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【発明の名称】 ランプハウス及び光放射装置
【発明者】 【氏名】倉島 達夫

【氏名】青島 修

【要約】 【課題】光軸調整を行い易く、且つ、従来よりも安全に使用できるランプハウス及び光放射装置を提供すること。

【解決手段】ランプ4が発する光の一部を反射する反射ミラー44と、ランプ4を介して反射ミラー44と対向する位置に配されると共にランプ4が発する光及び反射ミラー44で反射された反射光が出射される出射窓12を有する外ケース8と、ランプ4が発する光及び反射ミラー44で反射された反射光に含まれる紫外線をカットする紫外線カットフィルタ84と、を備え、出射窓12よりも開口面積が小さく且つランプ4が発する光及び反射光が通過するアパーチャ92を有するアパーチャ部材90が取付可能とされていることを特徴とする。
【特許請求の範囲】
【請求項1】 ランプが収容されるランプハウスにおいて、前記ランプが発する光の一部を反射する反射ミラーと、前記ランプを介して前記反射ミラーと対向する位置に配されると共に前記ランプが発する光及び前記反射ミラーで反射された反射光が出射される出射窓を有する外ケースと、前記ランプが発する光及び前記反射ミラーで反射された反射光に含まれる紫外線をカットする紫外線カットフィルタと、を備え、前記出射窓よりも開口面積が小さく且つ前記ランプが発する光及び前記反射光が通過するアパーチャを有するアパーチャ部材が着脱可能とされていることを特徴とするランプハウス。
【請求項2】 請求項1記載のランプハウス内に、ランプが設置されていることを特徴とする光放射装置。
【発明の詳細な説明】【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、測定サンプルに、内部にセットされるキセノンランプや水銀キセノンランプから放射される紫外光や赤外光を照射することにより、測定サンプルの蛍光特性等を検出するランプハウス、及びキセノンランプ等がセットされた光放射装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来から、測定サンプルにキセノンランプや水銀キセノンランプから放射される紫外光や赤外光を照射することにより、測定サンプルの蛍光特性等を検出する光放射装置が知られている。かかる光放射装置の例として特開平11−329046号公報に記載された装置があり、同装置では、ランプを収容するランプハウス内に、ランプの他、ランプから発せられた光の一部を反射する反射ミラー等を備えている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従来の光放射装置には、次のような問題があった。すなわち、光放射装置においては、ランプの寿命が来て新たなランプに交換した場合に、交換ランプの光軸調整を行う必要がある。ここで、上記のように反射ミラーを有する光放射装置においては、ランプからの直接の光と反射ミラーで反射された反射光とが出射される。つまり、ランプからの輝点が2つになる。そして、交換ランプを調整する際に、カソード電極の先端部に反射鏡の輝点が重なると、カソード電極の温度が上昇し、内部に含浸してある電子放射物質が蒸発するという事態が起こり得る。このような事態が生じると、ランプの寿命は極端に短くなってしまう。一方、2つの輝点が大幅にずれると、出射光の出力分布が均一にならなくなってしまう。
【0004】このように、ランプの光軸調整は反射ミラーを備えるタイプの光放射装置においては特に重要であり、本発明者らにおいても、光軸調整を正確に行える装置の開発が要求されていた。
【0005】また、上記のような光放射装置の一つの用途として、透明板に光を照射し、この照射光をスクリーンに投影して透明板の傷やゴミなどを検査する検査装置がある。このような場合、スクリーン上の投影像を見るのはコンピュータではなく検査員であり、検査員がより安全に光放射装置を使用できることが望まれていた。
【0006】本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、光軸調整を行い易く、且つ、従来よりも安全に使用できるランプハウス及び光放射装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために、本発明は、ランプが収容されるランプハウスにおいて、ランプが発する光の一部を反射する反射ミラーと、ランプを介して反射ミラーと対向する位置に配されると共にランプが発する光及び反射ミラーで反射された反射光が出射される出射窓を有する外ケースと、ランプが発する光及び反射ミラーで反射された反射光に含まれる紫外線をカットする紫外線カットフィルタと、を備え、出射窓よりも開口面積が小さく且つランプが発する光及び反射光が通過するアパーチャを有するアパーチャ部材が取付可能とされていることを特徴とする。
【0008】また、本発明の光放射装置は、上記のランプハウス内に、ランプが設置されていることを特徴とする。
【0009】本発明に係るランプハウス及び光放射装置によれば、ランプが発する光及び反射ミラーで反射された反射光に含まれる紫外線が、紫外線カットフィルタによってカットされるため、出射光を見た者にとって安全になっている。また、出射窓よりも開口面積が小さなアパーチャを有するアパーチャ部材をランプハウスに取り付けることで、ランプからの直接光及び反射ミラーからの反射光は、アパーチャによって絞られ指向性が高くなる。これにより、アパーチャを通過したランプからの直接光及び反射ミラーからの反射光を例えばスクリーン等に投影させると、各投影像の輪郭が比較的明確になり、光軸調整を行い易くなる。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発明に係るランプハウス及び光放射装置の好適な実施形態について詳細に説明する。尚、同一要素には同一符号を用いるものとし、重複する説明は省略する。
【0011】まず、本実施形態に係るランプハウス及び光放射装置の構成について説明する。図1は、本実施形態に係るランプハウス2にキセノンランプ4を収容した光放射装置6を示す全体斜視図である。図2は、図1に示す光放射装置6のII-II断面図である。
【0012】ランプハウス2は、直方体の外ケース8と当該外ケース8の側部に着脱可能なサイドカバー10から成り、図1は、サイドカバー10を外した状態を示している。また、外ケース8の側面には、ランプ4から発せられた光が出射される出射窓12及び外部の空気が流入する空気流入口14が形成されている。尚、空気流入口14は、その長手方向がランプハウス2の側面の短手方向を向くように形成された細長の穴であり、外ケース8の3つの側面及びサイドカバー10に設けられている。一方、外ケース8の上面には、ランプハウス2内の空気が流出する空気流出口16が形成されており、さらに、空気流出口16の下方には、回転することによりランプハウス2内の空気を外部に流出させる冷却ファン18が配置され、空気流出口16の上方には、安全カバー19が取り付けられている。
【0013】ランプハウス2内には、ランプ4を収容する鉄製の内ケース20が設けられている。また、内ケース20の下部には、二本のレール22が、長手方向をサイドカバー10の装着位置に向けて並設されており、さらに、当該二本のレール22上に、ランプ4を支持する基台24が摺動可能に配置されている。本実施形態では、内ケース20、基台24、及び上記サイドカバー10に四本の支柱25を介して接続された内ケースカバー26により、ランプ4が包囲されるように構成されている。また、内ケース20の三つの側面のうち、内ケースカバー26に当接する二つの面には、基台24の摺動を阻止するストッパー28が掛け渡されている。尚、ストッパー28は、ピン27を軸として回動可能に設けられており、下方に突出する二つの基台固定部29により基台24の不意の摺動を阻止するように構成されている。
【0014】基台24の上面の略中央には、ランプ4を固定するランプ固定部であるカソード固定板30が設けられており、ランプ4のカソード側が、このカソード固定板30に取り付けられ、ランプ4のアノード側は、円盤状で導電性のアノード放熱板32に取り付けられている。さらに、アノード放熱板32には、リード線34が接続されており、当該リード線は、内ケース20の側面に開けられたリード線導出口35から内ケース20の外部へ導出されている。
【0015】また、内ケース20の側面のうち上記出射窓12に最も近い面には、円形の光通過口36が形成されている(図2参照)。一方、ランプ4を挟んで内ケース20の光通過口36と対向する位置には、円形のミラー収容穴42が形成されており、このミラー収容穴42内には、反射ミラー44を収容するミラー収容部46が挿し込まれている。さらに、出射窓12とランプ4との間には、開口部を有する円盤状の絞り板54が配置されている。
【0016】また、外ケース8の出射窓12が形成された面には、リング状のフランジ82がネジ止めされている。フランジ82の穴と出射窓12は、径が等しくされている。また、フランジ82には、紫外線カットフィルタ84が填め込まれたフィルタ部85が取り付けられている。詳しくは、フランジ82の内周面に形成された雌ねじ部82iとフィルタ部85の外周面に形成された雄ねじ部85oとを螺合させて、フランジ82に対してフィルタ部85が固定されている。フィルタ部85の紫外線カットフィルタ84は、ランプ4から発せられた光に含まれる紫外線成分をカットするものである。
【0017】また、フィルタ部85は、アパーチャ部材90が着脱自在とされている。図1は、アパーチャ部材90を取り外した状態を示し、図2は、アパーチャ部材90をランプハウス2に取り付けた状態を示している。アパーチャ部材90の中央部には、出射窓12よりも開口面積が小さなアパーチャ92が形成されている。アパーチャ部材90をフィルタ部85に取り付けるには、アパーチャ部材90の外周面に形成された雄ねじ部90oをフィルタ部85の内周面に形成された雌ねじ部85iにねじ込めばよい。また、アパーチャ部材90をランプハウス2から取り外す場合は、取付時と反対方向にアパーチャ部材90を回転させればよい。アパーチャ部材90の装着時においてアパーチャ92の中心は出射窓12と反射ミラー44とを通る直線上に位置しており、ランプ4が発する光及び反射ミラー44からの反射光がアパーチャ92を通過することになる。
【0018】図2に示すように、内ケース20と外ケース8とは離隔しており、内ケース20と外ケース8との間には、空気流入口14から流入した空気が流通する空気流通空間部48が形成されている。すなわち、本実施形態では、空気流入口14から流入した空気は、内ケース20内には殆ど流れ込まず、図中の矢印で示した経路をたどることになる。そして、この流入した空気により内ケース20は冷却され、それによって間接的にランプ4を冷やしており、ランプ4の過大な温度上昇を防止することができる。また、本実施形態では、空気流通空間部48が形成されているため、流入した空気は、外ケース8の内側近傍を流れることとなり、内ケース20やランプ4のみならず外ケース8の温度上昇も防止することができる。
【0019】光放射時における外ケースの表面温度を測定したところ、ランプを包囲しないランプハウスでは40度以上であったのに対し、ランプ4を内ケース20等で包囲して空気流通空間部48を形成した本実施形態のランプハウス2では約35度程度であり、外ケースの温度低下が図れていることがわかった。さらに、内ケース20によってランプ4は包囲されているため、空気流入口14から空気とともに流入した塵や埃がランプ4の近傍を舞わなくなる。そのため、ランプ4から発せられる光の進行が塵や埃で妨げられることはなく、出射光の出力向上を図ることができる。
【0020】冷却ファン18は、ランプハウス2内の温度が所定温度になったときに温度センサ(図示しない)からの信号を受けて作動し、空気の強制的な流れを生じさせるものである。冷却ファン18の回転により、外部の空気を外ケース8の空気流入口14から空気流通空間部48へスムーズに流し込んだり、空気流通空間部48の空気を空気流出口16からスムーズに流出させることができ、ランプ4及び外ケース8の温度上昇を効果的に防止することができる。尚、冷却ファン18は、温度センサの代わりにスイッチを設け、当該スイッチをオンにすることにより作動するように構成してもよい。
【0021】ミラー収容部46は、外ケース8にねじ込まれた反射ミラー調整ネジ56と外ケース8に嵌入されたピン58とによって、外ケース8と所定の間隔を隔てて支持されている。また、ミラー収容部46は、ミラー収容穴42の縁と接触せず、離隔して配置されている。このため、光を反射する際に反射ミラー44に蓄積された熱が外ケース8に伝達されにくく、さらに空気流通空間部48を流れる空気により反射ミラー44は冷却されるので、外ケース8の温度上昇を効果的に防止することができる。ミラー収容部46は、反射ミラー調整ネジ56を回すことにより図中の左右方向に移動し、出力光が調整される。
【0022】外ケース8の底部には、ランプ4のアノード側に電気的に接続されたリード線34及びランプ4のカソード側に電気的に接続されたリード線60が接続されるスタータ62が配置されている。尚、本実施形態の光放射装置6は、外部から電源を供給する必要があり、スタータ62には、外部電源が接続される電源接続コネクタ63が設けられている。スタータ62は、外部電源から一定の電圧が供給された際に、ランプ4内のアノード電極4aとカソード電極4b間に放電が生じるまで当該電圧を増幅し、電極4a,4b間に増幅電圧を印加する。電極4a,4b間に放電が生じた後は、スタータの電圧増幅機能は自動的に停止するように構成されている。一方、内ケース20の一つの側面には、ランプ鉛直移動部64が設けられており、このランプ鉛直移動部64が操作されることにより内ケース20が鉛直方向に移動し、ランプの軸を合わせることができる(詳しくは後述する)。
【0023】図3は、図2に示す光放射装置6のIII-III断面図である。この図3と図2より、ランプ4を囲う内ケース20の各面は全て外ケース8と離隔していることがわかる。また、図3に示すように、内ケース20は、上記ランプ鉛直移動部64及びロック部66を介して、外ケース8に支持されている。ロック部66は、ネジ66aを締めると内ケースが固定されるように構成されており、ランプ鉛直移動部64によって内ケース20を鉛直方向に移動させる際には、ネジ66aを緩めればよい。ランプ鉛直移動部64は、回転軸64a、歯車64b、歯車64bのピッチと等しいピッチで歯が設けられたラック64c、及びこのラックcと内ケース20とを固定する固定部材64dを備え、ラックアンドピニオン機構を構成している。すなわち、回転軸64aを回転させると、同時に歯車64bも回転し、この歯車64bとかみ合うラック64cを介して内ケース20が鉛直方向に移動し、ランプ4の軸調整が可能となる。
【0024】次に、図4を用いて、ランプ4をランプハウス2に取り付ける方法を説明する。ランプ4を交換する際は、ストッパー28を半時計方向に回転させてロックを外した後、ランプ交換位置、すなわち、ランプ4が外ケース8の外に出る位置まで基台24を手前にスライドさせる。ランプ4のアノード側は、ローレットネジ68aを締め付けることによりアノード放熱板32に固定され、ランプ4のカソード側は、ローレットネジ68bを締め付けることによりカソード固定板30に固定される。ランプ4が取り付けられたカソード固定板30は、ネジ70によりランプ水平移動部72にねじ止めされる。本実施形態のランプハウス2では、基台24をランプ4が外ケース8の外に出る位置までスライドできるため、ランプ4の交換時に外ケース8や内ケース20が邪魔になることなく、上述したランプの取り付けや取り外しをスムーズに行うことができる。
【0025】図5は、基台24を上方から見た平面図である。基台24の雌ネジ部73には、所定のピッチでネジ山が形成された軸部74bを有するネジ部材74がねじ込まれており、当該ネジ部材74の先端に固着された円盤状の固定盤74aが、ランプ水平移動部72内に回動可能に埋め込まれている。尚、固定盤74aは、ランプ水平移動部72に対して、回動可能ではあるが、固定盤74aの円周方向及び軸部74bの軸方向には殆ど動かないように構成されている。基台76に開けられた調整穴76(図4参照)に六角レンチ等を差し込みネジ部材74を回転させると、この回転に伴ってランプ水平移動部72は、軸部74bの軸方向、より詳しくは、水平方向で、かつ、反射ミラー44と出射窓12とを結ぶ線に垂直な方向(図4参照)に移動する。
【0026】即ち、本実施形態の光放射装置6では、ランプ鉛直移動部64であるラックアンドピニオン機構によって、ランプ4の鉛直方向の位置調整ができ(図3参照)、ランプ水平移動部72によって、ランプ4の水平方向の位置調整ができる(図5参照)。ところで、従来から知られているX方向及びY方向の位置調整機構が一体的に備えられた、いわゆるXYステージ等は、機構が複雑になるため、小型化を図るには限界があった。そのため、例えば、本実施形態のようなランプハウスにXYステージを内蔵すると、内ケース20や外ケース8のサイズも大きくなってしまう。しかし、本実施形態の光放射装置6では、ランプ4を水平方向及び鉛直方向に移動させる機構を一体的にせず、ランプ水平移動部72とランプ鉛直移動部64に分離して配置したため、それぞれの機構をコンパクトにすることができ、さらに、内ケース20や外ケース8の小型化を図ることができる。特に、図3に示すように、内ケース20のランプ鉛直移動部64が取り付けられる部分をランプ4方向へへこませることにより、より一層装置全体を小型化することができる。
【0027】尚、ランプ水平移動部72とランプ鉛直移動部64とに分離して配置したことによるランプハウス2の小型化という効果は、内ケース20が無くても得ることができる。例えば、内ケース20の代わりに、基台24に立設されるスライド板を設け、このスライド板にランプ鉛直移動部64の固定部材64dを取り付ければよい。また、板ではなく、棒状の部材でもよく、さらには、ランプ4を囲む骨組みのような部材に固定部材64dを取り付けてもよい。
【0028】次に、図2を用いて、本実施形態に係る光放射装置6の動作を説明する。光放射装置6からの出射光を透明板等のサンプルに照射し、この照射光をスクリーンに投影することで、透明板の傷やゴミなどを検査することができる。このような検査、実験を行う場合は、アパーチャ部材90を取り外しておく。そして、電源接続コネクタ63に外部電源が接続されて電源が供給されると、スタータ62は、供給電圧を増幅し、アノード電極4aとカソード電極4bとの間に増幅電圧が印加される。増幅電圧を印加し続け、一旦電極4a,4b間に放電が生じると、スタータ62の電圧増幅機能は停止し、外部電源からの電源がそのまま電極4a,4b間に印加されることになる。
【0029】このようにしてランプ4内で放電が生じた後、放電により発生した放射光のうち絞り板54の開口部を通過した光は、出射窓12から出射された後に紫外線カットフィルタ84を通過して、サンプルに照射される。同様に、反射ミラー44で反射された光も、出射窓12から出射された後に紫外線カットフィルタ84を通過して、サンプルに照射される。ここで、ランプ4が発する直接光及び反射ミラー44で反射された反射光に含まれる紫外線が、紫外線カットフィルタ84によってカットされるため、光放射装置6からの出射光を見た検査員等にとって安全になっている。
【0030】次に、図6を参照して、ランプ4を新たなものに交換した際の光軸調整過程について説明する。ランプ4の光軸調整を行う場合、まず、アパーチャ部材90をランプハウス2に取り付ける。また、光放射装置6からの出射光を投影するためのスクリーンSを配置しておく。次に、アノード電極40aとカソード電極40bとの間で放電を発生させ、出射光をスクリーンSに投影する。本実施形態では、ランプ4からの直接の光と反射ミラー44で反射された反射光とがスクリーンSに投影される。
【0031】カソード電極40bの先端部に反射ミラー44の輝点が重なると、カソード電極40bの温度が上昇し、内部に含浸してある電子放射物質が蒸発するという事態が起こり得る。このため、スクリーンS上の二つの投影像をある程度離すようにランプ4の位置を調節する必要がある。一方、二つの投影像を離隔させすぎると、出射光の出力分布が均一にならなくなってしまう。このような事情により、ランプ4の光軸調整は正確に行う必要がある。ここで、本実施形態では、スクリーンSに投影されるランプ4からの直接光及び反射光は、出射窓12よりも開口面積が小さなアパーチャ92によって絞られ指向性が高くなっている。このため、スクリーンS上の各投影像の輪郭は比較的明確になって見やすくなり、ランプ4の光軸調整を容易に行うことができる。
【0032】以上、本発明者によってなされた発明を実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、ランプは、キセノンランプでなく、水銀キセノンランプ等でもよい。
【0033】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るランプハウス及び光放射装置によれば、ランプが発する光及び反射ミラーで反射された反射光に含まれる紫外線が、紫外線カットフィルタによってカットされるため、出射光を見た者にとって安全になっている。また、出射窓よりも開口面積が小さなアパーチャを有するアパーチャ部材をランプハウスに取り付けることで、ランプからの直接光及び反射ミラーからの反射光は、アパーチャによって絞られ指向性が高くなる。これにより、アパーチャを通過したランプからの直接光及び反射ミラーからの反射光を例えばスクリーン等に投影させると、各投影像の輪郭が比較的明確になり、光軸調整を行い易くなる。
【出願人】 【識別番号】000236436
【氏名又は名称】浜松ホトニクス株式会社
【出願日】 平成12年10月24日(2000.10.24)
【代理人】 【識別番号】100088155
【弁理士】
【氏名又は名称】長谷川 芳樹 (外3名)
【公開番号】 特開2002−133939(P2002−133939A)
【公開日】 平成14年5月10日(2002.5.10)
【出願番号】 特願2000−324301(P2000−324301)