照射装置９は、電子銃２と、電子銃２からの電子線３を真空中で加速する加速管４と、真空領域と大気圧領域とを仕切ると共に加速された電子線５を透過させ、透過した電子線６を照射対象物７に照射させるセラミックス、例えばＢＮ（窒化ボロン）からなる窓１０とで構成されている。
【００１２】窓１０の厚さは、真空領域と大気圧領域とを仕切ると共に加速された電子線５が透過できる厚さと強度を有するようになっている。窒化ボロンは熱に強く、Ｘ線の発生が少ない。
【００１３】このように構成したことで、金属よりも原子番号の小さい物質に電子線が照射されると、電子線との相互作用によるエネルギー損失が金属の場合と比べて低下し、熱やＸ線の発生が減少する。従ってエネルギー損失の少ない電子線照射装置の提供を実現できる。
【００１４】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のような優れた効果を発揮する。
【００１５】エネルギー損失の少ない電子線照射装置の提供を実現できる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００００００９９
【氏名又は名称】石川島播磨重工業株式会社
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| 【出願日】 |
平成１３年３月１５日（２００１．３．１５） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１０００６８０２１
【弁理士】
【氏名又は名称】絹谷 信雄
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| 【公開番号】 |
特開２００２−２７７６００（Ｐ２００２−２７７６００Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１４年９月２５日（２００２．９．２５） |
| 【出願番号】 |
特願２００１−７４１５８（Ｐ２００１−７４１５８） |
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