| 【発明の名称】 |
帯状ワークの露光装置 |
| 【発明者】 |
【氏名】高野 格
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| 【要約】 |
【課題】グリップフィード方式で帯状ワークを搬送する露光装置において、帯状ワークにテンションをかけずに露光できるようにすること。
【解決手段】送りグリップ部１２により帯状ワークＷｂを把持し、帯状ワークＷｂを搬送方向下流側に搬送する。帯状ワークＷｂの搬送中、帯状ワークＷｂの蛇行を検出し蛇行修正を行う。帯状ワークＷｂの移動停止後、露光部３の上流側に設けられたワーク固定機構２１により帯状ワークＷｂを固定する。ワーク固定機構２１は、帯状ワークＷｂが伸びている量だけ搬送下流に向かって移動し、帯状ワークＷｂにかかっていたテンションを除去する。次に、帯状ワークＷｂをワークステージに吸着固定して、マスクＭを移動させてアライメントを行い、帯状ワークＷｂに露光処理を行う。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 長尺連続ワークを把持して間歇的に搬送する搬送機構と、上記搬送機構を制御して、上記ワークの未露光領域を間歇的に露光部に搬送制御する制御部とを備え、上記ワークを常時テンションをかけて搬送し、露光部において上記ワーク上に露光処理を行う露光装置において、露光部の上流側に、上記ワークを把持する第１のワーク固定部を設けるとともに、下流側に上記ワークを把持する第２のワーク固定部を設け、また、上記制御部に、ワークにかかるテンションによる伸び分だけワークを下流側に送る送り量を記憶する記憶部を設け、ワーク上に露光処理を行うに際し、上記制御部は、ワークを露光部に停止させ、第１と第２のワーク固定部でワークを固定後、上記記憶部に記憶された送り量に基づき第１のワーク固定部を露光部方向に送って、ワークにテンションがかからない状態にすることを特徴とする帯状ワークの露光装置。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、有機化合物のフィルム、薄物金属等の長尺連続ワーク（以下、帯状ワークという）の露光装置に関し、特に、本発明は帯状ワーク上へのマスクパターンの露光等に使用される帯状ワークの露光装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】有機化合物のフィルム、薄物金属等の帯状ワークの露光は、ワークをロール状に巻かれた状態から引き出して露光し、再びロールに巻き取る方法で行われる。一般に、上記露光装置に用いられる帯状ワークの搬送は、ワーク搬送中のワーク送りの安定性、位置精度の確保、ワークの反り・うねりの矯正のために、巻き出しロールから巻き取りロールの間で、ワークに対して常に張力（テンション）を働かせている。
【０００３】図６は上記した帯状ワークの露光装置の従来例を示す図である。同図において、１０は巻出しロール部であり、巻出しロール部１０には巻出しロール１、スペーサ巻取りロール１ａ、ガイドロールＲ１が設けられている。帯状ワークＷｂは通常スペーサＳと重ね合わせて巻出しロール１にロール状に巻かれており、巻出しロール１から帯状ワークＷｂが引き出されるとき、スペーサＳはスペーサ巻取りロール１ａにより巻き取られる。帯状ワークＷｂは比較的厚く（ｔ＝１５０μｍ以上、よく使用されるのは２５０μｍ）、例えば樹脂製のフィルム上に銅箔（通常樹脂製フィルムより厚い）を張ったものが使用される。このため、帯状ワークＷｂには、幅方向にそりが生じているものがある。
【０００４】帯状ワークの搬送には、例えば、特開平３−１９２４９号公報に示されたような方法が用いられる。すなわち、帯状ワークＷｂの周縁を後述するグリップフィード機構により狭持し、所定量引っ張って、帯状ワークＷｂを所定量搬送するものである（以下この搬送方式をグリップフィード方式と呼ぶ）。グリップフィード方式は、厚く幅方向にそりのある帯状ワークを、ワークを露光処理する部分に接触しないで搬送するときに有効である。この方式はワーク両端をつかんだ状態で引っ張るので、そりがあるワークを高速で搬送しても、ワークが搬送手段から外れることがない。グリップフィード機構１１により巻出しロール１から引き出された帯状ワークＷｂは上記したガイドロールＲ１、帯状ワークのエッジ位置を検出するエッジセンサＳ１、ガイドロールＲ２を介して、ワークステージＷＳ等から構成される露光部３に送られる。
【０００５】帯状ワークＷｂの所定の領域が露光部３に達すると、帯状ワークＷｂの搬送が停止し、帯状ワークＷｂに露光処理が行われる。露光部３で露光された帯状ワークＷｂは、ガイドロールＲ３、Ｒ４を介して巻取りロール２に巻き取られる。帯状ワークＷｂが巻き取られるとき、スペーサ巻出しロール２ａからスペーサＳが送り出され、露光済の帯状ワークＷｂはスペーサＳとともに巻取りロール２に巻き取られる。
【０００６】ここで、帯状ワークＷｂに、波打ち、しわが生じないようにするためには、帯状ワークＷｂに常にテンションをかけておくことが望ましい。このため、巻出しロール１には、帯状ワークＷｂが搬送される方向と逆方向（図６では右回り）に回転する力が、常に加えられている。したがって、帯状ワークＷｂの搬送中、帯状ワークＷｂの停止中のいずれにおいても、巻出しロール１と巻取りロール２との間では、帯状ワークＷｂに常にテンションがかかっている。同様に、巻取りロール２には、帯状ワークＷｂを巻き取る方向に回転する力が、常に加えられている。したがって、巻出しロール１と巻取りロール２との間では、帯状ワークＷｂは常にテンションがかかっている。
【０００７】上記帯状ワークの露光装置において、帯状ワークＷｂの搬送・露光処理・蛇行修正は次のように行われる。
（１）グリップフィード機構による帯状ワークＷｂの搬送・露光処理帯状ワークＷｂはグリップフィード機構により周縁を狭持して、所定量搬送される。図７は図６に示したグリップフィード機構を拡大した図である。同図に示すように、グリップフィード機構１１は、帯状ワークＷｂの端部を把持する送りグリップ部１２と、送りグリップ部１２を所定量移動させる送りグリップ駆動部１３とから構成される。送りグリップ駆動部１３は、例えば同図に示すように、送りモータ１３ａにより回転するボールねじ１３ｂと駆動ベルト１３ｃを備え、モータ１３ａによりボールねじ１３ｂが回転し、ボールねじ１３ｂに係合する送りグリップ部１２が同図の矢印方向に移動する。
【０００８】図８は上記グリップフィード機構１１の具体的構成例を示す図である。同図は、搬送方向から見たワークステージＷＳの断面図およびグリップフィード機構１１を示しており、同図では、片側の送りグリップ部１２を示しており、他側にも同様な構成を持つ送りグリップ部１２が設けられ、帯状ワークＷｂの両端を把持して帯状ワークＷｂを搬送する。同図に示すように、送りグリップ部１２は、前記したボールねじ１３ｂと係合し、同図の前後方向に移動する送りガイド１３ｄによりガイドされる移動部１２ａの両側に設けられたグリップ固定台１２ｂに取り付けられており、帯状ワークＷｂの周辺部を、上部材１２ｃのグリップ部Ｇｒ１と下部材１２ｄのグリップ部Ｇｒ２とで上下から挟む構造になっている。
【０００９】下部材１２ｄにはガイドシャフト１２ｅが取り付けられ、ガイドシャフト１２ｅは、グリップ固定台１２ｂに摺動可能に取り付けられている。また、グリップ固定台１２ｂには、第１のエアシリンダ１２ｆが取り付けられ、第１のエアシリンダ１２ｆの駆動軸は、下部材１２ｄに取り付けられている。このため、第１のエアシリンダ１２ｆが駆動されると、下部材１２ｄは上方向に移動する。上部材１２ｃは軸１２ｇを介して下部材１２ｄに取り付けられており、軸１２ｇを中心に回動する。また、上部材１２ｃと下部材１２ｄのグリップ部Ｇｒ１．Ｇｒ２の反対側にはスプリング１２ｈが取り付けられており、スプリング１２ｈにより、上部材１２ｃと下部材１２ｄはグリップ部Ｇｒ１．Ｇｒ２が開く方向に付勢されている。
【００１０】また、下部材１２ｄには第２のエアシリンダ１２ｉが取り付けられており、第２のエアシリンダ１２ｉの駆動軸は、下部材１２ｄを貫通して突出しており、その先端は上部材１２ｃに当接している。このため、第２のエアシリンダ１２ｉが駆動されると、上部材１２ｃが軸１２ｇを中心として回動し、グリップ部Ｇｒ１，Ｇｒ２が閉じる。一方、ワークステージＷＳには、同図に示すように真空吸着穴Ｍが設けられており、帯状ワークＷｂを露光する際、真空通路ＶＰから真空を供給して、真空吸着穴Ｍにより帯状ワークＷｂを吸着固定する。
【００１１】送りグリップ部１２が帯状ワークＷｂを狭持し、搬送する動作は次の通りである。図９（ａ）に示す状態から、第１のエアシリンダ１２ｆにより下部材１２ｄが上昇し、図９（ｂ）に示すように、下部材１２ｄのグリップ部Ｇｒ２が帯状ワークＷｂの裏面に接触する。第２のエアシリンダ１２ｉが上昇し、上部材１２ｃの帯状ワークＷｂを挟むグリップ部Ｇｒ１が下降し、帯状ワークＷｂを挟持する。送りグリップ部１２が帯状ワークＷｂを把持すると、送りグリップ駆動部１３のボールねじ１３ｂが回転し、送りグリップ部１２が搬送方向下流側に所定量移動する。これにより帯状ワークＷｂが所定量搬送され、帯状ワークＷｂの次の露光領域が露光部３に搬送される。
【００１２】帯状ワークＷｂの搬送中、ワークステージＷＳを搬送レベルの下方に退避させ、帯状ワークＷｂの裏面がワークステージＷＳに接触して傷が付くのを防止する。なお、帯状ワークＷｂの搬送しているとき、ワークステージＷＳの帯状ワーク固定用に設けられる真空吸着孔Ｍ（図８参照）からエアーを噴出すようにしておくと、帯状ワークＷｂの裏面とワークステージＷＳとが接触することにより帯状ワークＷｂ裏面が傷つく心配がなくなる。帯状ワークＷｂが所定量移動し、露光部３に帯状ワークＷｂの露光領域が達すると、帯状ワークＷｂの移動を停止する。下方に退避していたワークステージＷＳがワークステージ駆動部ＷＳＤにより搬送レベルにまで上昇し、前記した真空通路ＶＰからワークステージＷＳに真空を供給し、真空吸着によって帯状ワークＷｂをワークステージＷＳ表面に保持する。
【００１３】ここで、送りグリップ部１２が帯状ワークＷｂを狭持したままであれば、送りグリップ部１２による搬送のテンションが帯状ワークＷｂにかかった状態でワークステージＷＳに吸着される。また、送りグリップ部１２が帯状ワークＷｂの把持を解除した場合でも、帯状ワークＷｂは巻出しロール１と巻き取りロール２との間で生じるテンションがかかった状態でワークステージＷＳに吸着される。帯状ワークＷｂがワークステージＷＳに吸着固定されると、第２のエアシリンダ１２ｉが復帰し、送りグリップ部１２の上部材１２ｃが回動し、グリップＧｒ１，Ｇｒ２は帯状ワークＷｂを開放する（図９（ｂ）の状態）。さらに、第１のエアシリンダ１２ｆが復帰し、下部材１２ｄが下降する（図９（ａ）の状態）。ついで、送りグリップ部１２は送りグリップ駆動部１３により搬送方向上流側に移動し、元の位置に戻る。
【００１４】一方、露光部３ではマスクステージ駆動部ＭＳＤによりマスクＭを移動させて、マスクＭとワークとの位置合せを行い露光処理する。露光処理が終わると、送りグリップ部１２が帯状ワークＷｂの両側を挟む。また、ワークステージＷＳによる帯状ワークＷｂの真空による保持が解除され、ワークステージＷＳが下方に退避する。次に、搬送方向上流側の元の位置に戻っている送りグリップ部１２により前記したように帯状ワークＷｂの両側を把持し、送りグリップ部１２を搬送方向下流に移動させ、帯状ワークの次の露光領域が露光部３にくるように、帯状ワークＷｂを搬送する。
【００１５】（２）蛇行修正帯状ワークＷｂを連続して搬送すると、帯状ワークＷｂが、露光部３において、帯状ワークＷｂの幅方向（帯状ワークＷｂの進行方向に対して直角方向）に位置ずれを生じることがあり、これを修正し、露光部での帯状ワークＷｂの位置を確保する必要がある。ここで、帯状ワークＷｂの幅方向のずれを帯状ワークＷｂの蛇行、帯状ワークＷｂの蛇行を修正することを蛇行修正と呼ぶ。上記に述べたような帯状ワークＷｂ全体に常時テンションをかける装置の場合、帯状ワークＷｂの蛇行の検出と、その修正は、以下のような方法で行っている。
【００１６】図１０に示すように、露光部３のワーク搬送上流側の所定の位置にエッジセンサＳ１を設け、エッジセンサＳ１により、帯状ワークＷｂのエッジ位置を検出する。エッジセンサＳ１の出力は、制御部３１を介して巻き出しロール駆動機構３２、アクチュエータ３３に送られる。搬送中、エッジセンサＳ１により、帯状ワークＷｂの蛇行が検出されると、制御部３１は巻き出しロール駆動機構３２を介してアクチュエータ３３によりにより巻き出しロール部１０全体を、帯状ワークＷｂの幅方向に移動させ、蛇行を修正する。
【００１７】エッジセンサＳ１としては、図１１に示すものを用いることができる。すなわち、図１１（ａ）に示すように、発光素子Ｌ１１と受光素子ＰＴ１、発光素子Ｌ１２と受光素子ＰＴ２から構成される２組のフォトセンサＳ１１，Ｓ１２を帯状ワークＷｂの外側と内側に並べたもの、あるいは、図１１（ｂ）に示すように、発光素子Ｌ１３と、ワークの搬送方向に対して直角に配置したＣＣＤ等のラインセンサＬＳ１から構成されるリニアセンサＳ１３を使用することができる。図１１（ａ）に示すセンサを用いる場合には、フォトセンサＳ１１，Ｓ１２のＯＮ，ＯＦＦの組み合わせにより帯状ワークＷｂのエッジ位置を検出する。また、図１１（ｂ）を用いる場合には、光がラインセンサＬＳ１に入射する位置で帯状ワークＷｂのエッジ位置を検出する。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】上記したように、従来の装置においては、帯状ワークＷｂにテンションがかかった状態でワークステージＷＳに保持されて露光することになる。このため、帯状ワークＷｂが、例えば有機化合物の薄いフィルムである場合、帯状ワークＷｂが伸びた状態で露光される。そして、露光装置から取り外されると、帯状ワークＷｂにテンションがかからなくなり、帯状ワークＷｂが縮み、露光精度が変化するといった問題が生ずる。すなわち、図１２（ａ）に示すようにテンションを掛けた状態で露光したのち、テンションを解除すると図１２（ｂ）に示すように帯状ワークＷｂが縮んで露光パターンの位置がずれ、露光精度を確保できなくなる。以上の問題は、露光パターンの微細化等、露光精度の向上に伴い、近年、特に問題視されるようになってきた。
【００１９】本発明は上記した従来技術の問題点を考慮してなされたものであって、帯状ワークにテンションをかけ、グリップフィード方式で搬送する露光装置において、帯状ワークにテンションをかけないでワークステージに保持できるようにし、帯状ワークの露光精度を向上させることである。
【００２０】
【課題を解決するための手段】本発明においては、上記課題を次のようにして解決する。長尺連続ワークを把持して間歇的に搬送する搬送機構と、上記搬送機構を制御して、上記ワークの未露光領域を間歇的に露光部に搬送制御する制御部とを備え、上記ワークを常時テンションをかけて搬送し、露光部において上記ワーク上に露光処理を行う露光装置において、露光部の上流側に、上記ワークを把持する第１のワーク固定部を設けるとともに、下流側に上記ワークを把持する第２のワーク固定部を設け、また、上記制御部に、ワークにかかるテンションによる伸び分だけワークを下流側に送る送り量を記憶する記憶部を設ける。そして、ワーク上に露光処理を行うに際し、上記制御部は、ワークを露光部に停止させ、第１と第２のワーク固定部でワークを固定後、上記記憶部に記憶された送り量に基づき第１のワーク固定部を露光部方向に送って、ワークにテンションがかからない状態にする。
【００２１】本発明においては、上記のように、露光部の上流側および下流側に、上記ワークを把持する第１および第２の固定部を設け、また、制御部に、ワークにかかるテンションによる伸び分だけワークを下流側に送る送り量を記憶する記憶部を設け、第１と第２のワーク固定部でワークを固定後、上記記憶部に記憶された送り量に基づき第１のワーク固定部を露光部方向に送って、ワークにテンションがかからない状態にし、露光処理を行うようにしたので、露光時、ワークにテンションがかからず、露光精度を向上させることができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の実施例の帯状ワークの露光装置の構成を示す図であり、前記図６に示したものと同一のものには同一の符号が付されており、本実施例においては、図１に示したものに第１、第２のワーク固定機構２１，２２、制御部４０が追加されている。同図において、１０は巻出しロール部であり、巻出しロール部１０には前記したように巻出しロール１、スペーサ巻取りロール１ａ、ガイドロールＲ１が設けられている。また、帯状ワークＷｂは通常スペーサＳと重ね合わせて巻出しロール１にロール状に巻かれており、巻出しロール１から帯状ワークＷｂが引き出されるとき、スペーサＳはスペーサ巻取りロール１ａにより巻き取られる。帯状ワークの搬送には、前記図６〜図９に示したグリップフィード方式が用いられる。すなわち、ワークステージＷＳの下流側にグリップフィード機構１１が設けられており、前記したようにグリップフィード機構１１の送りグリッブ部１２により、帯状ワークＷｂの両側を把持して、帯状ワークＷｂを搬送する。
【００２３】また、本実施例においては、露光装置の露光部３の、帯状ワークＷｂの搬送方向における上流側と下流側に、第１、第２のワーク固定機構２１，２２が設けられている。上記第１のワーク固定機構２１には、後述するワーク機構駆動部１４が設けられている。図２は図１の一部を拡大した図であり、第１、第２のワーク固定機構２１，２２は、同図に示すように帯状ワークＷｂを裏面から真空吸着する第１、第２の吸着固定ステージ２３，２４と、帯状ワークＷｂの周辺部を上下からはさんで保持する第１、第２の固定グリップ部２５，２６とから構成される。第１、第２の吸着固定ステージ２３，２４は、帯状ワークＷｂの裏面側に搬送レベルで設けられている。
【００２４】第１、第２の吸着固定ステージ２３，２４は前記図８に示したワークステージＷＳと同様の構成を有し、その表面に帯状ワークＷｂ固定用の真空吸着穴Ｍが設けられている。そして、真空通路ＶＰを介して真空が供給されたとき、帯状ワークＷｂは吸着固定ステージ２３，２４に吸着固定される。また、帯状ワークＷｂの搬送時には上記真空吸着穴Ｍからエアーを噴出し、帯状ワークＷｂ裏面と第１、第２の吸着固定ステージ２３，２４表面との接触を防ぐ。第１、第２の固定グリップ部２５，２６の構造は前記図８に示した送りグリップ部の構造と基本的に同じである。第１のワーク固定機構２１には、図７，図８に示した送りグリップ駆動部と同様のワーク固定機構駆動部１４が設けられており、第１の固定グリップ部２５は帯状ワークＷｂの搬送方向に移動する。すなわち、図２に示すようにワーク固定機構駆動部１４は例えば送りモータ１４ａとボールねじ１４ｂと駆動ベルト１４ｃとを備え、送りモータ１４ａによりボールねじ１４ｂが回転し、固定グリップ部２５は同図の矢印方向に移動する。一方、第２のワーク固定機構２２は移動しない。
【００２５】図３は第１と第２のワーク固定機構２１，２２及び送りグリップ部１２を上から見た図であり、同図に示すように、吸着固定ステージ２４は、グリップフィード機構１１の部分まで延びている。なお、第１、第２の固定グリップ部２５，２６の構造は、前記図７で説明した送りグリップ部１２と基本的に同様である。第１の固定グリップ部２５は、ボールねじ１４ｂ、移動部１２ａが設けられているが、第２の固定グリップ部２６は直接基台に取り付けられたグリップ固定台に固定されている。また、第１、第２の固定グリップ部２５，２６による帯状ワークＷｂの把持／開放動作も前記図９で説明したのと同様である。
【００２６】図１に戻り、４０は制御部であり、制御部４０には、蛇行制御部４１、送り制御部４２、全体制御部４３が設けられており、蛇行制御部４１は、前記図１０で説明したように、エッジセンサＳ１の出力により巻出しロール部１０を駆動して、帯状ワークの蛇行修正を行う。また、送り制御部４２は、巻出しロール１、巻取りロール２、固定グリップ部２５，２６、送りグリップ部１２を駆動して、帯状ワークＷｂの搬送を制御する。全体制御部４３は、光照射部４、ワークステージ駆動部ＷＳＤ、マスクステージ駆動部ＭＳＤ等を制御するとともに、搬送、露光処理等の全体のシーケンスを制御する。
【００２７】図４、図５は本実施例における帯状ワークの搬送・露光処理を説明する図であり、同図を参照しながら本実施例における搬送・露光処理について説明する。なお、巻出しロール１、巻取りロール２における帯状ワークＷｂの巻出し、巻取り制御は前記図６で説明した従来例と同じであり、ワーク固定機構２１，２２により帯状ワークＷｂが把持されていないとき、帯状ワークＷｂにはテンションが掛かっている。
【００２８】(1) 帯状ワークＷｂへの露光処理が終わった段階では、図４（ａ）に示すように、送りグリップ部１２が破線のように帯状ワークＷｂの周辺部を狭持しており、ワーク固定機構２１，２２の固定グリップ部２５，２６はともに開放している。また、ワークステージＷＳは帯状ワーク搬送面よりも下に下降している。マスクステージＭＳはワーク搬送面よりも上に上昇している。
(2) 送りグリップ駆動部１３を駆動し、送りグリップ部１２を搬送方向下流側に移動させる。帯状ワークＷｂは送りグリップ部１２に狭持されているので、送りグリップ１２の移動とともに搬送される。
(3) 帯状ワークＷｂの搬送中、ワークステージＷＳおよび吸着固定ステージ２３，２４に設けられたワーク保持用の真空吸着孔Ｍからエアーを吹き出すようにしておくと、帯状ワークＷｂが、ワークステージＷＳおよび吸着固定ステージ２３，２４上面で持ち上がるので、帯状ワークＷｂの裏面とワークステージＷＳおよび吸着固定ステージ２３，２４の表面とが接触して帯状ワークＷｂ表面が傷つくという心配がなくなる。
【００２９】(4) 帯状ワークＷｂの搬送中、エッジセンサＳ１が帯状ワークＷｂのエッジ位置を検出する。該センサＳ１により帯状ワークＷｂの蛇行が検出されると、エッジセンサＳ１の信号をフィードバックし、前記図１０で説明したように、巻出しロール部１０全体を帯状ワークＷｂの幅方向に移動させ、蛇行修正を行う。
(6) 送りグリップ駆動部１３は所定量搬送方向下流側に移動すると停止する。なお、帯状ワークＷｂを次の露光領域にまで搬送するためのワーク移動量の制御は、送りグリップ駆動部１３の移動量を調整することで行う。
(7) 図４（ｂ）に示すように、帯状ワークＷｂの移動停止後、露光部３の上流側に設けられた第１のワーク固定機構２１の固定グリップ部２５が帯状ワークＷｂの周辺部を挟み、また、吸着固定ステージ２３が真空吸着により帯状ワークＷｂの裏面を吸着することにより、帯状ワークＷｂの固定をより確かなものにする。
(8) また、露光部３の下流側に設けられた第２のワーク固定機構２２の固定グリップ部２６が帯状ワークＷｂの周辺部をはさみ、また、吸着固定ステージ２４が真空吸着により帯状ワークＷｂの裏面を吸着することにより、帯状ワークＷｂの固定をより確かなものにする。
【００３０】(9) その状態で、図４（ｃ）に示すように第１の固定グリップ部２５が第１のワーク固定機構駆動部１４により帯状ワークＷｂを狭持したまま、テンション搬送により帯状ワークＷｂが伸びている量（１００〜２００μｍ）だけ、搬送下流に向かって移動する。これにより、帯状ワークＷｂに生じていたテンションがなくなる。
【００３１】(10)図４（ｄ）に示すように、グリップフィード機構１１において、送りグリップ部１２が開放される。また、ワークステージＷＳの真空吸着機構がＯＮになり、ワークステージ駆動部ＷＳＤにより、ワークステージＷＳが帯状ワークＷｂ搬送位置にまで上昇し、帯状ワークＷｂをワークステージＷＳ上に真空吸着・保持する。即ち、帯状ワークＷｂにはテンションがかからない状態でワークステージＷＳに保持されることになる。なお、帯状ワークＷｂをワークステージＷＳに吸着しても、第１と第２のワーク固定機構２１，２２の解除は行わない。これは、第１と第２のワーク固定機構２１，２２を解除すると、巻出しロール１と巻取りロール２との間にはテンションがかかっているので、テンションがかからない状態で保持した帯状ワークＷｂにテンションがかかってしまうためである。
【００３２】(11)図５（ｅ）（ｆ）に示すように、アライメント、露光処理を行う。この間に、送りグリップ部１２が次の帯状ワークＷｂ搬送のために、搬送上流例の所定の位置（図５（ｅ）の実線位置）に戻り、再び帯状ワークＷｂをはさむ。アライメント、露光処理は次のように行われる。まず、図５（ｅ）のときに、図１に示すマスクステージＭＳが、マスクステージ駆動部ＭＳＤにより、アライメント位置にまで下降する。なお、帯状ワークＷｂは、テンションはかかっていないとはいえたるみはないので、帯状ワークＷｂを保持したワークステージＷＳをワーク搬送面以上に上昇させることができない。また同様に、マスクと帯状ワークＷｂの位置合わせも帯状ワークＷｂを移動させて行うことができない。
【００３３】次に、マスクＭと帯状ワークＷｂとの位置合わせを行う。上記のように帯状ワークＷｂを移動させることができないので、マスクテージＭＳをＸＹθ方向（Ｘ方向は例えば図５の左右方向、Ｙ方向は図５の紙面前後方向、θはＸ，Ｙ平面に垂直な軸を中心とした回転）に移動させて、位置合わせする。位置合わせ終了後、マスクステージＭＳを露光位置にまで移動させ、光照射部４（図１参照）から露光光を照射して、露光処理を行う。
【００３４】(12)露光処理が終了すると、マスクステージＭは上昇するとともに、アライメント時ＸＹθ方向に移動しているので、移動前の原点位置にまで戻る。
(13)ワークステージＷＳのワーク真空吸着を解除し、図５（ｇ）に示すように、ワークステージＷＳが下降する。また、第１、第２のワーク固定機構２１，２２の固定グリップ部２５，２６が開放し、また、第１、第２の吸着固定ステージ２３，２４の真空吸着が解除され、第１の固定グリップ部２５は移動前の原点に戻る。
(14)グリップフィード機構１１の送りグリップ部１２は帯状ワークＷｂをはさんでいるので、図４（ａ）で説明したように、送りグリップ部１２が移動し、帯状ワークＷｂを次の露光位置にまで搬送する。以下、上記(1) 〜(14)を繰り返す。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように本発明においては、以下の効果を得ることができる。
（１）露光処理部の上流側に第１のワーク固定部を、下流側に第２のワーク固定部を設け、帯状ワーク搬送後、第１と第２のワーク固定部で帯状ワークを固定後、帯状ワークをテンションによる伸び分だけ下流側に送り、ワークステージに保持するので、露光処理時、帯状ワークにテンションがかからない。このため、帯状ワークが伸びた状態で露光を行うことがなく、露光精度が低下することがない。
（２）帯状ワークがワークステージに吸着保持される寸前まで、帯状ワークにテンションがかかった状態であるので、帯状ワークに波打ち・しわが発生することなくワークステージに吸着・保持することができる。したがって、帯状ワークのしわ・波打ちなどによる露光精度の低下を防ぐことができる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００１０２２１２
【氏名又は名称】ウシオ電機株式会社
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| 【出願日】 |
平成１２年３月１７日（２０００．３．１７） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１００１００９３０
【弁理士】
【氏名又は名称】長澤 俊一郎
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| 【公開番号】 |
特開２００１−２６４９９９（Ｐ２００１−２６４９９９Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１３年９月２８日（２００１．９．２８） |
| 【出願番号】 |
特願２０００−７５７６５（Ｐ２０００−７５７６５） |
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