| 【発明の名称】 |
パターン配線基板用電気検査方法及び装置 |
| 【発明者】 |
【氏名】深見 美行
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| 【要約】 |
【課題】プローブとパターン配線基板の端子の間が低い接触抵抗値をもって接触しているか否かを確認し、かつ接触性を改善することが可能なパターン配線基板用電気検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】可動式ステージ１にセットされたパターン配線基板９の被検査対象配線の端子に接触させるプローブＡ３，Ｂ４と、パターン配線基板９の端子とプローブＡ３，Ｂ４との接触圧力を変化させるステージ駆動部２と、パターン配線基板９の端子とプローブＡ３，Ｂ４との接触圧力の変化量に対応する前記端子間抵抗の抵抗値を測定する抵抗測定器５と、前記端子間抵抗の抵抗値変化量を測定する微分処理部１０及び微分値判定部１１と、前記抵抗値変化量が規定値以内になった場合に前記端子間抵抗値と既定値を比較して良否判定を行う良否判定部６及び良否判定条件格納部７を備えている。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 パターン配線基板の良否を判定するパターン配線基板用電気検査方法であって、パターン配線基板上の被検査対象配線の端子間抵抗をプローブを用いて測定する際に、前記端子と前記プローブとの接触圧力を変化させ、その変化量に対応する前記端子間抵抗の抵抗値変化量を測定することを特徴とするパターン配線基板用電気検査方法。
【請求項２】 前記抵抗値変化量が規定値以内になった場合に、前記端子間抵抗の抵抗値を良否判定用データとして測定することを特徴とする請求項１に記載のパターン配線基板用電気検査方法。
【請求項３】 前記抵抗変化量が規定値以上である場合に、前記端子と前記プローブが接触不良と判断し、前記端子と前記プローブとの接触圧力をさらに変化させ、その変化量に対応する前記端子間抵抗の抵抗値変化量を測定することを特徴とするパターン配線基板用電気検査方法。
【請求項４】 前記抵抗値変化量が規定値以内になった場合に、前記端子間抵抗の抵抗値を良否判定用データとして測定することを特徴とする請求項３に記載のパターン配線基板用電気検査方法。
【請求項５】 パターン配線基板の良否を判定するパターン配線基板用電気検査装置であって、パターン配線基板上の被検査対象配線の端子とプローブとの接触圧力を変化させ、その変化量に対応する前記端子間抵抗の抵抗値変化量を測定し、その抵抗変化量が規定値以内になった場合に前記端子間抵抗値と既定値を比較して、良否判定を行うようにしたものであることを特徴とするパターン配線基板用電気検査装置。
【請求項６】 前記抵抗変化量が規定値以上である場合に、前記端子と前記プローブが接触不良と判断し、前記端子と前記プローブとの接触圧力をさらに変化させ、その変化量に対応する前記端子間抵抗の抵抗値変化量を測定し、前記抵抗値変化量が規定値以内になった場合に、前記端子間抵抗の抵抗値を良否判定用データとして測定するようにしたことを特徴とする請求項５に記載のパターン配線基板用電気検査装置。
【請求項７】 パターン配線基板の良否を判定するパターン配線基板用電気検査装置であって、パターン配線基板の被検査対象配線の端子に接触させるプローブと、前記端子と前記プローブとの接触圧力を変化させる手段と、前記端子と前記プローブとの接触圧力の変化量に対応する前記端子間抵抗の抵抗値を測定する手段と、前記端子間抵抗の抵抗値変化量を測定する手段と、前記抵抗値変化量が規定値以内になった場合に前記端子間抵抗値と既定値を比較して、良否判定を行う手段とを有するものであることを特徴とするパターン配線基板用電気検査装置。
【請求項８】 前記抵抗変化量が規定値以上である場合に、前記端子と前記プローブが接触不良と判断し、前記端子と前記プローブとの接触圧力をさらに変化させ、その変化量に対応する前記端子間抵抗の抵抗値変化量を測定し、前記抵抗値変化量が規定値以内になった場合に、前記端子間抵抗の抵抗値を良否判定用データとして測定するようにしたことを特徴とする請求項７に記載のパターン配線基板用電気検査装置。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、パターン配線基板の良否を判定するパターン配線基板用電気検査方法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】パターン配線基板については、その良否を判定する必要がある。従来行われていたパターン配線基板の良否判定方法を図２に基いて説明する。
【０００３】従来行われていたパターン配線基板の良否判定方法は基本的にはパターン配線基板の検査配線にプローブを接触させて、その電気抵抗値を測定することにより、判定を行うものである。
【０００４】すなわち図２に示すように、パターン配線基板９の検査配線を測定する場合、まず最初にステージ駆動部２を用いて可動式ステージ１を移動し、パターン配線基板９の検査配線に設けた図示しない端子に２個のプローブＡ３，プローブＢ４を接触させ、その２個のプローブＡ３，プローブＢ４に挟まれた検査配線の電気抵抗を抵抗測定器５で測定する。
【０００５】次に抵抗測定器５で測定した測定値と良否判定条件格納部７に記憶された被検査配線の期待値とを良否判定部６で比較することにより良否判定を行い、その結果を良否表示部８で表示している。
【０００６】このような構成において、パターン配線基板９内の被検査対象配線の電気抵抗値を正しく測定し良否判定を実施するためには、プローブＡ３及びプローブＢ４が、被検査対象物であるパターン配線基板９の端子と低い接触抵抗値によって接触状態にあることが重要である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら図２に示す従来の技術では、上述したプローブと端子の間が低い接触抵抗値をもって接触しているか否かを確認することが困難であり、かつプローブと端子の接触性を改善することが困難であるという問題がある。
【０００８】本発明の目的は、プローブとパターン配線基板の端子の間が低い接触抵抗値をもって接触しているか否かを確認し、かつ接触性を改善することが可能なパターン配線基板用電気検査方法及び装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため、本発明に係るパターン配線基板用電気検査方法は、パターン配線基板の良否を判定するパターン配線基板用電気検査方法であって、パターン配線基板上の被検査対象配線の端子間抵抗をプローブを用いて測定する際に、前記端子と前記プローブとの接触圧力を変化させ、その変化量に対応する前記端子間抵抗の抵抗値変化量を測定するものである。
【００１０】また前記抵抗値変化量が規定値以内になった場合に、前記端子間抵抗の抵抗値を良否判定用データとして測定するものである。
【００１１】また前記抵抗変化量が規定値以上である場合に、前記端子と前記プローブが接触不良と判断し、前記端子と前記プローブとの接触圧力をさらに変化させ、その変化量に対応する前記端子間抵抗の抵抗値変化量を測定するものである。
【００１２】また前記抵抗値変化量が規定値以内になった場合に、前記端子間抵抗の抵抗値を良否判定用データとして測定するものである。
【００１３】また本発明に係るパターン配線基板用電気検査装置は、パターン配線基板の良否を判定するパターン配線基板用電気検査装置であって、パターン配線基板上の被検査対象配線の端子とプローブとの接触圧力を変化させ、その変化量に対応する前記端子間抵抗の抵抗値変化量を測定し、その抵抗変化量が規定値以内になった場合に前記端子間抵抗値と既定値を比較して、良否判定を行うようにしたものである。
【００１４】また前記抵抗変化量が規定値以上である場合に、前記端子と前記プローブが接触不良と判断し、前記端子と前記プローブとの接触圧力をさらに変化させ、その変化量に対応する前記端子間抵抗の抵抗値変化量を測定し、前記抵抗値変化量が規定値以内になった場合に、前記端子間抵抗の抵抗値を良否判定用データとして測定するようにしたものである。
【００１５】また本発明に係るパターン配線基板用電気検査装置は、パターン配線基板の良否を判定するパターン配線基板用電気検査装置であって、パターン配線基板の被検査対象配線の端子に接触させるプローブと、前記端子と前記プローブとの接触圧力を変化させる手段と、前記端子と前記プローブとの接触圧力の変化量に対応する前記端子間抵抗の抵抗値を測定する手段と、前記端子間抵抗の抵抗値変化量を測定する手段と、前記抵抗値変化量が規定値以内になった場合に前記端子間抵抗値と既定値を比較して、良否判定を行う手段とを有するものである。
【００１６】また前記抵抗変化量が規定値以上である場合に、前記端子と前記プローブが接触不良と判断し、前記端子と前記プローブとの接触圧力をさらに変化させ、その変化量に対応する前記端子間抵抗の抵抗値変化量を測定し、前記抵抗値変化量が規定値以内になった場合に、前記端子間抵抗の抵抗値を良否判定用データとして測定するようにしたものである。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図により説明する。
【００１８】図に示すように本発明に係るパターン配線基板用電気検査方法は、パターン配線基板の良否を判定するパターン配線基板用電気検査方法であって、パターン配線基板９上の被検査対象配線の端子間抵抗をプローブＡ３，Ｂ４を用いて測定する際に、前記パターン配線基板９の端子と前記プローブＡ３，Ｂ４との接触圧力を変化させ、その変化量に対応する前記端子間抵抗の抵抗値変化量を測定するものであり、前記抵抗値変化量が規定値以内になった場合に、前記端子間抵抗の抵抗値を良否判定用データとして測定するものである。
【００１９】一方、前記抵抗変化量が規定値以上である場合に、前記パターン配線基板９の端子と前記プローブＡ３，Ｂ４が接触不良と判断し、前記パターン配線基板９の端子と前記プローブＡ３，Ｂ４との接触圧力をさらに変化させ、その変化量に対応する前記端子間抵抗の抵抗値変化量を測定し、前記抵抗値変化量が規定値以内になった場合に、前記端子間抵抗の抵抗値を良否判定用データとして測定するものである。
【００２０】そして本発明に係るパターン配線基板用電気検査方法を実施するパターン配線基板用電気検査装置は、パターン配線基板の良否を判定するパターン配線基板用電気検査装置であって、パターン配線基板９上の被検査対象配線の端子とプローブＡ３，Ｂ４との接触圧力を変化させ、その変化量に対応する前記端子間抵抗の抵抗値変化量を測定し、その抵抗変化量が規定値以内になった場合に前記端子間抵抗値と既定値とを比較して、良否判定を行うようにしたものであり、前記抵抗変化量が規定値以上である場合に、前記端子と前記プローブが接触不良と判断し、前記端子と前記プローブとの接触圧力をさらに変化させ、その変化量に対応する前記端子間抵抗の抵抗値変化量を測定し、前記抵抗値変化量が規定値以内になった場合に、前記端子間抵抗の抵抗値を良否判定用データとして測定するようにしたものである。
【００２１】また本発明に係る具体化されたパターン配線基板用電気検査装置は図１に示すように、パターン配線基板９の被検査対象配線の端子に接触させるプローブＡ３，Ｂ４と、前記パターン配線基板９の端子と前記プローブＡ３，Ｂ４との接触圧力を変化させる手段２と、前記パターン配線基板９の端子と前記プローブＡ３，Ｂ４との接触圧力の変化量に対応する前記端子間抵抗の抵抗値を測定する手段５と、前記端子間抵抗の抵抗値変化量を測定する手段１０，１１と、前記抵抗値変化量が規定値以内になった場合に前記端子間抵抗値と既定値を比較して、良否判定を行う手段６，７とを有するものである。
【００２２】そして前記抵抗変化量が規定値以上である場合に、前記パターン配線基板９の端子と前記プローブＡ３，Ｂ４が接触不良と判断し、前記パターン配線基板９の端子と前記プローブＡ３，Ｂ４との接触圧力をさらに変化させ、その変化量に対応する前記端子間抵抗の抵抗値変化量を測定し、前記抵抗値変化量が規定値以内になった場合に、前記端子間抵抗の抵抗値を良否判定用データとして測定するようにしたものである。
【００２３】したがって本発明によれば、パターン配線基板９の端子とプローブＡ３，Ｂ４との接触圧力の変化量に対応する端子間抵抗の抵抗値が規定値以内にあるか否かを測定することにより、プローブＡ３，Ｂ４とパターン配線基板９の端子の間が低い接触抵抗値をもって接触しているか否かを確認することができ、かつ接触性を改善することができる。
【００２４】次に本発明の具体例を用いて詳細に説明する。
【００２５】図１は、本発明の一実施形態に係るパターン配線基板用電気検査装置を示すブロック図である。
【００２６】図１に示す本発明の一実施形態に係るパターン配線基板用電気検査装置は、可動式ステージ１にセットされたパターン配線基板９の被検査対象配線の端子に接触させるプローブＡ３，Ｂ４と、パターン配線基板９の端子とプローブＡ３，Ｂ４との接触圧力を変化させる手段としてのステージ駆動部２と、パターン配線基板９の端子とプローブＡ３，Ｂ４との接触圧力の変化量に対応する前記端子間抵抗の抵抗値を測定する手段としての抵抗測定器５と、前記端子間抵抗の抵抗値変化量を測定する手段としての微分処理部１０及び微分値判定部１１と、前記抵抗値変化量が規定値以内になった場合に前記端子間抵抗値と既定値を比較して、良否判定を行う手段としての良否判定部６及び良否判定条件格納部７とを有するものである。また良否判定結果を表示する良否表示部８を備えている。
【００２７】次に図１に示す本発明の一実施形態に係るパターン配線基板用電気検査装置を用いて、パターン配線基板の良否を判定するパターン配線基板用電気検査方法を実施する場合の動作を説明する。
【００２８】まずプローブＡ３，Ｂ４を可動式ステージ１にセットされたパターン配線基板９の上方に位置決めして定位置に設ける。
【００２９】この状態でステージ駆動部２を用いて可動式ステージ１を、パターン配線基板９の被検査対象配線に設けた図示しない端子がプローブＡ３及びプローブＢ４に接触するように移動させ、２つのプローブＡ３，プローブＢ４で挟まれた被検査対象配線の電気抵抗値を抵抗測定器５を用いて測定し、その測定値を微分処理部１０に測定値Ｎｏ．１として保持する。
【００３０】その後、ステージ駆動部２を用いて可動式ステージ１を一定量上昇させて、パターン配線基板９の端子とプローブＡ３，Ｂ４との接触圧力を変化させる。その接触圧力を変化させた際に、２つのプローブＡ３，プローブＢ４で挟まれた被検査対象配線の電気抵抗値を抵抗測定器５を用いて測定し、その測定値を微分処理部１０に測定値Ｎｏ．２として保持する。
【００３１】さらに、ステージ駆動部２を用いて可動式ステージ１を一定量上昇させて、パターン配線基板９の端子とプローブＡ３，Ｂ４との接触圧力をさらに変化させる。その接触圧力を変化させた際に、２つのプローブＡ３，プローブＢ４で挟まれた被検査対象配線の電気抵抗値を抵抗測定器５を用いて測定し、その測定値を微分処理部１０に測定値Ｎｏ．３として保持する。
【００３２】次に微分処理部１０は、パターン配線基板９の端子とプローブＡ３，Ｂ４との接触圧力の変化量に対応した、２つのプローブＡ３，プローブＢ４で挟まれた被検査対象配線の電気抵抗値の測定値Ｎｏ．１，Ｎｏ．２，Ｎｏ．３の変化量を算出する。
【００３３】一方、微分値判定部１１は、微分処理部１０が算出した測定値Ｎｏ．１，Ｎｏ．２，Ｎｏ．３の変化量とステージ駆動部２の移動変化量とを入力として、微分処理部１０が算出した測定値Ｎｏ．１，Ｎｏ．２，Ｎｏ．３の変化量が規定値の範囲内にあるか否かを判定する。上述した規定値は、パターン配線基板９の端子とプローブＡ３，Ｂ４の間の接触圧力が最適に調整されて、パターン配線基板９の端子とプローブＡ３，Ｂ４の間の接触抵抗値がほぼ零に近似する値に相当する数値として予め設定されるものである。
【００３４】微分値判定部１１は、微分処理部１０が算出した測定値Ｎｏ．１，Ｎｏ．２，Ｎｏ．３の変化量が規定値の範囲内にある場合にプローブＡ３，プローブＢ４とパターン配線基板９の端子との接触性は良好と判断し、良否判定を行うための信号を良否判定部６に出力する。
【００３５】良否判定部６は、微分値判定部１１から出力される良否判定を行うための信号を入力として、微分値判定部１１が前記信号を出力した時点における、２つのプローブＡ３，プローブＢ４で挟まれた被検査対象配線の電気抵抗値の測定値を抵抗測定器５から入手し、その測定値を良否判定条件格納部７に格納されている期待値と比較し、良否判定を行い、その良否判定結果を良否表示部８で表示する。
【００３６】一方、上述した変化量が規定値以上である場合、プローブＡ３及びプローブＢ４とパターン配線基板９上の端子との接触性は不良であると判断し、微分値判定部１１はさらにステージ駆動部２を用いて、可動式ステージ１を一定量上昇させ、その時の抵抗値を測定し、その測定値を微分処理部１０にて測定値Ｎｏ．４として保持する。
【００３７】今度は測定値Ｎｏ．２，測定値Ｎｏ．３，測定値Ｎｏ．４を用いて変化量を算出し、その変化量が規定値以内にならない場合は、さらに可動式ステージ１を上昇させ同じ処理を行う。
【００３８】この処理を最終的に抵抗変化量が規定値以内になるまで繰り返し、規定値以内になった場合、プローブＡ３及びプローブＢ４とパターン配線基板９上の端子との接触性は良好と判断し、良否判定部６はその時の測定値を抵抗測定器５から入手し、良否判定条件格納部７に格納されている設定値と比較し、良否判定結果を良否表示部８で表示し、その被検査対象電気配線の測定を完了する。
【００３９】その後、次の被検査対象電気配線の端子と、プローブＡ３及びプローブＢ４とが接触するように移動し、次の配線の測定を繰り返す。
【００４０】以上のように本発明の実施形態によれば、パターン配線基板用電気検査装置における測定プローブの接触抵抗低減方法は、配線基板上の被検査配線を測定する際、可動式ステージを上昇させることにより、プローブと配線端子の接触圧を上昇させながら、その時の配線端子間の電気抵抗変化量を測定し、その抵抗変化量が規定値以内になった場合に、プローブと配線端子の接触が充分であると判断し、規定値以内になるまで接触圧を上昇させるという制御を行うため、上述したプローブと端子の間が低い接触抵抗値をもって接触しているか否かを容易に確認することができ、かつプローブと端子の接触性を容易に改善することができる。
【００４１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、プローブとパターン配線基板の端子の間が低い接触抵抗値をもって接触しているか否かを確認でき、かつ接触性を容易に改善することができる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００１１９７９３
【氏名又は名称】茨城日本電気株式会社
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| 【出願日】 |
平成１２年１月１７日（２０００．１．１７） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１０００７５３０６
【弁理士】
【氏名又は名称】菅野 中
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| 【公開番号】 |
特開２００１−１９４４０７（Ｐ２００１−１９４４０７Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１３年７月１９日（２００１．７．１９） |
| 【出願番号】 |
特願２０００−７８９２（Ｐ２０００−７８９２） |
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