| 【発明の名称】 |
ＸＹテーブルおよびリペア装置 |
| 【発明者】 |
【氏名】品川 日出男
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| 【要約】 |
【課題】ＸＹテーブルの薄型化と軽量化とを図る。
【解決手段】角形フレーム２に形成された矩形スペース３内にテーブル６を収容し、そのテーブル６をフレーム２の対向する一対の辺枠２ａ、２ｂに沿って移動自在に支持する。テーブル６上にステージ１０を配置し、そのステージ１０をテーブル６の移動方向に対して直交する方向に移動自在に支持する。対向する一対の辺枠２ａ、２ｂの内面両端部にプーリＰ1 乃至Ｐ4 を回転自在に設け、各辺枠２ａ、２ｂの一端部のプーリＰ1 、Ｐ3 にモータＭ1 、Ｍ2 を接続する。テーブル６の上面四隅部にプーリＰ5 乃至Ｐ8 を回転自在に設け、このプーリＰ5 乃至Ｐ8 とフレーム２に設けられたプーリＰ1 乃至Ｐ4 との間に、テーブル６上において２条の直線走行部１２ａ、１２ｂが形成されるようロープ１２をかけ渡し、一方の直線走行部１２ａの一部をステージ１０に固定し、前記２台のモータＭ1 、Ｍ2 の回転方向の制御によってステージ１０およびそのステージ１０を支持するテーブル６を移動させる。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 矩形スペースを有する角形のフレームと、そのフレームの矩形スペース内に収容され、フレームの対向する一組の辺枠の長さ方向に移動可能に支持されたテーブルと、そのテーブル上においてテーブルの移動方向と直交する方向に移動自在に支持されたステージとを有し、前記フレームの対向する一組の辺枠の内面両端部に水平な軸心を中心として回転可能なプーリを設け、前記辺枠の一端部に設けられたプーリのそれぞれにモータを接続し、前記テーブルの上面四隅部に垂直な軸心を中心として回転可能なプーリを設け、このテーブル上のプーリと、前記フレームの一対の辺枠に支持されたプーリ間に、前記テーブル上においてテーブルの両端方向に長く延びる２条の直線走行部が形成されるようロープをかけ渡し、一方の直線走行部の一部を前記ステージに固定したＸＹテーブル。
【請求項２】 前記テーブルの上面にテーブルの両端方向に長く延びる２条のレールを設け、前記ステージには各レールに載置される回転自在の複数のローラを設けた請求項１に記載のＸＹテーブル。
【請求項３】 前記フレームの対向する一組の辺枠の内面に沿って前記テーブルの両端部を移動自在に支持するローラチェーンを取付けた請求項１又は２に記載のＸＹテーブル。
【請求項４】 架台上に平行２条の第１レールを設け、この第１レールに沿って移動自在に支持された第１のテーブル上に、前記第１レールに対して直交する方向に長く延びる平行２条の第２レールを設け、この第２レールに沿って移動自在に支持された第２のテーブル上にブラケットを固定し、そのブラケットに前記第２テーブルの移動方向前面に上下方向に延びる平行２条の第３レールを設け、その第３レールに欠陥検出カメラが支持される第３のテーブルを昇降自在に支持し、前記架台上には平行２条の第１レール間に請求項１に記載のＸＹテーブルを固定し、そのＸＹテーブルのフレーム上に前記ワークを支持するワークテーブルを取付け、前記ＸＹテーブルのステージでワークテーブル上に載置されるワークの下方から光を照射するライトを支持したリペア装置。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、主として、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの関連部品の修正に用いられるＸＹテーブルおよびそのＸＹテーブルを用いたリペア装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイにおける基板（ワーク）の欠陥修正に際してリペア装置が用いられる。このリペア装置は、例えば、特開２０００−９６６１号公報に記載されているように、ワーク上に欠陥検出カメラを設置し、その欠陥検出カメラによってワークの欠陥部を検出するようにしている。このとき、ワークの下方に透過照明（バックライト）を設けてワークを照明するようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来から知られているリペア装置においては、欠陥検出カメラおよびバックライトを固定とし、ワークを移動させて欠陥部を検出するようにしている。この場合、リペア装置のベース部は、ワーク寸法の２倍以上の広さが必要となり、リペア装置が大型化して広い設置スペースを必要とし、また、重量も重く、輸送の際の取り扱いが困難であるという不都合があった。
【０００４】この発明の課題は、フラットパネルディスプレイの関連部品を修正するリペア装置の小型化および軽量化を図ることができるＸＹテーブルおよびそのＸＹテーブルを用いたリペア装置を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するため、この発明に係るＸＹテーブルにおいては、矩形スペースを有する角形のフレームと、そのフレームの矩形スペース内に収容され、フレームの対向する一組の辺枠の長さ方向に移動可能に支持されたテーブルと、そのテーブル上においてテーブルの移動方向と直交する方向に移動自在に支持されたステージとを有し、前記フレームの対向する一組の辺枠の内面両端部に水平な軸心を中心として回転可能なプーリを設け、前記辺枠の一端部に設けられたプーリのそれぞれにモータを接続し、前記テーブルの上面四隅部に垂直な軸心を中心として回転可能なプーリを設け、このテーブル上のプーリと、前記フレームの一対の辺枠に支持されたプーリ間に、前記テーブル上においてテーブルの両端方向に長く延びる２条の直線走行部が形成されるようロープをかけ渡し、一方の直線走行部の一部を前記ステージに固定した構成を採用している。
【０００６】上記のように構成すれば、プーリを駆動する２台のモータの回転方向を制御することにより、ステージを支持するテーブルをフレームの対向する一組の辺枠に沿って平行移動させることができると共に、ステージをそのテーブルの移動方向と直交する方向に移動させることができる。
【０００７】ここで、テーブルの上面にテーブルの両端方向に長く延びる２条のレールを設け、ステージには各レールに載置される回転自在の複数のローラを設けると、ステージをテーブルの移動方向と直交する方向に円滑に移動させることができる。
【０００８】また、フレームの対向する一組の辺枠の内面に沿って前記テーブルの両端部を移動自在に支持するローラチェーンを取付けることにより、テーブルを対向する一組の辺枠に沿って円滑に移動させることができると共に、複数のローラを辺枠の長さ方向に間隔をおいて１つずつ取付ける場合に比較して、ローラの設置がきわめて容易である。
【０００９】この発明に係るリペア装置においては、架台上に平行２条のレールを設け、この第１レールに沿って移動自在に支持された第１のテーブル上に、前記第１レールに対して直交する方向に長く延びる平行２条の第２レールを設け、この第２レールに沿って移動自在に支持された第２のテーブル上にブラケットを固定し、そのブラケットに前記第２テーブルの移動方向前面に上下方向に延びる平行２条の第３レールを設け、前記第３レールに欠陥検出カメラが支持される第３のテーブルを昇降自在に支持し、前記架台上には平行２条の第１のレール間に前記発明のＸＹテーブルを固定し、そのＸＹテーブルのフレーム上に前記ワークを支持するワークテーブルを取付け、前記ＸＹテーブルのステージでワークテーブル上に載置されるワークの下方から光を照射するライトを支持した構成を採用したのである。
【００１０】上記のように構成すると、第３テーブルで支持される欠陥検出カメラを一つの平面上において直角な２方向に移動させることができると共に、上下方向にも移動させることができ、また、ライトを支持するステージを前記欠陥検出カメラの移動に対応して一つの平面上において直角な２方向に移動させることができる。
【００１１】このため、フラットパネルディスプレイの基板をワークテーブル上に載置した固定の状態で基板の欠陥部を検出することができ、基板を移動させて欠陥部を検出するリペア装置に比較して、装置の小型化、軽量化を図ることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１はＸＹテーブル１を示す。このＸＹテーブル１はフレーム２を有し、そのフレーム２は４本の辺枠２ａ乃至２ｄを角形に組み合わせており、その辺枠２ａ乃至２ｄの内側に矩形スペース３が形成されている。
【００１３】フレーム２の対向する一組の辺枠２ａ、２ｂの内面には、上記辺枠２ａ、２ｂの上面に段差をもってローラ支持面４が設けられている。ローラ支持面４は各辺枠２ａ、２ｂの長さ方向に延び、そのローラ支持面４に多数のローラ５ａを有するローラチェーン５が取付けられている。
【００１４】フレーム２に形成された矩形スペース３内には、対向する一組の辺枠２ａ、２ｂの内面間に納まる長さの細長いテーブル６が組込まれている。
【００１５】図３に示すように、テーブル６は下面の両端部に案内溝７が形成され、その案内溝７にローラチェーン５のローラ５ａの外周上部が嵌り込んでいる。また、テーブル６の下面にはローラチェーン５のローラ５ａの外周下部に対する接触によってテーブル６の浮き上がりを防止する防止片８が設けられている。
【００１６】上記テーブル６は、前記ローラチェーン５の支持によって図１の矢印方向（以下、Ｘ軸方向という）に移動自在とされ、その上面にはテーブル６の移動方向に対して直交する方向（以下、Ｙ軸方向という）に長く延びる平行２条のレール９が設けられている。
【００１７】平行２条のレール９上にはステージ１０が設けられている。図４および図５に示すように、ステージ１０には前記レール９上に載置されるフランジ付きローラ１１を両側前後に有し、前記平行２条のレール９に沿ってステージ１０が移動自在とされている。
【００１８】図１に示すように、フレーム２の対向する一組の辺枠２ａ、２ｂの内面両端部にはプーリＰ1 乃至Ｐ4 が回転自在に支持されている。各プーリＰ1 乃至Ｐ4 は水平な軸心を中心として回転可能とされ、各辺枠２ａ、２ｂの一端部に設けられたプーリＰ1 、Ｐ3 のそれぞれに正逆回転可能なモータＭ1 、Ｍ2 が接続されている。
【００１９】一方、テーブル６の上面における四隅部にはプーリＰ5 乃至Ｐ8 が設けられている。これらの各プーリＰ5 乃至Ｐ8 は垂直な軸心を中心として回転自在とされている。
【００２０】フレーム２に支持されたプーリＰ1 乃至Ｐ4 とテーブル６に支持されたプーリＰ5 乃至Ｐ8 間には、図２に示すようにワイヤロープ等のロープ１２がかけ渡されている。この場合、ロープ１２は、テーブル６上においてテーブル６の両端方向に長く延びる２条の直線走行部１２ａ、１２ｂが形成されるようにして各プーリＰ1 乃至Ｐ8 にかけ渡され、一方の直線走行部１２ａの一部がステージ１０に固定されている。
【００２１】ここで、ロープ１２はエンドレスのものであってもよく、一本のロープから成るものであってもよい。一本のロープ１２を用いる場合は、そのロープ１２を複数のプーリＰ1 乃至Ｐ8 にかけ渡して、両端部をステージ１０に固定する。
【００２２】実施の形態で示すＸＹテーブル１は上記の構造から成り、いま例えば、図２の矢印で示すように、モータＭ1 、Ｍ2 の一方の回転方向をＦ1 、Ｆ2 とし、逆方向の回転をＲ1 、Ｒ2 とすると、各モータＭ1 、Ｍ2 の回転方向を制御することによって、ステージ１０をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させることができる。
【００２３】例えば、モータＭ1 、Ｍ2 をそれぞれＦ1 およびＦ2 の方向に回転させると、ステージ１０を支持するテーブル６がＸ＋方向に移動し、Ｒ1 、Ｒ2 の方向に回転させると、ステージ１０がＸ−方向に移動する。
【００２４】また、モータＭ1 をＦ1 方向に回転させ、モータＭ2 をＲ2 方向に回転させると、ステージ１０がＹ−方向に移動する。さらに、モータＭ1 をＲ1 方向に回転させ、モータＭ2 をＦ2 方向に回転させると、ステージ１０がＹ＋方向に移動する。
【００２５】このように、２台のモータＭ1 、Ｍ2 の回転方向を制御することによってステージ１０をＸ軸方向およびＹ軸方向のそれぞれに移動させることができ、ボールねじを用いてテーブル６をＸ軸方向に移動させ、かつステージ１０をＹ軸方向に移動させる場合に比較して、移動装置の構成が簡単であり、しかも、ステージ１０を設定された位置まできわめて短時間に移動させることができる。
【００２６】また、ステージ１０をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させるプーリ・ロープ機構は、角形のフレーム２内に収容されているため、ＸＹテーブル１の高さ方向の寸法がきわめて小さい薄型のＸＹテーブルを得ることができる。
【００２７】図６および図７は、上記ＸＹテーブル１０を使用してリペア装置を示す。このリペア装置は、架台２０に設けられた天板２１の上面両側に一対のレール支持台２２を設け、各レール支持台２２上に前記架台２０の両端方向に長く延びる第１リニアレール２３を他方第１リニアレール２３に対してほぼ平行に設けている。
【００２８】また、上記平行２条の第１リニアレール２３に沿って第１のテーブル２４を移動自在に支持し、その第１のテーブル２４の上面に第１リニアレール２３に対して直交方向に長く延びる平行２条の第２リニアレール２５を設け、この平行２条の第２リニアレール２５に沿って第２のテーブル２６を移動自在に支持している。
【００２９】さらに、第２のテーブル２６上にブラケット２７を設け、そのブラケット２７の前面両側に上下方向に延びる平行２条の第３リニアレール２８を取付け、この第３リニアレール２８に沿って第３のテーブル２９を昇降自在に支持している。
【００３０】また、前記架台２０の天板２１上には一対のレール支持台２２間に図１に示すＸＹテーブル１を載置し、そのＸＹテーブル１のフレーム２でワークを支持するワークテーブル３０を支持している。３１はワークテーブル３０に形成された開口部を示す。
【００３１】ここで、第１のテーブル２４、第２のテーブル２６および第３のテーブル２９は、ボールねじ等の直線移動装置によって移動されるが、図ではその直線移動装置を省略している。
【００３２】上記の構成から成るリペア装置を用いてフラットパネルディスプレイの基板の欠陥部を検出する場合、第３のテーブル２９に特開２０００−９６６１号公報に示される欠陥検出カメラＡを支持し、一方、ＸＹテーブル１におけるステージ１０でライトＲを支持し、そのＸＹテーブル１上に設けられたワークテーブル３０で基板Ｗを支持する。そして、第１のテーブル２４および第２のテーブル２６を移動させて第３のテーブル２９に支持された欠陥検出カメラＡを基板Ｗの縦方向および横方向に移動させ、一方、ＸＹテーブル１におけるステージ１０をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させて、そのステージ１０に支持されたライトＲが欠陥検出用カメラＡの下方に常に配置されるよう、上記ライトＲを欠陥検出用カメラＡの移動に追従させ、前記欠陥検出カメラＡによって基板Ｗの欠陥部を検出する。
【００３３】このように、上記リペア装置においては、ＸＹテーブル１上に設けられたワークテーブル３０で基板Ｗを支持し、その基板Ｗの固定状態で欠陥部を検出することができるため、基板を移動させて欠陥部の検出を行なうリペア装置に比較して、リペア装置の小型化と軽量化を図ることができる。
【００３４】
【発明の効果】以上のように、この発明に係るＸＹテーブルにおいては、プーリを駆動する２台のモータの回転方向を制御する簡単な制御によってステージを直角な２方向に移動させることができる。
【００３５】また、ステージおよびそのステージを移動自在に支持するテーブルがフレームに形成された矩形スペース内に収容され、そのテーブルおよびステージをフレーム内に収容されたプーリ・ロープ機構によって移動させるようにしたので、ボールねじを用いてテーブルおよびステージを移動させるようにしたＸＹテーブルに比較して、薄型化と軽量化を図ることができる。
【００３６】さらに、この発明に係るリペア装置においては、前記発明のＸＹテーブルを使用し、そのＸＹテーブルのステージでライトを支持したことにより、ワークを固定する状態でワークの欠陥部を検出することができるため、ワークを移動させて欠陥部を検出するリペア装置に比較して、リペア装置の小型化と軽量化を図ることができる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００１０２６９２
【氏名又は名称】エヌティエヌ株式会社
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| 【出願日】 |
平成１２年６月２６日（２０００．６．２６） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１０００７４２０６
【弁理士】
【氏名又は名称】鎌田 文二 （外２名）
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| 【公開番号】 |
特開２００２−６０７１（Ｐ２００２−６０７１Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１４年１月９日（２００２．１．９） |
| 【出願番号】 |
特願２０００−１９１０３８（Ｐ２０００−１９１０３８） |
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