| 【発明の名称】 |
エラー出力方法 |
| 【発明者】 |
【氏名】佐藤 武夫
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| 【要約】 |
【課題】自動装置に於いて、エラーの分析を簡単に行える様にし、装置の復旧作業の為の原因分析時間を短縮し、作業性を向上すると共に装置の停止時間を短縮し、稼働率の向上を図る。
【解決手段】エラー表示を複数階層表示する様にし、独立して発生するエラーについてはエラー情報を第１階層エリアに表示し、又先行するエラーに起因して発生するエラーについてはエラー情報を第２階層以下の下層エリアに表示する。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 エラー表示を複数階層表示する様にし、独立して発生するエラーについてはエラー情報を第１階層エリアに表示し、又先行するエラーに起因して発生するエラーについてはエラー情報を第２階層以下の下層エリアに表示することを特徴とするエラー出力方法。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は各種自動製造装置、特に半導体製造装置、液晶表示装置等の自動製造装置に於ける運転状態を監視し、異常時には異常及び異常の状態を出力するエラー出力方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置等の自動製造装置では装置に異常を生じ停止した場合等では、異常の原因を早急に調べ正常状態に復旧することが要求される。この為、半導体製造装置では、装置の運転状態を監視し、異常を検出する機能を有していると共に異常の原因であるエラーを自己診断し表示部等に表示する機能を具備している。従って、作業者は表示部に表示されたエラーによって異常の原因を判別し、原因が解消する様に復旧作業を行っている。
【０００３】図６により従来の半導体製造装置の制御装置の概略を説明する。
【０００４】図中、１はＣＰＵで代表される主制御部であり、該主制御部１には入出力制御部２を介して入力手段３からの信号が入力され、又前記主制御部１から前記入出力制御部２を介して出力手段４を駆動制御する為の制御信号が出力される。又、前記主制御部１には記憶部５及びエラー出力手段６が接続されている。
【０００５】前記入力手段３は半導体製造装置の作動状態を前記主制御部１に通報する為のものであり、前記入力手段３としては、半導体製造装置の反応炉ヒータの温度検出器、反応室の圧力検出器、加熱部を冷却する為の冷却水の流量検出器、反応室に供給する反応ガスのガス供給圧力検出器、エアシリンダを駆動する圧縮空気の供給圧力検出器等があり、これら検出器で検出した結果が半導体製造装置の作動状態として前記主制御部１に入力される。又、前記出力手段４としては、反応炉ヒータの温度制御部、反応室の排気量をコントロールする排気制御弁、冷却水流量をコントロールする冷却水流量制御弁、反応ガスの流量をコントロールする電磁弁、エアシリンダの駆動停止を行う電磁弁等がある。
【０００６】前記記憶部５はハードディスク、半導体メモリ等の不揮発性の記憶手段であり、該記憶部５にはプロセス処理を進行させる為のプロセスプログラム、前記入力手段３からの信号に基づき半導体製造装置の状態を監視する監視プログラム、或は異常の判断、エラーの判断を行うエラー検出プログラム、エラーが検出された場合にエラーを出力する等の処理を行うエラー処理プログラム等が設定入力されている。
【０００７】前記主制御部１は前記プロセスプログラムに基づき前記半導体製造装置の処理条件、プロセスの進行に応じて、前記出力手段４に制御信号を出力して所要の作動を行わせる。又、前記エラー検出プログラム及び前記主制御部１の演算処理機能によりエラー検出部７が構成され、前記エラー処理プログラム及び主制御部１の演算処理機能によりエラー処理部８が構成される。
【０００８】前記エラー検出部７は、前記入出力制御部２を介して前記入力手段３から取込まれた各種情報から異常の有無を検出するものであり、異常、異常の原因であるエラー等を前記エラー出力手段６に出力する。前記エラー処理部８は前記エラー検出部７で検出された異常に対し、異常に対応した処理、例えばインターロック等の処理を実行する。前記エラー出力手段６は前記エラー検出部７からの出力に基づき、異常、エラーの情報を表示するものである。
【０００９】図７を参照して従来のエラー出力方法について説明する。
【００１０】図７は前記エラー検出部７で実行される、異常監視に関する一般的なエラー検出処理を示すフローチャートである。
【００１１】図７中、ＳＴＥＰ１１〜ＳＴＥＰ１５迄は、ハードウェアの故障（一次要因）に関する異常監視及びエラー検出処理を行う一次要因処理作用１０であり、ＳＴＥＰ２１〜ＳＴＥＰ２４迄はハードウェア故障に起因して発生する制御エラー（二次要因）に関する異常監視及びエラー検出処理を行う二次要因処理作用２０である。
【００１２】先ず、前記一次要因処理作用１０について説明する。
【００１３】ＳＴＥＰ１１では前記入力手段３から入力される情報に基づき分岐処理を行う。該入力手段３から入力される半導体製造装置の作動状態を示す各種信号から、作動の異常の有無を検知する。異常が検知された状態をＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ１２の処理を実行する。
【００１４】ＳＴＥＰ１２では異常検出用タイマの起動状態を判別して分岐処理を行う。タイマの起動状態をＯＮとし、ＯＦＦでタイマを起動する（ＳＴＥＰ１３の処理を実行する）。
【００１５】ＳＴＥＰ１３はハードウエアのハンチング現象をエラーとして検出しない様にする為の異常検出用タイマ起動処理である。
【００１６】ＳＴＥＰ１４では異常検出用タイマのタイムアップ状態を判別して分岐処理を行う。タイムアップをＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ１５の処理を実行する。
【００１７】ＳＴＥＰ１５は異常状態の検出を前記エラー出力手段６に通知する為の異常セット処理である。
【００１８】前記一次要因処理作用１０に続いて二次要因処理作用２０が行われる。
【００１９】二次要因処理作用２０は半導体製造装置の各種出力手段４、例えば、反応炉ヒータの温度制御部、反応室の排気量をコントロールする排気制御弁、冷却水流量をコントロールする冷却水流量制御弁、反応ガスの流量をコントロールする電磁弁、エアシリンダの駆動停止を行う電磁弁等、それぞれについての分岐処理が行われる。以下、例えば反応炉の温度制御に於いて説明する。
【００２０】ＳＴＥＰ２１では温度制御状態に基づく分岐処理についての分岐処理を行う。温度制御が行われている状態をＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ２２の処理を実行する。
【００２１】ＳＴＥＰ２２では前記ＳＴＥＰ１５からの異常セット処理の情報に基づく分岐処理を行う。異常セット状態をＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ２３の処理を実行する。
【００２２】ＳＴＥＰ２３では制御エラーの有無を判断し、制御エラーの有無に基づく分岐処理を行う。制御エラーが検出された状態をＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ２４の処理を実行する。
【００２３】ＳＴＥＰ２４では制御エラーが検出された場合に、異常状態が検出されたことを通知する為の制御エラーセット処理がなされる。尚、エラーの復帰は、図７には図示していない処理で、異常状態及び異常検出用タイマがリセットされることにより行われる。
【００２４】エラーが検知され、エラー処理により前記エラー出力手段６にエラー情報が通知されると、エラー情報がディスプレイ等の表示部に表示される。図８は前記エラー出力手段６に表示されるエラー発生一覧画面を示す。該エラー発生一覧画面には、図７で示したエラー検出用処理フロー内のＳＴＥＰ１５の異常セット処理及びＳＴＥＰ２４の制御エラーセット処理でセットされたエラー情報が、発生順に、前記エラー情報に対応したエラーコード（ＥＣＤ）、発生時間、発生が継続しているかどうかの発生状態、エラー名称等を連ねて表示される。
【００２５】
【発明が解決しようとする課題】上記した様に、従来のエラー出力方法では、前記エラー出力手段６にエラー情報が図８に示した画面構成で表示される。エラーが発生した場合には、その発生したエラーを１つずつ分析し、原因となる要素を復旧させるが、自動運転中にエラーが発生した場合は、出力されるエラー情報の総数が複数となる場合が多く、装置の復旧作業の為の原因分析が大変である。又、二次要因で発生したエラーに関しても、発生順に表示されるだけであるので、ひと目で、何に起因して発生したものかが判らない。原因の解析には経験や取扱説明書に頼る面が大きく、原因解析には多くの時間を有すると共に個人差も大きいという問題があった。
【００２６】本発明は斯かる実情に鑑み、エラーの分析を簡単に行える様にし、装置の復旧作業の為の原因分析時間を短縮し、作業性を向上すると共に装置の停止時間を短縮し、稼働率の向上を図るものである。
【００２７】
【課題を解決する為の手段】本発明は、エラー表示を複数階層表示する様にし、独立して発生するエラーについてはエラー情報を第１階層エリアに表示し、又先行するエラーに起因して発生するエラーについてはエラー情報を第２階層以下の下層エリアに表示するエラー出力方法に係るものである。
【００２８】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態を説明する。
【００２９】本実施の形態に於ける制御装置は図６で示した構成と同様であるので図６を参照し、詳細については説明を省略する。
【００３０】本実施の形態では、前記入力手段３から入力される各々のエラーに対して一次要因エラーか二次要因エラーかを予め設定しておき、前記エラー検出部７に於いて、エラーが発生するとその設定に基づき一次要因エラーか二次要因エラーかを判断する。
【００３１】エラーが一次要因エラーか二次要因エラーであるかの判断を行う為に、前記記憶部５に図２（Ａ）（Ｂ）で示される様なエラー要因テーブルを設定入力する。図２（Ａ）は一次要因エラーとエラーコード及び一次要因エラーによって引起される可能性のある二次要因エラーとの対比テーブルを示しており、図２（Ｂ）は二次要因エラーとエラーコードとの対比テーブルである。
【００３２】前記エラー検出部７では前記エラー要因テーブルに基づき入力されたエラーデータが、エラーが一次要因か二次要因であるかの判断を行う。
【００３３】更に、該エラー検出部７は前記エラー出力手段６に出力するエラーデータとして、一次要因エラーか二次要因エラーかの情報を組込む。該エラー出力手段６から出力されるデータの構造を図３に示す様に定義付けする。即ち、エラーデータはエラー出力階層区分データ、エラー対応区分データ、エラーコードから成り、前記エラー出力階層区分データはエラーデータが一次要因エラーか、二次要因エラーかを示すものであり、前記エラー対応区分データはエラーデータが二次要因エラーであった場合にどの一次要因エラーに関連するかを示すものである。而して、前記エラー検出部７はエラーデータの前記エラー出力階層区分データ、エラー対応区分データと前記エラー要因テーブルとで、エラーが一次要因エラーか二次要因エラーであるかの判断を行う。而して、この判断に基づき、該エラー出力手段６はエラー情報を一次要因エラーと二次要因エラーとに区別し、階層表示を行う。
【００３４】更に、図１により説明する。
【００３５】図１は本実施の形態に於けるエラー検出用処理フローチャートを示している。
【００３６】後述する様に、一次要因処理作用１０のＳＴＥＰ１０〜ＳＴＥＰ１５迄、二次要因処理作用２０のＳＴＥＰ２１からＳＴＥＰ２４迄は従来と同様である。
【００３７】先ず、前記一次要因処理作用１０について説明する。
【００３８】ＳＴＥＰ１１では前記入力手段３から入力される情報に基づき分岐処理を行う。前記入力手段３から入力される半導体製造装置の作動状態を示す各種信号から、作動の異常の有無を検知する。異常が検知された状態をＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ１２の処理を実行する。
【００３９】ＳＴＥＰ１２では異常検出用タイマの起動状態を判別して分岐処理を行う。タイマの起動状態をＯＮとし、ＯＦＦでタイマを起動する（ＳＴＥＰ１３の処理を実行する）。
【００４０】ＳＴＥＰ１３はハードウエアのハンチング現象をエラーとして検出しない様にする為の異常検出用タイマ起動処理である。
【００４１】ＳＴＥＰ１４では異常検出用タイマのタイムアップ状態を判別して分岐処理が行われる。タイムアップをＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ１５の処理を実行する。
【００４２】ＳＴＥＰ１５は異常状態の検出を前記エラー出力手段６に通知する為の異常セット処理である。
【００４３】ＳＴＥＰ１６ではＳＴＥＰ１５でなされた異常セット処理でセットされたエラーが何（ハードウェアの故障、ハードウェアの故障に起因した制御異常）であったかを前記エラー要因テーブルに基づき判定する、エラー発生要因解析処理を行うと共に出力するデータを図３で示すデータ構造とする。
【００４４】ＳＴＥＰ１７ではエラー出力階層区分処理が行われる。これは、ＳＴＥＰ１６でなされた一次要因エラーか、二次要因エラーであるかの判定に基づき、エラーデータがどの階層に属するかを前記エラー出力階層区分データに関する書込み処理を行う。
【００４５】ＳＴＥＰ１８ではエラー対応区分処理が行われる。これは、ＳＴＥＰ１６で判定した結果、エラーデータが二次要因エラーであった場合、即ち先行して発生したエラーに起因するエラーである場合には先行して発生したエラーとの関係を対応付けるデータを前記エラー対応区分データに書込み処理を行う。
【００４６】前記一次要因処理作用１０に続いて二次要因処理作用２０が行われる。
【００４７】二次要因処理作用２０は半導体製造装置の各種出力手段４、例えば、反応炉ヒータの温度制御部、反応室の排気量をコントロールする排気制御弁、冷却水流量をコントロールする冷却水流量制御弁、反応ガスの流量をコントロールする電磁弁、エアシリンダの駆動停止を行う電磁弁等、それぞれについての分岐処理が行われる。以下、例えば反応炉の温度制御に於いて説明する。
【００４８】ＳＴＥＰ２１は温度制御状態に基づく分岐処理についての分岐処理を行う。温度制御が行われている状態をＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ２２の処理を実行する。
【００４９】ＳＴＥＰ２２では前記ＳＴＥＰ１５からの異常セット処理の情報に基づく分岐処理を行う。異常セット状態をＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ２３の処理を実行する。
【００５０】ＳＴＥＰ２３では制御エラーの有無を判断し、制御エラーの有無に基づく分岐処理を行う。制御エラーが検出された状態をＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ２４の処理を実行する。
【００５１】ＳＴＥＰ２４では制御エラーが検出された場合に、異常状態が検出されたことを通知する為の制御エラーセット処理がなされる。
【００５２】ＳＴＥＰ２５ではＳＴＥＰ２４でなされた制御エラーセット処理でセットされたエラーが何（ハードウェアの故障、ハードウェアの故障に起因した制御異常）であったかを前記エラー要因テーブルに基づき判定する。
【００５３】ＳＴＥＰ２６ではＳＴＥＰ２５でなされた一次要因エラーか、二次要因エラーであるかの判定に基づき、エラーデータがどの階層に属するか前記エラー出力階層区分データに関する書込み処理を行う。
【００５４】ＳＴＥＰ２７ではＳＴＥＰ２５で判定した結果、エラーデータが二次要因エラーであった場合、即ち先行して発生したエラーに起因するエラーである場合には先行して発生したエラーとの関係を対応付けるデータを前記エラー対応区分データに書込み処理を行う。
【００５５】ＳＴＥＰ２７で処理の完了したエラーデータは前記エラー出力手段６に出力される。該エラー出力手段６ではエラーデータの前記エラー出力階層区分データに基づきエラー情報を対応する階層に表示する。即ち、エラーデータがハードウェアに基づく一次要因エラーであれば、エラーデータに関するエラー情報を第１階層に表示し、制御エラー等の二次要因エラーであれば第２階層にエラー情報を表示する。又、二次要因エラーであれば前記エラー対応区分データに基づき、先行する一次要因エラーとの関連付けの表示を行う。
【００５６】例えば、図２（Ａ）のテーブルで示す一次要因エラーとしてエラーコードＥＣＤ＝０００１の本体駆動エア供給圧力低下が検出され、二次要因エラーとして図２（Ｂ）のテーブルで示すエラーコードＥＣＤ＝１０００チャンバ用ベントＮ2流量低下、エラーコードＥＣＤ＝１００１ＭＦＣ流量制御エラー、エラーコードＥＣＤ＝１００２ガスバルブインタロック発生、エラーコードＥＣＤ＝１００３排気バルブインタロック発生、エラーコードＥＣＤ＝１００４ＲＦＯＮインタロック発生、エラーコードＥＣＤ＝１００５ＴＭＰ冷却水流量低下、エラーコードＥＣＤ＝１００６ポンプ用冷却水流量低下、エラーコードＥＣＤ＝１００７センサ異常が検出されたとすると、第１階層にはエラーコードＥＣＤ＝０００１の本体駆動エア供給圧力低下が表示され、該エラーコードＥＣＤ＝０００１に関連する第２階層には図２（Ａ）のテーブルに従い、エラーコードＥＣＤ＝１０００チャンバ用ベントＮ2 流量低下、エラーコードＥＣＤ＝１００１ＭＦＣ流量制御エラー、エラーコードＥＣＤ＝１００２ガスバルブインタロック発生、エラーコードＥＣＤ＝１００３排気バルブインタロック発生、エラーコードＥＣＤ＝１００４ＲＦＯＮインタロック発生が表示される（図４参照）。
【００５７】上記した様に、根本となる原因が本体駆動エア供給圧力低下として、第１階層に出力され、本体駆動エア供給圧力低下を原因とするエラーがガスバルブインタロック発生、排気バルブインタロック発生、ＲＦＯＮインタロック発生、ＭＦＣ流量制御エラーとして第２階層に区分けして出力される為、異常箇所の特定が一目瞭然である。従って、異常箇所を特定する為の分析作業は必要なくなり、作業時間が短縮し、又見易くなるので作業性が向上する。
【００５８】図４はエラー出力手段６に表示されるエラー発生状況一覧の画面構成の一例（第１の実施例）を示す。
【００５９】図中、３０ａ，３０ｂ，…は一次要因エラー毎に開かれるウィンドウであり、このウインドウ（頁）にはエラー出力第１階層区分表示エリア３１、エラ−出力第２階層区分表示エリア３２が含まれている。
【００６０】前記エラー出力第１階層区分表示エリア３１には、前記エラー出力階層区分処理（ＳＴＥＰ１７、ＳＴＥＰ２６）でセットされた情報に基づき、発生したエラーがハード故障等の一次要因エラーである場合にエラー出力される。又エラ−出力第２階層区分表示エリア３２には、エラー出力階層区分処理（ＳＴＥＰ１７、ＳＴＥＰ２６）でセットされた情報に基づき、発生したエラーが、先行して発生したエラーに起因して発生した二次要因エラーである場合に、発生したエラーをエラー出力する。
【００６１】発生したエラーの表示方法として、開かれた一つの頁に一次要因エラーをエラー第１階層区分表示エリア３１に１件、そのエラーに関連して出力された二次要因エラーをエラ−出力第２階層区分表示エリア３２に全件表示する。
【００６２】その他の一次要因エラーは、次頁以降に上記したと同様な方法でエラー出力を行う。
【００６３】図５はエラー出力手段６に表示されるエラー発生状況一覧の画面構成の他の例（第２の実施例）を示す。
【００６４】発生したエラーの出力方法として、エラー出力第１階層区分表示エリア３１に一次要因エラーを縦に連続的に表示し、その右横に一次要因エラーに対応した、エラー出力第２階層区分表示エリア３２を表示させるボタン３３を設ける。エラー総点数が複数の場合は、次頁以降に上記した同様の方法でエラー出力を行う。
【００６５】尚、図４及び図５に於いて、エラー出力第１階層区分表示エリア３１とエラー出力第２階層区分表示エリア３２に表示するエラー情報は、図８で示したエラー関連情報（エラーコードＥＣＤ、発生時間、発生継続状態等）を含めた内容である。
【００６６】尚、階層区分を表示する手段については上記第１の実施例、第２の実施例に限定されるものではない。
【００６７】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、エラー表示を複数階層表示する様にし、独立して発生するエラーについてはエラー情報を第１階層エリアに表示し、又先行するエラーに起因して発生するエラーについてはエラー情報を第２階層以下の下層エリアに表示する様にしたので、異常箇所が直ちに特定でき、異常箇所を特定する為の分析作業は必要なくなり、作業時間が短縮し、又見易くなるので作業性が向上するという優れた効果を発揮する。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００００１１２２
【氏名又は名称】株式会社日立国際電気
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| 【出願日】 |
平成１２年３月１５日（２０００．３．１５） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１０００８３５６３
【弁理士】
【氏名又は名称】三好 祥二
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| 【公開番号】 |
特開２００１−２６５４３１（Ｐ２００１−２６５４３１Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１３年９月２８日（２００１．９．２８） |
| 【出願番号】 |
特願２０００−７２０９３（Ｐ２０００−７２０９３） |
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