磁気ディスクの検査方法および検査装置

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【発明の名称】	磁気ディスクの検査方法および検査装置
【発明者】	【氏名】田畑敏【氏名】正田光広【氏名】永野貴範【氏名】柏瀬英一
【要約】	【課題】極低浮上環境下で生じる磁気ヘッドと磁気ディスクの接触によるトラック位置ずれ及び磁気ヘッド浮上変動を引起こす磁気ディスクを精度良く検出することを可能とする磁気ディスク検査方法を提供すること。【解決手段】磁気ディスク上に磁気ヘッドを滑らせ又は浮上させた状態で記録・再生動作を行うことで磁気ディスクの評価を行う磁気ディスクの検査装置において、磁気ディスクの所定のトラック位置における再生信号レベル及びビット単位の再生信号レベルの偏差を磁気ヘッドの浮上量を変えながら測定し、磁気ヘッドの異なる浮上量に対する再生信号レベルの変化量を測定した値から、磁気ヘッドと磁気ディスクの接触によるトラック位置ずれ及び磁気ヘッド浮上変動を引起こす磁気ディスクを精度良く検出する。

【特許請求の範囲】
【請求項１】磁気ディスクを回転させ、前記磁気ディスク上に磁気ヘッドを滑らせ又は浮上させた状態で記録・再生動作を行うことで前記磁気ディスクの評価を行う磁気ディスクの検査方法であって、前記磁気ディスクの所定のトラック位置における再生信号レベルを前記磁気ヘッドの安定浮上量とニアコンタクト浮上量との少なくとも２点で、前記磁気ヘッドの浮上量に対する前記磁気ヘッドから読み出される再生信号レベルの変化量を検出することを特徴とする磁気ディスクの検査方法。
【請求項２】磁気ディスクを回転させ、前記磁気ディスク上に磁気ヘッドを滑らせ又は浮上させた状態で記録・再生動作を行うことで前記磁気ディスクの評価を行う磁気ディスクの検査方法であって、ビット単位の再生信号レベルにおける偏差の変化量を検出することを特徴とする磁気ディスクの検査方法。
【請求項３】検査対象の磁気ディスクを回転させるスピンドルと、前記磁気ディスクに対する記録・再生動作を行う磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドの前記磁気ディスクに対する浮上量を制御する浮上量制御手段と、前記磁気ヘッドから得られる再生信号レベルを検出する検出手段と、異なる前記浮上量の各々において前記磁気ヘッドから得られる複数の前記再生信号レベルの変化、および任意の前記浮上量におけるビット単位の再生信号レベルにおける偏差の変化量、の少なくとも一方に基づいて前記磁気ディスクを評価する評価手段と、を含むことを特徴とする検査装置。

【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスクの検査技術に関するものであり、特に高記録磁気記録に適した極低浮上対応の磁気記録ディスクを検査する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスク装置は、磁気ディスク表面を浮上する磁気ヘッドで磁気的な変化により、データの記録・再生を行う装置である。磁気ヘッドは磁気ディスクに対して相対的に移動し、記録媒体上の任意の位置に磁気情報を記録し、記録された磁気情報を必要により再生する機能を有する。近年、磁気ディスク装置での高記録密度化により、磁気記録媒体上に記録された情報を高感度で再生する磁気抵抗効果型ヘッド（以下ＭＲヘッド）が主流になっており、この再生原理は、磁気記録媒体からの磁界変化が磁気抵抗値を変化させ、この抵抗変化をＭＲ素子に一定の電流を流すことにより直流電圧信号へ変換して、データを再生するものである。
【０００３】また、最近、磁気ヘッド再生部の感度を更に向上させるため、複数の磁性層を非磁性層と介して積層したタイプの磁性層で生じる非常に大きな磁気抵抗変化（巨大磁気抵抗効果またはスピンバルブ効果）を利用した磁気ヘッドが新たな主流に成りつつある。これは、非磁性層を介した複数の磁性層の相対的な磁化方向が、媒体からの漏れ磁界により変化し、磁気抵抗が大きく変化することを利用するものである。
【０００４】磁気ディスクに対する高記録密度化に必要な要素として、（１）磁気ヘッド素子と磁気記録媒体の記録膜との距離（スペーシング）の短縮に伴う表面粗さの平坦化、（２）磁気ヘッド再生部の感度向上に対応した磁気記録媒体の低ノイズ化などが挙げられる。スペーシングは、現在１５ｎｍ以下のものが市場に出ているが、更に短縮するためには、磁気ヘッドと磁気ディスクの接触を回避するか、接触しても磁気ヘッドと磁気ディスクの耐摺動性を高め、磁気ヘッドのトラック位置決め浮上変動を抑制する必要がある。
【０００５】従来、磁気ディスクドライブに組立てる磁気ディスクは、組立て前に、磁気ディスク単体で、グライドテスト及びサーティファイテストと呼ばれている単板検査を行う。グライドテストは、ディスク表面に存在する異常突起（許容範囲外の突起部の存在）を検出、選別する試験方法で、グライドテスト専用のヘッドスライダー部に、ピエゾ素子からなる衝撃センサを設けて、磁気ディスク表面を一定浮上量でシークし、突起物に衝突した時の信号を検知し、異常突起ディスクを検出する。サーティファイテストは、グライドテストを合格したディスクにおいて、所定の記録動作に対して、規定の再生信号レベルが得られるか否かと再生した信号レベルに対して変化の大きい箇所を磁気的な欠陥として検出、選別してきた。即ち、欠陥検査装置（一般にサーティファイヤー）を用いて、まず１トラックに規定周波数で記録を行い、その位置を動かすこと無くトラック平均再生信号レベルを測定し、その値に対する規定のスライスレベルから外れる信号をパルス信号化することによって欠陥と判定させ、次のトラックへ磁気ヘッドを移動させ同様に記録・再生・欠陥検査の順で、磁気ディスク表面の磁気的欠陥検査を行うものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】磁気ディスク装置は、上述した従来技術により磁気ヘッド素子と磁気記録媒体の記録膜とのスペーシングを短縮し、また磁気記録媒体の低ノイズ化及び磁気ヘッドの再生感度向上により高記録密度化を図り、磁気ディスク装置として障害となる異常突起物及び磁気的欠陥を含んだ磁気ディスクを検出し、選別した磁気ディスクを使用してきた。
【０００７】ところが、最近更なる高記録密度化を達成するためにスペーシングが急激に短縮しており、記録再生時にも磁気ヘッドとディスクが接触を避けられない環境になりつつある。実際に磁気ヘッドが磁気ディスクに接触すると、その反動によりヘッド浮上量が変動する現象と、磁気ヘッド位置がディスク半径方向に変動するオフトラック現象が生じ、トラック上に記録された再生信号の大きさが不規則に変動してしまう。本現象が生じると、各トラックに磁気ヘッド位置決めを行うために記録されているサーボ信号を読取る際に、再生信号が変動し、磁気ヘッド位置決め精度を低下又は不能にさせたり、データ情報を読取る際、同様の現象により、読込み不能の状態に陥る可能性がある。
【０００８】そこで、低浮上環境においても磁気ヘッドに対する摩擦力が低く、浮上位置決め精度の低下を及ぼさない磁気ディスクを検査、選別する手法が望まれる。
【０００９】本発明の目的は、高記録密度化を実現する磁気ヘッドと磁気ディスクが極低浮上において、磁気ヘッドと磁気ディスクの接触によるヘッドの浮上変動及びオフトラック等の現象が発生し易い磁気ディスクを精度良く検査、選別する手法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、磁気ディスクを回転させ、磁気ディスク上に磁気ヘッドを滑らせ、又は浮上させた状態での記録・再生動作の検査において、その所定のトラック位置における平均再生信号レベル又はビット単位の再生信号レベルのばらつきを示す標準偏差σを検出することによって、あるいは、磁気ヘッドが磁気ディスクと大きく接触しない１０ｎｍ以上の浮上量（以下、安定浮上量）と単発的又は連続的に接触している可能性の高い５ｎｍ以下の浮上量（以下ニアコンタクト浮上量）の少なくとも２点で、磁気ヘッドの浮上量に対する磁気ヘッドから読み出される再生信号レベルの変化量を検出することによって、ニアコンタクト対応の磁気ディスクの検査、選別を行うものである。
【００１１】まず、平均再生信号レベルを検出する方法は、オフトラックエラー及びヘッド浮上変動が生じると、記録されたトラックから磁気ヘッドが外れる又は浮上変動することによって、再生する出力信号が小さくなることから、本現象を引き起し易い表面形状を持った磁気ディスクを検出、判定することを可能とする。浮上量を変えて測定することによって、絶対値評価ではなく、変化量から求めることから、ヘッドのＭＲ素子感度及び磁気ディスクの磁性膜厚、保護膜厚等のばらつきに影響される度合が小さく、精度良く検査が可能となる。
【００１２】一方、本発明の他の方法は、磁気ヘッドのオフトラック量が時間に対しランダムに動くことから、ビット単位の再生出力信号振幅のばらつき、つまり標準偏差を測定する方法である。この方法においても、前出の第一の方法と同様に、安定浮上量とニアコンタクト浮上量の２点で測定すれば、ＭＲ素子の感度のばらつき等による影響を小さく抑えることができる。さらに、本方法においては、標準偏差の絶対値に閾値を設定することもできるので、ニアコンタクト浮上量での値のみをもって判定することも可能である。
【００１３】磁気ヘッド浮上量は、磁気ディスクの回転数を変えること、または磁気ヘッドの磁気ディスクに対する角度を変えること及び測定環境の雰囲気の圧力を調整すること等によって変化させることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１５】図１は、本発明の一実施の形態である磁気ディスクの検査方法を実施する検査装置の構成の一例を示す概念図である。図１に例示されるように、本実施の形態の検査装置は、検査対象の磁気ディスク１を支持して回転させるスピンドル２、駆動装置３からなる回転駆動系と、回転する磁気ディスク１の表面上に記録、再生を行う磁気ヘッド４および当該磁気ヘッド４の磁気ディスク１の径方向における位置決め動作を行うアクチュエータ４ａ等で構成されるヘッド部と、磁気ヘッド４で再生した信号を増幅し、ディジタルデータに変換する信号処理部５で構成されている。信号処理部５は、磁気ヘッド４で検出した信号を増幅するプリアンプ６、バッファアンプ７と増幅されたアナログ信号をディジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換回路８、磁気ヘッド４で検出し、ディジタル化された信号が記録されるメモリ９、等で構成されている。
【００１６】また、特に図示しないが、磁気ヘッド４には、任意の試験信号を磁気ディスク１に書き込むためのライト回路部も接続されている。
【００１７】上述の各部の動作は、試験制御部１０にて制御される。すなわち、試験制御部１０は、マイクロプロセッサ１０ａと、このマイクロプロセッサ１０ａの配下で駆動装置３の回転制御を行うスピンドルコントローラ１０ｂおよびスピンドルドライバ１０ｃと、検査に関する各種項目の入力、検査結果の出力等のユーザインタフェースや、検査結果の自動判定処理を実行することが可能なソフトウェアを備えたパーソナルコンピュータ１０ｄ等で構成されている。
【００１８】すなわち、本実施の形態では、磁気ディスク１に対する磁気ヘッド４の浮上高さの制御を、一例として、磁気ディスク１の回転数を変化させることによって行うが、この浮上高さ（磁気ディスク１の回転数）の値の指定を、パーソナルコンピュータ１０ｄを介して入力し、この値を、マイクロプロセッサ１０ａ、スピンドルコントローラ１０ｂおよびスピンドルドライバ１０ｃを介して駆動装置３に伝達することで、スピンドル２に支持された磁気ディスク１の回転数を変化させ、磁気ヘッド４の浮上高さの制御を実現する。
【００１９】また、磁気ヘッド４の位置決め制御を行うアクチュエータ４ａの動作も、マイクロプロセッサ１０ａにて制御され、磁気ディスク１の径方向の任意の位置に磁気ヘッド４を位置決めする動作が行われる。
【００２０】磁気ディスク１は、厚さ０．６３５ｍｍ、２．５インチ型の表面を化学強化したアルミノシリケートガラスディスク基板を用い、この基板を洗浄した後、枚葉式スパッタリング装置を用いて、厚さ４０ｎｍのＮｉＣｒＺｒ合金から成る第一の下地層を形成した。その後、ランプヒーターにより基板を加熱し、厚さ３０ｎｍのＣｒＴｉ合金から成る第二の下地層を形成し、その上に厚さ２０ｎｍのＣｏＣｒＰｔから成る磁性層を形成し、その上に厚さ８ｎｍの保護層を形成した。その後、基板をスパッタリング装置からとり外し、保護層上にパーフルオロアルキルポリエテールを主成分とする潤滑剤を塗布して厚さ２ｎｍの潤滑層を形成した。この媒体の磁性層の厚さｔと記録時における磁気記録媒体に対する磁気ヘッドの相対的な走行方向に磁界を印加して測定した残留磁束密度Ｂｒとの積Ｂｒ×ｔは５．０Ｔ・ｎｍ（５０ガウス・ミクロン）であり、保磁力は２６０ｋＡ／ｍｍであった。
【００２１】本実施例では、表１のように、基板の表面形状を変化させて、媒体表面の算術平均粗さ（Ｒａ）と最大高さ（Ｒｙ）が、サンプル１（Ｒａ＝０．５２ｎｍ、Ｒｙ＝４．８ｎｍ）とサンプル２（Ｒａ＝０．８２ｎｍ、Ｒｙ＝８．１９ｎｍ）の２サンプルのディスクを用意した。ここで、算術平均粗さ（Ｒａ）と最大高さ（Ｒｙ）とは、日本工業規格（ＪＩＳＢ０６０１－１９９４）記載の粗さ表現である。
【００２２】
【表１】

上記表面形状の測定には、ディジタルインスツルメンツ社製の走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＮ）ナノスコープIII を用いた。測定範囲は、８０μｍ×８０μｍ、スキャンライン数は、２，０４８本、及びスキャン速度は１本／秒である。また曲率半径２０ｎｍ以下のノンドープシリコン探針付きカンチレバーを用いて、タッピングモードによって表面粗さ曲線を測定した。ここで、タッピングモードとはピエゾ加振器を用いて、カンチレバーを共振周波数近傍（約５０～５００ｋＨｚ）で加振させ、表面上を断続的に軽く触れながら走査する方法である。高さの絶対値はＶＬＳＩスタンダード社製のＶＬＳＩパターン（ＭｏｄｅｌＮｕｍｂｅｒ：ＳＴＳ２－１８０，ＳｅｒｉａｌＮｕｍｂｅｒ３０９１－０１－１０５）を用いて較正した。また、高さ分解能は０．０２ｎｍで測定した。磁気ヘッド４は、ピコサイズ（長手方向１．２ｍｍ×１．０ｍｍ）のスライダーを用い、シールドギャップ長Ｇｓを０．１８μｍとしたスピンバルブ型の再生素子（コア幅０．７μｍ）と、ギャップ長が０．２５μｍの電磁誘導型書込み素子（コア幅１．０μｍ）からなる。磁気ヘッド浮上量は、磁気ディスク１を、スピンドル２、駆動装置３からなる回転駆動系より回転数を変えることによって１～１５ｎｍとした。
【００２３】また本検査装置構成における記録再生条件は、磁気ディスク１の半径位置Ｒ＝２５ｍｍに、磁気ヘッド４の書き込み電流値４０ｍＡ、再生時のＭＲセンス電流値５ｍＡ、孤立再生波（ＬＦ）の記録密度を２０ｋＦＣＩ（ＦｌｕｘＣｈａｎｇｅｐｅｒＩｎｃｈ）、連続波（ＨＦ）となる記録密度を２３０ｋＦＣＩと設定した。また磁気ディスク１の回転数は、磁気ヘッド浮上量が１～１５ｎｍになるように１，０００～６，０００回転／分とした。
【００２４】《実施例１》本発明を適用して、特に磁気ディスク製造工程時に、磁気ヘッドの低浮上化に伴うニアコンタクトの状態において、磁気ヘッドと磁気ディスクが接触することによって磁気ヘッドが振動するような現象（以下、スティックスリップ）によるオフトラックエラー及び磁気ヘッド浮上変動を引起す表面形状を有した磁気ディスクを精密に検出する場合について、図２のフローチャートを参照して説明する。
【００２５】まず、磁気ディスク１を所定の位置、回転数で回転させ、磁気ヘッド４が磁気ディスク１の回転運動に伴って発生する空気動圧により、浮上する。この場合、磁気ディスク１の回転数と磁気ヘッド４の浮上量の関係は、回転数が低下すると、浮上量も低下する。近年、米国特許第３，８５５，６２５号に記載されているような負圧スライダーのような場合、浮上量調整は、今回実施する回転数を変える方法だけでなく、磁気ヘッド４の磁気ディスク１に対する角度（ｓｋｅｗ角）を変える方法や測定環境の圧力を変える方法によっても制御できる。
【００２６】本実施例では、まず磁気ディスク１と磁気ヘッド４が接触しない安定浮上量として３点、つまり磁気ヘッド浮上量１４ｎｍ、８ｎｍ、６ｎｍになるような回転数に設定し、それぞれにおいて磁気ディスク上の１トラックに所定の周波数で記録、再生を行い、１トラックの平均再生信号レベル（ｒｏｏｔｍｅａｎｓｑｕａｒｅ値）を測定した。次に、磁気ディスク１と磁気ヘッド４が接触または単発的に接触するニアコンタクト状態になるような浮上量即ちニアコンタクト浮上量として５ｎｍ以下の４ｎｍ、２ｎｍ、１ｎｍの３点又は２点になるような回転数を設定し、同様に記録再生を行い、１トラックの平均再生信号レベルを測定した。
【００２７】表１に示すサンプル１、サンプル２の表面粗さが異なる磁気ディスク１を用いて、記録密度が２０ｋＦＣＩと２３０ｋＦＣＩの信号を記録した時の平均再生信号レベル（ｙ軸）とヘッド浮上量（ｘ軸）の結果を図４と図５に示す。
【００２８】サンプル２のディスクは、ヘッド浮上量１４ｎｍから１ｎｍ近傍まで、２０ｋＦＣＩ、２３０ｋＦＣＩでの平均再生信号レベルは共に増加したが、サンプル１のディスクはヘッド浮上量４ｎｍ以下で減少した。この時のサンプル１、サンプル２の２３０ｋＦＣＩで記録した各浮上量での再生信号波形を図６に示す。ｘ軸が時間、ｙ軸が再生出力電圧を示す。これより、サンプル２では、ヘッド浮上量を下げても再生波形の出力電圧変動は、殆ど見られないが、サンプル１では、浮上量８ｎｍ以下で出力電圧変動が見られ、浮上量２ｎｍでは、再生信号がほとんど出ていない箇所、つまり記録したトラックから完全に外れた位置で再生していると考えられる。また、意外なことに平坦性の高いサンプル１の方が変動の大きいことが分かる。
【００２９】この磁気ヘッド浮上量に対する平均再生信号レベルの変化量で、磁気ヘッド４が磁気ディスク１上で位置変動したかを判定する。つまり、通常、浮上量を下げると磁気ヘッド４と磁気ディスク１の相対的な距離が縮まり、磁気ヘッド４が磁気ディスク１上に磁気的に記録された信号を受ける量が大きくなるため、平均再生信号レベルは大きくなる。しかし、浮上量を下げた時、磁気ヘッド４が磁気ディスク１上で位置変動を起こすと、記録したトラック上から外れるか、または、浮上変動を起こし、平均再生信号レベルが小さくなる。つまり、浮上量に対する平均再生信号レベルの変化量が負の場合、その浮上領域で位置変動が起こっていなく、正の場合、変動を起こしていることが分かる。
【００３０】本結果の図４、図５より、サンプル１の磁気ディスク１は磁気ヘッド浮上量４ｎｍ以下で再生信号が減少したが、サンプル２の磁気ディスク１で減少していない。従って、本実施の形態の磁気ディスク１を用いる磁気ディスク装置の浮上保証範囲が、６ｎｍから１４ｎｍであることから、安定浮上量として１４ｎｍとし、保証範囲の最下限６ｎｍの安全を見込んでニアコンタクト浮上量としたとき、１４ｎｍでの平均再生信号レベルと、４ｎｍでの平均再生信号レベルとの変化量を比較すると、サンプル１が正で、サンプル２が負である。即ち、サンプル２の方が安定して磁気ヘッド４が磁気ディスク１上を浮上飛行し、磁気ディスク上で磁気ヘッドが位置変動しずらい（すなわちスティックスリップが発生しにくい）磁気ディスクと判定できることが分かる。
【００３１】このように、本実施例１の場合には、磁気ヘッド４の磁気ディスク１に対する浮上量を変えて各々での平均再生信号レベルを測定することによって、絶対値評価ではなく、変化量から求めることから、磁気ヘッド４のＭＲ素子感度及び磁気ディスク１の磁性膜厚、保護膜厚等のばらつきに影響される度合が小さく、精度良く、検査対象の磁気ディスク１においてスティックスリップが発生しやすいか否か等の評価や検査が可能となる。
【００３２】《実施例２》実施例１では、１トラック上の平均再生信号レベルを用いたが、極低浮上域で磁気ヘッドが磁気ディスク上で面内及び高さ方向に変動すると、磁気ヘッドの記録トラックに対する位置ずれが時間に対し、不規則に動くことから、ビット単位の再生信号レベルのばらつき、つまり標準偏差σの値を検査判定項目にする場合を示す。本実施例のフローチャートを図３に示す。図７は、サンプル１及びサンプル２について図６に示した記録密度が２３０ｋＦＣＩの再生信号におけるビット単位の再生信号レベルの偏差σの測定結果を示す。偏差σは、以下のように定義する。図８に例示されるように、１ビットのデータの再生信号の１波長分の最大出力値と最小出力値との差をＸとし、１トラック内のそのｎ波長のデータをＸ₁、Ｘ₂、・・・Ｘ_nとした時、平均値Ｘ_aveは、【００３３】
【数１】

偏差σは、【００３４】
【数２】

とする。今回は、データを取込むメモリ９の記憶容量の都合上、１セクタ分で計算したが、それでもほぼトラック１周分を測定した時の傾向を表している。
【００３５】図７より、サンプル１の磁気ディスクは磁気ヘッド浮上量４ｎｍ以下で偏差σが急激に大きくなったが、サンプル２の磁気ディスクで殆ど変化がなかった。これより実施例１と同様に、例えば安定浮上量として１４ｎｍでの偏差と、ニアコンタクト浮上量として４ｎｍでの偏差を比較すれば、サンプル１では不安定な浮上のために増加し、サンプル２ではほとんど変化しない（すなわちスティックスリップが発生していない）ことが分かる。
【００３６】更に本実施例では、ニアコンタクト浮上量（４ｎｍ以下）を測定することのみによる良否判定が可能である。本実施例においては、例えば、浮上量４ｎｍでσ≦０．１を合格基準とすることができる。
【００３７】このように、本実施例２の場合には、ビット単位の再生出力信号振幅のばらつき、すなわち標準偏差σを測定することで、上述の実施例１の方法と同様に、安定浮上量とニアコンタクト浮上量の２点で測定すれば、磁気ヘッド４を構成するＭＲ素子の感度のばらつき等による影響を小さく抑えて精度良く、検査対象の磁気ディスク１においてスティックスリップが発生しやすいか否か等の評価や検査が可能となる。
【００３８】さらに、本実施例２の方法においては、標準偏差σの絶対値に閾値を設定することで、検査対象の磁気ディスク１においてスティックスリップが発生しやすいか否か等の評価や検査が可能なので、たとえばニアコンタクト浮上量での標準偏差σの値のみをもってスティックスリップが発生しやすいか否か等の判定が可能となり、磁気ディスク１の製造工程でのスティックスリップの検査や判定作業の簡略化を実現することが可能となる。
【００３９】以上本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００４０】
【発明の効果】本発明の磁気ディスクの検査方法および検査装置によれば、極低浮上環境下で生じる磁気ヘッドと磁気ディスクの接触によるトラック位置ずれ及び磁気ヘッド浮上量変動による再生信号変動量を直接に測定でき、当該磁気ディスクが実装される磁気ディスクドライブで許容される変動量と比較することで、その変動を引起こす磁気ディスクを精度良く検出、選別することが可能になる、という効果が得られる。

【出願人】	【識別番号】０００００５１０８【氏名又は名称】株式会社日立製作所
【出願日】	平成１２年８月８日（２０００．８．８）
【代理人】	【識別番号】１０００８０００１【弁理士】【氏名又は名称】筒井大和
【公開番号】	特開２００２－５６５２７（Ｐ２００２－５６５２７Ａ）
【公開日】	平成１４年２月２２日（２００２．２．２２）
【出願番号】	特願２０００－２３９３２８（Ｐ２０００－２３９３２８）