| 公開番号 | 発明の名称 |
| 特開２００２−１９６４６８ | 感光材料分別装置 |
| 特開２００２−１９６４６９ | デバイスの製造方法、それに用いるホトマスク、およびそのホトマスクの製造方法 |
| 特開２００２−１９６４７０ | フォトマスクの製造方法および半導体集積回路装置の製造方法 |
| 特開２００２−１９６４７１ | 露光用マスクの製造方法 |
| 特開２００２−１９６４７２ | 露光用マスク |
| 特開２００２−１９６４７３ | フォトマスク |
| 特開２００２−１９６４７４ | グレートーンマスク及びその製造方法 |
| 特開２００２−１９６４７５ | フォトマスクブランク及びフォトマスク |
| 特開２００２−１９６４７６ | 露光用マスクおよびこれを用いた半導体デバイスの製造方法 |
| 特開２００２−１９６４７７ | 光化学的に安定なエキシマレーザー用遠紫外線ペリクル |
| 特開２００２−１９６４７８ | フォトマスクユニット、フォトマスク装置、投影露光装置、投影露光方法及び半導体装置 |
| 特開２００２−１９６４７９ | 感光性樹脂組成物およびフレキソ印刷版用原版 |
| 特開２００２−１９６４８０ | ネガ型感光性熱硬化性着色樹脂組成物、それを用いた転写材料、及び画像形成方法 |
| 特開２００２−１９６４８１ | 保存安定性に優れた着色感光性樹脂組成物 |
| 特開２００２−１９６４８２ | ポジ型フォトレジスト組成物 |
| 特開２００２−１９６４８３ | フォトマスク及びそれを用いた電子デバイスの製造方法 |
| 特開２００２−１９６４８４ | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント |
| 特開２００２−１９６４８５ | 感光性樹脂組成物 |
| 特開２００２−１９６４８６ | 感光性樹脂組成物及びプリント配線板 |
| 特開２００２−１９６４８７ | 感光性樹脂組成物及びプリント配線板 |
| 特開２００２−１９６４８８ | カラーフィルター用着色感光性樹脂組成物 |
| 特開２００２−１９６４８９ | 光硬化性着色組成物 |
| 特開２００２−１９６４９０ | 感光性樹脂組成物、スペーサーおよび液晶表示素子 |
| 特開２００２−１９６４９１ | 赤外線レーザ用感光性画像形成材料 |
| 特開２００２−１９６４９２ | 感光性樹脂組成物およびフレキソ印刷版用原版 |
| 特開２００２−１９６４９３ | シャドウマスクおよびリードフレームの製造方法 |
| 特開２００２−１９６４９４ | ポジ型レジスト組成物及びパターニング方法 |
| 特開２００２−１９６４９５ | 化学増幅型ポジ型レジスト組成物 |
| 特開２００２−１９６４９６ | ポジ型フォトレジスト組成物 |
| 特開２００２−１９６４９７ | サーマルフロー用化学増幅型ポジレジスト組成物及びパターン形成方法 |
| 特開２００２−１９６４９８ | 感光性レジスト組成物及びパターン形成方法 |
| 特開２００２−１９６４９９ | 銀塩オフセット印刷原版 |
| 特開２００２−１９６５００ | フィルム回路基板の周辺露光装置 |
| 特開２００２−１９６５０１ | ステージ及び露光装置 |
| 特開２００２−１９６５０２ | 露光方法 |
| 特開２００２−１９６５０３ | 現像液の現像活性の制御方法及び自動制御装置 |
| 特開２００２−１９６５０４ | 平版印刷版の画像形成方法 |
| 特開２００２−１９６５０５ | 平版印刷版の作成方法 |
| 特開２００２−１９６５０６ | 平版印刷版の製版方法 |
| 特開２００２−１９６５０７ | 平版印刷版の製版方法 |
| 特開２００２−１９６５０８ | レジスト表面処理用フッ化水素溶液及びレジスト剥離方法、並びに該レジスト剥離方法を用いた半導体デバイス装置の製造方法 |
| 特開２００２−１９６５０９ | フォトレジスト剥離剤組成物及びその使用方法 |
| 特開２００２−１９６５１０ | レジスト用剥離液 |
| 特開２００２−１９６５１１ | 電子写真感光体を運搬する運搬媒体、それを用いた電子写真感光体の製造方法及び画像形成装置の製造方法 |
| 特開２００２−１９６５１２ | 電子写真感光体の製造方法 |
| 特開２００２−１９６５１３ | 有機電子写真感光体の塗布装置、それに用いる搬送パレットおよび塗布方法 |
| 特開２００２−１９６５１４ | 静電写真画像形成部材の製造方法 |
| 特開２００２−１９６５１５ | 電子写真用感光体 |
| 特開２００２−１９６５１６ | ポリテトラフルオロエチレン粒子を含む電荷輸送層材料分散物を安定化する方法 |
| 特開２００２−１９６５１７ | 単層型電子写真感光体 |