バックライト固定式のＸＹテーブル

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【発明の名称】	バックライト固定式のＸＹテーブル
【発明者】	【氏名】品川日出男
【要約】	【課題】薄型で軽量なバックライト固定式ＸＹテーブルを提供する。【解決手段】光透過孔２を有するベース１上に透光用長孔９を有する中間ベース３を設けて一方向に移動自在に支持する。中間ベース３上に角枠状のステージ４を設けて中間ベース３の移動方向を直交する方向に移動自在に支持する。一対のベルト反転ローラＧＲ₁、ＧＲ₂間にわたるベルトおよび一対のガイドプーリＰ₁₃、Ｐ₁₄間にわたるベルトの一部をステージ４の移動方向両側に連結し、モータＭ₁、Ｍ₂の回転方向を制御して中間ベース３およびステージ４を一方向に移動させる。

【特許請求の範囲】
【請求項１】上下に貫通する光透過孔を有するベースと、そのベース上において一方向に移動自在に支持され、その移動方向に長い透光用の長孔が前記光透過孔と対応する位置に設けられた中間ベースと、その中間ベース上において中間ベースの移動方向と直交する方向に移動自在に支持された角枠状のステージとを有し、前記ベース上には前記中間ベースの移動方向前側の左右にモータで駆動される一対の駆動プーリと、移動方向後側の左右に回転自在の一対の従動プーリとを設け、これらのプーリ間にベルトをかけ渡し、中間ベースの上面四隅には前記一対の駆動プーリ間にかけ渡されたベルトおよび一対の従動プーリ間にかけ渡されたベルトのそれぞれを案内するガイドプーリを設け、前記中間ベースの移動方向前側に設けられた左右一対のガイドプーリ間に一対のベルト反転ローラを設け、この一対の反転ローラ間に渡るベルトおよび中間ベースの移動方向後側の左右一対のガイドプーリ間に渡るベルトの一部をステージの移動方向における両側部に連結したバックライト固定式のＸＹテーブル。
【請求項２】前記一対の駆動プーリおよび前記一対の従動プーリを歯付きプーリとし、前記ベルトをタイミングベルトとした請求項１に記載のバックライト固定式のＸＹテーブル。
【請求項３】前記中間ベースおよびステージを平行２条のリニアガイドによって移動自在に支持した請求項１又は２に記載のバックライト固定式のＸＹテーブル。

【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ワークを下方から投光する状態で平面上の任意の位置に移動させるバックライト固定式のＸＹテーブルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】フラットパネルディスプレイの基板の欠陥修正に際してリペア装置が用いられる。このリペア装置にはＸＹテーブルが搭載されている。リペア装置は、上記ＸＹテーブルによって前記基板（ワーク）を支持し、その下方に設けられた光源からの投光により、ワーク下面を照明する状態でＸＹテーブルによりワークを前後、左右に移動させ、ワークの上方に設けられた欠陥検出カメラによってワークの欠陥部を検出するようにしている。
【０００３】リペア装置に搭載されるＸＹテーブルとして、実開平４－５３２７号公報に記載されたものが従来から知られている。
【０００４】このＸＹテーブルは、図５および図６に示すように、ベース１１上にＸ軸ヨーク１２とＹ軸ヨーク１３が上下に重ねて配置され、その上側のＹ軸ヨーク１３上に角枠状のステージ１４が設けられている。
【０００５】Ｘ軸ヨーク１２は、ベース１１の上面に設けられた前後一対のガイドレール１５に沿って移動自在とされ、ベース１１の一側面に支持されたボールねじから成る直線駆動装置１６の作動によってＸ軸方向に移動されるようになっている。一方、Ｙ軸ヨーク１３はベース１１の上面に設けられた左右一対のガイドレール１７に沿って移動自在とされ、ベース１１の一端面に支持されたボールねじから成る直線駆動装置１８によってＹ軸方向に移動されるようになっている。
【０００６】ベース１１には円形の光透過孔１９が形成され、Ｘ軸ヨーク１２およびＹ軸ヨーク１３には各ヨークの移動方向に長い透光用の長孔２０、２１が形成されている。
【０００７】また、Ｙ軸ヨーク１３にはその移動方向と交差する方向に長いガイド孔２３が形成されている。
【０００８】ステージ１４の下面には、Ｙ軸ヨーク１３の上面に設けられた前後一対のガイドレール２４に案内される移動ブロック２５と、前記ガイド孔２３内に挿入されてＸ軸ヨーク１２の上面に設けられた左右一対のガイドレール２６に案内される移動ブロック２７とが設けられている。したがって、Ｘ軸ヨーク１２のＸ軸方向への移動に伴い、ステージ１４もＹ軸ヨーク１３のガイドレール２４に案内されてＸ軸方向に移動する。同様に、Ｙ軸ヨーク１３がＹ軸方向に移動すると、ステージ１４はＸ軸ヨーク１２上のガイドレール２６に案内されてＹ軸方向に移動する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図５および図６に示すＸＹテーブルにおいては、ベース１１上にＸ軸ヨーク１２およびＹ軸ヨーク１３を設け、そのＹ軸ヨーク１３上にステージ１４を設けた構成であるため、高さ方向の寸法が大きく、また、重量も重く、薄型化および軽量化を図るうえにおいて改善すべき点が残されている。
【００１０】また、Ｘ軸ヨーク１２およびＹ軸ヨーク１３のそれぞれ一側に直線駆動装置１６、１８の駆動力を付与して各ヨーク１２、１３をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させる構成であるため、Ｘ軸ヨーク１２およびＹ軸ヨーク１３がガイドレール１５、１７との接触抵抗によりモーメント荷重を受けて傾くおそれがあり、ステージ１４の位置決め精度およびステージ１４の移動の円滑性を向上させるうえにおいても改善すべき点が残されている。
【００１１】この発明の課題は、バックライト固定式のＸＹテーブルの薄型化および軽量化を図り、ステージを高精度に位置決めすることができるようにすることである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するために、この発明においては、上下に貫通する光透過孔を有するベースと、そのベース上において一方向に移動自在に支持され、その移動方向に長い透光用の長孔が前記光透過孔と対応する位置に設けられた中間ベースと、その中間ベース上において中間ベースの移動方向と直交する方向に移動自在に支持された角枠状のステージとを有し、前記ベース上には前記中間ベースの移動方向前側の左右にモータで駆動される一対の駆動プーリと、移動方向後側の左右に回転自在の一対の従動プーリとを設け、これらのプーリ間にベルトをかけ渡し、中間ベースの上面四隅には前記一対の駆動プーリ間にかけ渡されたベルトおよび一対の従動プーリ間にかけ渡されたベルトのそれぞれを案内するガイドプーリを設け、前記中間ベースの移動方向前側に設けられた左右一対のガイドプーリ間に一対のベルト反転ローラを設け、この一対の反転ローラ間に渡るベルトおよび中間ベースの移動方向後側の左右一対のガイドプーリ間に渡るベルトの一部をステージの移動方向における両側部に連結した構成を採用したのである。
【００１３】上記のように構成すれば、駆動プーリを回転させる２台のモータの回転方向を制御することによって、ステージを停止させた状態で中間ベースのみを一方向に移動させることができると共に、中間ベースを停止させた状態でステージのみを中間ベースの移動方向と直交する方向に移動させることができる。
【００１４】上記の構成から成るＸＹテーブルにおいては、ベース上に中間ベースとその上にステージを設けた構成であるため、高さ方向の寸法が小さい薄型で軽量なＸＹテーブルを実現することができる。
【００１５】また、中間ベースの移動時には、その移動方向前側の左右一対のガイドプーリに同じ大きさの引張り力が付与されると共に、ステージの移動時には、その移動方向の両側部に同じ大きさの引張り力が付与されるため、中間ベースおよびステージにはモーメント力が付与されることはない。
【００１６】このため、中間ベースおよびステージのそれぞれを傾きを生じさせることなく円滑に移動させることができ、ステージをきわめて高精度に位置決めすることができる。
【００１７】ここで、一対の駆動プーリおよび一対の従動プーリを歯付きプーリとし、ベルトをタイミングベルトとすることにより、プーリとベルト間のスリップを防止し、ステージをより高精度に位置決めすることができる。
【００１８】また、中間ベースおよびステージを移動自在に支持する案内手段として、平行２条のガイドレールと、そのガイドレールに沿って案内される移動ブロックとから成るリニアガイドを採用することにより、中間ベースおよびステージをガタつきを生じさせることなくより円滑に直線運動させることができ、ステージの位置決め精度の高いＸＹテーブルを実現することができる。
【００１９】
【実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図１乃至図４に基づいて説明する。図示のように、角形ベース１の中央部には上下に貫通する円形の光透過孔２が形成されている。
【００２０】ベース１上には中間ベース３が設けられ、その中間ベース３上に角枠状のステージ４が設けられている。中間ベース３は平行２条の第１リニアガイドＬＧ₁によって一方向に移動自在に支持され、一方、ステージ４は平行２条の第２リニアガイドＬＧ₂によって中間ベース３の移動方向と直交する方向に移動自在に支持されている。
【００２１】ここで、第１リニアガイドＬＧ₁および第２リニアガイドＬＧ₂は、直線状のガイドレール５と、そのガイドレール５に案内される移動ブロック６とから成る。
【００２２】第１リニアガイドＬＧ₁におけるガイドレール５はベース１の上面両側部に設けられ、各ガイドレール５に案内される移動ブロック６が中間ベース３の下面に取付けられている。
【００２３】一方、第２リニアガイドＬＧ₂におけるガイドレール５は中間ベース３の上面前後端部に取り付けられ、各ガイドレール５に案内される移動ブロック６がステージ４の下面に取り付けられている。
【００２４】ベース１の上面には前記中間ベース３の移動方向前側の左右に一対の駆動プーリＰ₁、Ｐ₂が設けられ、かつ移動方向後側の左右に一対の従動プーリＰ₃、Ｐ₄が設けられている。
【００２５】駆動プーリＰ₁、Ｐ₂および従動プーリＰ₃、Ｐ₄は歯付きプーリから成り、左右一対の駆動プーリＰ₁、Ｐ₂は減速機付きモータＭ₁、Ｍ₂で回転駆動されるようになっている。
【００２６】一対の駆動プーリＰ₁、Ｐ₂および一対の従動プーリＰ₃、Ｐ₄間にはベルト７がかけ渡されている。ベルト７としてタイミングベルトが使用されている。
【００２７】中間ベース３の上面四隅には一対の駆動プーリＰ₁、Ｐ₂間にわたるベルトおよび一対の従動プーリＰ₃、Ｐ₄間にわたるベルトを案内する４つのガイドプーリＰ₁₁乃至Ｐ₁₄が回転自在に支持され、中間ベース３の移動方向前側に設けられた左右一対のガイドプーリＰ₁₁、Ｐ₁₂間に一対のベルト反転ローラＧＲ₁、ＧＲ₂が回転自在に支持されている。
【００２８】一対のベルト反転ローラＧＲ₁、ＧＲ₂間にわたるベルトおよび中間ベース３の移動方向後側の一対のガイドプーリＰ₁₃、Ｐ₁₄間にわたるベルトのそれぞれ一部はステージ４の移動方向の両側部に連結されている。８はその連結具を示す。
【００２９】前記中間ベース３にはベース１の光透過孔２と対応する位置に中間ベース３の移動方向に長い透光用の長孔９が設けられている。
【００３０】実施の形態で示すＸＹテーブルは上記の構造から成り、フラットパネルディスプレイの基板（ワーク）の欠陥部の検出に際しては、ステージ４上にワークをセットし、ベース１に設けられた光透過孔２の中心軸上に光源Ａを設け、その光源Ａからの投光によりワークを下面から照明する状態でワークを一平面上で移動させ、ワークの上方に設けられた欠陥検出カメラによってワークの欠陥部を検出する。
【００３１】ワークの移動に際しては、一対のモータＭ₁、Ｍ₂を駆動し、各モータＭ₁、Ｍ₂の回転方向の制御によってワークを縦方向あるいは横方向に移動させる。
【００３２】いま、図１の矢印で示すように、モータＭ₁、Ｍ₂の一方向の回転方向をＲ₁、Ｒ₂とし、逆方向の回転をＬ₁、Ｌ₂とし、また、ステージ４の移動方向をＸ軸方向（Ｘ＋、Ｘ－）とし、さらに中間ベース３の移動方向をＹ軸方向（Ｙ＋、Ｙ－）とした場合において、モータＭ₁、Ｍ₂をそれぞれＲ₁およびＲ₂の方向に回転させると、中間ベース３が停止する状態でステージ４のみがＸ－方向に移動し、逆に、Ｌ₁およびＬ₂方向に回転させると、ステージ４のみがＸ＋方向に移動する。
【００３３】また、モータＭ₁をＲ₁方向に回転し、モータＭ₂をＬ₂方向に回転させると、ステージ４が停止する状態でそのステージ４を支持する中間ベース３のみがＹ－方向に移動する。さらに、モータＭ₁をＬ₁方向に回転し、モータＭ₂をＲ₂方向に回転すると、中間ベース３がＹ＋方向に移動する。
【００３４】このように、２台のモータＭ₁、Ｍ₂の回転方向を制御することによってステージ４をＸ軸方向およびＹ軸方向のそれぞれに移動させることができ、ボールねじから成る直線駆動装置を用いて中間ベース３をＹ軸方向に移動させ、かつステージ４をＸ軸方向に移動させる場合に比較して、移動装置の構成が簡単であり、しかも、ステージ４を設定された位置まで短時間に移動させることができる。また、２台のモータＭ₁、Ｍ₂を同時に駆動して中間ベース３およびステージ４を移動させるため、中間ベースおよびステージを個々のモータで駆動する場合に比較してモータＭ₁、Ｍ₂の出力を半減することができ、容量の小さいモータを使用できる。
【００３５】さらに、中間ベース３の移動時には、その移動方向前側の左右一対のガイドプーリＰ₁₁、Ｐ₁₂またはＰ₁₃、Ｐ₁₄に同じ大きさの引張り力が付与されると共に、ステージ４の移動時には、その移動方向の両側部に同じ大きさの引張り力が付与されるため、中間ベース３およびステージ４にモーメント力が付与されることはない。
【００３６】このため、中間ベース３およびステージ４に傾きを生じるという不都合の発生はなく、中間ベース３およびステージ４をきわめて円滑に移動させることができ、ステージ４を高精度に位置決めすることができる。
【００３７】実施の形態で示すように、駆動プーリＰ₁、Ｐ₂および従動プーリＰ₃、Ｐ₄を歯付きプーリとし、ベルトをタイミングベルト７とすることによって、各プーリとタイミングベルト７の接触部でのスリップを防止し、ステージ４をより高精度に位置決めすることができる。
【００３８】また、中間ベース３およびステージ４のそれぞれを２条のリニアガイドＬＧ₁、ＬＧ₂によって支持することにより、ステージ４に付与される垂直荷重をこれらのリニアガイドＬＧ₁、ＬＧ₂で支持することができるため、中間ベース３およびステージ４のたわみを防止し、剛性の高いＸＹテーブルを得ることができる。
【００３９】
【発明の効果】以上のように、この発明においては、一対の駆動プーリを回転させる２台のモータの回転方向を制御する簡単な制御によってステージを直角な２方向に移動させることができる。
【００４０】また、ベース上に設けられた中間ベースおよびその中間ベース上に設けられたステージをベルト・プーリ機構によって移動させるようにしたので、ベース上に設けられたＸ軸ヨークおよびＹ軸ヨークによってステージを直角な２方向に移動させるようにしたＸＹテーブルに比較して、薄型化および軽量化を図ることができる。
【００４１】さらに、中間ベースの移動方向前側の左右一対のガイドプーリに引張り力を付与して中間ベースを移動させ、かつステージの移動方向両側に引張り力を付与してステージを移動させるこようにしたので、中間ベースおよびステージを傾きを生じさせることなく円滑に移動させることができ、ステージをきわめて高精度に位置決めすることができる。

【出願人】	【識別番号】０００１０２６９２【氏名又は名称】エヌティエヌ株式会社
【出願日】	平成１２年９月２０日（２０００．９．２０）
【代理人】	【識別番号】１０００７４２０６【弁理士】【氏名又は名称】鎌田文二（外２名）
【公開番号】	特開２００２－９０４８６（Ｐ２００２－９０４８６Ａ）
【公開日】	平成１４年３月２７日（２００２．３．２７）
【出願番号】	特願２０００－２８５２７６（Ｐ２０００－２８５２７６）