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【発明の名称】 記録再生ヘッド及び磁気記録装置
【発明者】 【氏名】桐野 文良

【氏名】太田 憲雄

【氏名】竹内 輝明

【氏名】粟野 博之
【要約】 【課題】熱アシスト磁気記録用の磁気記録媒体の記録再生に好適な記録再生ヘッド及び磁気記録装置を提供する。

【解決手段】サスペンション１０３ａ及び１０３ｂを光ヘッド１１０に接続させて設けるとともに、該サスペンション１０３ａ及び１０３ｂの先端に磁気ヘッド１２０を形成し、磁気ヘッド１２０を光ヘッド１１０の光射出側でサスペンション１０３ａ及び１０３ｂにより支持する。これにより磁気ヘッド１２０は光ヘッド１１０と磁気記録媒体１０との間に安定して配置されるとともに磁気記録媒体１０の表面に近づけられる。光ヘッドから出射する光は磁気ヘッドの空芯コイルの中央部を透過して媒体上に照射される。かかる記録再生ヘッドは磁気記録媒体に微小な磁区を精度良く形成できるので、４０Ｇｂｉｔｓ／ｉｎｃｈ２（約６．２０Ｇｂｉｔｓ／ｃｍ２）を越える超高密度な磁気記録装置を提供できる。
【特許請求の範囲】
【請求項１】 磁気記録媒体の記録再生ヘッドにおいて、磁気記録媒体に光を照射するための光ヘッドと、磁気記録媒体に磁界を印加するための記録素子及び磁気記録媒体からの漏洩磁界強度を検出するための再生素子を有する磁気ヘッドとを備え、上記磁気ヘッドが、上記光ヘッドに接続された少なくとも一つのサスペンションにより、光ヘッドの光射出側で支持されていることを特徴とする記録再生ヘッド。
【請求項２】 上記記録素子の磁界発生部と光ヘッドの光出射部がほぼ同軸になるように磁気ヘッドが配置されていることを特徴とする請求項１に記載の記録再生ヘッド。
【請求項３】 上記記録素子は空芯コイルであり、該空芯コイルにより磁気記録媒体に磁界が印加されることを特徴とする請求項１または２に記載の記録再生ヘッド。
【請求項４】 上記空芯コイルの中心部分を光ヘッドからの光が通過することを特徴とする請求項３に記載の記録再生ヘッド。
【請求項５】 更に、上記磁気ヘッドは、磁気記録媒体上を浮上するスライダに搭載されており、該スライダに光ヘッドからの光を透過するための光透過部が形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の記録再生ヘッド。
【請求項６】 上記光透過部は、上記光ヘッドから出射する光の径よりも小さな径を有する貫通穴であることを特徴とする請求項５に記載の記録再生ヘッド。
【請求項７】 上記再生素子は、磁気抵抗効果素子、巨大磁気抵抗効果素子及び磁気トンネル型磁気抵抗効果素子からなる群から選ばれた１種の再生素子であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の記録再生ヘッド。
【請求項８】 上記光ヘッドは、光を集光するための対物レンズを備えることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の記録再生ヘッド。
【請求項９】 上記光ヘッドは光反射部材を備え、光反射部材により光が磁気ヘッドの方向に導かれることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の記録再生ヘッド。
【請求項１０】 請求項１〜９のいずれか一項に記載の記録再生ヘッドと、磁気記録媒体と、上記記録再生ヘッドを上記磁気記録媒体に対して駆動するための駆動装置とを備える磁気記録装置。
【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体に情報の記録、消去、再生を行なうための記録再生ヘッド及びそれを装着した磁気記録装置に関し、特に、情報記録時に磁気記録媒体に熱を与えつつ磁界を印加することができる記録再生ヘッド及びそれを装着した磁気記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年の高度情報化社会の進展にはめざましいものがあり、各種形態の情報を統合したマルチメディアが急速に普及してきている。マルチメディアの一つとしてコンピュータ等に装着される磁気ディスク装置が知られている。現在、磁気ディスク装置は、記録密度を向上させつつ小型化する方向に開発が進められている。また、それに並行して装置の低価格化も急速に進められている。
【０００３】磁気ディスクの高密度化を実現するためには、１）磁気ディスクと磁気ヘッドとの距離を狭めること、２）磁気記録媒体の保磁力を増大させること、３）信号処理方法を高速化すること、４）磁気記録媒体の熱揺らぎを低減すること、等が要望されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来は、高密度化のために保磁力を高めた磁気記録媒体に情報を記録することは極めて困難であった。これは、現状の磁気ヘッドで発生できる磁界強度には限界があり、その磁界強度よりも大きな保磁力を有する磁気記録媒体には情報を記録することができないからである。そこで、保磁力を高めた磁気記録媒体に光ヘッドを用いて光を照射することによって記録すべき領域を加熱してその領域の保磁力を低下させ、保磁力が低下した領域に磁気ヘッドを用いて情報に応じた磁界を印加して情報を記録する方法が提案されている。以下、かかる記録方法を熱アシスト磁気記録と称する。熱アシスト磁気記録により記録された情報の再生には、従来の磁気ディスクの再生と同様に、磁気ヘッドに搭載された再生用素子を用いて、磁気記録媒体からの漏れ磁界を検出する。熱アシスト記録する場合には、光を照射した領域に確実に磁界が印加されるように、磁気ヘッドと光ヘッドを一致させる必要がある。
【０００５】日本応用磁気学会第１１３回研究会資料（pp11-40、2000）には、光磁気記録媒体の記録方式と磁気記録媒体の記録方式の利点を融合させて、高保磁力な記録媒体に微小な磁区を形成する技術が開示されている。
【０００６】本発明はかかる実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、熱アシスト磁気記録に好適な記録再生ヘッド及びそれを備える磁気記録装置を提供することにある。
【０００７】本発明の別の目的は、熱アシスト磁気記録用の磁気記録媒体に微小な磁区を安定して形成することができる記録再生ヘッド及びそれを備える磁気記録装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の態様に従えば、磁気記録媒体の記録再生ヘッドにおいて、磁気記録媒体に光を照射するための光ヘッドと、磁気記録媒体に磁界を印加するための記録素子及び磁気記録媒体からの漏洩磁界強度を検出するための再生素子を有する磁気ヘッドとを備え、上記磁気ヘッドが、上記光ヘッドに接続された少なくとも一つのサスペンションにより、光ヘッドの光射出側で支持されていることを特徴とする記録再生ヘッドが提供される。
【０００９】本発明の記録再生ヘッドは、光ヘッドと磁気ヘッドとサスペンションを備えており、図１に示すように、サスペンション１０３ａ及び１０３ｂの一端がそれぞれ光ヘッド１１０に取り付けられ、サスペンション１０３ａ及び１０３ｂの先端部分に磁気ヘッド１２０が形成された構造を有し、磁気ヘッドは光ヘッドの光出射側でサスペンションにより支持されている。サスペンションにより支持される磁気ヘッドは、その磁界発生部分と光ヘッドの光軸が一致するように配置されることが好ましい。これにより、情報記録時には光ヘッドから照射される光により磁気記録媒体の所望の領域を加熱すると同時に、磁気ヘッドから記録情報に応じた極性の磁界を加熱した領域に印加することにより磁気記録媒体に確実に情報を記録することができる。それゆえ、熱アシスト磁気記録用の記録再生ヘッドとして極めて好適である。
【００１０】本発明の記録再生ヘッドにおいて、磁気ヘッドを支持するためのサスペンションは、例えば、弾性を有する板ばねやワイヤを用いて構成することができる。磁気ヘッドを複数のサスペンションを用いて支持する場合には、それぞれのサスペンションの先端部で磁気ヘッドを保持するとともに、各サスペンションの他端を光ヘッドの本体部と連結すればよい。複数のサスペンションを用いて磁気ヘッドを支持することにより、記録再生時に、磁気ヘッドを磁気記録媒体上で安定して浮上させることができる。更には、光ヘッドから出射する光の光軸と磁気ヘッドから発生する磁界の中心との位置ずれを抑制することができる。
【００１１】本発明の記録再生ヘッドの磁気ヘッドは、空芯コイルを備えることができ、かかる空芯コイルにより磁気記録媒体に記録情報に応じた極性の磁界を印加することができる。この場合、空芯コイルの中央部分に光透過部を形成し、光ヘッドから出射した光を、かかる光透過部を透過させて磁気記録媒体に照射させるようにすることができる。
【００１２】磁気ヘッドには、磁気記録媒体から漏洩する磁界強度を磁気抵抗効果により検出する素子として、ＭＲ素子（Magneto Resistive素子；磁気抵抗効果素子）やＧＭＲ素子（Giant Magneto Resistive素子；巨大磁気抵抗効果素子）、ＴＭＲ素子（Tunneling Magneto Resistive素子；磁気トンネル型磁気抵抗効果素子）を搭載することができる。これらの再生素子を用いることにより磁気記録媒体に記録された情報を高いＳ／Ｎで再生することができる。
【００１３】本発明において、磁気ヘッドはスライダに搭載されることができ、これにより磁気ヘッドを、磁気記録媒体上で一定の間隔を保持した状態で浮上させることができる。スライダは、磁気記録媒体の回転によって生じる空気流による浮力と、光ヘッドに対して磁気ヘッドを支持しているサスペンションの弾性力とが釣り合った位置で安定に磁気記録媒体上を浮上するので、スライダの浮力とサスペンションの弾性力とを適当に調整することにより、磁気ヘッドを磁気記録媒体に近接させつつ浮上させることが可能になる。これにより、記録や消去に印加する磁界強度を従来よりも弱くしても、磁気記録媒体の記録層に形成されている磁区の磁化を確実に反転させることができる。それゆえ、磁気ヘッドの記録周波数を向上させることが可能になるので、磁気ヘッドから発生する磁界の極性を記録周波数に応じて十分に追随することが可能になり、従来よりも高密度記録を実現できる。
【００１４】また、スライダには、光ヘッドから出射した光を透過させるための光透過部を形成することが好ましい。光透過部は例えば直径１００ｎｍ〜３００ｎｍ程度の円形の貫通穴（ピンホール）から構成することができる。貫通穴の径は、光ヘッドから出射する光の径よりも小さくてもよい。これにより光ヘッドから出射する光の一部が貫通穴を通過し、光ヘッドから出射した光よりも小さな光径の光が貫通穴から出射して磁気記録媒体上に照射される。すなわちスライダに形成された貫通穴が微小光源となる。これにより磁気記録媒体の微小領域が加熱されることになり、微小な磁区を磁気記録媒体の記録層に形成することが可能となる。ここで、スライダに形成された貫通穴を透過させる光は、対物レンズにより集光された光であっても、光源から出射した光を例えば光ファイバなどを用いて導いた光であってもよい。また、上述の光反射部材により反射されて導かれた光であってもよい。光ファイバや光反射部材を用いた場合は、対物レンズを用いる必要がないので光ヘッドを軽量化することができる。
【００１５】本発明において、光ヘッドは光を集光するための対物レンズを備えることができる。これにより、対物レンズで集光させた光を磁気記録媒体上に照射させることが可能となり、磁気記録媒体の記録層の微小領域を局所的に加熱することができる。本発明では、光ヘッドから出射した光で媒体が所定温度、例えば１００℃〜１２０℃程度に加熱されれば足りるので、対物レンズの焦点位置を磁気記録媒体の記録層上に必ずしも精密に合わせる必要はない。それゆえ、対物レンズの焦点位置を精密に合わせるための機構を設ける必要がなくなるので、光ヘッドを構成する部品を少なくすることができ、光ヘッドを軽量化することができる。
【００１６】本発明において、光ヘッドは、光源から出射したレーザー光を磁気ヘッドの位置する側に導くための光反射部材を備え得る。かかる光反射部材は、例えば図６及び図８に示すようにプリズム６１やミラー７１などを用いて構成することができる。光反射部材で反射されたレーザー光は、磁気ヘッド１２０を通過した後、媒体上に照射され、媒体の所望の領域を所望の温度で加熱することができる。
【００１７】また、光ヘッドは、磁気記録媒体に光を照射するための光源として、例えば発振波長が４００ｎｍ〜８５０ｎｍの半導体レーザー光源を搭載することもできる。光ヘッドから発生させる光は、連続光であってもパルス光であっても良い。特に、パルス光を媒体に照射して記録を行なうと、記録層に形成される記録マークのトラック幅方向の寸法を極めて狭くすることができる。
【００１８】本発明の第２の態様に従えば、本発明の第１の態様に従う記録再生ヘッドと、磁気記録媒体と、上記記録再生ヘッドを上記磁気記録媒体に対して駆動するための駆動装置とを備える磁気記録装置が提供される。
【００１９】本発明の磁気記録装置は、本発明の記録再生ヘッドを備えるので熱アシスト用の磁気記録媒体に微小な磁区を高い精度で安定して記録することができる。それゆえ４０Ｇｂｉｔｓ／ｉｎｃｈ２（約６．２０Ｇｂｉｔｓ／ｃｍ２）を越える記録密度を有する磁気記録装置を提供することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】本発明の記録再生ヘッド及び記録再生装置について実施例を用いて更に詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００２１】
【実施例１】〔記録再生ヘッド〕本発明に従う記録再生ヘッドの一具体例の概略構成を図１に示す。図１（Ａ）は、記録再生ヘッドの概略断面図であり、図１（Ｂ）は記録再生ヘッド１００に搭載されている磁気ヘッド１１０を下方側から見た概略図である。記録再生ヘッド１００は、光ヘッド１１０、磁気ヘッド１２０及びサスペンション１０３ａ、１０３ｂを主に備える。光ヘッド１１０は、対物レンズ１０１及び光学素子１０８並びにそれらを保持する本体部１０７から主に構成される。対物レンズ１０１の開口数は０．６である。磁気ヘッド１２０は、磁気ディスク１０に磁界を印加するための空芯コイル１０２と、巨大磁気抵抗効果を用いたデュアルスピンバルブ型のＧＭＲ素子１０５とから主に構成される。空芯コイル１０２の外径は約５０μｍ、内径（空芯部の直径）は約７μｍであり、ターン数は２０ターンである。ＧＭＲ素子１０５は、図１において、空芯コイル１０２の右側に接着されて形成されている。サスペンション１０３ａ、１０３ｂは、弾性を有する薄板状の板バネであり、光ヘッド本体部１０７の底面の外周部分にそれぞれ接続され、それぞれのサスペンション１０３ａ及び１０３ｂの先端部が対物レンズの下に向かって延在するように配置されている。サスペンション１０３ａ及び１０３ｂの先端には磁気ヘッド１２０が取り付けられており、磁気ヘッド１２０の空芯コイル１０２の中心と対物レンズ１０１の光軸がほぼ一致するように磁気ヘッド１２０の位置が調整されている。不図示の半導体レーザー光源（発振波長は約６３０ｎｍ）から出射したレーザー光は、光ヘッド１１０の対物レンズ１０１で集光され、空芯コイル１０２の中心（芯部）を通過して磁気ディスク１０上に照射される。
【００２２】記録再生時には、磁気ヘッド１２０は磁気ディスク１０の表面から１０ｎｍの高さで浮上する。磁気ヘッド１２０はサスペンション１０３ａ及び１０３ｂにより支持されているので、磁気ヘッド１２０に搭載された空芯コイル１０２と磁気ディスク１０の表面との距離を短くできるとともに、一定の距離に保つことができる。その結果、空芯コイル１０２に流す電流を少なくしても記録や消去を行うことができる。また、空芯コイル１０２の中心と光ヘッドの対物レンズ１０１の光軸とを一致するように取り付けているので、空芯コイルの空芯の直径（コイルの中心部分の穴の直径）を小さくできる。そのため、空芯コイル１０２から強磁界を発生させることができるとともに、発生させた強磁界を磁気ディスクに印加することができる。特に、空芯コイル１０２に流す記録電流を小さくできるので、低消費電力化やコイルの小型化、コイルの発熱の抑制などを実現できる。また高周波記録が可能になるので転送速度を向上させることができる。
【００２３】〔磁気記録装置〕上記記録再生ヘッド１００は、図２及び３に示す熱アシスト磁気記録用の磁気記録装置２００に搭載される。図２は磁気記録装置２００の上面の図であり、図３は、図２の破線Ａ−Ａ’における磁気記録装置２００の断面図である。図２及び３において、記録再生ヘッド１００は、駆動系５４により制御される。磁気ディスク１０は回転駆動系のスピンドル５２により同軸回転される。
【００２４】つぎに、図４に磁気記録装置２００の回路構成の概略を示す。磁気記録装置２００は、記録再生ヘッドドライバ４１、半導体レーザー（光源）４２、レーザードライバ４３、再生回路４４、コントローラ４５、回転駆動系５４及び磁気ディスク１０を主に備える。回転駆動系５４はロータリーアクチュエータ４６及びスイングアーム４７から主に構成される。情報記録時または再生時には、スイングアーム４７は、ロータリーアクチュエータ４６の中心軸で回転し、記録再生ヘッド１００を磁気ディスク１０上の所望位置に位置付ける。記録再生ヘッド１００の磁気ディス１０上の位置決めは、磁気ヘッド１２０で磁気ディスク１０に記録されている磁気サーボ信号を検出することによって行なうことができる。記録再生ヘッドドライバ４１は、情報記録時に、記録再生ヘッド１００に搭載された磁気ヘッドの空芯コイルにコイル駆動電流を流して空芯コイルから磁気記録媒体に記録情報に応じた磁界を印加することができる。また、記録再生ヘッドドライバ４１は、情報再生時には、記録再生ヘッド１００のＧＭＲ素子によって検出された、磁気ディスクの磁性層からの漏れ磁界を電気信号に変換し、変換された電気信号を再生回路に出力することができる。電気信号は再生回路４４にて再生データに変換され、磁気ディスク１０に記録された情報が再生される。レーザドライバ４３は、レーザ駆動電流を半導体レーザー４２に流して半導体レーザー４２から磁気ディスク１０にレーザー光を照射させることができる。また、レーザードライバ４３は、半導体レーザー４２を制御して、半導体レーザー４２から連続的またはパルス状にレーザー光を発生させることができる。コントローラ４５は、記録情報に応じて、記録再生ヘッド１００の磁気ヘッドから発生させる磁界と半導体レーザー４２から発生させるレーザー光とが磁気ディスク上に同じタイミングで適用されるようにレーザードライバ４３と記録再生ヘッドドライバー４１を制御することができる。
【００２５】〔磁気ディスク〕つぎに、上記磁気記録装置２００に搭載される磁気ディスク１０について説明する。図９に、磁気ディスク１０の概略断面構造を示す。磁気ディスク１０は、光磁気記録に用いられる媒体と同様の積層構造を有し、基板１上に光反射膜２、第１無機化合物膜３、磁性膜４、第２無機化合物膜５及び潤滑剤層６を順次積層した構造を有する。かかる構造を有する磁気ディスク１０を以下に示すようにして製造した。
【００２６】まず、基板１として、直径３．５インチ（約８．８９ｃｍ）のガラス基板を用意した。次いで、かかる基板１上に、光反射膜２としてＡｌ−Ｔｉ膜を３０ｎｍの膜厚に形成した。純Ａｒを放電ガスに、Ａｌ９０Ｔｉ１０合金をターゲットにそれぞれ使用した。スパッタ時の圧力は１５ｍＴｏｒｒ（約１．９９５Ｐａ）、投入ＲＦ電力は０．５ｋＷ／１５０ｍｍφである。ここで、成膜された薄膜の組成とターゲットの組成には違いは見られなかった。
【００２７】つぎに、光反射膜２上に第１無機化合物膜３として、窒化シリコン膜をスパッタ法により形成した。Ｓｉをターゲットに、Ａｒ／Ｎ２を放電ガスにそれぞれ使用した。スパッタ時の圧力は１０ｍＴｏｒｒ（約１．３３Ｐａ）、投入ＲＦ電力は０．７ｋＷ／１５０ｍｍφである。第１無機化合物膜３の膜厚は１５ｎｍである。
【００２８】次いで、第１無機化合物膜３上に、磁性膜４として、Ｔｂ−Ｆｅ−Ｃｏ膜をスパッタ法により２５ｎｍの膜厚で成膜した。スパッタ用のターゲットには熱間静圧プレス（ＨＩＰ）法により作製したＴｂ２６Ｆｅ６２Ｃｏ１２合金を用いた。ＨＩＰ法によりターゲットを作製すると、ターゲット中の酸素含有量を低減できるとともに、ターゲットと成膜される膜との間の組成差を大幅に低減できる効果が得られる。スパッタ時の圧力は５ｍＴｏｒｒ（約６６５ｍＰａ）、投入ＲＦ電力は１．５ｋＷ／１５０ｍｍφである。かかる磁性膜の磁気特性を測定したところ、保磁力が１０．０ｋＯｅ（約７９５．８ｋＡ／ｍ）であり、垂直磁気異方性エネルギーが２×１０７ｅｒｇ／ｍｌ、飽和磁化は１２０ｅｍｕ／ｍｌであった。また、キュリー温度は２１０℃、補償温度は８０℃であった。
【００２９】次いで、磁性膜４上に第２無機化合物膜５として窒化シリコン膜をスパッタ法により６５ｎｍの膜厚に形成した。Ｓｉをターゲットに用い、Ａｒ／Ｎ２を放電ガスに用いた。スパッタ時の圧力は１０ｍＴｏｒｒ（約１．３３Ｐａ）、投入ＲＦ電力は０．７ｋＷ／１５０ｍｍφである。第２無機化合物膜５の膜厚は、２０ｎｍとした。
【００３０】次いで、第２無機化合物膜５の表面をテープクリーニングした後、その表面に潤滑剤を膜厚約１ｎｍで塗布した。こうして図９に示す積層構造を有する磁気ディスクを作製した。なお、記録再生時に、磁気ヘッドと磁気ディスク表面との距離が１００ｎｍ以上である場合には、テープクリーニングなどの処理を除いて製造プロセスを簡素化しても良い。
【００３１】〔記録再生特性〕つぎに、磁気ディスク１０に４０Ｇｂｉｔｓ／ｉｎｃｈ２（約６．２０Ｇｂｉｔｓ／ｃｍ２）に相当する信号（７００ｋＦＣＩ）を記録した。情報の記録には、図１において、光ヘッド１１０から連続的にレーザー光を磁気ディスク１０に照射すると同時に、磁気ヘッド１２０に搭載した空芯コイル１０２から一定の変調を施した変調磁界を印加した。ここで、情報の記録に、光パルスと磁界の両方を変調した光パルス磁界変調方式を用いても良く、光のみを変調させる光強度変調記録方式を用いても良い。いずれの場合も、情報記録時に磁界印加と光照射が同時に行なわれる。本実施例の記録再生ヘッド１００は、空芯コイル１０２と磁気ディスク１０との距離を狭くすることができるので、弱い磁界で記録が可能である。また、空芯コイル１０２のインダクタンスも小さくできるので、高周波記録も可能になる。
【００３２】図１に示す磁気ヘッド１２０のＧＭＲ素子１０５により、同一の記録マークを再生したところ、ギャップ長が０．１２μｍのＧＭＲ素子では、Ｓ／Ｎが３４ｄＢの再生信号出力を得た。ここで、磁気ヘッド１２０の底面と磁気ディスク１０の磁性層との距離は１２ｎｍである。この浮上距離は、サスペンション１０３ａ及び１０３ｂの弾性係数を調整したり、磁気ヘッド１２０の底面の形状を変更したり、磁気ディスク１０の回転数を好適に選択することにより所望の値に調整することができる。磁気ディスクの欠陥レートを測定したところ、信号処理を行わない場合の値で１×１０−５以下であった。
【００３３】なお、情報記録時には、光ヘッド１１０から２０ｎｓ間隔のマルチパルスを連続して照射すると同時に、磁気ヘッド１２０の空芯コイル１０２から一定に変調した磁界を磁気ディスク１０へ印加してもよい。また、光ヘッド１１０からパルス間隔が１５ｎｓで１５ｍＷの微小光パルスを出射するとともに、空芯コイル１０２からパルス状の磁界を光パルスに同期させて印加することによって磁気ディスク１０に情報を記録しても良い。これにより、空芯コイルの空芯の直径よりも著しく微小な磁区を磁気ディスクの磁性膜に形成することができた。
【００３４】以上の結果から、光ヘッドの光射出側にサスペンションで支持された磁気ヘッドを搭載した記録再生ヘッドを用いることにより、４０Ｇｂｉｔｓ／ｉｎｃｈ２（約６．２０Ｇｂｉｔｓ／ｃｍ２）を超える記録密度を達成することができた。本発明の記録再生ヘッドを用いると、狭い範囲に磁界を印加できるので、再生分解能を向上させることができる。
【００３５】
【実施例２】図５に、記録再生ヘッドの別の具体例の概略構成を示す。図５（Ａ）は記録再生ヘッドの概略断面図であり、図５（Ｂ）は記録再生ヘッドに搭載されている磁気ヘッドを底面から見た概略図である。かかる記録再生ヘッド５００はスライダ５５を備えており、かかるスライダ５５に空芯コイル１０２及びＧＭＲ素子１０５が搭載されている。スライダ５５は、光ヘッド１１０に接続されたサスペンション１０３により光ヘッド１１０の光出射側で支持されている。スライダ５５には光透過部として貫通穴５６が形成されており、貫通穴５６と空芯コイル１０２の中心が一致するように空芯コイル１０２が配置されている。貫通穴５６の直径は、スライダ５５の上方に位置する光ヘッド１１０から出射する光の直径よりも大きく、約１．５μｍである。光ヘッド１１０の対物レンズ１０１で集光された光は、貫通穴５６を通過して磁気ディスク１０上に照射される。また、スライダ５５は、記録再生時に磁気ディスク１０上を所望の高さで浮上することができる。これにより空芯コイル１０２を磁気ディスク１０に、より一層近接させることができる。
【００３６】以上、本発明の記録再生ヘッド及び磁気記録装置について実施例により具体的に説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、種々の改良例及び変形例をも含む。例えば、実施例１の記録再生ヘッドは、磁気ヘッドを２つのサスペンションを用いて光ヘッドの下方で支持した構成にしたが、３つまたは４つ以上のサスペンションを用いて磁気ヘッドを支持しても良い。磁気ヘッドを固定する個所が増えると、対物レンズの光軸と空芯コイルの中心との位置合わせを、より一層安定させることができる。
【００３７】また、実施例１では、磁気ディスク用の基板に直径３．５インチ（約８．８９ｃｍ）の基板を用いたが、いずれのサイズのディスク基板を用いてもよい。また、基板の材料もガラスに限定されるものではなく、例えば、ポリカーボネイトやアモルファスポリオレフィンなどの樹脂を用いても本発明の効果は左右されるものではない。また、記録再生ヘッドの位置決めのために、凹凸の案内溝を有する基板を用いることもできる。この場合、磁気ディスクの形成後に凹凸の案内溝を作製しても良い。
【００３８】また、上記実施例では、記録再生ヘッドに搭載される再生用素子としてＧＭＲ素子を用いたが、ＭＲ（Magneto Resistive）素子やＴＭＲ（Tunneling MagnetoResistive）素子を用いることもできる。
【００３９】また上記実施例１では、磁気記録装置に搭載する磁気ディスクとして、光磁気記録で用いられる媒体と同様の積層構造を有する磁気ディスクを作製したが、これに限らず、既に知られた磁気ディスク、例えば磁性層にＣｏ系の磁性材料を用いた磁気ディスクや、熱アシスト磁気記録用の磁気ディスクを用いることもできる。
【００４０】上記実施例２では、スライダに形成した貫通穴の直径を、光ヘッドから出射する光の径よりも大きくしたが、貫通穴の直径を光の直径よりも小さくしても良い。この場合は、光ヘッドから出射した光の一部が貫通穴を通過して磁気ディスク上に照射される。これにより磁気ディスクの所望の微小領域が加熱されるので、微小な記録マークを磁性膜に形成できる。
【００４１】また、記録再生ヘッドの変形例として、図８に示すように、光ヘッド１１０を支持するアーム８１にサスペンション１０３を連結し、サスペンション１０３の先端部が光ヘッド１１０の下方に位置するように配置させ、サスペンション１０３の先端に磁気ヘッド１２０を固定することによって、光ヘッドの光出射側で磁気ヘッド１２０を支持させた構造の記録再生ヘッドを用いてもよい。
【発明の効果】本発明の記録再生ヘッドは、磁界印加用の空芯コイル及び再生素子を備える磁気ヘッドが光ヘッドと接続されたサスペンションに取り付けられ、光ヘッドの光射出側で支持された構造を有している。かかる記録再生ヘッドを磁気ディスク上に配置させると、磁気ディスクの回転により記録再生ヘッドに搭載されている磁気ヘッドが所望の浮上高さで安定して浮上する。これにより磁気ディスクに一定強度の磁界を安定して印加できる。また、磁気ヘッドの空芯コイルの小型化及び低消費電力化が図れると同時に、インダクタンスを低くできるので、高周波記録が可能になり、転送速度を高めることができる。更に、空芯コイルの中心部分の穴径を小さくすることができるので、空芯コイルから強磁界を発生させることができる。それゆえ空芯コイルと磁気記録媒体との距離を離しても情報の記録及び消去に十分な磁界強度を印加することとができる。したがって、ヘッドクラッシュなどを抑制でき、高い信頼性を有する磁気記録装置を提供することができる。
【００４２】本発明の記録再生ヘッドを備える磁気記録装置は、磁気記録媒体に微小な磁区を精度良く形成できるので、４０Ｇｂｉｔｓ／ｉｎｃｈ２（約６．２０Ｇｂｉｔｓ／ｃｍ２）を越える超高密度記録を実現することができる。
【出願人】 【識別番号】０００００５８１０
【氏名又は名称】日立マクセル株式会社
【出願日】 平成１２年８月７日（２０００．８．７）
【代理人】 【識別番号】１０００９９７９３
【弁理士】
【氏名又は名称】川北 喜十郎
【公開番号】 特開２００２−５６５０２（Ｐ２００２−５６５０２Ａ）
【公開日】 平成１４年２月２２日（２００２．２．２２）
【出願番号】 特願２０００−２３７９９９（Ｐ２０００−２３７９９９）