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【発明の名称】 基板処理装置
【発明者】 【氏名】赤尾 徳信
【氏名】筒口 和典
【氏名】八島 司
【課題】重要なエラーアラームの履歴をできるだけ過去に遡って保存する。

【解決手段】メインコントローラ３１に構築されたアラームロギング機能部５０において、アラーム検出部５１がアラームを検出すると、ロギングデータ収集部５２はロギングに必要なデータを収集し、アラームレベル判断部５３は警報アラームかエラーアラームかを判断する。ファイル書込部５４は警報アラームを警報アラームファイル５５に、エラーアラームをエラーアラームファイル５６に別々に記録する。その後、警報アラームとエラーアラームの両方が表示される際には、ファイル読出部５７は警報アラームファイル５５とエラーアラームファイル５６を結合し、かつ、日付データをキーにソートして、表示部５８に警報アラームとエラーアラームを結合したアラーム表示画面を表示させる。
【特許請求の範囲】
【請求項１】 基板処理中に発生したアラームをアラームレベル毎に別々のファイルとして記録するアラームロギング機能を備えていることを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板処理装置、特に、アラームロギング機能（基板処理装置の運用中に発生したエラーアラームや警報アラームを履歴として発生日時や発生状態等と一緒にコントローラに記録しておく機能）に関し、例えば、液晶ディスプレイ（以下、ＬＣＤという。）の製造工程において、アレイ基板にアモルファスシリコン（以下、ａ−Ｓｉという。）や窒化シリコン（ＳｉＮｘ）等を成膜するマルチチャンバ型枚葉式プラズマＣＶＤ装置に利用して有効な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＬＣＤの製造工程において、アレイ基板にａ−Ｓｉや窒化シリコン等を成膜するのに、複数のチャンバを備えたマルチチャンバ型枚葉式プラズマＣＶＤ装置（以下、ＣＶＤ装置という。）が使用されている。このＣＶＤ装置は、アレイ基板にａ−Ｓｉや窒化シリコンを成膜するための複数のチャンバと、アレイ基板を搬送して各チャンバに搬入搬出するための搬送装置と、各チャンバの処理および搬送装置の搬送をそれぞれ制御する各サブコントローラと、このサブコントローラ群を制御するメインコントローラとを備えている。
【０００３】そして、このＣＶＤ装置においては、例えば、チャンバの排気能力が低下したり搬送装置が動作しなくなったりした場合には、サブコントローラがそれらを検出してアラームを発生し、メインコントローラがそのアラームの情報を画面に表示してオペレータに通知するとともに、アラームの履歴をファイルに記録するように構成されている。ＣＶＤ装置においてアラーム履歴を記録する機能をアラームロギング機能という。そして、アラーム履歴を記録するファイルをアラームファイルという。
【０００４】このアラーム履歴はＣＶＤ装置の稼動状況の把握に使用されるばかりでなく、ＣＶＤ装置のトラブル（障害）の予知や、処理した基板から製造された製品の不良の原因解析等に使用される。すなわち、アラーム履歴によって過去のアラームの発生傾向を調査することにより、ＣＶＤ装置の将来のトラブルを予知することができる。また、アラーム履歴によって過去のアラームを追跡調査することにより、製品の不良の原因を解析することができる。
【０００５】ＣＶＤ装置において発生するアラームは、警報レベルのアラーム（以下、警報アラームという。）と、エラーレベルのアラーム（以下、エラーアラームという。）とに大別される。警報アラームはＣＶＤ装置の稼動には別段の支障は発生しないが、ＣＶＤ装置が通常とは異なる状態にあることをオペレータに通知するアラームである。エラーアラームはＣＶＤ装置の稼動に支障を来す異常を通知するものであり、このエラーアラームが発生した場合には異常処置が実行されてＣＶＤ装置の稼動が安全に停止される。
【０００６】メインコントローラの記録容量の制約から、アラームファイルがロギング可能なアラームの件数（アラームロギング件数）には、例えば最大アラームロギング件数千件というように制限が設定されており、この最大アラームロギング件数を超えてアラームが発生した場合には、アラームファイルに記録された最古のアラームデータが削除され、今発生したアラームがアラームファイルに新たに記録される方法が、一般的に採用されている。
【０００７】そして、従来のアラームファイルは、次のような理由で一つのファイルによって構成されている。すなわち、「レベルに関係なくアラームが発生すること自体が問題である」というアラームについての考え方に基づいて、アラームの履歴を時系列で整理することを重視した結果、アラーム履歴を記録するアラームファイルは一つのファイルに構成された。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記した従来のＣＶＤ装置においては、アラームファイルが一つのファイルによって構成されていることにより、警報アラームもエラーアラームも同じファイルに記録されることになるため、例えば、エラーアラームが一件発生した後に千件以上の警報アラームが続いて発生すると、最初のエラーアラームの記録がオペレータによって調査される前にアラームファイルから削除されてしまい、ＣＶＤ装置のトラブルの予知や製品の不良解析等において重要なエラーアラームを調査することができない事態が発生してしまうという問題点がある。
【０００９】本発明の目的は、警報アラームが多く発生すると過去の重要なエラーアラームがアラームファイルから削除されてしまう事態が発生するのを防止することができるとともに、重要なエラーアラームの履歴をできるだけ長く過去に遡って保存することができる基板処理装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するための手段は、基板処理中に発生したアラームをアラームレベル毎に別々のファイルとして記録するアラームロギング機能を備えていることを特徴とする。
【００１１】前記した手段によれば、例えば、警報アラームとエラーアラームとは別々のファイルとして記録されることにより、重要なエラーアラームの履歴は警報アラームと切り離して記録されることになるため、重要なエラーアラームの履歴は長く過去に遡って保存することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図面に即して説明する。
【００１３】本実施形態において、本発明に係る基板処理装置は、ＬＣＤの製造工程におけるアレイ基板（以下、基板という。）にａ−Ｓｉや窒化シリコン等を成膜するＣＶＤ装置として構成されている。図１に示されているように、このＣＶＤ装置１０は八角形の筒形状に形成されたメインフレーム真空搬送チャンバ（以下、真空搬送チャンバという。）１１を備えており、その各辺には二つの真空ロードロックチャンバ（以下、ロードロックチャンバという。）１２および１３、基板予備加熱チャンバ（以下、加熱チャンバという。）１４、五つのプラズマＣＶＤチャンバ（以下、ＣＶＤチャンバという。）１５、１６、１７、１８および１９が配置されている。真空搬送チャンバ１１の内部には基板を各チャンバ１２〜１９に対して搬入搬出するための搬送装置としての真空搬送ロボット２０が設備されている。なお、真空搬送チャンバ１１と各チャンバ１２〜１９との間には真空ゲートバルブ（図示せず）がそれぞれ介設されている。
【００１４】両ロードロックチャンバ１２、１３の真空搬送チャンバ１１と反対側には大気搬送チャンバ２１が設置されており、大気搬送チャンバ２１の内部には基板を両ロードロックチャンバ１２、１３に対して搬入搬出するための搬送装置としての大気搬送ロボット２２が設備されている。大気搬送チャンバ２１のロードロックチャンバ１２、１３の反対側にはカセットスタンド２３が設置されており、カセットスタンド２３には複数枚の基板を収納したカセット２４が複数台、並べて置かれるようになっている。
【００１５】ＣＶＤ装置１０は各チャンバや搬送ロボット等を制御するための図２に示された制御システム３０を備えている。図２に示されているように、制御システム３０はパーソナルコンピュータやＦＡコンピュータ等から構築されたメインコントローラ３１を備えており、メインコントローラ３１にはフローパネルやキーボード、タッチパネル、ディスプレイ、プリンタおよび音声警報装置等を備えた入出力装置３２が接続されている。メインコントローラ３１には各種のサブコントローラ３３〜４１が接続されており、これらサブコントローラ３３〜４１は各チャンバおよび各ロボットをそれぞれ制御するとともに、各チャンバおよび各ロボットの状態を各種のセンサを通じて監視するように構成されている。
【００１６】例えば、圧力制御サブコントローラ３３は真空搬送チャンバ１１やロードロックチャンバ１２、１３等の圧力を真空排気装置（図示せず）を介して制御するようになっており、圧力計によって圧力を監視し、排気能力の低下等を検出した場合には警報アラームまたはエラーアラームをメインコントローラ３１に送信するようになっている。加熱チャンバサブコントローラ３４は加熱チャンバ１４の温度をヒータを介して制御するようになっており、温度計によって温度を監視し、ヒータの加熱能力の低下等を検出した場合には警報アラームまたはエラーアラームをメインコントローラ３１に送信するようになっている。第一ＣＶＤサブコントローラ３５は第一ＣＶＤチャンバ１５を高周波電源や原料ガス供給装置等を介して制御するようになっており、電圧計や電流計によって電力を監視し、高周波電源の能力の低下等を検出した場合には警報アラームまたはエラーアラームをメインコントローラ３１に送信するようになっている。真空搬送ロボットサブコントローラ４０および大気搬送ロボットサブコントローラ４１は真空搬送ロボット２０および大気搬送ロボット２２を電動モータ等を介してそれぞれ制御するように振動センサや電圧計および電流計によって電動モータ等を監視し、電動モータの能力の低下等を検出した場合には警報アラームまたはエラーアラームをメインコントローラ３１に送信するようになっている。
【００１７】メインコントローラ３１には記憶装置４２が接続されており、記憶装置４２には後記するアラームロギング機能部５０で使用されるアラームファイル等が構築されるようになっている。また、メインコントローラ３１はＬＣＤ装置の製造工程を統括的に管理かつ生産制御するためのホストコンピュータ４３に接続されており、ホストコンピュータ４３からは後記する成膜プロセスの制御に必要な新規ロットのレシピ番号等を入手するようになっている。
【００１８】メインコントローラ３１の一部（ソフトウエア）には、アラームロギング機能部５０が構築（プログラミング）されており、アラームロギング機能部５０は図３に示されているように構成されている。すなわち、アラームロギング機能部５０はアラーム検出部５１、ロギングデータ収集部５２、アラームレベル判断部５３、記憶装置４２に構築されたアラームファイルの警報アラームファイル５５およびエラーアラームファイル５６にアラームロギングを書き込むファイル書込部５４、同じく読み出すデータ結合機能付きファイル読出部５７および表示部５８を備えており、これらは後述するアラームロギングフローを実行するように構成されている。
【００１９】次に、前記構成に係るＣＶＤ装置の作用を説明する。まず、ＣＶＤ装置１０の全体的な作動を図１について説明する。
【００２０】処理されるべき基板は複数枚宛がカセット２４に収納された状態で、カセットスタンド２３に供給される。カセットスタンド２３の基板は大気搬送ロボット２２によって第一ロードロックチャンバ１２に搬入される。この際、基板はロット毎に複数枚宛がロードロックチャンバ１２に搬入される。
【００２１】第一ロードロックチャンバ１２に搬入された基板は真空搬送ロボット２０によって搬送されて加熱チャンバ１４に搬入され予備加熱される。予備加熱された基板は真空搬送ロボット２０によって加熱チャンバ１４から搬出される。
【００２２】その後、基板は第一〜第五ＣＶＤチャンバ１５〜１９に対しての搬入搬出を繰り返されることによって所定の成膜プロセスを実行される。この際、真空搬送ロボット２０は真空搬送ロボットサブコントローラ４０に提供されたレシピ番号による搬送ルートに従って、基板を第一〜第五ＣＶＤチャンバ１５〜１９に順次に搬送する。
【００２３】所定の搬送ルートを終了した基板は第二ロードロックチャンバ１３に真空搬送ロボット２０によって搬入される。基板は第二ロードロックチャンバ１３において冷却された後に、大気搬送ロボット２２によってカセットスタンド２３の所定のカセット２４に戻される。
【００２４】以上の成膜プロセスにおいて、何らかのトラブルが発生した場合には、当該トラブルが所定のサブコントローラ３３〜４１によってそれぞれ検出されるとともに、警報アラームまたはエラーアラームとしてメインコントローラ３１に送信される。メインコントローラ３１は警報アラームおよびエラーアラームをアラームファイルに後述するアラームファイル作成フローによってロギングする。また、エラーアラームが送信された場合には、メインコントローラ３１は各サブコントローラ３３〜４１のうち所定のサブコントローラにＣＶＤ装置を安全に停止させる指令を送信する。
【００２５】次に、本実施の形態に係るアラームロギング機能部５０の作用を図４および図７に示されているフローチャートについて説明する。
【００２６】ここで、本実施の形態に係るアラームロギング機能部５０の作用の前提となる警報アラームおよびエラーアラームについての考え方を説明する。
【００２７】ＣＶＤ装置が発生するアラームには、重大なトラブルを未然に防止するための警報アラームと、ＣＶＤ装置に重大なトラブルが発生した場合にＣＶＤ装置を安全に停止させる必要があるエラーアラームとの二種類、がある。
【００２８】一方、ＬＣＤの生産性の観点から、ＣＶＤ装置の運転は可能な限り停止させたくないという要求がある。このため、警報アラームが発生した場合にはＣＶＤ装置はそのまま運転を継続させる。そして、警報アラームが発生した際には、次のメンテナンスの際に警報アラームの原因となったトラブル（例えば、ヒータの劣化）に対する処置（例えば、ヒータの交換）を直ちに講ずることができるように、予め、新規のヒータの購入等の予備対策を実施する。つまり、警報アラームはメンテナンスの際の部品交換作業の実施を準備するためのトリガ（切掛けないしは動機）として利用する。つまり、本実施の形態においては、警報アラームの検出許容値を厳格に設定して、エラーアラームの発生に繋がるＣＶＤ装置のトラブルの発生を未然に防止することとした。
【００２９】ところで、従来のアラームロギング機能においては、警報アラームもエラーアラームも同一のアラームファイルに記録されているため、例えば、警報アラームの検出許容値を厳格に設定すると、警報アラームが頻発する事態が発生することになり、その結果、エラーアラームがオペレータによる調査前にアラームファイルから削除されてしまう事態が発生する。したがって、従来のアラームロギング機能においては警報アラームの検出許容値を厳格に設定することができない。このため、従来のアラームロギング機能においては、警報アラームをメンテナンスの際の部品交換作業の準備のトリガとして利用することができない。
【００３０】次に、図３に示されたアラームロギング機能部５０のアラームファイルの作成フローを図４〜図６によって説明する。
【００３１】図４に示されているアラームファイルの作成フローの第一ステップＡ１において、アラームロギング機能部５０のアラーム検出部５１はアラームの有無を検出する。すなわち、メインコントローラ３１にサブコントローラ３３〜４１からアラームが送信されたか否かを検出する。アラームが検出されない場合（ＮＯ）には、第一ステップＡ１が繰り返される。アラームが検出された場合（ＹＥＳ）には第二ステップＡ２に進む。
【００３２】第二ステップＡ２において、ロギングデータ収集部５２はロギングに必要なデータを収集し、第三ステップＡ３に進む。
【００３３】第三ステップＡ３において、アラームレベル判断部５３は警報アラームかエラーアラームかを判断する。警報アラームの場合には第四ステップＡ４に進み、エラーアラームの場合には第七ステップＡ７に進む。
【００３４】第四ステップＡ４において、ファイル書込部５４は図５（ａ）に示されている警報アラームファイル５５における既に保存されたレコードの数が五百件以上か否かを判断する。五百件以上の場合（ＹＥＳ）には第五ステップＡ５に進み、五百件未満の場合（ＮＯ）には第六ステップＡ６に進む。
【００３５】第五ステップＡ５において、図５（ｂ）に示されているように、ファイル書込部５４は警報アラームファイル５５の最古データレコードを削除しレコード番号を更新し、第六ステップＡ６に進む。
【００３６】第六ステップＡ６において、図５（ｂ）に示されているように、ファイル書込部５４は警報アラームファイル５５の更新されたレコードに新たな警報アラーム（例えば、加熱チャンバにおける加熱不足）を書き込む。
【００３７】他方、第七ステップＡ７において、ファイル書込部５４は図６（ａ）に示されているエラーアラームファイル５６における既に保存されたレコードの数が五百件以上か否かを判断する。五百件以上の場合（ＹＥＳ）には第八ステップＡ８に進み、五百件未満の場合（ＮＯ）には第九ステップＡ９に進む。
【００３８】第八ステップＡ８において、図６（ｂ）に示されているように、ファイル書込部５４はエラーアラームファイル５６の最古データレコードを削除しレコード番号を更新し、第九ステップＡ９に進む。
【００３９】第九ステップＡ９において、図６（ｂ）に示されているように、ファイル書込部５４はエラーアラームファイル５６の更新されたレコードに新たなエラーアラーム（例えば、第二ＣＶＤガス洩れ）を書き込む。
【００４０】以降、アラーム検出部５１がアラームを検出する都度、前述したループが繰り返されることにより、警報アラームとエラーアラームとが別々の警報アラームファイル５５とエラーアラームファイル５６とに逐次ロギングされて行く。
【００４１】次に、図３に示されたアラームロギング機能部５０のアラームファイルの表示フローを図７および図８によって説明する。
【００４２】メインコントローラ３１の入出力装置３２に対するオペレータの操作によってアラームファイルの表示が指示されると、入出力装置３２のディスプレイによって構成された表示部５８に図８（ａ）に示されているような選択画面５９が表示される。
【００４３】図７に示されているアラームファイルの表示フローの第一ステップＢ１において、オペレータは選択画面５９から表示を希望するアラームを選択する。本例では「警報アラームとエラーアラームとの両方を表示する」が選択されたものとする。
【００４４】第二ステップＢ２において、ファイル読出部５７は警報アラームを表示するか否かを判断する。警報アラームを表示する場合（ＹＥＳ）には、第三ステップＢ３に進み、警報アラームを表示しない場合（ＮＯ）には、第四ステップＢ４に進む。なお、警報アラームを表示する場合（ＹＥＳ）には、警報アラームおよびエラーアラームの両方を表示する場合を含む。
【００４５】第三ステップＢ３において、ファイル読出部５７は警報アラームファイル５５を表示部５８の第一メモリＭ１に読み込み、第五ステップＢ５に進む。
【００４６】第四ステップＢ４において、ファイル読出部５７は表示部５８の第一メモリＭ１をクリアし、第五ステップＢ５に進む。
【００４７】第五ステップＢ５において、ファイル読出部５７はエラーアラームを表示するか否かを判断する。エラーアラームを表示する場合（ＹＥＳ）には、第六ステップＢ６に進み、エラーアラームを表示しない場合（ＮＯ）には、第七ステップＢ７に進む。なお、エラーアラームを表示する場合（ＹＥＳ）には、警報アラームおよびエラーアラームの両方を表示する場合を含む。
【００４８】第六ステップＢ６において、ファイル読出部５７はエラーアラームファイル５６を表示部５８の第二メモリＭ２に読み込み、第八ステップＢ８に進む。
【００４９】第七ステップＢ７において、ファイル読出部５７は表示部５８の第二メモリＭ２をクリアし、第八ステップＢ８に進む。
【００５０】第八ステップＢ８において、ファイル読出部５７は第一メモリＭ１と第二メモリＭ２とを結合し、第九ステップＢ９に進む。
【００５１】第九ステップＢ９において、ファイル読出部５７は日付データをキーにして結合した警報アラームとエラーアラームとをソートし、第十ステップＢ１０に進む。
【００５２】第十ステップＢ１０において、表示部５８には図８（ｂ）に示されている警報アラームとエラーアラームとの結合ファイルによるアラーム表示画面６０が表示される。
【００５３】例えば、オペレータはアラーム表示画面６０に表示された警報アラームとエラーアラームとを見て、メンテナンスの際に交換すべき部品（例えば、ヒータ）の購入等を実施する。
【００５４】前記実施の形態によれば、次の効果が得られる。
【００５５】1) 警報アラームとエラーアラームとを別々のファイルとして記録することにより、警報アラームが頻発した場合であってもエラーアラームがその影響を受けて削除されてしまう事態が発生するのを防止することができるため、重要なエラーアラームの履歴を過去に長く遡って保存することができる。
【００５６】2) 警報アラームが頻発した場合であってもエラーアラームが削除されてしまうのを回避することにより、警報アラームの検出許容値を厳格に設定することができるため、警報アラームを部品交換時点等に対する判定の目安として利用することができる。
【００５７】3) 警報アラームを部品交換時点等に対する判定の目安として利用することにより、メンテナンス時に交換すべき部品を予め用意しておくことができるため、メンテナンスの作業時間を短縮することができるとともに、正確かつ効率的に実施することができる。
【００５８】4) アラームファイルの表示に際して、警報アラームファイルとエラーアラームファイルとを結合し、かつ、時系列にソートして表示することにより、警報アラームとエラーアラームとの時間的関係を適正に認識することができるため、ＣＶＤ装置の稼働状況やＣＶＤ装置のトラブルの予知および製品の不良原因の解析等は、警報アラームとエラーアラームとを別々にファイルしたにもかかわらず、従来と同等に実施することができる。
【００５９】5) 警報アラームとエラーアラームとを別々のファイルとして記録することにより、警報アラームとエラーアラームとを別々に表示させることができるため、警報アラーム独自の発生傾向やエラーアラーム独自の発生傾向を認識し易くさせることができる。
【００６０】6) 警報アラームとエラーアラームとを別々のファイルとして記録することにより、警報アラームとエラーアラームとを別々に、従来に比べて高速でしかもプロセッサに負担なく表示させることができる。すなわち、従来のアラームロギング機能において警報アラームとエラーアラームとを別々に表示させたい場合には、一つのアラームファイルの中から警報アラームまたはエラーアラームを抽出するプログラムが必要になるため、プロセッサに負担がかかり、高速で処理したい場合には高速のプロセッサが必要になる。
【００６１】なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。
【００６２】例えば、別々にロギングするアラームレベルは警報アラーとエラーアラームの二つに限らず、三つ以上に分類されるアラームレベルを設定してもよい。
【００６３】アラームロギング機能部はメインコントローラに設けるに限らず、専用のソフトウエアまたはハードウエアを設けてもよい。
【００６４】前記実施の形態においてはＣＶＤ装置に適用した場合について説明したが、本発明はこれに限らず、スパッタリング装置やドライエッチング装置等の基板処理装置全般に適用することができる。
【００６５】前記実施の形態においては、ＬＣＤの製造方法に使用される基板処理装置について説明したが、半導体装置の製造方法の前工程に使用される基板処理装置にも適用することができる。
【００６６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、アラームレベル毎に別々のファイルとして記録することにより、重要なアラームの履歴を過去に長く遡って保存することができる。
【出願人】 【識別番号】０００００１１２２
【氏名又は名称】株式会社日立国際電気
【出願日】 平成１２年２月１６日（２０００．２．１６）
【代理人】 【識別番号】１０００８５６３７
【弁理士】
【氏名又は名称】梶原 辰也
【公開番号】 特開２００１−２３０２０９（Ｐ２００１−２３０２０９Ａ）
【公開日】 平成１３年８月２４日（２００１．８．２４）
【出願番号】 特願２０００−３７７０２（Ｐ２０００−３７７０２）