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【発明の名称】 ホログラム及びその切断方法
【発明者】 【氏名】塩崎 和之

【要約】 【課題】ホログラムと同じ感材中に切断のための位置決めパターンをホログラフィックに形成することにより余分な作製工程を省いたホログラム及びその切断方法。

【解決手段】透明基板1上に所定の回折特性で所定の記録範囲に記録された干渉縞からなる本パターンホログラム21と、本パターンホログラム21に隣接するパターン領域に記録され、予め定めた方向から照明したとき、予め定めた別の方向へ回折する光の輝度あるいは色が本パターンホログラム21から回折する光と異なる干渉縞からなる切断位置決め用ホログラム22とが同一ホログラム感光材料層2’に記録されてなるホログラム。
【特許請求の範囲】
【請求項1】 透明基板上に所定の回折特性で所定の記録範囲に記録された干渉縞からなる本パターンホログラムと、前記本パターンホログラムに隣接するパターン領域に記録され、予め定めた方向から照明したとき、予め定めた別の方向へ回折する光の輝度あるいは色が前記本パターンホログラムから回折する光と異なる干渉縞からなる切断位置決め用ホログラムとが同一ホログラム感光材料層に記録されてなることを特徴とするホログラム。
【請求項2】 複数の本パターンホログラムが並列して記録され、その各々に隣接して切断位置決め用ホログラムが記録されていることを特徴とする請求項1記載のホログラム。
【請求項3】 前記本パターンホログラムが透過型ホログラムからなり、前記切断位置決め用ホログラムが透過型ホログラムからなることを特徴とする請求項1又は2記載のホログラム。
【請求項4】 前記本パターンホログラムが反射型ホログラムからなり、前記切断位置決め用ホログラムが反射型ホログラムからなることを特徴とする請求項1又は2記載のホログラム。
【請求項5】 前記本パターンホログラムと前記切断位置決め用ホログラムが同じホログラム原版から同時に複製されてなるものであることを特徴とする請求項3又は4記載のホログラム。
【請求項6】 前記切断位置決め用ホログラムが斜め上方から照明された光をホログラム面に略垂直に回折する特性のものであることを特徴とする請求項1から5の何れか1項記載のホログラム。
【請求項7】 透明基板上に所定の回折特性で所定の記録範囲に記録された干渉縞からなる本パターンホログラムと、前記本パターンホログラムに隣接するパターン領域に記録され、予め定めた方向から照明したとき、予め定めた別の方向へ回折する光の輝度あるいは色が前記本パターンホログラムから回折する光と異なる干渉縞からなる切断位置決め用ホログラムとが同一ホログラム感光材料層に記録されてなるホログラムの切断方法において、少なくとも前記切断位置決め用ホログラム記録領域を含む領域を予め定めた照明方向から照明し、前記の予め定めた別の方向から前記透明基板上の回折光強度分布の少なくとも一部を観察し、その回折光強度分布パターンを基準にして前記透明基板を切断することを特徴とするホログラムの切断方法。
【請求項8】 前記ホログラムは、複数の本パターンホログラムが並列して記録され、その各々に隣接して切断位置決め用ホログラムが記録されており、前記回折光強度分布パターンを基準にして複数の本パターンホログラム部分を分割することを特徴とするホログラムの切断方法。
【請求項9】 前記回折光強度分布の一部が前記切断位置決め用ホログラムの記録領域の境界の一部であり、隣接する2つの本パターンホログラム各々に隣接した切断位置決め用ホログラムの対応する境界線相互の位置を基準にして本パターンホログラム部分を分割することを特徴とする請求項8記載のホログラムの切断方法。
【請求項10】 前記切断位置決め用ホログラムが透過型ホログラムからなり、斜め上方から照明された光をホログラム面に略垂直に回折し、前記透明基板の裏面で反射した光の強度分布の少なくとも一部を観察し、その光強度分布パターンを基準にして前記透明基板を切断することを特徴とする請求項7から9の何れか1項記載のホログラムの切断方法。
【発明の詳細な説明】【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ホログラム及びその切断方法に関し、特に、切断のための位置決めマークをホログラムと同じ感材中に設けたホログラムと、その位置決めマークを用いて多面付けホログラムの切断のための位置決めを行うホログラムの切断方法とに関するものである。
【0002】
【従来の技術】本出願人は、特願平5−12170号等において、液晶表示用バックライト等の利用効率を大幅に向上させるために、ホログラムを利用したカラーフィルターを提案した。このホログラムカラーフィルターは、基本的には、特定波長で特定の斜めの入射角で入射した平行光を特定の焦点距離の位置に収束するように回折する透過型の集光性要素ホログラムのアレーからなるものである。
【0003】このようなホログラムカラーフィルターに限らず、各種の透過型、反射型のホログフィック光学素子(以下、HOE)は、ホログラム原版からホログラフィック複製法により作製されるが、通常、1枚の大きなホログラム感材に対して同じ特性の複数のホログラムが並列に並ぶように多面付けで作製される。
【0004】このように多面付けで作製されたホログラムは、その各々のホログラムを切り離すために裁断が行われるが、個々の面のホログラムパターンは通常の照明ではその境界が明確に認識できないので、従来は、ホログラム感材を塗布するガラス基板に予め切断位置を決めるためのクロムパターンをフォトリソグラフィーの手法で形成しておき、その上に多面付けのホログラムパターを形成し、そのクロムパターンで位置決めしながらダイシングソー等の切断手段で多面付けの各々のホログラムを切断して切り離して個々のHOE製品が作製されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】このようなクロムパターンをフォトリソグラフィーの手法で形成する従来の方法では、クロムパターンを形成するために、クロム膜の真空蒸着、レジスト塗布、製版、エッチング等の余分な工程を必要とし、製造時間が長くなり、製造コストも高くなる。
【0006】本発明は従来技術のこのような問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、ホログラムと同じ感材中に切断のための位置決めパターンをホログラフィックに形成することにより余分な作製工程を省いたホログラム及びその切断方法を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発明のホログラムは、透明基板上に所定の回折特性で所定の記録範囲に記録された干渉縞からなる本パターンホログラムと、前記本パターンホログラムに隣接するパターン領域に記録され、予め定めた方向から照明したとき、予め定めた別の方向へ回折する光の輝度あるいは色が前記本パターンホログラムから回折する光と異なる干渉縞からなる切断位置決め用ホログラムとが同一ホログラム感光材料層に記録されてなることを特徴とするものである。
【0008】この場合、複数の本パターンホログラムが並列して記録され、その各々に隣接して切断位置決め用ホログラムが記録されているものであってもよい。
【0009】また、本パターンホログラムが透過型ホログラムからなり、切断位置決め用ホログラムが透過型ホログラムからなるか、本パターンホログラムが反射型ホログラムからなり、切断位置決め用ホログラムが反射型ホログラムからなることが望ましい。
【0010】これらの場合、本パターンホログラムと切断位置決め用ホログラムを同じホログラム原版から同時に複製して作製することができる。
【0011】1つの具体例として、切断位置決め用ホログラムは、斜め上方から照明された光をホログラム面に略垂直に回折する特性のものである。
【0012】本発明のホログラムの切断方法は、透明基板上に所定の回折特性で所定の記録範囲に記録された干渉縞からなる本パターンホログラムと、前記本パターンホログラムに隣接するパターン領域に記録され、予め定めた方向から照明したとき、予め定めた別の方向へ回折する光の輝度あるいは色が前記本パターンホログラムから回折する光と異なる干渉縞からなる切断位置決め用ホログラムとが同一ホログラム感光材料層に記録されてなるホログラムの切断方法において、少なくとも前記切断位置決め用ホログラム記録領域を含む領域を予め定めた照明方向から照明し、前記の予め定めた別の方向から前記透明基板上の回折光強度分布の少なくとも一部を観察し、その回折光強度分布パターンを基準にして前記透明基板を切断することを特徴とする方法である。
【0013】この場合、ホログラムは、複数の本パターンホログラムが並列して記録され、その各々に隣接して切断位置決め用ホログラムが記録されており、回折光強度分布パターンを基準にして複数の本パターンホログラム部分を分割するようにすることが望ましい。
【0014】その場合に、回折光強度分布の一部が切断位置決め用ホログラムの記録領域の境界の一部であり、隣接する2つの本パターンホログラム各々に隣接した切断位置決め用ホログラムの対応する境界線相互の位置を基準にして本パターンホログラム部分を分割することができる。
【0015】また、切断位置決め用ホログラムが透過型ホログラムからなり、斜め上方から照明された光をホログラム面に略垂直に回折し、透明基板の裏面で反射した光の強度分布の少なくとも一部を観察し、その光強度分布パターンを基準にして透明基板を切断することができる。
【0016】本発明においては、透明基板上に所定の回折特性で所定の記録範囲に記録された干渉縞からなる本パターンホログラムと、本パターンホログラムに隣接するパターン領域に記録され、予め定めた方向から照明したとき、予め定めた別の方向へ回折する光の輝度あるいは色が本パターンホログラムから回折する光と異なる干渉縞からなる切断位置決め用ホログラムとが同一ホログラム感光材料層に記録されてなるので、切断位置決め用ホログラムを本パターンホログラムの作製工程において同時に同様に形成でき、従来のような余分なフォトリソグラフィー工程を必要としないため、製造時間の短縮、製造コストの低減が可能になる。また、切断工程においては、従来と同様にホログラム面での光強度分布を観察し、その光強度分布パターンを基準にして切断すればよいので、切断装置、工程の変更は必要がなく効率的に行うことが可能になる。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明のホログラム及びその切断方法を実施例に基づいて説明する。
【0018】図2に、本発明による1実施例の多面付けホログラムを作製するための配置を示す。この実施例は、多面付けの透過型ホログラム原版10から透過型の多面付けホログラム3(図1)を複製する場合の例である。
【0019】透過型ホログラム原版10として、透明基板の本パターン領域に所定の入射角θの斜め入射の照明光を透過側に集光するホログラムであって矩形外形領域を有するホログラムパターン(本パターン)11が4面付けされ、各本パターン11の二辺に沿ってL字状の切断用ホログラムパターンであって同じ斜め入射の照明光を透過側に略垂直に回折するCGH(計算機ホログラム)からなる切断用ホログラムパターン12が形成されているものを用いる。
【0020】ホログラム感材として、ガラス基板1上に例えばフォトポリマーからなるホログラム感光材料層2を設けたものを用意し、そのホログラム感光材料層2側にホログラムパターン11、12が向くようにしてホログラム原版10を密着あるいは近接して配置し、ホログラム原版10側から入射角θで所定波長の複製照明光13を入射させると、ホログラム原版10の本パターン11からは集光する回折光14が、切断用ホログラムパターン12からは略垂直の平行な回折光15が生じ、ホログラム原版10で回折されずに透過した0次光16とホログラム感光材料層2中で干渉して記録される。
【0021】図1に示すように、図2のような配置で複製された多面付けホログラム3(ホログラム記録層を2’とする。)に、複製のときの照明光13と同じ角度θで再生照明光23を入射すると、複製された本パターン部分21からは集光する回折光24が、切断用ホログラムパターン部分22からは略垂直の平行な回折光25が透過側に生じるが、それら回折光24、25の一部は、多面付けホログラム3のガラス基板1の裏面4でフレネル反射され透過側にそれぞれ集光光24’、平行光25’として射出する。
【0022】したがって、多面付けホログラム3を斜め入射の照明光23で照明し、多面付けホログラム3の透過側あるいは反射側の垂直方向から見ると、回折光25あるいはその裏面反射光25’が生じる境界線が明確に区別でき、特に開口、開口数が制限された顕微鏡、拡大鏡で見ると、切断用ホログラムパターン部分22が明るく、それ以外の本パターン部分21、ホログラム未記録部分は暗く観察できるので、例えば切断用ホログラムパターン部分22のL字状の部分の境界線を切断のための基準線として用いることができる。
【0023】図3は、図1の多面付けホログラム3を上から見た図であり、ダイシングソーを用いてラインa〜dに沿って切断する様子を示す図である。多面付けホログラム3に4面付けされた本パターン部分を211 〜214 とし、各本パターン部分211 〜214 の二辺に沿ってL字状に形成された切断用ホログラムパターン部分を221 〜224 とする。このような多面付けホログラム3をダイシング装置のチャック台にセットしてダイシングソーをラインa〜dに沿って移動させることにより各本パターン部分211 〜214 を分割してホログラムカラーフィルター等のHOEを製造するが、上記の切断用ホログラムパターン部分221 〜224 を明るく光らせる照明光23を斜め上方から照射する光源301 がダイシング装置に取り付けられている。また、ダイシング装置には、切断位置を位置決めするためのマークを読み取るための2台の拡大観察装置31、32がチャック台の上方に取り付けられている。
【0024】このような配置において、光源301 から切断用ホログラムパターン部分221 、222 を含む領域に照明光23を斜め上方から照射すると、図1を参照にして説明したように、切断用ホログラムパターン部分221 、222 が明るく見える。その様子を図5に示す。図3の場合は、拡大観察装置31、32はそれぞれ切断用ホログラムパターン部分221 、222 の上方に位置しているので、拡大観察装置31の画面311 中には、切断用ホログラムパターン部分221 とそれに隣接する本パターン部分211 が、拡大観察装置32の画面321 中には、切断用ホログラムパターン部分222 とそれに隣接する本パターン部分212 が、拡大して見えるが、切断用ホログラムパターン部分221 、222 がより明るく見える。ここで、ダイシング装置のチャック台の回転を調節して切断用ホログラムパターン部分221 の境界線L1 と切断用ホログラムパターン部分222 の境界線L2 とが図5に示すように、並列させた画面311 、321 中で相互に1本の直線に繋がり、かつ、その直線が画面311 、321 中の予め定めた位置になるように多面付けホログラム3を取り付けたチャック台の位置と回転角度を調節して、その繋がった直線を位置決め線として、予め位置関係を設定してあるラインa〜dに沿って回転ブレードを移動させて本パターン部分211 〜214 の長辺に沿う切断線を刻む。
【0025】次に、図4に示すように、多面付けホログラム3を取り付けたチャック台を図3の位置から90°回転させて、今度は、拡大観察装置31の画面311 中には、切断用ホログラムパターン部分224 とそれに隣接する本パターン部分214が、拡大観察装置32の画面321 中には、切断用ホログラムパターン部分222 とそれに隣接する本パターン部分212 が、拡大して見えるようにする。
【0026】なお、図4の配置では、切断用ホログラムパターン部分221 と223 の並び、あるいは、切断用ホログラムパターン部分222 と224 の並びを照明する必要があるので、光源301 と光源302 で、切断用ホログラムパターン部分221 、223 あるいは222 、224 の領域を、照明光23で斜め上方から照射する。
【0027】この場合も、図3の場合と同様、図5に示すように、拡大観察装置31の画面311 中には、切断用ホログラムパターン部分224 とそれに隣接する本パターン部分214 が、拡大観察装置32の画面321 中には、切断用ホログラムパターン部分222 とそれに隣接する本パターン部分212 が、拡大して見えるが、切断用ホログラムパターン部分224 、222 がより明るく見える。その状態で、ダイシング装置のチャック台の回転を調節して切断用ホログラムパターン部分224 の境界線L1 と切断用ホログラムパターン部分222 の境界線L2 とが図5に示すように、並列させた画面311 、321 中で相互に1本の直線に繋がり、かつ、その直線が画面311 、321 中の予め定めた位置になるように多面付けホログラム3を取り付けたチャック台の位置と回転角度を調節して、その繋がった直線を位置決め線として、予め位置関係を設定してあるラインa’〜d’に沿って回転ブレードを移動させて本パターン部分211 〜214 の短辺に沿う切断線を刻む。
【0028】このようにして縦方向にはa〜dの切断線、横方向にはa’〜d’の切断線が多面付けホログラム3のガラス基板1に交差して刻まれたので、それら切断線で基板を折り離すことにより、個々に分離されたホログラム製品が得られる。
【0029】以上の説明においては、個々に分離されるホログラム製品として、斜め入射の照明光を透過側に集光するホログラムとしたが、これは単なる例示のためのものであり、如何なる光学特性を有するホログラムであってもよい。また、そのホログラムに隣接して同じホログラム感光材料層中に設けられる切断用ホログラムパターンの外形も、L字状のものに限らず他の如何なる形状のものでもよく、また、斜め入射の照明光を透過側に略垂直に回折するものに限らず、本パターンのホログラムとは異なる回折特性を有するものであれば如何なるものでもよい。さらには、本パターンのホログラムと同じホログラム原版から複製されたものでも、別のホログラム原版から複製されたものでもよい。
【0030】また、本パターンと切断用ホログラムパターンとの明るさの関係については、切断用ホログラムパターンが明るくなる場合について説明したが、これは1例であり、パターン設計次第で、本パターンと切断用ホログラムパターンとの明るさや色の関係が逆転したり変わる場合もある。
【0031】なお、本パターンのホログラムが透過型の場合は、切断用ホログラムパターンも透過型が、本パターンのホログラムが反射型の場合は、切断用ホログラムパターンも反射型が、望ましいが、一方を透過型、他方を反射型としてもよい。その場合は、透過型部分のホロラムは透過型のホロラム原版から、反射型部分のホロラムは反射型のホロラム原版から、それぞれ別々に複製する必要がある。
【0032】以上、本発明のホログラム及びその切断方法を実施例に基づいて説明してきが、本発明はこれら実施例に限定されず種々の変形が可能である。
【0033】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明のホログラム及びその切断方法によると、透明基板上に所定の回折特性で所定の記録範囲に記録された干渉縞からなる本パターンホログラムと、本パターンホログラムに隣接するパターン領域に記録され、予め定めた方向から照明したとき、予め定めた別の方向へ回折する光の輝度あるいは色が本パターンホログラムから回折する光と異なる干渉縞からなる切断位置決め用ホログラムとが同一ホログラム感光材料層に記録されてなるので、切断位置決め用ホログラムを本パターンホログラムの作製工程において同時に同様に形成でき、従来のような余分なフォトリソグラフィー工程を必要としないため、製造時間の短縮、製造コストの低減が可能になる。また、切断工程においては、従来と同様にホログラム面での光強度分布を観察し、その光強度分布パターンを基準にして切断すればよいので、切断装置、工程の変更は必要がなく効率的に行うことが可能になる。
【出願人】 【識別番号】000002897
【氏名又は名称】大日本印刷株式会社
【出願日】 平成12年3月16日(2000.3.16)
【代理人】 【識別番号】100097777
【弁理士】
【氏名又は名称】韮澤 弘 (外7名)
【公開番号】 特開2001−265200(P2001−265200A)
【公開日】 平成13年9月28日(2001.9.28)
【出願番号】 特願2000−73775(P2000−73775)