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【発明の名称】 Ｘ線検査装置における実効焦点寸法の決定方法
【発明者】 【氏名】山田 幸一

【氏名】谷垣 武重
【要約】 【課題】マイクロフォーカスＸ線管などを用いたＸ線検査装置において、その実効焦点寸法を、簡便かつ客観的に測定することができる実効焦点寸法の決定方法を提供すること。

【解決手段】まず、第１方向Ｘに沿って配置された第１線幅（Ｓ１ ）の第１パターン２０と、前記第１方向Ｘと直交する第２方向Ｙに沿って配置された第１線幅と異なる第２線幅（Ｓ２ ）の第２パターン２２とを少なくとも有する試料２ｂをＸ線検査装置にセットする。次に、Ｘ線像センサにおけるＸ線検査面での試料の拡大画像を検出し、拡大された第１パターンの第１線幅を拡大後第１線幅（Ｌ１ ）とし、拡大された前記第２パターンの第２線幅を拡大後第２線幅（Ｌ２ ）とする。次に、下記の式（８）から、Ｘ線源での実効焦点寸法（Ｆ）を求める。
【特許請求の範囲】
【請求項１】 Ｘ線発生面の実質的に点状のＸ線源から所定の広がり角度を持ってＸ線を発生するＸ線発生器と、被検査対象物に照射されたＸ線の画像を検出するＸ線検出面を持ち、所定の幾何学的拡大倍率で、前記被検査対象物の要部を拡大して画像を検出するＸ線像センサと、を有するＸ線検査装置における実効焦点寸法の決定方法において、前記被検査対象物として、第１方向に沿って配置された第１線幅（Ｓ１ ）の第１パターンと、前記第１方向と直交する第２方向に沿って配置された前記第１線幅と異なる第２線幅（Ｓ２ ）の第２パターンとを少なくとも有する試料を配置する工程と、前記Ｘ線像センサにおける前記Ｘ線検出面での前記試料の拡大画像を検出し、拡大された前記第１パターンの第１線幅を拡大後第１線幅（Ｌ１ ）とし、拡大された前記第２パターンの第２線幅を拡大後第２線幅（Ｌ２ ）とする工程と、下記の式から、前記Ｘ線源における実効焦点寸法（Ｆ）を求める工程とを有するＸ線検査装置における実効焦点寸法の決定方法。
Ｆ＝（Ｌ１ ・Ｓ２ −Ｌ２ ・Ｓ１ ）／（Ｌ２ −Ｌ１ ）
【請求項２】 Ｘ線発生面の実質的に点状のＸ線源から所定の広がり角度を持ってＸ線を発生するＸ線発生器と、被検査対象物に照射されたＸ線の画像を検出するＸ線検出面を持ち、所定の幾何学的拡大倍率で、前記被検査対象物の要部を拡大して画像を検出するＸ線像センサと、を有するＸ線検査装置における実効焦点寸法の決定方法において、前記被検査対象物として、第１方向に沿って配置された第１線幅（Ｓ１ ）の第１パターンと、前記第１方向と直交する第２方向に沿って配置された前記第１線幅と異なる第２線幅（Ｓ２ ）の第２パターンとを少なくとも有する試料を配置する工程と、前記Ｘ線像センサにより、前記試料の拡大画像を検出し、拡大された前記第１パターンの第１線幅を拡大後第１線幅（Ｌ１ ）とし、拡大された前記第２パターンの第２線幅を拡大後第２線幅（Ｌ２ ）とし、ｒ＝Ｌ１ ／Ｌ２ を求める工程と、下記の式から、前記Ｘ線源における実効焦点寸法（Ｆ）を求める工程とを有するＸ線検査装置における実効焦点寸法の決定方法。
Ｆ＝（ｒ・Ｓ２ −Ｓ１ ）／（１−ｒ）
【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線検査装置における実効焦点寸法の決定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】エレクトロニクス工業界における実装技術は日進月歩の勢いで、その高性能化と高密度化が進展している。これに呼応してエックス線透視法による非破壊検査技術も、ミクロン・レベルの実効焦点寸法を有するＸ線管の登場により、とりわけＸ線画像が格段に改善されてきている。
【０００３】しかしながら従来より工業用Ｘ線装置の分野では、「マイクロフォーカスＸ線管」に対しては、単に「１００μｍ以下の焦点寸法をもつＸ線管」とのみ定義されているのが実情である（ＪＩＳ Ｚ ２３００）。ましてや微小焦点ターゲットの実効焦点寸法に対する統一的測定方法、すなわち標準化はまったくなされていない。たとえばＪＩＳ Ｚ ４６１５における標準化は、焦点の呼び寸法が３００μｍ以上のＸ線管を対象としたものである。
【０００４】そのため、真に微小な実効焦点寸法をもつＸ線管を、他のより大きい実効焦点寸法をもつＸ線管と差別化しうる呼称がない。その上、はなはだしい場合には、真に１−２μｍ級の微小な焦点を有していないＸ線管であるにも拘わらず、製品仕様の実効焦点寸法の項目に「１μｍ」、又は「２μｍ」と記載されたり、あるいは営業活動にてデタラメが語られることもしばしばである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような状況に鑑み、その問題点を明快に解決するために、業界の技術標準ともなりうる発明を、ここに提唱する。これによって、Ｘ線検査機器メーカのみならず、それらのユーザ各社で本技術を自由に活用し、その基準に沿い標記したり、あるいは評価することにより、今後、無駄な技術的混乱を回避でき、かつ、またＸ線製造機器工業界全体の健全な発展を図ることが大いに可能となり得る。
【０００６】本発明は、このような実状に鑑みてなされ、マイクロフォーカスＸ線管などを用いたＸ線検査装置において、その実効焦点寸法を、簡便かつ客観的に測定することができる実効焦点寸法の決定方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために、本発明の第１の観点に係るＸ線検査装置における実効焦点寸法の決定方法は、Ｘ線発生面の実質的に点状のＸ線源から所定の広がり角度を持ってＸ線を発生するＸ線発生器と、被検査対象物に照射されたＸ線の画像を検出するＸ線検出面を持ち、所定の幾何学的拡大倍率で、前記被検査対象物の要部を拡大して画像を検出するＸ線像センサと、を有するＸ線検査装置における実効焦点寸法の決定方法において、前記被検査対象物として、第１方向に沿って配置された第１線幅（Ｓ１ ）の第１パターンと、前記第１方向と直交する第２方向に沿って配置された前記第１線幅と異なる第２線幅（Ｓ２ ）の第２パターンとを少なくとも有する試料を配置する工程と、前記Ｘ線像センサにおける前記Ｘ線検出面での前記試料の拡大画像を検出し、拡大された前記第１パターンの第１線幅を拡大後第１線幅（Ｌ１ ）とし、拡大された前記第２パターンの第２線幅を拡大後第２線幅（Ｌ２ ）とする工程と、下記の式から、前記Ｘ線源における実効焦点寸法（Ｆ）を求める工程とを有する。
【０００８】Ｆ＝（Ｌ１ ・Ｓ２ −Ｌ２ ・Ｓ１ ）／（Ｌ２ −Ｌ１ ）
本発明の第２の観点に係るＸ線検査装置における実効焦点寸法の決定方法は、Ｘ線発生面の実質的に点状のＸ線源から所定の広がり角度を持ってＸ線を発生するＸ線発生器と、被検査対象物に照射されたＸ線の画像を検出するＸ線検出面を持ち、所定の幾何学的拡大倍率で、前記被検査対象物の要部を拡大して画像を検出するＸ線像センサと、を有するＸ線検査装置における実効焦点寸法の決定方法において、前記被検査対象物として、第１方向に沿って配置された第１線幅（Ｓ１ ）の第１パターンと、前記第１方向と直交する第２方向に沿って配置された前記第１線幅と異なる第２線幅（Ｓ２ ）の第２パターンとを少なくとも有する試料を配置する工程と、前記Ｘ線像センサにより、前記試料の拡大画像を検出し、拡大された前記第１パターンの第１線幅を拡大後第１線幅（Ｌ１ ）とし、拡大された前記第２パターンの第２線幅を拡大後第２線幅（Ｌ２ ）とし、ｒ＝Ｌ１ ／Ｌ２ を求める工程と、下記の式から、前記Ｘ線源における実効焦点寸法（Ｆ）を求める工程とを有する。
【０００９】Ｆ＝（ｒ・Ｓ２ −Ｓ１ ）／（１−ｒ）
【発明の実施の形態】以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。図１は本発明の１実施形態に係るＸ線検査装置の概略図、図２は実効焦点寸法の測定原理を説明するための概略図、図３（Ａ）は検査装置で用いられる試料の平面図、図３（Ｂ）は試料のＸ線画像を示す平面図である。
【００１０】［第１実施形態］
Ｘ線検査装置の全体構成まず、図１に示す本発明の１実施形態に係るＸ線検査装置１０について説明する。図１に示すように、本実施形態に係るＸ線検査装置１０は、Ｘ線発生器３を有する。Ｘ線発生器３は、電子線を発生するカソード６と、電子線を加速するアノード８と、電子線を集束させるコンデンサレンズ１２と、電子線をターゲット４上に焦点を結ばせる対物レンズ１３と、集束された電子線が照射されてＸ線を発生するターゲット４とを有する。
【００１１】ターゲット４は、たとえばタングステン膜と、タングステン膜を保持するベリリウム膜とで構成してあり、タングステン膜に対して、集束された電子線が照射されることにより、その焦点位置に対応するＸ線発生面４ｂの実質的に点状のＸ線源４ａから所定の広がり角度θ１を持ってＸ線を発生する。Ｘ線発生器３における電子線の通路は密閉され、図示省略してある真空ポンプなどで真空に保たれている。所定の広がり角度θ１は、特に限定されないが、本実施形態に係る装置１０では、通常の装置よりも広いことが好ましく、たとえば４５度〜１５０度、好ましくは１００度〜１４０度程度が好ましい。
【００１２】ターゲット４のＸ線源４ａから所定の広がり角度θ１を持って出射されたＸ線は、被検査対象物２を照射し、その拡大透視画像がＸ線像センサ１５の画像増幅器１４のＸ線検出面１４ａへと入射する。画像増幅器１４は、Ｘ線を可視光に変換すると共に、被検査対象物２を透過して拡大されたＸ線透視画像の輝度を増幅し、より高輝度の画像を再生するための装置である。画像増幅器１４により増幅された高輝度の透視画像は、ＣＣＤカメラや撮像管などの撮像装置１６で撮像し、モニタ１８に表示される。撮像装置１６で撮像された透視画像データは、モニタ１８に表示されるのみでなく、プリンタなどに出力することも可能であり、さらに、半導体メモリ、ハードディスク、光磁気記憶装置などの記憶手段に記憶される。さらにまた、専用回線または公衆回線を通して、透視画像データを他の装置へ送信することもできる。
【００１３】なお、画像増幅器１４のＸ線検出面１４ａにて検出される被検査対象物２の透視画像の幾何学的拡大率ｍは、Ｘ線源４ａからＸ線検出面１４ａの中心までのＦＤＤ距離と、Ｘ線源４ａから被検査対象物２までのＦＯＤ距離との比により規定される。すなわち、幾何学的拡大率ｍ＝ＦＤＤ／ＦＯＤである。なお、Ｘ線画像の総合拡大倍率は、この幾何学的拡大倍率ｍに、Ｘ線像センサ１５およびモニタ１８などの画像出力装置における信号拡大倍率ｋを掛け算したものである。たとえばＸ線画像が最終的にビデオプリンターにより出力されるとすると、Ｘ線画像の総合拡大倍率＝幾何学的拡大倍率ｍ×信号拡大倍率ｋである。信号拡大倍率ｋは、Ｘ線検査装置に依存する既知の係数（たとえば１．５）である。
【００１４】一般に、ＦＤＤ値は、装置定数として固有の値をとる。したがって、Ｘ線発生器３の焦点位置であるＸ線源４ａからＸ線検出面１４ａの中心までの距離であるＦＤＤ値は、予め精度良く実測しておくことが可能である。たとえばＦＤＤ値として、５００mmまたは６００mmの値と成るように設定することができる。
【００１５】ところが、ＦＯＤ値は、装置機構上、可変の値をとる。なぜなら、このＦＯＤを変化させることにより、Ｘ線画像の拡大および縮小を調節するからである。したがって、Ｘ線画像は、常にある特定の拡大倍率で撮影されるが、その都度ＦＯＤ値をリアルタイムで測定しているわけではないため、正確な拡大倍率を求めることができず、必ず測定誤差を多分に有している。なお、ＦＯＤ値をリアルタイムで高精度に検出する技術は現在のところ確立されていない。
【００１６】したがって、現在の技術では拡大倍率を正確に測定することは困難であり、その正確でない拡大倍率値を根拠にして、Ｘ線源４ａにおける実効焦点寸法を評価することは好ましくない。本発明の実施形態では、以下の手法を用いることにより、拡大倍率を実測することなく、Ｘ線源４ａにおける実効焦点寸法を容易に求めることができる。
【００１７】原理の説明マイクロフォーカスＸ線管ターゲットの実効焦点寸法の測定原理を以下に述べる。図２に示すように、図１に示す被検査対象物２の代わりに、Ｘ線源４ａと検出面１４ａとの間に、標準試験片２ａを配置する。標準試験片２ａの直径寸法をＳとし、検出面１４ａ上の寸法をＫとすると、Ｋは、次式（１）で示される。
【００１８】
Ｋ＝Ｓ・（ＦＤＤ／ＦＯＤ） … （１）
ただし、上記（Ａ）式は、Ｘ線発生源４ａにおける実効焦点寸法Ｆを点光源とみなした場合の理想的な理論式である。しかし、実際には、実効焦点寸法は、ある有限の大きさ、Ｆを有しているため、現実に映し出される実Ｘ線画像Ｌは、理想値Ｋの外側に必ずボケ量を含んでいる。すなわち、理想値Ｋの両端外側で合わせて２Ｍのボケ総量となる。ここでは、理想寸法Ｋの両外側に結像される２Ｍの成分量をボケ量と定義する。この実Ｘ線画像寸法Ｌを数式で表すと、下記の式（２）となる。
【００１９】Ｌ＝Ｋ＋２Ｍ … （２）
なお、この実Ｘ線画像寸法Ｌは、検出面１４ａにおける幾何学的拡大寸法である。一方、このボケ量Ｍも、Ｘ線像の理想値Ｋと同様な拡大倍率で、比例して大きくなる。すなわち、ボケ量Ｍは、下記の（３−１）式で表される。
【００２０】
Ｍ＝Ｆ・（ＦＤＤ−ＦＯＤ）／２・ＦＯＤ …（３−１）
ここで、ＦＤＤがＦＯＤに比較して可成り大きい場合（ＦＤＤ＞＞ＦＯＤ）、上記式（３−１）は、近似的に下記式（３−２）のように変形ができる。
【００２１】
Ｍ＝Ｆ・（ＦＤＤ／２・ＦＯＤ） … （３−２）
したがって、Ｘ線画像の寸法Ｌを実測することにより、上記の３式(1)、(2)および（３−２）を連立させ、実効焦点寸法Ｆを次式（４）により求めることができる。
【００２２】
Ｆ＝（ＦＯＤ／ＦＤＤ）・Ｌ−Ｓ … （４）
なお、上記式（４）は、次の式（５）のように変形することもできる。
【００２３】Ｌ＝ｍ・（Ｓ＋Ｆ） … （５）
ただし、ＦＯＤ、ＦＤＤ、ｍを、それぞれ次の量とする。
ＦＯＤ：焦点と試料との距離ＦＤＤ：焦点とＸ線画像との距離ｍ：幾何学的拡大倍率（ＦＤＤ／ＦＯＤ）
原理の応用上記の原理の欄では、直径Ｓの試料に対する「一般的原理」を述べたが、本発明の実施形態の方法は、巧みにこれらの原理を応用するものである。すなわち、図２に示す試験片２ａとして、図３（Ａ）に示す試料２ｂを用いる。試料２ｂは、第１方向Ｘに沿って配置された第１線幅Ｓ１ の第１パターン２０と、前記第１方向Ｘと直交する第２方向Ｙに沿って配置された第１線幅２０と異なる第２線幅Ｓ２の第２パターン２２とを少なくとも有する試料である。具体的には、試料２ｂは、十文字形に置かれた異なる線径の細線で構成してある。細線の材質は、特に限定されず、タングステン、金、白金などが例示される。
【００２４】なお、本実施形態では、パターン２０および２２を構成する細線として、断面円形のタングステン細線を用いている。断面円形のタングステン細線は、市販製品で容易に入手できるメリットはあるが、より高精度な線幅測定を行うには、線幅Ｓ１ およびＳ２ を持つ長方形断面形状の細線が好ましい。最終的に出力されるＸ線画像の輪郭がよりシャープであることが肝要であるが、円形断面形状の場合には、厳密にいえば、図説するまでもなく既知の直径寸法よりも短い寸法の物体として、Ｘ線像が形成されてしまう。この影響は高倍率ほど大きくなる。
【００２５】一方、長方形断面形状の場合には、このような「エッジ効果」は発生しない。この現象は、Ｘ線画像の周辺に伴うボケ領域の広がり、およびコントラストの不規則性（イレギュラリティ）に直接関与する。従って、標準試料２ｂの断面形状としては、長方形断面形状の細線の方が優れている。
【００２６】十文字型に置かれた２本の細線の直径寸法を、それぞれＳ１ ，Ｓ２ （Ｓ１＜Ｓ２ ）とすると、前述した式（４）により、次の２式が誘導される。
【００２７】
Ｆ＝Ｌ１ ／ｍ−Ｓ１ … （６−１）
Ｆ＝Ｌ２ ／ｍ−Ｓ２ … （６−２）
ただし、Ｌ１ 、Ｌ２ を、２本の細線の（検出面１４ａ上に投影される）Ｘ線画像の線幅とする（当然、Ｌ１ ＜Ｌ２ となる）。
【００２８】上記の式（６−１）および（６−２）を連立させ、幾何学的拡大倍率ｍが決定される。すなわち、幾何学的拡大倍率ｍは、下記の式で表せる。
【００２９】
ｍ＝（Ｌ２−Ｌ１）／（Ｓ２−Ｓ１） … （７）
上記式（７）を式（６−１）（または、式（６−２））へ代入して、次式（８）を得る。
【００３０】
Ｆ＝（Ｌ１ ・Ｓ２ −Ｌ２ ・Ｓ１ ）／（Ｌ２ −Ｌ１ ） … （８）
上記式（８）に、検出面１４ａ以降の画像出力装置における信号拡大倍率を考慮して、図３（Ｂ）に示す最終出力されたＸ線画像より評価された２つの値Ｌ１，Ｌ２ および、図３（Ａ）に示す２つの既知の直径寸法値（Ｓ１ ，Ｓ２）を代入することにより、実効焦点寸法Ｆを決定することができる。
【００３１】［第２実施形態］前記第１実施形態において、「原理の応用」の欄では、簡略のため、式（８）までの誘導に止めたが、線幅比率ｒの概念を用いて、より単純化することができる。すなわち、Ｌ１ ／Ｌ２ ＝ｒとおくことにより、実効焦点寸法［Ｆ］は、下記の式（９）の通り、Ｓ１ ，Ｓ２ を２つの助変数として、ｒの関数として表わされる。
【００３２】
Ｆ＝（ｒ・Ｓ２−Ｓ１）／（１−ｒ） …（９）
上式（９）において、たとえば、既に計測済の試料における線幅Ｓ２ ＝５μｍ、Ｓ１ ＝３μｍに適用すると、下記の式となる。
【００３３】
Ｆ＝（５・ｒ−３）／（１−ｒ） …（１０）
ここで、Ｆ＝Ｆ（ｒ）とおき、式（１０）を変形すれば、下記の式（１１）を得る。
【００３４】
Ｆ（ｒ）＝−２／（ｒ−１）−５ …（１１）
よって、Ｆ、ｒの両者は、ｒ＝１，Ｆ（ｒ）＝−５を２本の漸近線とする双曲線関数を保つことが明らかである。ただし、この例の場合、Ｓ１ ，Ｓ２ （したがってＬ１ ，Ｌ２ ）の大小関係を考慮し、また焦点寸法の物理的意味より、ｒ値は、０．６より大、１．０より小の範囲をとり得る。
【００３５】以上述べた「線幅比率（ｒ）」を用いれば、１検出面１４ａ上に幾何学的拡大倍率で結像された像−線幅（Ｌ）と、２さらにその像がＸ線像センサ１５およびモニタ１８などの画像出力装置を経て総合倍率で結像された像−線幅（Ｌ’）の両者の像に対して、統一的な解釈を行い、取り扱うことができる。言い換えれば、最終出力されたＸ線画像のクロスライン同士の「線幅比率」を直接、この一般式（９）に代入し、実効焦点寸法［Ｆ］を簡単に決定することができる。当然ながら、Ｆ値の単位も自動的に標準試験片のそれとなる。
【００３６】なお、上記一般式（９）の定性的解釈を次に要約する。上記一般式（９）は、以下のように定性的に解釈することができる。
１．線幅比率（ｒ）は、常にＳ１ ／Ｓ２ 比率よりも大きい値となること。
２．線幅比率（ｒ）が、Ｓ１ ／Ｓ２ 比率に漸近する程、実効焦点寸法（Ｆ）は小さくなり、理想的な点状焦点となること。
３．線幅比率（ｒ）が、Ｓ１／Ｓ２比率より大きくなればなる程、実効焦点寸法（Ｆ）は大きくなること。
【００３７】なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変することができる。
【００３８】たとえば、上述した実施形態では、２本のタングステン細線を直交せしめ、ベースに固定したものを用いているが、リソグラフィー技術、タングステン成膜技術等を応用して、一個のテスト・ピース中に、縦幅（Ｓ１ ＝Ｗ１ ）、横幅（Ｓ２ ＝Ｗ２ ）の絶対寸法のペアを変えた複数種のクロス・パターンを作製しておくと、さらに便利に応用できる。その一つ一つの線幅に対しては、測長ＳＥＭ等により計測された認証データ付き標準パターン（公的認証機関等によるもの）を応用することが望ましい。このような標準試験片は矩形の断面形状を有する上、縦・横のライン・パターンが同一平面内に置かれているので、細線の十字状重ね合わせによる方法に比べ、厳密には測定精度が向上する。これはクロス・ポイント近傍の縦・横ライン表面とＸ線管焦点中心との距離（ＦＯＤ値）が一定になるためである。
【００３９】また、上記実施形態では、図１に示す透過型Ｘ線発生器（透過型Ｘ線管）３を用いているが、本発明の方法は、透過型Ｘ線管／反射型Ｘ線管を問わず、それらの実効焦点寸法の評価に適用することができる。
【００４０】
【実施例】以下、本発明を、さらに詳細な実施例に基づき説明するが、本発明は、これら実施例に限定されない。
【００４１】実施例１２本の既知の直径寸法をもつ細線を準備した。細線の材質は、使用するＸ線管（図１に示すＸ線発生器３）の管電圧等により適正に選択しなければならない。以下に述べる実施例では、２本のタングステン線を用いた。また、その直径を、それぞれＳ１ ＝３μｍとＳ２ ＝５μｍ（寸法公差：±０．０５μｍ）のペアとした。ただし、実効焦点寸法Ｆの絶対値の予測レンジ、例えば、１〜２μｍ、５〜１０μｍ、１０〜２０μｍ・・・に応じて、標準試験片の寸法ペアを選択することが肝要である。
【００４２】上記の材質・寸法の標準試験片を、図１に示すＸ線検査装置１０に取り付け、撮影されたＸ線画像（最終出力データ）を、図３（Ｂ）に示す。２本のタングステン細線（それぞれ直径３μｍ、５μｍ）のＸ線画像のクロス・ポイント付近（半径１５ｍｍ内）の線幅を３回実測した。管電圧、管電流の条件組合せを変えて得られた測定結果（Ｘ線画像（１）とＸ線画像（２））の一例と、それらのデータより求めた実質的な幾何学的拡大倍率ｍと、実効焦点寸法Ｆとを、表１に一覧表示する。
【００４３】
【表１】

【００４４】表１の内容を要約すると次の通りである。
１］２つの既知寸法の試験片に対するＸ線画像が「同時撮影」されること。このことは、全ての撮影条件が同一となること、とくに幾何学的拡大倍率（ｍ）が同一であることを意味する。
２］２つの試験片のＸ線画像は、実効焦点寸法（Ｆ）が−仕様値や公称値ではない−真に等しい条件下で撮像されること。
３］これらの状態下で、Ｓ１ ，Ｓ２ 値および、実験値Ｌ１ ，Ｌ２ を介して、２個の未知数（ｍ、Ｆ）に関する２元連立１次方程式を解くこと。
【００４５】なお、２本の線幅の実測方法に関しては、さまざまな方法が考えられる。例えば、従来から行われているが、フォト・デンシトメータにより白黒コントラストの黒化度曲線より、１−３σ法の所定の手続きを経て実効線幅を評価する方法、あるいは、ノギス等を用いて読み取る方法等々である。いずれにせよ、個人差や系統的な測定誤差を平滑化するため、あるｎ数の測定値を算術平均すればよい。
【００４６】表２は、本実施例の場合（Ｓ１＝３μｍ、Ｓ２＝５μｍ）につき、前述した一般式（９）に基づき、Ｆ＝Ｆ（ｒ）：０．６≦ｒ≦０．８の特性状態をまとめたものである。
【００４７】
【表２】

【００４８】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれば、Ｘ線検査装置において、微小焦点寸法を有するＸ線発生器（Ｘ線管）の実効焦点寸法を、能率よく測定・評価することができ、極めて実用性が高い。Ｘ線検査機器製造業界の仕様決めの標準として、さらにＸ線発生装置の性能評価の基準として広範に活用できる。
【出願人】 【識別番号】５９８０８３０１６
【氏名又は名称】メディエックステック株式会社
【出願日】 平成１２年７月２８日（２０００．７．２８）
【代理人】 【識別番号】１０００９７１８０
【弁理士】
【氏名又は名称】前田 均 （外２名）
【公開番号】 特開２００２−４０１９９（Ｐ２００２−４０１９９Ａ）
【公開日】 平成１４年２月６日（２００２．２．６）
【出願番号】 特願２０００−２２８４２９（Ｐ２０００−２２８４２９）