| 【発明の名称】 |
半導体製造装置及びその表示画面切り替え方法 |
| 【発明者】 |
【氏名】南田 幸廣
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| 【要約】 |
【課題】オペレータが簡単な操作で表示画面を切り替えでき、通常生産時の操作性を向上させた半導体製造装置を提供する。
【解決手段】表示を切り替える専用の入力装置４、表示機器２、通常の入力機器３、入力機器と表示切替用入力機器からの指令に基づいて装置の状態を表示機器の画面に表示するインターフェイス制御機器１、及び入力機器３と表示切替用入力機器４による画面の変更履歴を記憶する画面変更履歴テーブル１０１を有する。また、装置での基板処理枚数を記憶する基板処理テーブル１０２を有し、所定の枚数以下の試作ロット生産時の画面変更履歴を画面変更履歴テーブル１０１より削除する。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 半導体製造装置の状態などのデータを表示する表示機器、前記半導体製造装置へ制御データなどの指令を与える入力機器、前記表示機器への表示切替の指令のみを与える表示切替用入力機器、前記入力機器及び前記表示切替用入力機器からの指令に基づいて前記半導体製造装置の制御データ及び状態などのデータを、前記表示機器に表示するよう制御するインターフェイス制御機器、前記半導体製造装置全体の制御データを出力する装置制御機器、前記装置制御器からの制御データにより前記半導体製造装置を動作させる駆動部、前記半導体製造装置の状態を検出して前記装置制御機器に出力するセンサ部、及び前記入力機器と前記表示切替用入力機器による画面の変更履歴を記憶する画面変更履歴テーブルを有し、前記表示切替用入力機器による表示切替の指令が前記画面変更履歴テーブルに記憶された変更履歴に基づいて行われることを特徴とする半導体製造装置。
【請求項２】 前記インターフェイス制御機器内に、前記画面変更履歴テーブルを有することを特徴とする請求項１記載の半導体製造装置。
【請求項３】 前記インターフェイス制御機器内に、前記半導体製造装置での基板処理枚数を記憶する基板処理テーブルを有し、前記基板処理テーブルに記憶されている基板処理数が所定の値以下の小ロットであった場合、前記インターフェイス制御機器が前記小ロット処理時の画面変更履歴を前記画面変更履歴テーブルより削除することを特徴とする請求項２記載の半導体製造装置。
【請求項４】 半導体製造装置の状態などのデータを表示する工程、前記表示機器への表示切替の指令を与える工程、前記表示切替の指令による表示画面の変更履歴を記憶する工程、及び前記表示機器に与える表示切替の指令が記憶した画面変更履歴に基づいて行う工程、を有することを特徴とする半導体製造装置の表示画面の切り替え方法。
【請求項５】 前記半導体製造装置での基板処理枚数を記憶する工程、及び前記基板処理数が所定の値以下の小ロットであった場合に、前記小ロットの画面変更履歴を消去する工程、を有することを特徴とする請求項４記載の半導体製造装置の表示画面の切り替え方法。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体基板（サブストレート）を一枚毎に処理し、基板上に半導体などを形成するための処理を行う半導体製造装置に関し、特にその装置の状態などを確認するための表示機器の表示切替操作を簡単・容易にした半導体製造装置及びその表示画面の切り替え方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、半導体製造装置は、種々の複雑な処理を所定の条件下で施し、基板上に半導体素子などを形成するための加工を行っている。したがって、半導体製造装置においては、その装置の状態を表示する表示機器を有しており、表示機器に表示されている画面の切替を入力機器から行って種々の処理の状態を確認して、加工方法の設定などを行う必要がある。
【０００３】また、半導体製造装置においては、基板の処理中や処理直後に処理データを確認することがしばしばあり、入力機器から指示を入力して、表示機器への表示画面を切り替えることで多種のデータを確認している。さらに、半導体製造装置においては、その装置の状態を管理するため、通常生産とは別に、小数の基板の試作ロットを処理し、その処理状態で管理を行うことがある。
【０００４】このような半導体処理装置で、オペレータが表示機器で種々の表示画面を切り替える従来の方法を図７及び図８を参照しつつ以下に説明する。図７は従来の半導体製造装置の構成を示すブロック図である。図７において、インターフェイス制御機器１は、主にオペレータと装置とのインターフェイスである表示機器２を制御して半導体製造装置の状態などの表示をおこなう。入力機器３は、インターフェイス制御機器１へオペレータの指示を伝える。装置制御機器５は、インターフェイス制御機器１とデータ交換を行いながら装置全体の制御を行う。駆動部６は、装置制御機器５からの指令に基づいて半導体製造装置を動作させる。センサ部７は、装置制御機器５に半導体製造装置の状態のデータを伝える。
【０００５】図８は、従来の半導体製造装置における表示機器に表示される画面の遷移状態を説明するフロー図である。図８において、半導体製造装置の起動直後に主画面８が表示される。オペレータは、入力機器３を操作して、確認したい処理工程の状態を表示するいくつかの必要な画面８１、８２、８３を主画面８から切り替えて表示させる。画面８１に関連する画面８１１〜画面８１３は、オペレータが入力機器３を操作することで、それぞれ画面８１から切り替わる画面である。画面８２に関連する画面８２１〜画面８２３は、オペレータが入力機器３を操作することで画面８２から切り替わる画面である。画面８３に関連する画面８３１〜画面８３３は、オペレータが入力機器３を操作することで画面８３から切り替わる画面である。また、主画面８はどの画面状態においても、入力機器３を操作することで初期状態に戻り表示することができる。
【０００６】以上のように構成された従来の半導体製造装置で、基板処理状態をオペレータが確認するために、表示機器２に表示される画面を切り替える例について説明する。例えば、基板処理中に、画面８１、画面８２１、画面８２３、画面８３３を表示させて確認する必要がある場合の例について説明する。
【０００７】まず、入力機器３を操作し主画面８から切り替えて画面８１を表示し、画面８１の内容を確認する。次に、入力機器３を操作し主画面８を表示し、入力機器３を操作し画面８２を表示する。さらに、入力機器３を操作し画面８２１を表示させてその内容を確認する。次に、入力機器３を操作し主画面８を表示し、入力機器３を操作し画面８２を表示し、入力機器３を操作し画面８２３を表示させてその内容を確認する。次に、入力機器３を操作し主画面８を表示し、入力機器３を操作し画面８３を表示し、入力機器３を操作し画面８３３を表示させてその内容を確認する。つまり、従来の半導体製造装置では、画面８１１〜画面８３３等の画面を表示させて確認するためには、常に主画面８に戻り、順次画面を切り替えて表示させるという煩雑な操作が必要であった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上述したような従来の半導体製造装置においては、表示画面を切り替える為に、多種の操作方法の習得が必要となり、通常生産時にのみ装置を操作するオペレータでさえ、訓練に時間が必要になる。その結果、熟練したオペレータが不足するため、装置の稼働率の低下を招くことになるという問題があった。
【０００９】非常に複雑な処理を行う装置が多い半導体製造装置では、装置の状態を表示する為に多くの表示画面を切り替える必要があると共に、画面の内容が処理工程毎に関連がある。したがって、表示画面の構成においてツリー構造を採用しない場合は、必要情報を表示する為には膨大な数の検索項目をもつ表示画面が要ることになり、求める項目を検索するのに非常に多くの時間を要し、実用的でない。反対にツリー構造の画面構成にすると、多くの画面を主画面８から切り替えて直接表示させるようにはできないという問題があった。
【００１０】本発明は、生産時に装置の状態や基板の処理状態を表示する画面を頻繁に切り替える必要のある半導体処理装置のツリー構造の画面構成における画面切替の操作を簡易化して操作性を向上した半導体処理装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体製造装置は、半導体製造装置の状態などのデータを表示する表示機器、前記半導体製造装置へ制御データなどの指令を与える入力機器、前記表示機器への表示切替の指令のみを与える表示切替用入力機器、前記入力機器及び前記表示切替用入力機器からの指令に基づいて、前記半導体製造装置の制御データ及び状態等のデータを前記表示機器に表示するよう制御するインターフェイス制御機器、前記半導体製造装置全体の制御データを出力する装置制御機器、前記装置制御機器からの信号により前記半導体製造装置を動作させる駆動部、前記半導体製造装置の状態を前記装置制御機器に伝えるセンサ部、及び前記入力機器と前記表示切替用入力機器による画面の変更履歴を記憶する画面変更履歴テーブルを有し、前記表示切替入力機器の表示切替の指令が前記画面変更履歴テーブルに記憶された画面の変更履歴に基づいて行われることを特徴とする。なお、前記画面変更履歴テーブルは、インターフェイス制御機器内に有するのが好ましい。
【００１２】この構成の半導体製造装置によれば、通常の生産時に表示する必要がある画面は、画面変更履歴テーブルに記憶された画面の変更履歴に基づいて表示切替用入力機器から入力して切り替えることができる。したがって、通常の生産時に半導体製造装置を操作するオペレータに対しては非常に簡単な操作方法を提供できる。その結果、オペレータの訓練時間短縮と、操作性の向上によりオペレータ不足を解消することができ、装置停止時間を短縮し稼働率の向上を図ることができる。
【００１３】本発明の他の観点による半導体製造装置は、上記構成の半導体製造装置において、前記インターフェイス制御機器内に、前記半導体製造装置での基板処理枚数を記憶する基板処理テーブルを有し、、前記基板処理テーブルに記憶されている基板処理数が所定の値以下の小ロットであった場合、前記小ロットの画面変更履歴を前記画面変更履歴テーブルより削除することを特徴とする。
【００１４】この構成の半導体処理装置によれば、半導体処理装置の状態を管理するために試作する試作ロットの画面変更履歴を画面変更履歴テーブルから削除することができる。その結果、前記表示切替入力機器により、通常の生産状態の時に利用される画面を優先的に表示することができる。
【００１５】本発明の半導体製造装置の表示画面の切り替え方法は、半導体製造装置の状態などのデータを表示する工程、前記表示機器への表示切替の指令を与える工程、前記表示切替の指令による表示画面の変更履歴を記憶する工程、及び前記表示機器に与える表示切替の指令が記憶した画面変更履歴に基づいて行う工程を有することを特徴とする。
【００１６】この半導体製造装置の表示画面の切り替え方法によれば、通常の生産時に表示する必要がある画面は、記憶された画面変更履歴に基づいて表示切替の指令を与えることができる。したがって、通常の生産時に半導体製造装置を操作するオペレータに対しては非常に簡単な操作方法を提供できる。その結果、オペレータの訓練時間短縮と、操作性の向上によりオペレータ不足を解消することができ、装置停止時間を短縮し稼働率の向上を図ることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の半導体製造装置の好適な実施例について、添付の図面を参照しつつ説明する。本実施例の半導体製造装置は、基本的な構成として、オペレータと装置のインターフェイスの制御を行うインターフェイス制御機器と、インターフェイス制御機器に接続された表示機器と入力装置、駆動部とセンサ部とを有し、センサ部からの情報とインターフェイス制御機器からのデータをもとに駆動部に指令を与える装置制御機器を備えている。
【００１８】《実施例》図１は、本発明の実施例の半導体製造装置の構成を示すブロック図である。図１において、インターフェイス制御機器１は、主にオペレータと装置とのインターフェイスである表示機器２の制御、及び入力機器３や表示切替用入力機器４から入力されるオペレータの指示を表示機器２及び装置制御機器５に伝達する。装置制御機器５は、インターフェイス制御機器１とデータ交換を行いながら、センサ部７から送られる装置の状態を示すデータに基づいて装置全体の制御データを駆動部６に出力する。駆動部６は、装置制御機器5からの制御データに基づいて装置を動作させる。
【００１９】表示機器２に表示された画面の履歴を記憶する画面表示履歴テーブル１０１は、インターフェイス制御機器１の内部に設けられている。インターフェイス制御機器１は、人が十分に画面の内容を読み取ったと判断できる所定時間以上の時間にわたり表示された画面だけを画面表示テーブル１０１に記憶させる。装置での基板処理状況を記憶する基板処理テーブル１０２は、インターフェイス制御機器１の内部に設けられているインターフェイス制御機器１は、基板処理テーブル１０２を参照して、基板処理枚数が所定の枚数より少ないロットの生産時に画面履歴表示テーブル１０１に記憶された画面データを削除する。
【００２０】図２は、表示切替用入力機器４を操作して画面切替を行う状態を示した画面切替遷移フロー図である。図２において、装置が起動直後に表示される主画面８は、この装置のもっとも基本的な画面である。画面表示履歴テーブル１０１に記憶されている画面履歴データに基づいて構成された画面遷移フロー９は、上方より表示頻度の高い画面を上に、表示頻度の低いものを下に順に並べられている。また、画面遷移フロー９は、ある決められた数の画面数のみ登録できるものとなっており、その数は任意に設定できる。この画面遷移フロー９に基づいた画面切替は表示切替用入力機器４の指令により実行される。
【００２１】このように構成された本実施例の半導体製造装置において、通常の基板数のロットを処理する時に表示画面の履歴を登録する方法について図３を参照しつつ説明する。装置が起動すると図３においてまず主画面８が図１の表示機器２に表示される。オペレータが入力機器３を操作することで、主画面８からそれぞれ画面８１〜画面８３が切り替わって表示される。画面８１１〜８１３は、画面８１の表示中にオペレータが入力機器３を操作することで、画面８１から切り替わる画面である。画面８２１〜画面８２３は、画面８２の表示中にオペレータが入力機器３を操作することで画面８２から切り替わる画面である。画面８３１〜画面８３３は、画面８３の表示中にオペレータが入力機器３を操作することで画面８３から切り替わる画面である。また、どの画面の表示状態においても、入力機器３を操作することで初期状態に戻して表示画面を主画面８に切り替えることができる。
【００２２】図３において、例えば、通常生産中にオペレータが入力機器３を操作し、主画面８から切替えて画面８１を表示し、人が十分に画面の内容を読み取ったと判断できる所定の時間以上の時間にわたり表示された場合は、画面８１が画面表示履歴テーブル１０１に記憶される。次に、オペレータがに入力機器３を操作し、主画面８を表示し、次に入力機器３を操作して画面８１を表示し、人が十分に画面の内容を読み取ったと判断できる所定の時間に達する前に、入力機器３を操作して画面８１１に切り替えた場合は、画面８１は画面表示履歴テーブル１０１に記憶されない。そして、画面８１１が表示され、人が十分に画面の内容を読み取ったと判断できる所定の時間以上の時間にわたり表示された場合は、画面８１１が画面表示履歴テーブル１０１に記憶される。
【００２３】以下、同様にして画面８２１、画面８３１も画面表示履歴テーブル１０１に記憶される。このようにして画面表示履歴テーブル１０１に記憶されたデータをもとに画面遷移を構成したものが画面遷移フロー９ａになる。この状態で、次ロットの生産時にオペレータが表示切替用入力機器４を操作することで、画面８１、画面８１１、画面８２１、画面８３１を順次表示することが可能となる。また、この表示切替用入力機器４の操作で順次表示された画面８１〜画面８３１で、人が十分にそれぞれの画面の内容を読み取ったと判断できる所定の時間以上の時間にわたり表示された場合は、その画面群も画面表示履歴テーブル１０１に記憶される。
【００２４】次に、別の通常生産時に、登録してある画面遷移フローを変更する場合について、図４を参照しつつ説明する。例えば、画面８３１を画面８３３に置き換えるような場合、画面８３１が表示されているとき、所定の時間になる前に画面切替用入力機器４の操作で主画面８に戻す。すると画面８３１は画面履歴フロー９ａより削除される。また、登録時と同じ方法で、主画面８から画面８３を切替表示し、さらに所定の時間になる前に画面８３３に切替表示し、画面８３３を所定の時間以上の時間にわたり表示すると、画面８３３が画面表示履歴テーブル１０１に記憶される。このようにして、画面８３１を画面８３３に置き換えた画面履歴フロー９ｂが再構成される。次からは画面切替用入力機器４の操作で、画面履歴フロー９ｂに基づいて画面８１〜画面８３３が順次表示される。
【００２５】次に、非常に基板の枚数が少ないロットで、通常生産とは判断できない状態の時の画面切替えの状態について図５を参照しつつ説明する。図５において、オペレータが入力機器３を操作し、主画面８から表示を切替えて画面８１を表示し、人が十分に画面の内容を読み取ったと判断できる所定の時間に達する前に、入力機器３を操作して画面８１３に切り替えた場合は、画面８１は画面表示履歴テーブルに記憶されない。そして、画面８１３が表示され、人が十分に画面の内容を読み取ったと判断できる所定の時間以上の時間にわたり表示された場合は、画面８１３が画面表示履歴テーブル１０１に記憶される。以下、同様にして画面８３２も画面表示履歴テーブル１０１に記憶される。この場合、画面表示履歴テーブル１０１の画面履歴フロー９ａに画面データが追加されたことにより、画面遷移フロー９ａに画面８１３、画面８３２が追加された画面遷移フロー９ｃが再構成される。そして、このロットの基板処理枚数が基板処理テーブル１０２に記憶される。
【００２６】次に、このロットの生産が終了した時点で、基板処理枚数がこのロットのように所定の枚数より少ない場合は、インターフェイス制御機器１は基板処理テーブル１０２に記憶されている基板処理枚数に基づいて、このロットの生産により追加された画面８１３、８３２のデータを削除する。したがって、図６に示すように、登録された画面表示履歴フロー９ｃは、再び画面遷移フロー９ａに再構成される。
【００２７】本実施例の半導体製造装置によれば、このようにして、通常生産と装置管理用の少数ロットの基板処理を区別し、通常生産時のみの画面履歴を残すことで、通常生産時の操作性を大幅に向上させる。
【００２８】
【発明の効果】以上実施例で詳細に説明したように、本発明の半導体製造装置は、装置全体としては非常に多くの表示画面を有するものにおいて、画面変更の状態を記憶して、画面切替用入力機器による画面遷移方法を決定する。したがって、煩雑になりがちな装置の画面切替の操作を簡素化し、また、生産管理方法が違い使用する画面も違う事業場毎への対応も可能となる。その結果、通常生産時のオペレータの訓練が簡単になり、容易に装置の操作が行なえるために、オペレータ不足による生産の停止を防止して生産効率を向上できる。
【００２９】また、装置の基板処理枚数をロット毎に記憶し、その処理数に基づいて装置管理用の試作ロットの画面遷移を画面表示履歴テーブルから削除することにより通常生産時の操作性を大幅に向上できる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００００５８２１
【氏名又は名称】松下電器産業株式会社
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| 【出願日】 |
平成１２年１０月２０日（２０００．１０．２０） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１０００６２９２６
【弁理士】
【氏名又は名称】東島 隆治
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| 【公開番号】 |
特開２００２−１３２４１１（Ｐ２００２−１３２４１１Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１４年５月１０日（２００２．５．１０） |
| 【出願番号】 |
特願２０００−３２０２０６（Ｐ２０００−３２０２０６） |
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