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【発明の名称】 |
脆性材料の割断方法及び割断によって得られるブロック |
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【氏名】栗山 和也
【氏名】安江 洋一 |
【課題】スムーズかつ安価に脆性材料を割断することができる脆性材料の割断方法を提供する。
【解決手段】脆性材料１の外表面２に等方静水圧を加え、上記脆性材料１を上記外表面２に垂直な所定の割断面３の両側にそれぞれ当該割断面３から離反する方向に引張応力を発生させ、上記脆性材料１を上記割断面３を境にして反対方向に変形させて割断する。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 脆性材料（１）の外表面（２）に等方静水圧を加え、上記外表面（２）に垂直な所定の割断面（３）の両側にそれぞれ当該割断面（３）から離反する方向に引張応力を発生させ、上記脆性材料（１）を上記割断面（３）を境にして反対方向に変形させて割断することを特徴とする脆性材料の割断方法。
【請求項２】 応力拡大係数Ｋ１ｃ＝０．５〜９を与えて上記脆性材料（１）を割断することを特徴とする請求項１の脆性材料の割断方法。
【請求項３】 上記脆性材料（１）のＬ／ｄは１０００〜１０であることを特徴とする請求項１又は請求項２の脆性材料の割断方法。
【請求項４】 上記脆性材料（１）の外表面（２）に接触するように配置された弾性体（６）を用いて、等方静水圧を加えることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかの脆性材料の割断方法。
【請求項５】 上記請求項１〜請求項４のいずれかの割断方法を用いて脆性材料を割断して得られるブロックであって、円柱状の脆性材料（１）をその軸心方向に垂直な第１の割断面（３ａ）に沿って円板状部材（２０）に割断し、この円板状部材（２０）をその軸心を通り上記第１の割断面（３ａ）に垂直な第２の割断面（３ｂ）に沿って割断して得られ、上記第１の割断面（３ａ）と平行な断面の形状が１本の円弧と２本の直線とから成る略扇形であることを特徴とする割断によって得られるブロック。
【請求項６】 上記脆性材料（１）は、多結晶シリコンであることを特徴とする請求項５の割断によって得られるブロック。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、多結晶シリコンやガラスなどの脆性材料の割断方法及び割断によって得られるブロックに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】多結晶シリコンなどの脆性材料から成る比較的長尺の円柱状部材を、複数個の短尺の円柱状部材に割断する方法が特公昭６１−１３９５８号公報に開示されている。この割断方法では、図１３（ａ）に示すように、円柱状部材３１を剛体筒３２に嵌合し、剛体筒３２の外周表面を加圧して円柱状部材３１と剛体筒３２の両者に軸線方向の変形を加え（図１３（ｂ）を参照）、ヤング率の相違に基づく両者の変形差によって円柱状部材３１を割断している。割断は円柱状部材３１の外周部に形成したノッチ３３の底部からノッチ３３の深さ方向３４に向かって進行し、円柱状部材３１は、最終的に軸心方向に略垂直な割断面に沿って割断される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の割断方法では、剛体筒３２を圧力伝達媒体として円柱状部材３１の外周表面を加圧するので、剛体筒３２と円柱状部材３１との接触状態をほぼ均一にするために、円柱状部材３１の外径精度を０．１〜０．２ｍｍ以下とする必要がある。そのため、円柱状部材３１の外周表面に高精度の表面加工を施す必要があり、加工コストが高くなるという問題がある。また、外径精度が悪いと剛体筒３２と円柱状部材３１との接触状態にばらつきが生じるので、円柱状部材３１に加えられる圧力にもばらつきが生じる。その結果、発生する引張応力もばらつくため、割断面が荒くなるという問題もある。
【０００４】また、剛体筒３２をその外周表面から静水圧のみで加圧するため、加圧力が高くなる。そのため、高価な加圧設備が必要になるという問題がある。具体的には上記割断方法では、１０００ｋｇ／ｃｍ2 程度の圧力が必要であるが、これはシール等の問題から冷間等方圧加圧装置（Ｃｏｌｄ Ｉｓｏｓｔａｔｉｃ Ｐｒｅｓｓｉｎｇ装置：ＣＩＰ装置）などの特殊で高価な設備を使用する以外、不可能な圧力である。
【０００５】この発明は、上記従来の欠点を解決するためになされたものであって、その目的は、スムーズかつ安価に脆性材料を割断することができる脆性材料の割断方法を提供することにあり、また他の目的は、その割断方法によって脆性材料を割断して得られる割断面が滑らかで比較的小型のブロックを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段及び効果】そこで請求項１の脆性材料の割断方法は、脆性材料１の外表面２に等方静水圧を加え、上記外表面２に垂直な所定の割断面３の両側にそれぞれ当該割断面３から離反する方向に引張応力を発生させ、上記脆性材料１を上記割断面３を境にして反対方向に変形させて割断することを特徴としている。
【０００７】上記請求項１の脆性材料の割断方法では、脆性材料１の外表面２に静水圧が加えられるので、発生する引張応力がほぼ均一になり、スムーズに脆性材料１を割断できると共に、割断面３が滑らかになる。また、カッタのような切断工具を用いずに脆性材料１を割断するので、切粉が生じることはなく、短時間で割断することができる。
【０００８】また請求項２の脆性材料の割断方法は、応力拡大係数Ｋ１ｃ＝０．５〜９を与えて上記脆性材料１を割断することを特徴としている。
【０００９】さらに請求項３の脆性材料の割断方法は、上記脆性材料１のＬ／ｄは１０００〜１０であることを特徴としている。
【００１０】上記請求項２又は請求項３の脆性材料の割断方法では、小さな圧力で効率よく脆性材料１を割断することができる。したがって、高価な加圧設備が不要になり、コストの低減を図ることが可能となる。
【００１１】上記請求項４の脆性材料の割断方法は、上記脆性材料１の外表面２に接触するように配置された弾性体６を用いて、等方静水圧を加えることを特徴としている。
【００１２】上記請求項４の脆性材料の割断方法では、ゴムなどの弾性体６を用いたことによって脆性材料１の外表面２の表面精度が悪くても弾性体が変形して外表面２に接触するので、高精度の表面処理が不要となり、加工コストが削減され、安価に脆性材料１を割断することができる。また、弾性体６を用いたことによって脆性材料１の外表面２との接触状態が剛体筒の場合に比べて向上するので、圧力が確実に脆性材料１に伝達され、加圧力を低減することができる。これによって、高価な加圧設備が不要となり、コストの低減を図ることができる。
【００１３】請求項５の割断によって得られるブロックは、上記請求項１〜請求項４のいずれかの割断方法を用いて脆性材料を割断して得られるブロックであって、円柱状の脆性材料１をその軸心方向に垂直な第１の割断面３ａに沿って円板状部材２０に割断し、この円板状部材２０をその軸心を通り上記第１の割断面３ａに垂直な第２の割断面３ｂに沿って割断して得られ、上記第１の割断面３ａと平行な断面の形状が１本の円弧と２本の直線とから成る略扇形であることを特徴としている。
【００１４】上記請求項５の割断によって得られるブロックは、割断面３ａ、３ｂが滑らかで比較的小型のブロックとなるので、溶解炉への素材充填効率が良くなる。
【００１５】請求項６の割断によって得られるブロックは、上記脆性材料１は、多結晶シリコンであることを特徴としている。
【００１６】上記請求項６の割断によって得られるブロックは、シリコンインゴットの製造に好適である。
【００１７】
【発明の実施の形態】次に、この発明の脆性材料の割断方法及び割断によって得られるブロックの具体的な実施の形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。図１は、本発明の脆性材料の割断方法の原理を説明するための断面図である。
【００１８】脆性材料１をその外表面２に対して略垂直な所定の割断面３に沿って割断する場合、外表面２に等方静水圧を加える。この等方静水圧によって、脆性材料１は等方静水圧の方向に圧縮される一方、割断面３に対して垂直方向に伸長される。そして、割断面３の両側にそれぞれ割断面３から離反する方向に引張応力Ｆが発生し、脆性材料１は割断面３を境にして反対方向に変形して割断される。尚、割断に際しては脆性材料１の外表面２の近傍に断面Ｖ字状のノッチ４を形成しており、割断面３はノッチ４の底部を通る位置に設定される。
【００１９】ここで、脆性材料１の割断のメカニズムについて説明する。材料の脆性の度合を示す指標として、応力拡大係数Ｋ１がある。応力拡大係数Ｋ１は、亀裂を含む材料に応力が加わっている場合に、亀裂の底付近の局部応力状態を表わす量である。特に、亀裂が成長を開始するとき、すなわち材料の破壊が始まるときの応力拡大係数は、Ｋ１ｃで表わされる。そして、特定の温度及び荷重速度での脆性材料１の応力拡大係数Ｋ１は、作用圧力σ、亀裂の深さ（ノッチ４の深さ）ｄを用いて次式で表される。
【００２０】
Ｋ１＝Ｃ・σ・ｄ1/2 （Ｃは常数）・・・（１）
【００２１】さらに、脆性材料１を無限平板と考えると、応力拡大係数Ｋ１は次式のようになる。
【００２２】
Ｋ１＝１．１２・σ・（π・ｄ）1/2 ・・・（２）
【００２３】また、文献よりガラスの応力拡大係数Ｋ１ｃは０．８ＭＮ／ｍ3/2 、シリコンの応力拡大係数Ｋ１ｃは１．１ＭＮ／ｍ3/2 である。したがって、超硬刃で深さｄ＝０．１ｍｍのノッチ４を形成した場合に、脆性材料１が応力拡大係数Ｋ１ｃで割れるための作用圧力σは、ガラスについては４０．３ＭＰａ（４０８ｋｇｆ／ｃｍ2 ）であり、シリコンについては５５．４ＭＰａ（５６５ｋｇｆ／ｃｍ2）である。
【００２４】また、他の脆性材料１の応力拡大係数Ｋ１ｃは、アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）が３〜４、ジルコニア（ＺｒＯ2 ）が約８．５、高密度窒化けい素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）が６〜７、高密度炭化けい素（ＳｉＣ）が３〜４、ヘキサアロイが約４．６である。したがって、脆性材料１の外表面２に応力拡大係数Ｋ１ｃ＝０．５〜９を与えると、小さな加圧力で割断できることが本願発明者の実験によって確認された。
【００２５】さらに、亀裂の深さをｄ、亀裂の深さ方向に沿った脆性材料１の長さ（割断方向長さ）をＬとおくと、Ｌ／ｄ＝１０００〜１０の場合に、小さい加圧力で割断できることが本願発明者の実験によって確認された。尚、脆性材料１の横断面形状が円形の場合、亀裂は全周にわたって形成してもよいし、一部だけに形成してもよい。また、亀裂の横断面形状は、図１に示すようなＶ字状だけでなく、略Ｕ字状でもよい。
【００２６】このように小さな加圧力で効率よく脆性材料１を割断できるので、高価な加圧設備が不要となり、コストの低減を図ることが可能となる。
【００２７】図２は、割断装置５の概略的構成を示す構成図であり、（ａ）は断面図であり、（ｂ）は正面図である。割断装置５は、圧力伝達媒体６と、拘束治具７と、加圧部材８とを備える。圧力伝達媒体６は、弾性体から成り、上側部材９と下側部材１０とを重ね合わせて構成され、直方体の外形を有する。上側部材９と下側部材１０とは、相対向する位置にそれぞれ溝部９ａと溝部１０ａとを有する。溝部９ａと溝部１０ａとは、共に横断面が半円形であり、長手方向に沿って一端面から他端面まで直線的に形成されている。したがって、上側部材９と下側部材１０とを重ね合わせると溝部９ａと溝部１０ａとが連通して円柱状の空間１１が形成され、この空間１１に円柱状の脆性材料１が嵌入されて保持される。尚、脆性材料１は、その両端が圧力伝達媒体６の端面から突出した状態で保持される。
【００２８】拘束治具７は、圧力伝達媒体６の左右側面と下面とに接触する拘束面を有し、この拘束面によって側方と下方への圧力伝達媒体６の変形を拘束するものである。また、加圧部材８は、圧力伝達媒体６の上面に接触するように配置され、圧力伝達媒体６を加圧すると共に、上方への圧力伝達媒体６の変形を拘束するものである。尚、圧力伝達媒体６を構成する弾性体としては、例えば硬さＴＲ９０（ヤング率３．８）のウレタンゴム（タイガースポリマー株式会社製の「タイプレン」）を用いる。したがって、圧力伝達媒体６は、拘束治具７と加圧部材８とによって左右方向と上下方向への変形が拘束され、円柱状の脆性材料１の軸方向にのみ変形可能である。このように圧力伝達媒体６の左右側面と上下面とを拘束したことによって、脆性材料１の外周面２に等方静水圧を加えることができる。
【００２９】このように、脆性材料１の外周面２に充分な等方静水圧を加えることができるので、発生する引張応力がほぼ均一になり、スムーズに脆性材料を割断できると共に、割断面は滑らかで非常に美しい表面となっている。また、カッタのような切断工具を用いずに脆性材料１を割断するので、切粉が生じることはなく、短時間で割断することができる。
【００３０】また、圧力伝達媒体６としてゴムなどの弾性体を用いたことによって円柱状の脆性材料１の外周面２の表面精度が悪くても弾性体が変形して外周面２に接触するので高精度の表面処理が不要となり、加工コストが削減され、安価に脆性材料１を割断することができる。さらに、弾性体を用いたことによって脆性材料１の外周面２との接触状態が従来の技術におけるアクリルなどの剛体筒３２を用いた場合に比べて向上するので、圧力が確実に脆性材料１に伝達され、加圧力を低減することができる。これによって、高価な加圧設備が不要となり、コストの低減を図ることができる。
【００３１】図３は、破断変位と破断荷重とゴム硬さとの関係を示すグラフである。このグラフは、縦６０ｍｍ、横７０ｍｍ、高さ６０ｍｍの圧力伝達媒体６を使用して、直径２０ｍｍの円柱状の脆性材料（ガラス）１を割断した場合の測定結果を示している。尚、ノッチ４の深さｄは２ｍｍとした。グラフにおいて丸印を付したものが破断したことを示している。グラフから破断荷重は４０００ｋｇ程度であることが分かり、このときの面圧は１０６ｋｇ／ｃｍ2 である。これは、アクリルを圧力伝達媒体６として用いて割断を行った場合の必要圧力の約半分の圧力で割断できることを示している。なお、同図から弾性体、すなわちゴムの硬さは、ＨＲＢの８０〜１００程度が好ましいことが明らかである。
【００３２】また、直径１００ｍｍ、長さ３００ｍｍのＡＳＩＭＩ品の場合の必要圧力は、必要治具の相似比が径に比例し、面圧が一定であるとすると、受圧面積×面圧＝（１０×３．１４×３０）×１０６＝１００ｔｏｎとなり、弾性体（ゴム）を用いても静水圧下での割断を実現することができることが判明した。
【００３３】次に、割断装置５の割断メカニズムについて検討する。ガラスから成る円柱状の脆性材料１は、加圧部材８からの荷重Ｐによって側圧を受けると共に、圧力伝達媒体６であるゴムの長手方向（脆性材料１の軸方向）への変形によって引張応力Ｆを受ける。この引張応力Ｆと側圧Ｐとの関係は、側圧Ｐによる静止摩擦係数をμとすると、Ｆ＝μＰとなる。
【００３４】摺接する２つの部材ｉ、ｊが共に伸びようとするとき、ヤング率の差ε（ｉ−ｊ）はεｉ−εｊ＝（νｉ×Ｐ／Ｅｉ）−（νｊ×Ｐ／Ｅｊ）で表わされる。そして、摩擦係数が１となるときには、部材ｉの表面にはみかけ上ε（ｉ−ｊ）×Ｅｉの応力が作用する。ここで、ε１をガラスの歪み、ε２をアクリルの歪み、ε３をゴムの歪み、ν１をガラスのポアソン比（＝０．３５）、ν２をアクリルのポアソン比（＝０．４）、ν３をゴムのポアソン比（＝０．４）、Ｅ１をガラスのヤング率（＝６０００）、Ｅ２をアクリルのヤング率（＝３００）、Ｅ３をゴムのヤング率（＝３０）とする。
【００３５】ガラス−アクリル間のヤング率の差ε（１−２）は、ε１−ε２＝０．００１２７×Ｐであり、ガラス表面に発生する応力σ（１−２）は、ε（１−２）×Ｅ１＝７．６２Ｐである。ガラス破断時の応力が４ｋｇであるとすると、ガラス表面の応力は３０．５ｋｇとなる。
【００３６】また、ガラス−ゴム間のヤング率の差ε（１−３）は、ε１−ε３＝０．０１３×Ｐであり、ガラス表面に発生する応力σ（１−３）は、ε（１−３）×Ｅ１＝７８Ｐである。ガラス破断時の応力が４ｋｇであるとすると、ガラス表面の応力は３１２ｋｇとなる。
【００３７】一方、破壊力学の方程式はＫ１ｃ＝１．１２・σ・（π・ｄ）1/2 であり、破壊応力σは４．０３ｋｇである。
【００３８】上記応力σ（１−２）、σ（１−３）の値は、ガラスとアクリルの伸びの差又はガラスとゴムの伸びの差がすべてガラスに付与されたと仮定して求めた理論値である。したがって、実際には、低荷重下でのアクリルやゴムの伸びはガラスに伝達されないため、理論値と実験値との間では大きな数値の差が発生する。そこで、この差について検討する。
【００３９】図４は、ゴムの変形モードを説明するための模式図である。図４（ａ）は、ゴムが変形していない初期状態を示している。まず、静止摩擦力を越えるまでの歪みはガラスに伝達されないと仮定すると、Ｆｃｒｉｔｉｃａｌ＝μ×Ｐｃｒｉｔｉｃａｌ（μ＝０．４）より、この間の側圧Ｐは割断に寄与しない（図４（ｂ）参照）。また、図４（ｃ）に示すように、ゴムの先端部の中央部が凸に変形すると、先端部の応力が低下し、割断に寄与しない。この２つの変形モードによって、ゴムの変形の全てがガラスの割断に寄与していないと考えられる。
【００４０】一方、ゴムの有効歪みは、上記理論値に基づき、ε＝σ／Ｅ＝４．０３／６０００＝６．７×１０-4である。これに対応するゴムの応力は、６．７×１０-4×３０＝０．０２ｋｇであり、総変位は０．０２ｍｍである。したがって、確実にゴムの変位をガラスに伝達することができれば、非常に小さい変位でガラスを破断することができる。
【００４１】上述した割断メカニズムにおいては、ゴムとガラスの伸びの差による応力成分と、純粋な側圧成分との２つの要因が分離できていないと考えられる。そこで、割断荷重の低減と割断メカニズムの検討を狙って、割断条件を変更していくつかの割断試験を行った。図５は、割断条件と割断荷重との関係を示すグラフである。
【００４２】図５において、「従来」とは、従来の技術の欄で説明したように圧力伝達媒体としてアクリルの円筒を用いた場合であり、この場合の割断荷重は約４０００ｋｇである。また、「ゴム拘束」とは、図２を参照して説明したように圧力伝達媒体としてゴムを用いた場合であり、この場合の割断荷重は「従来」の場合よりはやや大きいが、約４０００ｋｇである。
【００４３】「真空グリス」とは、「ゴム拘束」の条件に加えて、ゴム（圧力伝達媒体６）とガラス（脆性材料１）との間にグリスを充填した場合である。グリスを充填したのは、グリスによってガラスとゴムとの間の摩擦を低減し、ゴムの伸びの差を減少させるためである。すなわち、ゴムの伸びを均一にしてゴムの変位を均等にガラスに伝達させることを意図したものである。この場合、割断荷重の低減効果はなく、逆に割断荷重は「ゴム拘束」の場合よりも増加している。これは、グリスが潤滑の役割をしたため、ゴムの変位がガラスに伝達されにくくなったためと考えられる。
【００４４】「局所荷重」とは、「ゴム拘束」の条件に加えて、ガラス（脆性材料１）の割断位置近傍、すなわちノッチの近傍に加わる側圧を向上させた場合である。側圧の向上は、図２に示す割断装置５における加圧部材８に代えて、図６（ａ）に示すように押圧面に突起１２ａを有する加圧部材１２を用いることによって実現される。突起１２ａは、図６（ｂ）に示すように横断面が略半円形であり、脆性材料１の軸方向に略直交する方向に延びて形成されている。したがって、この突起１２ａが脆性材料１に形成したノッチの上方に位置するように加圧部材１２を配置して圧力伝達媒体６を加圧することによって、ノッチ近傍に加わる側圧が向上する。この場合は、「ゴム拘束」の場合に比べて割断荷重を約４０％低減することができた。
【００４５】「曲げ成分付与」とは、「ゴム拘束」の条件に加えて、ガラス（脆性材料１）に曲げ成分を加えた場合である。曲げ成分の付与は、図７に示すように加圧部材８の押圧面と圧力伝達媒体６の上面との間に一対の鋼製のスペーサ１３、１３を介在させて加圧することによって実現される。スペーサ１３、１３は、脆性材料１の割断位置を中心として脆性材料１の軸方向に沿ってほぼ等間隔に配置される。したがって、割断位置よりも両端側の側圧が大きくなるため、脆性材料１には側圧のみならず曲げ成分が付与されることになる。この場合は、「ゴム拘束」の場合に比べて割断荷重を約１／４の１０００ｋｇ程度にすることができた。
【００４６】尚、図５には示されていないが、「Ｘ方向拘束」という条件での割断試験も行った。「Ｘ方向拘束」とは、「ゴム拘束」の条件に加えて、圧力伝達媒体６であるゴムのＸ方向（脆性材料１の軸方向）の変位も拘束した場合である。これは、図８に示すように圧力伝達媒体６の端面であって脆性材料１の軸方向に直交する２つの端面に、拘束治具１４、１４を配置することによって実現される。この場合は、ゴムの軸方向の変位量が低下したことによって側圧が上昇するものと考えられるが、実際は割断荷重の低減効果はなかった。
【００４７】以上の試験結果に基づいて割断メカニズムについて検討する。側圧成分のみで割断が発生する荷重は、図５の「従来」の場合の約２倍で、約８０００ｋｇである。ノッチの底部に付与された応力がσｃになったときに割断が発生すると考えると、σｃ＝σｐ＋σｄ＋σｂとなる。ここで、σｐ＝側圧分＝ｆ（ｐ）、σｄ＝伸び分＝Ｒ（Ｐ，形状，ポアソン比）、σｂ＝曲げ成分＝Ｓ（Ｐ，支点間距離）である。支点間距離とは、図７に示す鋼製スペーサ１３、１３の中心間の距離である。
【００４８】「従来」の場合は、σｐとσｄが同程度であり、σｃ＝σｐ＋σｄであるため、必要な割断荷重Ｐは側圧成分のみの場合の約１／２の４０００ｋｇとなる。また、曲げ成分が付与されると、その分だけ割断荷重が減少することが分かる。
【００４９】上述した本発明の割断方法を使用すれば、ガラスなどの脆性材料１の比較的小さなブロックを得ることができる。例えば、図９（ａ）に示すように円柱状の脆性材料１をその軸心方向に垂直な第１の割断面３ａ、３ａに沿って割断し、円板状部材２０を得る。次に、図９（ｂ）に示すように円板状部材２０をその軸心を通り第１の割断面３ａに垂直な第２の割断面３ｂに沿って割断し、ブロック２１を得る。
【００５０】円板状部材２０の割断は、図１０に示すように、円板状部材２０とほぼ同径の円柱状の収納空間を備えた拘束治具２２に円板状部材２０をセットして行う。円板状部材２０は、一対の圧力伝達媒体２３、２４で挟持された状態で拘束治具２２にセットされる。圧力伝達媒体２３、２４は、ウレタンゴムなどの弾性体から成り、円板状部材２０とほぼ同径の円板状に形成されている。円板状部材２０の上面には、図９（ｂ）に示すように、中心から半径方向に延びる複数本のノッチ４を放射状に予め形成しておく。そして、図示しない押圧手段を用いて上側の圧力伝達媒体２３を介して円板状部材２０を加圧する。これによって、円板状部材２０の周面が拘束された状態で、上面に等方静水圧が加えられる。そして、円板状部材２０は、上述した割断の原理に従って第２の割断面３ｂに沿って割断される。
【００５１】このブロック２１は、第１の割断面３ａと平行な断面の形状が１本の円弧と２本の直線とから成る略扇形であり、比較的小さなブロックである。このように、割断面が滑らかで比較的小型のガラスのブロック２１を得ることができるので、溶解炉への素材充填効率が良くなる。また、脆性材料１として多結晶シリコンを用いた場合、得られるブロック２１はシリコンインゴットの製造に好適である。
【００５２】尚、図１１に示すように、円板状部材２０の上面にノッチ４を格子状に形成しておけば、割断によって直方体状のブロックを得ることができる。また、円板状部材２０の上面にノッチを形成する代わりに、図１２に示すように、円板状の本体部２５の押圧面２５ａに切込み刃２６を形成した加圧部材２７を、円板状部材２０の上面に直接押し当てて加圧してもよい。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００００１２３６
【氏名又は名称】株式会社小松製作所
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| 【出願日】 |
平成１３年１月１８日（２００１．１．１８） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１０００８４６２９
【弁理士】
【氏名又は名称】西森 正博
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| 【公開番号】 |
特開２００２−２１０７２９（Ｐ２００２−２１０７２９Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１４年７月３０日（２００２．７．３０） |
| 【出願番号】 |
特願２００１−１００８９（Ｐ２００１−１００８９） |
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