| 【発明の名称】 |
能動植え込み型医療装置用のハイブリッド電子回路の製造方法 |
| 【発明者】 |
【氏名】イヴ ヴァン カンペンウート
【氏名】ドミニク ジレ
【氏名】ティエリー レガイ
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| 【要約】 |
【課題】能動植え込み型医療装置用の複数のハイブリッド電子回路を製造する方法ならびにこの方法によって製造された回路である。
【解決手段】この方法は以下の工程を含む：ａ）第１の表面上にチップ用の接触領域のパターンを備え、第２の表面（裏）上に製造される複数の回路に相当する同じパターンの繰り返しからなる、構成要素のための金属領域のパターンを備える集合平面型プレート基盤を設け；ｂ）第１の表面上に複数のチップを接着し；ｃ）チップを該当する接触領域に結線し；ｄ）第１の表面上に被覆樹脂を注入して均一な被覆樹脂層を形成し；ｅ）この樹脂を硬化させ；ｆ）プレートを切断して各基板がその第１の表面上に被覆されたチップを有する複数の個別基板を形成し、これらの基板のそれぞれ１つが植え込み型装置の個別回路に相当するものとなり、ｇ）各個別基板の第２の表面上にＳＭＣ素子および／またはコネクタ要素を装着することにより完成させる。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 ａ） 第１の表面上に複数の繰り返しパターンからなる少なくとも１つのチップ用の接触領域を備え、同様に複数の繰り返しパターンからなり能動表面実装（“ＳＭＣ”）素子、受動ＳＭＣ素子、およびコネクタ要素のうちの少なくとも１つを受容するための金属化領域を有する第１の表面の反対側の第２の表面を備え、前記集合プレート基板の複数の接触領域および金属化領域が複数の植え込み型装置電子回路に相当する、平坦な集合プレート基板を形成し；
ｂ） 集合プレート基板の第１の表面上に第２のチップ群を接着し、前記植え込み型装置電子回路のそれぞれが少なくとも１つの対応するチップを有し、ｃ） 前記接着されたチップを該当する接触領域に対して結線し、ｄ） 集合プレート基板の第１の表面に被覆樹脂を注入し適宜に均一な厚さを有する被覆樹脂層を形成し、ｅ） 被覆樹脂を硬化させ、ｆ） 集合プレート基板を切断して複数の個別基板を形成し、各基板はその第１の表面上に接着され樹脂によって被覆された少なくとも１つのチップを備え、この各個別基板がそれぞれ個別の植え込み型装置電子回路に相当し、ｇ） 少なくとも１つのＳＭＣ素子および／またはコネクタ要素を各個別基板の第２の表面上に装着して植え込み型装置の複数の電子回路を形成する、複数のハイブリッド電子回路の製造方法。
【請求項２】 集合プレート基板はさらに周囲境界領域を備えており、工程ｄ）はさらに周囲境界領域に重力によって樹脂を拡散させることを含み、さらに工程ｆ）が周囲境界領域を切断することを含む請求項１記載の方法。
【請求項３】 工程ｅ）の後に硬化した被覆樹脂層の表面上に均一な金属層を付着させる工程を含める請求項１記載の方法。
【請求項４】 請求項１記載の方法によって製造される能動植え込み型医療装置電子回路であり、第１の表面上に少なくとも１つのチップを支持し第２の表面上に能動ＳＭＣ素子、受動ＳＭＣ素子、およびコネクタ要素のうちの少なくとも１つを支持する基板からなり、基板の第１の表面上に回路ならびにチップを覆う（被包する）被覆樹脂層を設け、この層は均一な厚さを有するとともに基板の一つの縁部から別の縁部へと２次元に延在し、この縁部は基板の側面と樹脂層とから形成され、前記側面は平坦な側面であるとともに基板の第１の表面に対して垂直であることを特徴とする能動植え込み型医療装置電子回路。
【請求項５】 請求項２記載の方法によって製造される能動植え込み型医療装置電子回路であり、第１の表面上に少なくとも１つのチップを支持し第２の表面上に能動ＳＭＣ素子、受動ＳＭＣ素子、およびコネクタ要素のうちの少なくとも１つを支持する基板からなり、基板の第１の表面上に回路ならびにチップを覆う（被包する）被覆樹脂層を設け、この層は均一な厚さを有するとともに基板の一つの縁部から別の縁部へと２次元に延在し、この縁部は基板の側面と樹脂層とから形成され、前記側面は平坦な側面であるとともに基板の第１の表面に対して垂直であることを特徴とする能動植え込み型医療装置電子回路。
【請求項６】 請求項３記載の方法によって製造される能動植え込み型医療装置電子回路であり、第１の表面上に少なくとも１つのチップを支持し第２の表面上に能動ＳＭＣ素子、受動ＳＭＣ素子、およびコネクタ要素のうちの少なくとも１つを支持する基板からなり、基板の第１の表面上に回路ならびにチップを覆う（被包する）被覆樹脂層を設け、この層は均一な厚さを有するとともに基板の一つの縁部から別の縁部へと２次元に延在し、この縁部は基板の側面と樹脂層とから形成され、前記側面は平坦な側面であるとともに基板の第１の表面に対して垂直であることを特徴とする能動植え込み型医療装置電子回路。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の分野】この発明は能動植え込み型医療装置用のハイブリッド電子回路製造方法に関する。ここでは本発明の一実施例として植え込み可能なペースメーカの回路に関して説明するが、本発明は極めて多様な“能動植え込み型医療装置”に対して広範に適用することができる。これらの装置として、１９９０年６月２０日付のＥＣ評議会指令第９０／３８５／ＣＥ号によって、ペースメーカに加えて細動除去器および／または電気除細動器、神経学機器、治療物質の拡散ポンプ、移植蝸牛刺激装置、植え込み型生態センサ等が定義されている。
【０００２】
【発明の背景】能動植え込み型医療装置（以後“植え込み型装置”または“装置”と称する）は、電源と能動および受動素子を補助ならびに相互接続するハイブリッド回路基板（以後“電子回路”と称する）とを含んだケース部材を備えている。ペースメーカの場合、電子回路によって、心臓信号、刺激パルスの発生を収集して解析し、医学的検査のための種々の情報を記録（メモリ内に蓄積）し、ペースメーカ装置の種々の機能を制御することが可能になる。通常この電子回路にコネクタヘッドが接続されて、特に信号収集および／またはパルス付加のための導線等の外部要素に対しての電気的および機械的接続を提供する。
【０００３】これらの植え込み型装置がケース部材内で使える限られたスペースを考慮して電子回路を大幅に小型化する必要があることは容易に理解できる。より具体的には、接続要素等の一般的に表面実装素子（“ＳＭＣ”）技術によって構成される種々の能動および受動要素に加えて、この電子回路は個々の半導体チップへと切断するための半導体プレート（すなわちウェハー）上にマイクロフォトリソグラフによって形成される１つまたは複数のチップを装備している。これらの個々のチップは、その他の能動および受動素子と同様に、装置の電子回路を構成するために通常単一の個別基板上に実装される。種々の異なった素子が基板上に実装されているため、この電子回路は“ハイブリッド回路”とも呼ばれている。
【０００４】今日においてはこれらの電子回路を構成するために複数の技術を使用することができるが、既存の全ての技術がそれぞれ問題点をかかえている。第１の既知の技術は“チップキャリア”を使用しており、これは小型の個別ケース部材の底部にチップを接着してワイヤボンディングによって配線するものである。その後このチップキャリアは金属キャップによって封鎖されハイブリッド回路の基板上に装着される。この方法は各チップを個別に処理する必要があるとともにチップの数と同じだけのチップキャリアを必要とすることから高コストなものとなる。チップキャリアはその中に含まれるチップよりも大きなものであるため、大きな面積を占有するものとなる。
【０００５】別の既知の技術は“共通の空洞部内への組み立て”である。このハイブリッド回路の基板は平坦なものではなく、むしろ全てのチップを収容するために充分な大きさの空洞部を有しており、これらのチップはチップキャリアの場合と同様に接着されワイヤボンディングによって配線される。その後共通のキャップ部材によって空洞部全体を閉鎖する。この方法は同一のハイブリッド回路の全てのチップを同時に処理するという利点を有するが、複数のハイブリッド回路を同時に処理することは不可能である。さらに、占有される面積の点に着目すると、キャップ部材が取り付けられる回路の空洞部の壁は相当に大きな面積を占有しこれが損失となる。また、大きな寸法のキャップ部材を使用することによってキャップ部材と基板との間において圧力（応力）を微妙に配分する必要が生じ、このことによって回路の脆弱性が増大する。
【０００６】別の技術は“チップオンボード”構成として知られており、これはチップをホスト基板上に接着し配線した後保護樹脂の滴あるいは塊によってそれらを個別に被覆する（米国特許第４７８４８７２号公報参照）。このように“塊”で被覆されたチップは基板上の比較的大きなスペースを占有するものとなり、これは被覆樹脂の固まりの自然流に対して充分な境界領域を設ける必要があるためである。さらに、各回路の各チップを個別に処理する必要があるため、この技術のコストも比較的高いものとなる。最後に、塊によって被覆されたチップを実装している表面の機械的な状態は良好に管理されたものではなく、平方ミリメートルの単位まで重視される植え込み型装置内によく管理して挿入および設置することは不可能である。
【０００７】国際特許出願ＷＯ−Ａ−９９／４１７８６号公報にはペースメーカ回路のサブセットを被覆する技術が示されており、ここでサブセットは切断の前に被覆樹脂層によって被覆される。この文献にはサブセットの被覆のみしか記載されていないが、これらは植え込み型装置の電子回路基板を形成するために共通の基板上に装着する必要がある。さらに、この技術においては基板が２つの面に素子を実装することはできず、これはサブセットの面のうちの１つがこれを電子回路の基板上に装着するための面として設定されているためである。
【０００８】
【発明の概要】従って、本発明は、前述した既知の方法の問題点を解消することができる、能動植え込み型医療装置用の電子回路の新規の製造方法ならびにこの方法によって製造された電子回路を提案するものである。
【０００９】本発明の特徴の１つは以下の各工程からなる複数のハイブリッド回路要素の製造方法である：ａ） 第１の表面（すなわちプレート基板の１面）上に複数の繰り返しパターンからなるチップ用の接触領域を有し、第２の表面（すなわち第１の面の反対側の第２の面）上に同様に複数の繰り返しパターンからなる能動あるいは受動表面実装素子（“ＳＭＣ”）またはコネクタ素子用の金属化領域を有し、複数の繰り返しパターンからなる接触領域および金属化領域が植え込み型装置のための前記複数の電子回路に相当する、平坦な集合プレート基板を形成し；
ｂ） 集合プレート基板の第１の表面上に第２のチップ群を接着し、植え込み型装置の前記電子回路のそれぞれが少なくとも１つの対応するチップを有し、ｃ） 第２のチップ群のうちの選択されたものを相関する接触領域に対して結線し、ｄ） 集合プレート基板の第１の表面に被覆樹脂を注入し適宜に均一な厚さを有する被覆樹脂層を形成し、ｅ） 被覆樹脂を硬化させ、ｆ） 集合プレート基板を切断して複数の個別基板を形成し、各基板はその第１の表面上に樹脂によって被覆された少なくとも１つのチップを備え、この各個別基板がそれぞれ植え込み型装置の１つの電子回路に相当し、ｇ） ＳＭＣ素子ならびにコネクタ要素のうち少なくとも１つを各個別基板の第２の表面上に装着し、これによって植え込み型装置のための複数の完全電子回路を形成する。
【００１０】好適な一実施形態において、集合プレート基板は周囲境界領域を備えており、工程ｄ）において注入された樹脂はこの周囲境界領域を覆うまで重力によって自由に拡散することができ、さらに工程ｆ）において周囲境界領域を切断して分離することが好適である。
【００１１】さらに別の実施形態において、工程ｅ）の後に硬化した被覆樹脂層の表面上に均一な金属層を付着させる工程を含めることが可能である。
【００１２】この発明はさらに前述した方法によって実現される能動植え込み型医療装置に関する。この電子回路は、第１の表面に１つまたは複数のチップを支持し第２の表面上に能動または受動ＳＭＣ素子および／またはコネクタ要素を支持する基板から構成される。この基板の第１の表面上には回路ならびにチップを覆う（被包する）被覆樹脂層が設けられる。この層は、均一な厚さを有するとともに基板の一縁部から別の縁部へと２次元に延在し、従って基板は（３次元において）側面を有し、その樹脂層は基板の表面に対して垂直に延在することが好適である。その結果、切断を実行すると電子回路は実質的に適宜に平坦かつ好適には均一に平坦である上部、底部、ならびに側部壁を有する長方形となる（個別回路を第１の表面に対して９０°以外の角度で切断することが好適であることが当然理解される）。
【００１３】本発明のその他の詳細、特徴、ならびに利点は、添付図面を参照しながら以下に記述する説明により当業者において理解されよう。
【００１４】
【発明の詳細】第１に、本発明は複数の植え込み型装置電子回路を同一の集合プレート基板上で同時に形成し、単一の工程においてプレート基板の表面全体を樹脂で被覆し、被覆された集合プレート基板を切断して各回路を“個別化”して種々の個別電子回路を形成することを提案するものである。この切断は、周知のようにスライシング（またはのこ引きあるいはその他の基板を小片に分離する方法）によって実施することができる。基板の前面（この表面には被覆樹脂が付加されていない）にはその後ＳＭＣ素子、コネクタ等を装着するための金属化が施される。
【００１５】図１には平坦な集合プレート基板１０が示されており、これはセラミック（例えば多層セラミック構造）、硬質エポキシ樹脂等の既知の材料によって形成されている。この材料は所要の電子回路の機械的および電気的特性に従って選択される。このプレート基板は、これに装着されるチップならびにその他の要素のための種々の相互接続コンダクタを備えることが好適である。
【００１６】図示された実施例において、各電子回路は２つのチップ１２，１４を有しており、これらはそれぞれマイクロフォトリソグラフィによって形成され半導体プレートを切断したものである。これらのチップ１２，１４はその後方法の第１工程中において同時に集合プレート基板１０上に装着および接着される。図１には１２個のチップが示されており、これらは全てプレート基板１０上に装着および接着される。
【００１７】プレート基板１０上に形成された相関する接触領域１６を各チップ上に配置された対応する接触領域２０に適宜に接続する細い接続線１８を設けることによって、ワイヤボンディング方法による種々のチップの適正な配線が確立される。所要の配線を達成するために既存の任意のワイヤボンディング加工装置を使用することができる。
【００１８】続く工程が図２に示されており、被覆（“被包”）樹脂２２を注入してプレート基板１０上に流し全てのチップならびにその電気接続を被覆する。
【００１９】使用される樹脂はこの電子回路の機械的強度特性に従って適宜に選択され；一般的にポリイミド、エポキシポリマ、シリコン樹脂等の重合可能な材料とされる。選択された樹脂は局所的に流動あるいは移動することができ、例えば紫外線照射あるいは加熱することによって所定の場所で硬化させることができる。自然の方式により、樹脂は表面張力と重力が組み合わされることによって実質的に平坦な形状（例えば縁部を除いて）を有するものとなる。これに代えて、プレート１０上を流れる被覆樹脂に対して機械を使用して手動であるいは自動的にスクレーパによる平滑化を行うこともできる。
【００２０】好適には、重合化後硬化した材料は固体となるが、プレート基板１０を歪ませるような応力を生じさせることがないように決して過剰な柔軟性を備えないものとなる。
【００２１】図２において参照符号２４および２６は、各個別電子回路の境界を定めるハッチングされた位置決めラインである。実線の参照符号２８は２つのチップ１２，１４をもって独立する１つの電子回路の外形を示している。
【００２２】電子回路の寸法に比べて、プレート基板１０の寸法は、周囲境界領域３０，３２が設けられるとともにこの周囲境界領域は樹脂２２の塊の縁部がこの周辺領域内の対応する場所３４，３６まで到達するために充分なものとなるように選択される。このことによって種々の個別電子回路の領域全体にわたって殆ど平面的（すなわち実質的に平坦）な表面が形成される。樹脂を硬化させた後ハッチングされた線２４および２６に沿ってプレート基板およびその被覆樹脂層が切断（スライシングあるいはのこ引き）され各電子回路が“個別化”される。
【００２３】図３および図４に示されているように、個別回路のそれぞれが自由面（図２に示されたプレート基板の第２の表面）には、要素３８，４０，４２のような能動あるいは受動ＳＭＣ素子および／または個別回路を医療用植え込み型装置に接続するための接続ピン４４を装着するための金属化領域が設けられる（図４）。
【００２４】プレート基板１０の別の面あるいは第１の表面（図３）において、回路は厚さｅ（通常約０．８ｍｍ）からなる全く平坦かつ固形の樹脂層２２を有しており、これはチップ１２および１４を完全に被覆し基板に対して封着するものである。
【００２５】別の実施例においては、樹脂を硬化させた後プレート基板１０を切断する前に、全ての樹脂表面の上に金属層を付着させることも可能である。この種の金属層は複数の機能を提供し得るものであり、それらは特に：＊ 電気遮断（例えば、金属層を接地することによって）、＊ 湿気ならびに化学的不純物の侵入防止、および／または＊ 機械的防護の強化、である。
【００２６】前述した方法は種々の利点を有しており、それらは特に以下のことである：＊ ｇｌｏｂ−ｔｏｐプロセスの場合のように各回路の周りの樹脂流のための周囲境界領域の損失を伴うことなく個別電子回路の表面を良好な密度で被覆することができる。従って、本発明の好適な実施例によれば周囲境界領域はプレート基板の全体周辺部のみのために必要であり、各電子回路の個々の寸法に影響を与えることはない。
【００２７】＊ 接着、配線またはワイヤボンディング、および樹脂の注入処理を複数の回路に対して共用のものとすることができるため、例えば集合プレート基板１０上にＮ個の回路を構成する場合、ファクタＮによって製造プロセスからインプットならびにアウトプット数を削減することができ、コスト面における最適化を達成することができる。
【００２８】＊ 樹脂表面の良好に平滑化することができる（この樹脂は通常単に重力によって拡散することができるが、選択的にユーザが補助を行うこともできる）。切断工程によって回路の側部を直線的に切断することができるため、自動実装装置によって基板上に精密かつ容易に配置するための良好な機械的基準を提供することができる。
【００２９】＊ 外部要因に対してチップを効果的（気密）に防護することができる。
【００３０】前述した実施例は単に説明の目的のものであり、本発明にこれに限定されることはなく当業者においては種々の設計変更をなし得ることが理解される。
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| 【出願人】 |
【識別番号】５９４１９９５２２
【氏名又は名称】エエルア メディカル ソシエテ アノニム
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| 【出願日】 |
平成１４年１月２１日（２００２．１．２１） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１０００６４０１２
【弁理士】
【氏名又は名称】浜田 治雄
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| 【公開番号】 |
特開２００２−３２０６８１（Ｐ２００２−３２０６８１Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１４年１１月５日（２００２．１１．５） |
| 【出願番号】 |
特願２００２−１２２３１（Ｐ２００２−１２２３１） |
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