トップ :: B 処理操作 運輸 :: B81 マイクロ構造技術

【発明の名称】
電気化学製造のための物品、方法、および装置
マイクロコイル取付具、およびそれを用いたマイクロコイルの固定方法
可変キャパシタ又はマイクロスイッチタイプの電子マイクロ構成要素及びそのような構成要素の製造方法
針形状物の作製方法および作製された針
ダイアフラムの製造
マイクロレンズアレイ金型加工方法及びマイクロレンズアレイ金型
マイクロマシンの製造方法
マイクロマシンの製造方法
マイクロマシン製造装置、マイクロマシンの製造方法、回折格子ライトバルブの製造方法および表示装置の製造方法
マイクロチューブとマイクロボールおよびその製造方法
立体形状およびその製造方法
パイプジョイント及びその作製方法並びにそれを用いた流体デバイス
微小構造体組立装置
マイクロマシンデバイスの製造方法
マイクロマシニング構造体、および該マイクロマシニング構造体を製造するための方法
微細表面構造をもつ物品の製造方法
三次元構造体の作製方法
マイクロミラーアクチュエータの製造方法
インクジェットヘッドの製造方法
集積回路の製造方法
シリコン表面の犠牲材料及び金属汚染物除去方法
微小物体のマニピュレーション方法とその装置
ナノメータ構造に薄膜を付着させる方法
高精度位置決め手段、光スイッチング素子、外部共振器半導体レーザ製造手段、及び、波長可変半導体レーザ製造手段
光学反斜面作製方法、光学素子、LD用サブマウント、光ピックアップ
加熱接続装置及びこの加熱接続装置を用いた加熱接続方法
絶縁体上シリコン及びポリシリコンウェーハの製造方法
光造形用微細光源および光照射装置
マイクロメカニック構造部材の製造方法
微細構造体の製造方法
事前のパターニングを有する、マイクロメカニカルおよびマイクロオプトメカニカルな構造物を製造するための方法
裏面に金属被覆を備える、マイクロメカニカルおよびマイクロオプトメカニカルな構造物を製造するための方法
マイクロマシン構成エレメントと該マイクロマシン構成エレメントを製造するための方法
微小電気機械の製造方法
マイクロ配管およびその製造方法
微小可動デバイス
単結晶シリコンの露光の工程を備える、マイクロメカニカルおよびマイクロオプトメカニカルな構造物を製造するための方法
波形の多層膜構造を持つ、静電的にアクチュエートされるデバイス
3次元構造物の形成方法
マイクロ構造物の製造方法
微小物を封入したマイクロカプセル及びこれを用いた微小物の固定方法
微小光学素子の作製方法、及び該作製方法による微小光学素子、該素子を用いた光学装置
アライメントマーカー及びアライメント方法
微細摺動部品の摺動面加工方法並びに微細摺動部品の摺動面加工における凹部形成条件の決定方法
段付き金属体形成方法
微細加工方法及び情報記録方法
粘着防止微細構造物の製造方法
光化学気相堆積法用プローブ及びその製造方法、並びに光化学気相堆積装置
シリコン系構造体の製造装置と製造方法
マイクロレンズアレイの製造方法、マイクロレンズアレイ、光学系、投影露光装置
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