| 【発明の名称】 |
プリント基板検査装置及びそれに用いるプローブ |
| 【発明者】 |
【氏名】西川 秀雄
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| 【要約】 |
【課題】正確に基板検査を実施でき、かつ長寿命のプリント基板検査装置用プローブを提供する。
【解決手段】基端側が保持部材９に保持されたニードルピン３の先端をピン押し込み方向に相対移動させてプリント基板Ｐに当接させ、パターン検査を行わせるプリント基板検査用プローブ３において、ニードルピン３０は、弾性部材からなり、その先端に押し込み方向の力が作用したとき、押し込み方向と直交する平面上の予め定めた方向にのみ撓むように構成されているものである。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 基端側が保持部材に保持されたニードルピンの先端をピン押し込み方向に相対移動させてプリント基板面に当接させ、パターン検査を行わせるプリント基板検査用プローブにおいて、前記ニードルピンは、弾性部材からなり、その先端に前記押し込み方向の力が作用したとき、該押し込み方向と直交する平面上の予め定めた方向にのみ撓むように構成されていることを特徴とするプリント基板検査用プローブ。
【請求項２】 前記保持部材は絶縁材料から形成され、さらに、保持部材は保持部材に固定される電極棒と、該電極棒に脱着自在に装着されるソケットを備え、前記ニードルピンはソケットに固着されていることを特徴とする請求項１記載のプリント基板検査装置用プローブ。
【請求項３】 前記電極棒は基板に対する押し込み方向に対して傾斜した方向に延びていることを特徴とする請求項２記載のプリント基板検査装置用プローブ。
【請求項４】 前記ニードルピンの先端部を拘束する拘束部材をさらに備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のプリント基板検査装置用プローブ。
【請求項５】 前記拘束部材は導電性材料から形成されており、拘束部材はニードルピンを拘束する拘束部を有し、ニードルピンが基板に接触していないときは拘束部がニードルピンを拘束し、基板に接触して撓んだ後はニードルピンが拘束部から離反し、さらに前記拘束部材と前記電極棒を電気的に接続する電線と、該電線に流れる電流を検出する電流計を備えることを特徴とする請求項４記載のプリント基板検査装置用プローブ。
【請求項６】 前記拘束部材の拘束部はニードルピンの通過する孔を有することを特徴とする請求項５記載のプリント基板検査装置用プローブ。
【請求項７】 前記ニードルピンは一定方向に湾曲して形成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のプリント基板検査装置用プローブ。
【請求項８】 前記ニードルピンは真っ直ぐであり基板に対する押し込み方向に対して傾斜した方向に延びていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のプリント基板検査装置用プローブ。
【請求項９】 前記ニードルピンは先端部分が円錐形状であることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のプリント基板検査装置用プローブ。
【請求項１０】 検査される基板を搬送する搬送テーブルと、複数のプローブを移動させる検査ユニットと、該検査ユニットに設けられた保持部材と、該保持部材に保持され基板に接触すると弾性的に撓むニードルピンとを備えることを特徴とするプリント基板検査装置。
【請求項１１】 前記ニードルピンの先端部を拘束する拘束部材をさらに保持部材に設けたことを特徴とする請求項１０記載のプリント基板検査装置。
【請求項１２】 前記保持部材は絶縁材料から形成される保持部を有し、前記拘束部材は導電性材料から形成され、ニードルピンが基板に接触していないときは拘束部がニードルピンを拘束し、基板に接触して撓んだ後はニードルピンが拘束部から離反し、さらに前記拘束部材と前記電極棒とを接続する電線と、ニードルピンが基板に接触したことを判断するために前記電線に流れる電流を検出する電流計を備えることを特徴とする請求項１１記載のプリント基板検査装置。
【請求項１３】 前記複数のニードルピンの各撓み方向は外方に一定であることを特徴とする請求項１０〜１２のいずれかに記載のプリント基板検査装置。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板上の回路パターンの導通検査、絶縁検査等をするプリント基板検査装置及びそれに用いるプローブに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】特開平６−１８６２７１号公報等に見られる如く、実装基板即ち多数の電子部品等を具備するプリント基板はインサーキットテスタを用いて、その基板の必要な測定点に適宜複数のプローブ（詳細にはスプリングプローブ）の先端を接触させて各部品の有無を電気的に検出し、或いは回路パターン各部の抵抗、その他の特性値を電気的に測定し得られた電気信号をマイコン等で判定して基板の良否の判別を行っている。
【０００３】そして、特開平９−１７８７７１号公報においては、プローブ（詳細にはフライングプローブ）先端が側定点に接触する直前の所定位置まで高速度で移動し、所定位置を超えたら低速度にして、短時間で、所定荷重になるまでプローブを被検査板の所定位置へ押し込む技術が開示されている。さらに、特開平９−１１３５３６号公報においては、主プローブ、補助プローブより構成され主プローブはコイルスプリングを有しており常時基板方向へ付勢されていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記特開平９−１７８７７１号、特開平９−１１３５３６号公報においては、基板に形成された回路パターンにプローブ先端を押し込んだ際に回路パターンがプローブから受ける衝撃を減少させるため、結局の所、プローブ押し込みの速度を相当減速させる必要があり、トータルの押し込み時間（検査時間）が長くなる。さらにプローブ自体が斜め方向へ伸縮するため基板に凹凸があると本来測定しようとしていた回路パターンの所望箇所以外のところへプローブの先端がズレてしまい、必要な箇所の測定ができなくなってしまうおそれがある。また回路パターンへの押し込み時の衝撃がプローブにかかりプローブの折れ、摩耗が生じ易く、早期に交換せざるを得ないという問題がある。
【０００５】本発明は上記のような問題に鑑みてなされたものであり、プローブを基板に対して押し込んだ際にニードルピンが予め定めた方向にのみ撓ませるようにすることにより、正確に基板検査を実施でき、かつ長寿命を有するプリント基板検査装置及びそれに用いるプローブを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため、本発明の請求項１は、基端側が保持部材に保持されたニードルピンの先端をピン押し込み方向に相対移動させてプリント基板面に当接させ、パターン検査を行わせるプリント基板検査用プローブにおいて、前記ニードルピンは、弾性部材からなり、その先端に前記押し込み方向の力が作用したとき、該押し込み方向と直交する平面上の予め定めた方向にのみ撓む形状に構成されていることである。
【０００７】この発明では、ニードルピンは、その先端に押し込み方向の力が作用したとき、押し込み方向と直交する平面上の予め定めた方向にのみ撓むので、安定して基板への押し込みができる。
【０００８】また、前記保持部材は絶縁材料から形成され、さらに、保持部材は保持部材に固定される電極棒と、該電極棒に脱着自在に装着されるソケットを備え、前記ニードルピンはソケットに固着されている（請求項２）ので、電極棒は保持部材に固定され、ソケットは電極棒に脱着自在に装着され、ニードルピンの新旧交換が容易である。
【０００９】また、前記電極棒は基板に対する押し込み方向に対して傾斜した方向に延びている（請求項３）ので、真っ直ぐなニードルピンを適用しても、一定方向に撓む。
【００１０】また、前記ニードルピンの先端部を拘束する拘束部材をさらに備える（請求項４）ので、この場合、プローブを押し込んでニードルピンの先端が基板に接触するまで、ニードルピンの先端が拘束されているので振動することなく安定している。
【００１１】また、前記拘束部材は導電性材料から形成されており、拘束部材はニードルピンを拘束する拘束部を有し、ニードルピンが基板に接触していないときは拘束部がニードルピンを拘束し、基板に接触して撓んだ後はニードルピンが拘束部から離反し、さらに前記拘束部材と前記電極棒を電気的に接続する電線と、該電線に流れる電流を検出する電流計を備える（請求項５）ので、ニードルピンが基板に接触するまでは拘束部で拘束されているので、ニードルピン、ソケット、電極棒、保持部材、電線、拘束部材は電気的に閉ループとなり、基板に接触して撓んだ後は拘束部から離反するのでニードルピン、ソケット、電極棒、保持部材、電線、拘束部材は電気的に開ループとなり電流計で検出される。
【００１２】また、前記拘束部材の拘束部はニードルピンの通過する孔を有する（請求項６）ので、ニードルピンは拘束部としての孔で拘束される。
【００１３】また、前記ニードルピンは一定方向に湾曲して形成されている（請求項７）ので、プローブを押し込んだ際にニードルピンの撓み方向が一定で安定している。
【００１４】また、前記ニードルピンは真っ直ぐであり基板に対して傾斜した方向に延びている（請求項８）ので、ニードルピンの製作が容易である。
【００１５】また、前記ニードルピンは先端部分が円錐形状である（請求項９）ので、この場合、プローブの押し込みの際にニードルピンの先端がＸＹ方向へずれるのが防止できる。
【００１６】上記目的を達成するため、本発明の請求項１０は、検査される基板を搬送する搬送テーブルと、複数のプローブを移動させる検査ユニットと、該検査ユニットに設けられた保持部材と、該保持部材に保持され基板に接触すると弾性的に撓むニードルピンとを備えるプリント基板検査装置である。
【００１７】この発明では、ニードルピンは、その先端に押し込み方向の力が作用したとき、押し込み方向と直交する平面上の予め定めた方向にのみ撓むものであり、安定して基板検査を実施できる。
【００１８】また、前記ニードルピンの先端部を拘束する拘束部材をさらに保持部材に設けた（請求項１１）ので、プローブを基板に押し込むまで、ニードルピンの先端が拘束部材に拘束されているので振動することなく安定している。
【００１９】また、前記保持部材は絶縁材料から形成される保持部を有し、前記拘束部材は導電性材料から形成され、ニードルピンが基板に接触していないときは拘束部がニードルピンを拘束し、基板に接触して撓んだ後はニードルピンが拘束部から離反し、さらに前記拘束部材と前記電極棒とを接続する電線と、ニードルピンが基板に接触したことを判断するために前記電線に流れる電流を検出する電流計を備える（請求項１２）ので、ニードルピンが基板に接触するまでは拘束部で拘束されているのでニードルピン、ソケット、電極棒、保持部材、電線、拘束部材は電気的に電気的に閉ループとなり、ニードルピンが基板に接触して撓んだ後は拘束部から離反するのでニードルピン、ソケット、電極棒、保持部材、電線、拘束部材は電気的に開ループとなり電流計で検出される。
【００２０】また、前記複数のニードルピンの各撓み方向は外方に一定である（請求項１３）ので、プローブの押し込まれても、ニードルピンの各撓み方向が一定であるので安定して基板検査を行うことができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】図１は、本発明にかかる基板検査装置の一実施形態を示す側断面図であり、後述する各図との方向関係を明確にするために、ＸＹＺ直角座標軸が示されている。
【００２２】図１に示すように、この基板検査装置１では、装置手前側（−Ｘ側）に装置本体１に対して開閉扉１１が開閉自在に取付けられており、この開閉扉１１を開いて検査対象であるプリント基板などの基板Ｐを搬送テーブル２に載置可能となっている。プリント基板は、回路パターンがプリントされた裸基板が検査されるのであり、ＩＣチップ、コンデンサ、抵抗等は実装されていない。また、基板Ｐの検査を行う検査部Ｔが設けられている。この検査部Ｔによって検査されて基板Ｐの良否判定が行われた後、検査済みの基板Ｐが開閉扉１１を開放して搬出入部Ｉからオペレータによって搬出可能となっている。
【００２３】なお、この実施形態では、基板Ｐの搬出入はオペレータによるマニュアル操作となっているが、搬出入部Ｉの左右方向（Ｘ方向）の一方側に外部装置から基板Ｐを受取り、搬出入部Ｉに検査前の基板Ｐを移載する基板搬入機構を設ける一方、他方側に搬出入部Ｉから検査済みの基板Ｐを受取り、外部装置に搬出する基板搬出機構を別途追加装備することで基板Ｐの自動搬送が可能となる。
【００２４】この基板検査装置１では、搬送テーブル駆動機構６によって搬出入部Ｉと検査部Ｔとの間で基板Ｐを搬送するために、搬送テーブル２がＸ方向に往復動自在に設けられている。搬送テーブル駆動機構６はボールネジ６２、駆動軸６４、モータ６３を備えている。ボールネジ６２には、搬送テーブル２を固定したブラケット６５が螺合されている。搬送テーブル２の移動量はモータ６３の回転量に応じたものとなる。
【００２５】検査部Ｔには、搬送テーブル駆動機構６の上部に検査ユニット４が設けられている。検査ユニット４は複数のプリント基板検査装置用プローブ（以下、単にプローブと称する。）３を備えている。各プローブ３はニードルピン３０を備えている。複数のプローブ３はプローブ駆動機構４３が制御装置で制御されて各々駆動される。搬送テーブル２に載置された基板Ｐにプローブ３が位置付けられた後、プローブ３のニードルピン３０が基板Ｐの回路パターンに接触させられる。
【００２６】プローブ駆動機構４３は、プローブ３を基板検査装置１に対してＸＹＺ軸方向に駆動させるため、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸個々にプローブ３のニードルピン駆動部（図示していない。）を備えており、基板Ｐの回路パターンに接触させ、検査を行った後、基板Ｐから離間させる。
【００２７】図２は本発明にかかるプリント基板検査装置用プローブの構造を示す図である。プローブ３はプローブ駆動機構４３に機械的に接続される「Ｌ」字形状の保持部材９、該保持部材９に固着されている電極棒７、該電極棒７に脱着自在に支持されるソケット５、該ソケット５に固着されるニードルピン３０から構成されている。保持部材９は電気絶縁性材料から構成されている。しかしながら、ソケット５、電極棒７、ニードルピン３０は導電性材料から構成されている。電極棒７は測定のため電線（図示していない）が接続されている。電極棒７は鉛直線Ｖとβ=１５°の角度を有して保持部材９に固着されている。ニードルピン３０は半田付け、或いはカシメ等によりソケット５に固着されている。
【００２８】ニードルピン３０は、例えば直径がφ１５０μｍのＳＫ鋼（工具鋼）より構成され、また、図２において明らかなように予め特定方向へ曲げられている。
【００２９】詳述すると、鉛直線Ｖより右方（＋Ｘ方向）へ曲げられた状態であり、自然長Ｌ＝２５ｍｍ、初期湾曲量ΔＸは、基準位置より−Ｘ方向でΔＸ＝１ｍｍとなっている。
【００３０】図３はプローブとして１対のニードルピンを用いた実施形態を示す図である。図３において、検査時において２本のプローブ３は基板Ｐの回路パターンの狭い領域の導電性ないし絶縁性等の検査を行う状態を示している。２本のプローブ３が近接されても、その保持部材９はニードルピン３０が傾斜している電極棒７に固着されているので、ニードルピン３０が互いに接触することはない。
【００３１】図４はニードルピンの応力−歪特性を示す図であり、詳細には、長さ３０ｍｍのリン青銅で構成されたニードルピン３０を用いた応力特性を示している。
【００３２】図４におけるニードルピンの応力特性は、ニードルピンを長さ方向に押し込んで測定される。このニードルピンはこの実施形態のニードルピン３０として適用可能である。ニードルピンの応力は歪み量（−Ｚ方向への押し込み量）０ではほぼ０であり、歪み量０．３ｍｍ以上では殆ど変化せず略２５ｇで一定となっている。ニードルピン３０は半田付けもしくはカシメによりソケット５に固着されている。このようにニードルピン３０は基板Ｐへの押し込みがなされても応力が極めて微少な靭性特性を有する導電性素材、例えばＳＫ鋼、リン青銅、黄銅が使用されている。なお、導電性を有し弾性部材で同様な特性を有するものであれば、特に素材の種類を問わない。また接触抵抗値についても、歪み量０で１０KΩ以上だが、歪み量０．５ｍｍ以上で約３Ω程度と一定になる。
【００３３】ニードルピン３０として前記図４に示す特性のリン青銅を用いた場合、応力特性より明らかなごとく、０．５ｍｍ以上の押し込み量になれば、応力が一定になることからニードルピン３０を０．５ｍｍ以上押し込むようにプローブ３を下降させることが好ましい。一方、押し込み量が過剰になると、移動時間が長くかかることにより、結果として測定時間が長くなってしまう。
【００３４】このため、測定時間を短くするためには、ニードルピン３０の押し込み量を必要以上にしないことが好ましい。本実施形態においては、基板Ｐの回路パターンの高さが０．５ｍｍであった場合、基板Ｐに押し込むニードルピン３０のストロークは最大１．０ｍｍで全ての領域の回路パターンを確実に検査できる。
【００３５】図５、６は、ニードルピン先端形状の他の実施形態を示すものである。図５に示すものは、先端形状を円錐形状とし、先端の角度を６０°としたものであり、図６に示すものは、先端形状を鉛直線Ｖから外方向上方へ切削した形状とし先端の角度を３０°としたものである。図５に示す先端形状とすれば、検査点の間隔の広い回路パターンの領域を検査するのに効果がある。一方、図６に示す先端形状とすれば、図３に示すような検査点の間隔の狭い回路パターンの領域を検査するのに効果がある。例えば、直径１５０μｍで図６に示すような半円錐形状の先端形状のニードルピン３０とした場合、２本のニードルピン３０の先端を略５０μｍの検査点まで接近させることができる。
【００３６】予め＋Ｘ方向に湾曲させられているニードルピン３０は基板Ｐの回路パターンに押し込まれると同じ方向に撓む。このため、ニードルピン３０が高速で接触しても過剰な応力が基板Ｐの回路パターンに加わることが防止され、正確な測定を行うことができる。
【００３７】また、ニードルピン３０を高速で接触を行わせることができるので、基板Ｐに近づけるための高速移動と接触させるための低速移動という複数の移動速度でプローブ３を駆動させる必要がない。ニードルピン３０を高速で接触させることができるので、移動時間、検査時間を合理的に減少させることができる。
【００３８】さらに、ニードルピン３０はコイルスプリングなしで基板Ｐの回路パターンに接触させることができる。従来のコイルスプリングを備えたプローブでは、基板Ｐの回路パターンに接触させる前にプローブがコイルスプリングの不要な力を受けている。このため、従来のコイルスプリングを備えたプローブでは、スプリングの付勢力を受けた状態で接触を行っていた。しかしながら、本実施形態におけるニードルピン３０はコイルスプリングを備えていないので、基板Ｐの回路パターンに接触させる前にはスプリングの付勢力を受けていない。このため、本実施形態におけるニードルピン３０を使用すると、スプリングの付勢力を受けていないので、衝撃の少ない接触で正確に基板Ｐの検査を行うことができる。
【００３９】さらに、プローブ３の全てのニードルピン３０は予め定められた一定の方向に撓ませられている。このため、基板検査装置１におけるプローブ３の全てのニードルピン３０は接近して隣り合わせることができる。
【００４０】図７、８にプローブのその他の実施形態を示す。図７に示すニードルピン３０ａ自体は、前記ニードルピン３０とは異なり自然状態で真っ直ぐなものであり、プローブ３のＺ方向への押し込みにおいて＋Ｘ方向にのみ撓むように傾斜して電極棒７が保持部材９に取り付けられたものであり、このニードルピン３０はＸ方向（＋Ｘ方向）にのみ撓みように撓み方向が特定されるものである。
【００４１】次いで、図８に示す実施形態について説明する。図８におけるニードルピン３０ｂは中央部がＸ方向（＋Ｘ方向）への湾曲部を有し、先端部分は曲がりがなく、Ｚ軸方向に真っ直ぐである。この場合、前記ニードルピン３０の場合と同様のソケット５を用いることができ、保持部材９に対しても同様にして取り付けることが可能であり、上記実施形態と同様の作用効果を奏することが可能である。なお、図７、図８に示すニードルピンも先の実施形態で示すニードルピン３０と同様に靭性特性を有する材料が用いられている。
【００４２】図９はニードルピン先端部の支持に関する実施形態を示す図であり、同図に基づいて説明する。この実施形態においては、プローブ３は駆動機構に接続されている略「Ｌ」字形状の保持部材９、該保持部材９に固着されている電極棒７、該電極棒７に脱着自在に支持されるソケット５、該ソケット５に固着されるニードルピン３０、保持部材９に固着される拘束部材１００、電極棒７から拘束部材１００を電気的に接続する電線１０３、電線１０３の経路に設けられ電気的接続の開閉状態を検出するための電流計１０４から構成されている。
【００４３】プローブ３は保持部材９、該保持部材９に固着されている電極棒７、該電極棒７に脱着自在に支持されるソケット５、該ソケット５に固着されるニードルピン３０から構成され、図２に示されているプローブ３の構成と同じである。そして、この実施形態におけるプローブ３においては、さらに拘束部材１００、電線１０３、電流検出器１０４を備えている。さらに、拘束部材１００は導電性材料より構成され、保持部材９に螺子１１で固定されている。拘束部材１００の下部水平部１０１には孔１０２が形成されている。この孔１０２は図１０に示されているように略三角形状であり、その中をニードルピン３０が通過している。
【００４４】ニードルピン３０が基板Ｐに接触していない状態では、ニードルピン３０が拘束部材１００の孔１０２の左端壁に拘束されているので、拘束部材１００は、ニードルピン３０、ソケット５、電極棒７、電線１０３、拘束部材１００を囲む電気回路を閉とする。一方、ニードルピン３０が押し込まれて基板Ｐに接触すると、ニードルピン３０が＋Ｘ方向に撓み、拘束部材１００の孔１０２の内壁から離れ、結果として電気回路を開とし、開信号を発生する。基板検査装置１の制御装置または計測装置が上記信号を受け取ることでニードルピン３０の鉛直方向（Ｚ軸方向）の高さを検出することができる。
【００４５】ニードルピン３０が押し込まれて基板Ｐに接触すると、ニードルピン３０が＋Ｘ方向に撓み電線１０３を介して電流計１０４が前述した電気回路の開を検出する。このように構成すると、磨耗、折れ等のため古いニードルピン３０を新しいニードルピン３０に交換するとき、ニードルピン３０の基板Ｐへの接触が電流計１０４で検出できるので、ニードルピン先端におけるＺ軸方向の高さ調整を容易に行うことができる。
【００４６】また、ニードルピン３０は図１０に示されているように基板Ｐの回路パターンに接触するまで、孔１０２の左端部で拘束されているので最長の状態を保っている。このため、ニードルピン３０は移動中にも振動することなく、安定しているので、結果として、確実な接触及び正確な測定が可能になる。
【００４７】以上、本発明に従って説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、以下に記載するごとく、変更することが可能である。
【００４８】上記実施形態においては、ニードルピン３の基端部が半田付け、或いはカシメ等によりソケット５に固着され、ソケット５は電極棒７に脱着自在に支持され、電極棒７が保持部材９に支持されているものであり、ソケット５、電極棒７、保持部材９によりニードルピン３の保持部材を構成したが、保持部材９にて直接ニードルピン３を保持する構成としてもよく、またニードルピン３の基端部が半田付け、或いはカシメ等によりソケット５に固着され、ソケット５を保持部材９で支持する構成としてもよい。
【００４９】上記実施形態においては、静止している基板Ｐに対してプローブ３がＸＹ方向に移動させて、ニードルピン３０をＺ軸方向基板Ｐに押し込んだものを例示したが、プローブ３をＸＹ方向に移動させ、基板Ｐ側をＺ方向に移動させ接触させニードルピン３０に接触させる構成としてもよい。また、ニードルピン３０をＺ軸方向への押し込みではなく、ＸまたはＹ軸方向への押し込みで基板Ｐに接触させる構成とすることも可能である。
【００５０】
【発明の効果】以上、詳述したごとく、本発明の請求項１によれば、プローブを基板に対して相対的に押し込んだ際、ニードルピンは予め定めた方向にのみ撓むので、ニードルピンの先端が回路パターンにおける測定位置からずれないため、正確に測定し検査することができ、かつ基板に傷を付けることがない。さらにプローブを高速で移動させることができ、かつ検査基板に対し押し込むことができるため基板の検査時間を短縮させることができる。さらにニードルピンの撓み方向が常に一定のため、ニードルピン自体の長寿命化、交換時期の延長化を図ることができる。
【００５１】請求項２によれば、ニードルピンの新旧交代を容易に行うことができる。
【００５２】請求項３によれば、複数以上のニードルピンを互いに接近して配置させることができ、回路パターンの狭い領域の検査を行うことができる。
【００５３】請求項４によれば、ニードルピンが移動中に振動することが防止でき、ニードルピンの先端が回路パターンにおける測定点からずれないので正確な検査を行うことができる。
【００５４】請求項５によれば、プローブの構造を簡単にできて、かつ、ニードルピンが基板に接触したことを正確に検出することが防止できる。
【００５５】請求項６によれば、ニードルピンは孔で拘束され、移動中に振動することが防止できる。
【００５６】請求項７によれば、プローブを基板に押し込んだ際にニードルピンの撓み方向が安定する。
【００５７】請求項８によれば、ニードルピンを容易に製作することができる。
【００５８】請求項９によれば、基板の回路パターンの小さい領域の検査を行うことができる。
【００５９】請求項１０によれば、基板の回路パターンの検査を容易に行うことができる。
【００６０】請求項１１によれば、基板検査装置においてプローブの押し込み方向におけるレベル調整を容易に行うことができる。
【００６１】請求項１２によれば、基板検査装置において、ニードルピンの交換時のレベル調整を容易に実行できる。
【００６２】請求項１３によれば、基板検査装置において複数のニードルピンが互いに接触して干渉することが防止できる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】３９２０１９７０９
【氏名又は名称】日本電産リード株式会社
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| 【出願日】 |
平成１２年５月２５日（２０００．５．２５） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１０００６７８２８
【弁理士】
【氏名又は名称】小谷 悦司 （外２名）
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| 【公開番号】 |
特開２００１−４１９７９（Ｐ２００１−４１９７９Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１３年２月１６日（２００１．２．１６） |
| 【出願番号】 |
特願２０００−１５４１４６（Ｐ２０００−１５４１４６） |
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