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【発明の名称】 オートハンドラ、その制御方法、及び記憶媒体
【発明者】 【氏名】伊藤 金雄

【氏名】平尾 さち子
【要約】 【課題】デバイスの搬送機構の位置ずれの補正作業における負担を軽減し、位置ずれによるデバイスの搬送ミスを防ぐことができるオートハンドラ、その制御方法、及び記憶媒体を提供することである。

【解決手段】所定のタイミング毎に実行されるデバイスの搬送機構４０の自動補正処理において、制御装置１０のＣＰＵ１１は、駆動モータ２のエンコーダ２Ａから入力されたパルス数からオーバーラン距離Ｂ1を求め、オーバーラン距離Ｂ1をＲＡＭ１６に記憶されているオーバーラン距離の初期値Ｂ0で除算してベルト伸縮率Ｄを求め、タイミングベルトの伸縮率Ｄを補正係数としてＲＡＭ１６に更新記憶する。吸着ユニット５を移動させる際は、設定されている目的移動量Ｃ0に補正係数を乗じて目的移動量Ｃ1を求め、目的移動量Ｃ1だけ駆動モータ２を駆動する。
【特許請求の範囲】
【請求項１】タイミングベルト駆動により所定の搬送位置へデバイスを搬送する搬送手段を備えるオートハンドラであって、前記タイミングベルトの伸縮に応じた補正係数を算出する算出手段と、前記算出手段によって算出された補正係数に基づいて、前記搬送手段によるデバイスの搬送位置ずれを補正する補正手段と、を備えることを特徴とするオートハンドラ。
【請求項２】前記算出手段は、所定のタイミングで自動的に補正係数を算出することを特徴とする請求項１記載のオートハンドラ。
【請求項３】前記搬送手段の逸出移動距離の初期値を記憶する初期値記憶手段と、補正する時点での搬送手段の逸出移動距離を測定する測定手段と、を更に備え、前記算出手段は、測定手段により測定された逸出移動距離を前記初期値記憶手段に記憶された逸出移動距離の初期値で除算することにより前記タイミングベルトの伸縮率を算出して、当該タイミングベルトの伸縮率を補正係数とすることを特徴とする請求項１記載のオートハンドラ。
【請求項４】前記タイミングベルトの伸縮率を補正係数として記憶する補正係数記憶手段を更に備え、前記補正手段は、前記算出手段によって算出された補正係数により前記補正係数記憶手段の記憶内容を更新し、当該補正係数記憶手段に更新記憶された補正係数を予め設定されている搬送手段の目的移動量に乗算して、当該目的移動量を補正することによりデバイスの搬送位置ずれを補正することを特徴とする請求項１記載のオートハンドラ。
【請求項５】タイミングベルト駆動により所定の搬送位置へデバイスを搬送する搬送手段を備えるオートハンドラの制御方法であって、前記タイミングベルトの伸縮に応じた補正係数を算出する算出工程と、算出された補正係数に基づいて、前記搬送手段によるデバイスの搬送位置ずれを補正する補正工程と、を含むことを特徴とするオートハンドラの制御方法。
【請求項６】タイミングベルト駆動により所定の搬送位置へデバイスを搬送する搬送手段を備えるオートハンドラを制御するためのプログラムを格納した記憶媒体であって、前記タイミングベルトの伸縮に応じた補正係数を算出するためのプログラムコードと、算出された補正係数に基づいて、前記搬送手段によるデバイスの搬送位置ずれを補正するためのプログラムコードと、を含むプログラムを格納することを特徴とする記憶媒体。
【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、タイミングベルト駆動により、供給トレーからキャリアにデバイスを搬送あるいはキャリアから収容トレーにデバイスを搬送するときに生ずる位置ずれの補正機能を備えたオートハンドラ、その制御方法、及び記憶媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣ（Integrated Circuit）等の半導体デバイスの電気的特性を測定するＩＣ試験システムにおいて、測定対象となるデバイスを搬送するオートハンドラが利用されている。
【０００３】図５（Ａ）は供給部と収容部に２系統のデバイス搬送機構を備えたオートハンドラを示す図であり、図５（Ｂ）は供給部側のキャリア３００Ａ、収容部側のキャリア３００Ｂを示す図である。オートハンドラのデバイスの搬送機構１００は供給側のデバイス搬送部である供給ハンド２０と、収容側のデバイス搬送部である収容ハンド３０を備えて構成される。ローダにセットされた供給トレーから被測定デバイスを供給キャリア３００Ａまで供給ハンド２０によって搬送し、収容キャリア３００Ｂから被測定デバイスを収容ハンド３０によって収容トレーに搬送する。なお、キャリアはオートハンドラ内を循環するので、供給キャリア３００Ａと収容キャリア３００Ｂは存在位置の違いを除けば同じものである。図５（Ａ）に示すように、供給部及び収容部の各デバイス搬送機構１００は、図面縦方向をＹ軸方向、横方向をＸ軸方向とすると、Ｘ軸駆動用及びＹ軸駆動用モータ２、タイミングベルト３、プーリ４、デバイスを吸着する吸着ユニット５、吸着ユニット５のＸＹ方向の逸出移動（オーバーラン）を検出するリミットセンサ群６Ａ〜６Ｄ、アーム７、軸８を備え、制御装置内のＣＰＵ（Central Processing Unit）の駆動制御処理によりＸ軸駆動のモータ２あるいはＹ軸駆動のモータ２を制御している。
【０００４】そして各モータ２の駆動時はその各回転軸に連結された各カップリング９を介して接続される各プーリ４を回転させて、当該各プーリ４に巻掛される各タイミングベルト３を駆動する。各タイミングベルト３の他端側の各プーリ４を従動させ、この従動する各プーリ４の回転軸となる各軸８を、前記従動するプーリ４に連動して回転させる。すなわち、第1のモータが駆動すると、アーム７と共に吸着ユニット５がＸ軸方向に移動し、第２のモータが駆動すると吸着ユニット５をアーム７の長手方向すなわちＹ軸方向へ移動させる。吸着ユニット５のＸ方向の移動範囲はリミットセンサ６Ｃ，６Ｄにより制限され、Ｙ方向の移動範囲はリミットセンサ６Ａ，６Ｂにより制限される。吸着ユニット５が各移動範囲の各制限位置を超えると、各リミットセンサ６Ａ〜６Ｄは位置検出信号を制御装置のＣＰＵに出力して、ＣＰＵにおける各モータ２の駆動を停止させ、暴走を防ぐ。
【０００５】制御装置内の記憶装置は、供給トレー上の各デバイス位置から供給キャリア３００Ａまでや、収容キャリア３００Ｂから収容トレー上の各デバイス収容位置までの各目的移動量を予め設定したデバイス搬送位置マップを記憶している。デバイス搬送位置マップには、例えば、図５（Ｂ）に示すように、各キャリア３００Ａ，３００Ｂのデバイスが載置される位置の原点座標や、その原点座標へ到達するまでの吸着ユニット５の目的移動量が設定されており、ＣＰＵはこのデバイス搬送位置マップに予め設定されている目的移動量に対応する移動量だけＸ軸駆動のモータ２、Ｙ軸駆動駆動のモータ２を駆動させて、供給ハンド２０と収容ハンド３０の各駆動量を制御する。
【０００６】上述のような従来のデバイス搬送機構１００は、組立初期などに、予め設定されている目的移動量だけ各モータ２を駆動させた際に、実際のデバイス搬送位置にずれが生じることがある。このようなデバイスの搬送位置にずれが生じた場合は、従来は以下に説明するように操作者の位置あわせ作業により位置を補正していた。図６（Ａ）は、従来のデバイス搬送機構１００の位置補正に用いられる治具２００を示す図であり、図６（Ｂ）は従来のデバイス搬送機構１００の位置補正の際に表示される位置補正画面４００を示す図である。
【０００７】すなわち、従来のデバイス搬送機構１００の位置補正は、供給キャリア３００Ａ、収容キャリア３００Ｂ上に、図６（Ａ）に示すような位置補正用の治具２００をセットし、デバイス搬送機構１００の吸着ユニット５を治具２００に設けられた各位置補正用穴２００Ａの位置へ移動させるように、図６（Ｂ）に示すような位置補正画面４００において「→」「←」「↑」「↓」等のカーソル移動キーを操作することにより、吸着ユニット５の吸着部を治具２００の位置補正用穴２００Ａの中心部に入るようにＸ方向、Ｙ方向の位置を調整し、基準点からこの調整後の位置までの移動量を補正後の目的移動量として装置設定のパラメータに追加記憶し、以降は、この追加記憶された目的移動量に基づいて、デバイス搬送機構１００を駆動制御する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、例えば、経年変化によりタイミングベルト３が伸びた場合は、従来のいわゆる原点位置補正をしても遠隔の位置には誤差が累積して正しい位置にデバイスを搬送できない【０００９】本発明は、オートハンドラのデバイス搬送における搬送位置ずれを自動的に補正することによって、位置補正作業の負担を軽減し、位置ずれによるデバイス搬送ミスを防止できるオートハンドラ、その制御方法、及び記憶媒体を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような目的を達成するために、次のような特徴を備えている。なお、次に示す手段の説明中、括弧書きにより実施の形態に対応する構成を１例として例示する。実施の形態と同一の単語を使用している場合には、符号のみ記す。
【００１１】請求項１記載の発明は、タイミングベルト駆動により所定の搬送位置へデバイスを搬送する搬送手段（例えば、図１に示すデバイス搬送機構４０）を備えるオートハンドラであって、前記タイミングベルトの伸縮に応じた補正係数を算出する算出手段（例えば、図１に示すＣＰＵ１１）と、前記算出手段によって算出された補正係数に基づいて、前記搬送手段によるデバイスの搬送位置ずれを補正する補正手段（例えば、図１に示すＣＰＵ１１）と、を備えることを特徴としている。
【００１２】この請求項１記載の発明によれば、タイミングベルト駆動により所定の搬送位置へデバイスを搬送する搬送手段を備えるオートハンドラであって、算出手段によって前記タイミングベルトの伸縮に応じた補正係数を算出し、補正手段によって、算出された補正係数に基づいて、前記搬送手段のデバイスの搬送位置ずれを補正する。
【００１３】請求項５記載の発明は、タイミングベルト駆動により所定の搬送位置へデバイスを搬送する搬送手段（例えば、図１に示すデバイス搬送機構４０）を備えるオートハンドラの制御方法であって、前記タイミングベルトの伸縮に応じた補正係数を算出する算出工程（例えば、図１に示すＣＰＵ１１）と、算出された補正係数に基づいて、前記搬送手段によるデバイスの搬送位置ずれを補正する補正工程（例えば、図１に示すＣＰＵ１１）と、を含むことを特徴としている。
【００１４】この請求項５記載の発明によれば、タイミングベルト駆動により所定の搬送位置へデバイスを搬送する搬送手段を備えるオートハンドラの制御方法であって、前記タイミングベルトの伸縮に応じた補正係数を算出する算出工程と、算出された補正係数に基づいて、前記搬送手段のデバイスの搬送位置ずれを補正する補正工程と、を含む。
【００１５】請求項６記載の発明は、タイミングベルト駆動により所定の搬送位置へデバイスを搬送する搬送手段を備えるオートハンドラを制御するためのプログラムを格納した記憶媒体であって、前記タイミングベルトの伸縮に応じた補正係数を算出するためのプログラムコードと、算出された補正係数に基づいて、前記搬送手段によるデバイスの搬送位置ずれを補正するためのプログラムコードと、を含むプログラムを格納したことを特徴としている。
【００１６】この請求項６記載の発明によれば、タイミングベルト駆動により所定の搬送位置へデバイスを搬送する搬送手段を備えるオートハンドラを制御するためのプログラムを格納した記憶媒体であって、前記タイミングベルトの伸縮に応じた補正係数を算出するためのプログラムコードと、算出された補正係数に基づいて、前記搬送手段の搬送位置ずれを補正するためのプログラムコードと、を含むプログラムを格納している。
【００１７】したがって、デバイスの搬送位置ずれを補正する際に要する操作者の作業負担を軽減でき、また位置ずれの補正を容易とする。
【００１８】また、請求項２記載の発明のように、請求項１記載の発明のオートハンドラにおいて、前記算出手段は、所定のタイミングで自動的に補正係数を算出することが有効である。
【００１９】請求項２記載の発明のオートハンドラによれば、前記算出手段によって、所定のタイミングの到来によって、自動的に補正係数を算出し、前記補正手段は、この算出された補正係数に基づいてデバイスの搬送位置ずれを補正するので、デバイス搬送位置ずれによるデバイス搬送ミスを防ぐことができ、更に操作者は、デバイス搬送位置ずれを補正するタイミングを特別に意識する必要がない。
【００２０】更に請求項３記載の発明のように、請求項１記載の発明のオートハンドラにおいて、前記搬送手段の逸出移動距離の初期値（Ｂ0）を記憶する初期値記憶手段（例えば、図１に示すＲＡＭ１６）と、補正する時点での搬送手段の逸出移動距離（Ｂ1）を測定する測定手段（例えば、図１に示すエンコーダ２Ａ、ＣＰＵ１１）と、を更に備え、前記算出手段は、前記測定手段により測定された逸出移動距離を前記初期値記憶手段に記憶された逸出移動距離の初期値で除算することにより前記タイミングベルトの伸縮率を算出して、当該ベルトの伸縮率を補正係数とすることが有効である。
【００２１】この請求項３記載のオートハンドラによれば、初期値記憶手段によって搬送手段の逸出移動距離の初期値を記憶しておき、測定手段によって、補正する時点での搬送手段の逸出移動距離を測定し、算出手段によって、この測定された逸出移動距離を前記初期値記憶手段に記憶された逸出移動距離の初期値で除算することによりタイミングベルトの伸縮率を算出して、当該タイミングベルトの伸縮率を補正係数とする。
【００２２】したがって、測定された逸出移動距離と、予め記憶されている逸出移動距離の初期値との除算によって補正係数を求めることができるので、操作者による搬送手段の位置調整等の操作を必要とせずに、補正係数を容易に算出してデバイス搬送位置ずれを補正できる。
【００２３】更に請求項４記載の発明のように、請求項１記載の発明のオートハンドラにおいて、前記タイミングベルトの伸縮率を補正係数として記憶する補正係数記憶手段（例えば、図１に示すＲＡＭ１６）を更に備え、前記補正手段は、前記算出手段によって算出された補正係数により前記補正係数記憶手段の記憶内容を更新し、当該補正係数記憶手段に更新記憶された補正係数を予め設定されている搬送手段の目的移動量（Ｃ0）に乗算して、当該目的移動量を補正することによりデバイスの搬送位置ずれを補正することが有効である。
【００２４】請求項４記載のオートハンドラによれば、補正係数記憶手段によってタイミングベルトの伸縮率を補正係数として記憶しておき、補正手段によって、算出手段によって算出された補正係数により前記補正係数記憶手段の記憶内容を更新し、当該補正係数記憶手段に更新記憶された補正係数を予め設定されている搬送手段の目的移動量に乗算して、当該目的移動量を補正することによりデバイスの搬送位置ずれを補正する。
【００２５】したがって、補正係数は位置補正する都度、新たに更新され、この補正係数によって補正後の目的移動量が算出されるので、操作者による補正係数の決定や入力作業、目的移動量の再設定等の操作を行う必要がなくなり、位置補正時の作業負担は軽減される。
【００２６】
【発明の実施の形態】以下、図を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。図１〜図４は、本発明を適用したオートハンドラの一実施の形態を示す図である。
【００２７】まず、構成を説明する。図１は、本実施の形態におけるオートハンドラのデバイス搬送機構４０の制御系の要部構成を示すブロック図である。デバイス搬送機構４０の構成は、図５（Ａ）に示すデバイス搬送機構１００の構成と同一であるので、その構成の説明及び動作の説明を省略し、図５（Ａ）に示すデバイス搬送機構１００と同一の各部は同一の符号を用いることとする。図１において、デバイス搬送機構４０に設けられる制御装置１０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）１１、駆動制御部１２、入力部１３、表示部１４、ＲＯＭ（Read Only Memory）１５、ＲＡＭ（Random Access Memory）１６、記憶装置１７、及びＩ／Ｆ（InterFace）部１８により構成されており、この制御装置１０によってデバイス搬送機構４０のモータ２、エンコーダ２Ａ、リミットセンサ群６を制御する。
【００２８】ＣＰＵ１１は、ＲＯＭ１５あるいは記憶装置１７内に格納されているシステムプログラム及び当該システムに対応する各種アプリケーションプログラムの中から指定されたアプリケーションプログラムをＲＡＭ１６内の図示しないプログラム格納領域に展開し、入力部１３から入力される各種指示あるいはデータをＲＡＭ１６内に一時的に格納し、この入力指示及び入力データに応じてＲＯＭ１５あるいは記憶装置１７内に格納されたアプリケーションプログラムに従って各種処理を実行し、その処理結果をＲＡＭ１６内に格納するとともに、表示部１４に表示する。そして、ＲＡＭ１６に格納した処理結果を入力部１３から入力指示される記憶装置１７内の保存先に保存する。
【００２９】また、ＣＰＵ１１は、ロットスタート毎や所定時間経過毎等の所定のタイミングの到来を監視しており、この所定のタイミングが到来するとＲＯＭ１５または記憶装置１７に記憶されている自動補正処理プログラムにしたがって、後述する自動補正処理（図４参照）を実行し、デバイス搬送機構４０を位置補正する。自動補正処理において、ＣＰＵ１１は、デバイス搬送機構４０の基準点からオーバーランまでの距離であるオーバーラン距離Ｂ1を測定し、また、ＲＡＭ１６に記憶されているオーバーラン距離の初期値Ｂ0を読み出して、前記オーバーラン距離Ｂ1を前記オーバーラン距離の初期値Ｂ0で除算することにより、タイミングベルト３の伸縮率であるベルト伸縮率Ｄを算出する。そして、この算出したベルト伸縮率Ｄの値を新しい補正係数として、ＲＡＭ１６の補正係数メモリエリアに更新記憶し、所定の目的移動量Ｃ0に現在の補正係数を乗算することにより、補正後の目的移動量Ｃ1を算出する。
【００３０】駆動制御部１２は、ＣＰＵ１１から入力される各種指示信号に応じて、オートハンドラの搬送機構４０における各モータ２を駆動制御する駆動制御信号を生成して、この各モータ２を駆動制御する。
【００３１】入力部１３は、カーソル移動キー、数字入力キー及び各種機能キー等を備えたキーボード及びマウス、及びタッチパネルを含み、押下されたキーの押下信号やマウスの位置信号をＣＰＵ１１に出力する。
【００３２】表示部１４は、ＣＲＴ（Cathode Ray Tube）やＬＣＤ（Liquid Crystal Display）等により構成され、ＣＰＵ１１から入力される表示データを表示する。
【００３３】ＲＯＭ１５には、オートハンドラの制御装置１０に対応する基本プログラムや、デバイス搬送位置マップ、位置補正するタイミングなどのオートハンドラに対応する各種パラメータが予め記憶されている。デバイス搬送位置マップには、基準点からトレー上或いはキャリア上の各デバイスの搬送位置までの移動量である目的移動量Ｃ0が設定されている。位置補正するタイミングは、ロットスタート毎あるいは所定の時間経過毎等として予め設定されているか、または、操作者によりその設定が可能である。
【００３４】ＲＡＭ１６は、ＣＰＵ１１が上記各種アプリケーションプログラムを実行する際に各種データを展開するプログラム格納領域を形成するとともに、ＣＰＵ１１が上記自動補正処理を実行する際に、デバイス搬送位置マップ、補正係数、オーバーラン距離の初期値Ｂ0等、位置補正に必要な各種パラメータ等を記憶するための各種メモリ領域を形成する。前記補正係数はＣＰＵ１１によって実行される自動更新処理において、新たな補正係数（ベルト伸縮率Ｄ）が算出されると、この算出された補正係数を更新記憶する。
【００３５】記憶装置１７は、プログラムやデータ等が予め記憶されており、磁気的、光学的記録媒体、若しくは半導体メモリで構成されている。記憶装置１７は、制御装置１０に固定的に設けたもの、若しくは着脱自在に装着するものであり、この記憶装置１７には上記システムプログラム、各種アプリケーションプログラム、及び各処理プログラムで処理されたデータ等を記憶する。
【００３６】Ｉ／Ｆ１８は、オートハンドラの各駆動部に設けられたリミットセンサ群６から入力されるオートハンドラの吸着ユニット５の制限位置検出信号をＣＰＵ１１に伝達し、また、各モータ２に備えられたエンコーダ２Ａから入力されるモータ回転量に対応したパルス数をＣＰＵ１１に伝達する。
【００３７】図２は、オートハンドラの吸着ユニット５の搬送機構５０の一部構成を模式的に示す図である。吸着ユニット５の搬送機構５０は、例えば供給ハンドや収容ハンドと呼ばれ、所定の位置にデバイスを供給あるいは収容するため、デバイスを搬送するユニットである。吸着ユニット５の搬送機構５０はＸ軸方向、及びＹ軸方向の各方向にデバイスを搬送するように設けられており、モータ２、タイミングベルト３、プーリ４、吸着パッド５から構成される。
【００３８】モータ２は、例えば、吸着ユニット５の搬送機構５０を駆動するための駆動用モータ等であり、制御装置１０の駆動制御部１２によってモータ２の駆動が制御される。またモータ２は、モータ２の回転量からパルス数を生成するエンコーダ２Ａを備え、生成したパルス数がＩ／Ｆ部１８を介してＣＰＵ１１に入力されて、吸着ユニット５の搬送機構５０における吸着パッド５の移動量（距離）が計算される。
【００３９】タイミングベルト３は、モータ２の回転に連動するプーリ４Ａと従動するプーリ４Ｂとに巻掛され、モータ２の回転運動を直線運動に変換し、すべりのない確実な伝動を確保する。タイミングベルト３には、アーム（図示略）あるいは、吸着ユニット５が直結されており、タイミングベルト３の伝動により吸着ユニット５の位置が移動する。図２に示す例では、タイミングベルト３に吸着ユニット５が直結した例を示している。
【００４０】吸着ユニット５は、上述したようにタイミングベルト３に直結されるか、或いはタイミングベルト３で移動するアームに配置されており、デバイスを吸引する吸着パッド５Ａを先端に備えている。デバイスが載置された位置上に吸着ユニット５を移動させて、前記吸着パッド５Ａの中心部から空気を吸引することによりデバイスを吸着し、吸引を停止すると、デバイスを離脱できる。
【００４１】リミットセンサ群６は、オートハンドラのデバイス搬送機構４０の所定位置に固定的に設けられた各種センサであり、例えば、供給トレーからデバイスを吸着して供給キャリア上に搬送する供給ハンドの各移動制限範囲を検出する制限位置検出センサ、収容キャリア上のデバイスを吸着して収容トレーに搬送する収容ハンドの各移動制限範囲を検出する制限位置検出センサ、吸着ユニット５の基準位置となる基準点の位置を検出する基準点センサ等である。制限位置検出センサとしては、図５の手前リミットセンサ６Ａ、奥リミットセンサ６Ｂ、左リミットセンサ６Ｃ、右リミットセンサ６Ｄ等がある。吸着ユニット５が上記各センサに到達したことを検出すると、位置検出信号をＩ／Ｆ部１８を介してＣＰＵ１１に出力する。
【００４２】次に、吸着ユニット５の搬送機構５０の動作、及び位置補正時の動作を説明する。図３は、吸着ユニット５の搬送機構５０の位置補正動作を模式的に示す図であり、図４は、自動補正処理の流れを示すフローチャートである。まず、図３を参照して、吸着ユニット５の搬送機構５０の動作及び本発明に係る位置補正の概念を説明する。
【００４３】まず、通常のデバイス搬送動作時において、制御装置１０のＣＰＵ１１は、ＲＯＭ１５或いは記憶装置１７に記憶されているデバイス搬送位置マップを読み出し、基準点から所定のデバイス搬送位置までの距離である目的移動量Ｃ0を読み出すとともに、ＲＡＭ１６に記憶されている補正係数を読み出して、目的移動量Ｃ0に補正係数を乗算して、補正後の目的移動量Ｃ1を算出する。その後、ＣＰＵ１１は、駆動制御部１２に対して目的移動量Ｃ1だけ吸着ユニット５の搬送機構５０を駆動するため目的移動量データ、及び駆動制御信号を出力し、駆動制御部１２は受け取った目的移動量データに対応する回転数だけモータ２を回転させる。プーリ４Ａ，４Ｂ間に張られたタイミングベルト３は、モータ２の回転に応じて目的移動量Ｃ1だけ移動され、タイミングベルト３に結合した吸着ユニット５の位置も目的移動量Ｃ1だけ移動する。
【００４４】ロットスタート毎や所定時間経過毎等の所定タイミング到来時に行われる吸着ユニット５の搬送機構５０の位置補正動作では、まず、ＣＰＵ１１は駆動制御部１２に対して位置補正動作するための制御信号を出力し、駆動制御部１２はモータ２を駆動して吸着ユニット５を基準点からオーバーランの位置まで移動させる。オーバーランの各位置には、手前、奥、左、右の各リミットセンサ６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄが備えられており、吸着ユニット５が到達するとその位置で位置検出信号をＣＰＵ１１に対して出力する。オーバーラン位置まで移動させた際、モータ２に備えられたエンコーダ２Ａはモータ２の回転量をパルス数に変換して、そのパルス数を制御装置１０のＣＰＵ１１へＩ／Ｆ部１８を介して出力する。制御装置１０のＣＰＵ１１は、入力されたパルス数からオーバーラン距離Ｂ1を求め、当該オーバーラン距離Ｂ1をＲＡＭ１６に記憶されているオーバーラン距離の初期値Ｂ0で除算して、ベルト伸縮率Ｄを算出する。
【００４５】図３において、Ａ0は、プーリから基準点までの距離（初期値）
Ｂ0は、基準点からオーバーランまでの距離（オーバーラン距離の初期値）
Ｃ0は、基準点から任意のデバイス搬送位置までの距離（目的移動量の初期値）
Ａ1は、プーリから基準点までの距離（ベルト伸縮後）
Ｂ1は、基準点からオーバーランまでの距離（ベルト伸縮後のオーバーラン距離）
Ｃ1は、基準点から任意のデバイス搬送位置までの距離（補正後の目的移動量）
Ｘ0は、基準点の座標Ｘ1は、任意のデバイス搬送位置の座標を示している。
【００４６】ベルト伸縮率Ｄは以下の式（１）で求められる。
Ｄ＝Ｂ1／Ｂ0・・・（１）
このベルト伸縮率Ｄはタイミングベルト３が伸びた場合は、１より小さい値をとり、タイミングベルト３が縮んだ場合は、１より大きい値をとる。
【００４７】また、基準点の座標Ｘ0は、Ｘ0＝Ａ0×Ｄ・・・（２）
で求められ、任意のデバイス搬送位置の座標Ｘ1は、Ｘ1＝Ｘ0＋Ｃ0×Ｄ・・・（３）
として求めることができる。
【００４８】更に、基準点の座標Ｘ0が十分に小さければ、Ｘ0≒０・・・（４）
と考えることができるので、式（３）は、Ｘ1＝Ｃ0×Ｄ・・・（５）
となる。
【００４９】すなわち、任意のデバイス搬送位置の座標Ｘ1は、要求する移動量（目的移動量の初期値Ｂ0）にベルト伸縮率Ｄを補正係数として乗じた値となる。
【００５０】次に、図４のフローチャートを参照して、ＣＰＵ１１によって実行されるデバイス搬送機構４０の位置補正動作の流れを説明する。まず、オートハンドラの制御装置１０は、その起動時にＲＯＭ１５または記憶装置１７から自動補正処理プログラムを読み出して、ＲＡＭ１６に自動補正処理に関する各種メモリ領域を形成する。ＲＡＭ１６には、位置補正を行うタイミングの設定、補正処理に必要な各種データとして、オーバーラン距離の初期値Ｂ0、及び補正係数（ベルト伸縮率Ｄ）が記憶されている。
【００５１】ＣＰＵ１１は、設定されている位置補正を行うタイミングの到来、或いは、制御装置１０の入力部１３から入力される位置補正を行う指示が入力されると（ステップＳ１；Ｙｅｓ）、まずモータ２を駆動して、吸着ユニット５を基準点からオーバーラン位置まで移動させ、エンコーダ２Ａによって生成されるこの移動量におけるモータ２の回転数に対応するパルス数を受け取る。ＣＰＵ１１は、パルス数からオーバーラン距離Ｂ1を求める（ステップＳ２）。そして、求めたオーバーラン距離Ｂ1を、ＲＡＭ１６に記憶されているオーバーラン距離の初期値Ｂ0で除算し（ステップＳ３）、除算によって求められた値をベルト伸縮率Ｄとする。そして、ベルト伸縮率Ｄを現在の補正係数として、ＲＡＭ１６に記憶されている補正係数に代えて更新記憶する（ステップＳ４）。
【００５２】その後、ＣＰＵ１１は、デバイス搬送位置マップに設定されている各デバイス搬送位置までの目的移動量Ｃ0だけ吸着ユニット５を移動する際は、この予め設定されている目的移動量Ｃ0に常に現在の補正係数を乗算し、補正後の目的移動量Ｃ1を算出して、この目的移動量Ｃ1だけ吸着ユニット５を移動させるようにモータ２を駆動する（ステップＳ５）。
【００５３】ステップＳ１の判断において、位置補正を行うタイミングが到来しない場合には（ステップＳ１；Ｎｏ）、位置補正動作を行わず、現在ＲＡＭ１６に記憶されている補正係数を目的移動量Ｃ0に乗じて、補正後の目的移動量Ｃ1を求め、当該目的移動量Ｃ1だけモータ２を駆動して吸着ユニット５を移動させる。
【００５４】以上説明したように、本発明に係るオートハンドラによれば、制御装置１０のＣＰＵ１１によって、所定のタイミングが到来すると、自動補正処理を実行することにより、デバイス搬送機構４０の位置を補正する。すなわち、自動補正処理では、ＣＰＵ１１は基準点からオーバーランまでの距離であるオーバーラン距離Ｂ1をモータ２に備えられたエンコーダ２Ａから入力されたパルス数に基づいて測定し、このオーバーラン距離Ｂ1をＲＡＭ１６に記憶されているオーバーラン距離の初期値Ｂ0で除算して、ベルト伸縮率Ｄを求める。そして、ベルト伸縮率Ｄを補正係数として、ＲＡＭ１６に更新記憶し、目的移動量Ｃ0だけ吸着ユニット５の位置を移動させる際は、この目的移動量Ｃ0に補正係数（ベルト伸縮率Ｄ）を乗じて、補正後の目的移動量Ｃ1を算出し、この目的移動量Ｃ1だけモータ２を駆動する。
【００５５】したがって、自動的に位置補正が行われるので、位置補正に要する作業負担を低減させることができ、また位置ずれの補正が容易となる。また、ロットスタート毎や所定時間経過毎などの所定タイミングでデバイス搬送機構４０の位置ずれを自動補正するので、位置ずれによるデバイスの搬送ミスを防ぐことができ、更に操作者は、位置ずれを補正するタイミングを特別に意識する必要もなくなる。
【００５６】なお、本実施の形態の自動補正処理において、位置補正しない際も、位置補正した場合と同様に、デバイス搬送機構４０の駆動時に、補正係数（ベルト伸縮率Ｄ）を目的移動量Ｃ0に乗算して、補正係数を反映した目的移動量Ｃ1を算出するデバイスの搬送動作の例を説明したが、この例に限ることなく、位置補正した際に、各目的移動量Ｃ0に補正係数を乗算した目的移動量Ｃ1を算出して、新たな目的移動量Ｃ1を設定したデバイス搬送位置マップをＲＡＭ１６等に更新記憶し、次に位置補正するまでのデバイス搬送動作時は、このデバイス搬送位置マップに設定された目的移動量Ｃ1だけ、デバイス搬送機構４０を駆動するようにしてもよい。
【００５７】
【発明の効果】請求項１、５、及び６記載の発明によれば、デバイスの搬送位置ずれを補正する際に要する操作者の作業負担を軽減でき、また位置ずれの補正を容易とする。
【００５８】請求項２記載の発明によれば、デバイス搬送機構の位置ずれによるデバイス搬送ミスを防ぐことができ、更に操作者は、デバイス搬送機構の位置ずれを補正するタイミングを特別に意識する必要がない。
【００５９】請求項３記載の発明によれば、測定された逸出移動（オーバーラン）距離と、予め記憶されている逸出移動（オーバーラン）距離の初期値との除算によって補正係数を求めることができるので、操作者による搬送手段の位置調整等の操作を必要とせずに、補正係数を容易に算出してデバイス搬送位置ずれを補正できる。
【００６０】請求項４記載の発明によれば、補正係数は位置補正する都度、新たに更新され、この補正係数によって補正後の目的移動量が算出されるので、操作者による補正係数の決定や入力作業、目的移動量の再設定等の操作を行う必要がなくなり、デバイス搬送位置ずれの補正時の作業負担は軽減される。
【出願人】 【識別番号】０００１１７７４４
【氏名又は名称】安藤電気株式会社
【出願日】 平成１１年６月２８日（１９９９．６．２８）
【代理人】 【識別番号】１０００９００３３
【弁理士】
【氏名又は名称】荒船 博司 （外１名）
【公開番号】 特開２００１−１３２１２（Ｐ２００１−１３２１２Ａ）
【公開日】 平成１３年１月１９日（２００１．１．１９）
【出願番号】 特願平１１−１８１９８１