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【発明の名称】 コネクタ、試験装置、及び接触検査方法
【発明者】 【氏名】長島 輝彦

【氏名】村山 茂
【要約】 【課題】電気的端子の接触不良を容易に調整できる方法、及びその方法を利用できるコネクタ、信号伝達ユニット、及び試験装置を提供する。

【解決手段】凸型コネクタ５８と凹型コネクタ６０とを含む接続用の電気部品であって、凸型コネクタ５８は、第一の電気的端子７４と、ガス流入口７２と、ガス流入口７２から流入したガスを第一の電気的端子７４の位置に流出させるガス流出口７３とを備え、凹型コネクタ６０は、第二の電気的端子７６と、ガス流出口７３から第一の電気的端子７４と第二の電気的端子７６とが接触すべき位置に流出したガスを凹型コネクタ６０の外部に排出する排出口７８とを備える。
【特許請求の範囲】
【請求項１】 電気的端子と、前記電気的端子が設けられた位置にガスを流す通気経路とを備えたことを特徴とするコネクタ。
【請求項２】 前記コネクタは、凸型コネクタであり、前記通気経路は、ガス流入口と、前記ガス流入口から流入したガスを前記電気的端子の位置に流出させるガス流出口とを有することを特徴とする請求項１に記載のコネクタ。
【請求項３】 前記コネクタは、凹型コネクタであり、前記通気経路は、前記電気的端子の位置に流入したガスを前記コネクタの外部に排出する排出口を有することを特徴とする請求項１に記載のコネクタ。
【請求項４】 前記通気経路は、前記ガスを前記電気的端子の位置に流入させるガス流入口を更に有することを特徴とする請求項３に記載のコネクタ。
【請求項５】 凸型コネクタと凹型コネクタとを含む接続用の電気部品であって、前記凸型コネクタは、第一の電気的端子と、ガス流入口と、前記ガス流入口から流入したガスを前記第一の電気的端子の位置に流出させるガス流出口とを備え、前記凹型コネクタは、第二の電気的端子と、前記ガス流出口から前記第一の電気的端子と前記第二の電気的端子とが接触すべき位置に流出したガスを前記凹型コネクタの外部に排出する排出口とを備えることを特徴とする電気部品。
【請求項６】 前記凹型コネクタと前記凸型コネクタが嵌合した状態において、前記第一の電気的端子と前記第二の電気的端子とが接触した状態と、前記第一の電気的端子と前記第二の電気的端子とが接触しない状態との２つの状態を実現する着脱機構を更に備えることを特徴とする請求項５に記載の電気部品。
【請求項７】 第一のコネクタの第一の電気的端子と、第二のコネクタの第二の電気的端子との接触状態を検査する方法であって、前記第一のコネクタと前記第二のコネクタとを嵌合させる工程と、前記第一の電気的端子と前記第二の電気的端子とを物理的に接触させる工程と、前記第一の電気的端子に電気信号を印加する工程と、前記第二の電気的端子に電気信号が現れるか否かを検査する工程と、前記第二の電気的端子に電気信号が現れなかったときに、前記第一の電気的端子と前記第二の電気的端子とを離脱させる工程と、前記第一の電気的端子及び前記第二の電気的端子が接触すべき位置にガスを吹き付ける工程とを含むことを特徴とする方法。
【請求項８】 前記第一の電気的端子と前記第二の電気的端子とを離脱させる工程は、前記第一のコネクタと前記第二のコネクタとの嵌合を解かずに行われることを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項９】 半導体部品を試験するために、前記半導体部品と試験装置との間で電気信号を伝達する信号伝達ユニットであって、前記電気信号を伝達する配線パターンを有する基板と、前記配線パターンに接続された電気的端子を具備し、前記基板に固定されたコネクタとを備え、前記コネクタは、前記電気的端子の位置にガスを流すための通気経路を含むことを特徴とする信号伝達ユニット。
【請求項１０】 前記コネクタは、凸型コネクタであり、前記通気経路は、ガス流入口と、前記ガス流入口から流入したガスを前記電気的端子の位置に流出させるガス流出口とを有することを特徴とする請求項９に記載の信号伝達ユニット。
【請求項１１】 前記電気信号を伝達する第二の配線パターンを有する第二の基板と、前記第二の配線パターンに接続された第二の電気的端子を具備し、前記第二の基板に固定された凹型コネクタとを更に備え、前記凹型コネクタは、前記ガス流出口から流出したガスを前記凹型コネクタの外部に排出する排出口を有することを特徴とする請求項１０に記載の信号伝達ユニット。
【請求項１２】 前記コネクタは、凹型コネクタであり、前記通気経路は、前記電気的端子の位置に流入したガスを前記コネクタの外部に排出する排出口を有することを特徴とする請求項９に記載の信号伝達ユニット。
【請求項１３】 前記通気経路は、前記ガスを前記電気的端子の位置に流入させるガス流入口を更に有することを特徴とする請求項１２に記載の信号伝達ユニット。
【請求項１４】 前記電気的端子と前記第二の電気的端子との間の導通の有無を判定する導通判定部と、前記電気的端子と前記第二の電気的端子とを互いに押圧させ、または開放する着脱制御部と、前記ガスの流量を制御するガス制御部とを更に備えることを特徴とする請求項１１に記載の信号伝達ユニット。
【請求項１５】 前記ガスを供給するガス供給器を更に備えることを特徴とする請求項７から１４のいずれかに記載の信号伝達ユニット。
【請求項１６】 半導体部品を試験するための試験装置であって、試験のための電気信号を生成する信号生成ユニットと、前記信号生成ユニットが生成した信号を前記半導体部品に伝達し、前記半導体部品から応答信号を受け取る信号伝達ユニットと、前記半導体部品の応答信号として期待される期待値信号と前記信号伝達ユニットが受け取った前記応答信号とを比較する論理比較ユニットとを備え、前記信号伝達ユニットは、前記電気信号を伝達する配線パターンを有する基板と、前記配線パターンに接続された電気的端子、及び前記電気的端子の位置をガスが流れるための通気経路を有し、前記基板に固定されたコネクタとを備えたことを特徴とする試験装置。
【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、コネクタと、コネクタを含む接続用の電気部品と、コネクタを含む信号伝達ユニットと、信号伝達ユニットを含む試験装置と、試験装置において実施可能な検査方法とに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体技術の著しい進歩に伴い、半導体部品の多ピン化が進んでいる。半導体部品の多ピン化によって、半導体部品を搭載するソケット、信号を伝達するプリント基板同士を接続するコネクタなどの接続用の電気部品も多数の電気的端子を必要とするようになっている。
【０００３】従来は、接続用の電気部品の電気的端子と、他の接続用の電気部品または半導体デバイスの電気的端子との間の接触が不良であった場合、両者の嵌合を解いて電気的端子にガスを吹き付けることにより電気的端子に付着している埃や塵を除去していた。このとき、凹型の形状を有する接続用の電気部品においては、内部で埃や塵が飛散するだけで、外部に排出されないことがあった。また、嵌合を解いて電気的端子にガスを吹き付ける工程は手動で行われており、時間と労力が必要であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、上記の課題を解決することのできるコネクタと、そのコネクタを含む接続用の電気部品と、その電気部品を利用した信号伝達ユニットと、その信号伝達ユニットを利用した試験装置と、その試験装置において実施可能な検査方法とを提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】即ち、本発明の第一の形態におけるコネクタは、電気的端子と、電気的端子が設けられた位置にガスを流す通気経路とを備える。
【０００６】コネクタは、凸型コネクタであり、通気経路は、ガス流入口と、ガス流入口から流入したガスを電気的端子の位置に流出させるガス流出口とを有しても良い。コネクタは、凹型コネクタであり、通気経路は、電気的端子の位置に流入したガスをコネクタの外部に排出する排出口を有しても良い。通気経路は、ガスを電気的端子の位置に流入させるガス流入口を更に有しても良い。
【０００７】本発明の第一の形態における電気部品は、凸型コネクタと凹型コネクタとを含む接続用の電気部品であって、凸型コネクタは、第一の電気的端子と、ガス流入口と、ガス流入口から流入したガスを第一の電気的端子の位置に流出させるガス流出口とを備え、凹型コネクタは、第二の電気的端子と、ガス流出口から第一の電気的端子と第二の電気的端子とが接触すべき位置に流出したガスを凹型コネクタの外部に排出する排出口とを備える。
【０００８】凹型コネクタと凸型コネクタが嵌合した状態において、第一の電気的端子と第二の電気的端子とが接触した状態と、第一の電気的端子と第二の電気的端子とが接触しない状態との２つの状態を実現する着脱機構を更に備えても良い。
【０００９】本発明の第一の形態における方法は、第一のコネクタの第一の電気的端子と、第二のコネクタの第二の電気的端子との接触状態を検査する方法であって、第一のコネクタと第二のコネクタとを嵌合させる工程と、第一の電気的端子と第二の電気的端子とを物理的に接触させる工程と、第一の電気的端子に電気信号を印加する工程と、第二の電気的端子に電気信号が現れるか否かを検査する工程と、第二の電気的端子に電気信号が現れなかったときに、第一の電気的端子と第二の電気的端子とを離脱させる工程と、第一の電気的端子及び第二の電気的端子が接触すべき位置にガスを吹き付ける工程とを含む。
【００１０】第一の電気的端子と第二の電気的端子とを離脱させる工程は、第一のコネクタと第二のコネクタとの嵌合を解かずに行われても良い。
【００１１】本発明の第一の形態における信号伝達ユニットは、半導体部品を試験するために、半導体部品と試験装置との間で電気信号を伝達する信号伝達ユニットであって、電気信号を伝達する配線パターンを有する基板と、配線パターンに接続された電気的端子を具備し、基板に固定されたコネクタとを備え、コネクタは、電気的端子の位置にガスを流すための通気経路を含む。
【００１２】コネクタは、凸型コネクタであり、通気経路は、ガス流入口と、ガス流入口から流入したガスを電気的端子の位置に流出させるガス流出口とを有しても良い。電気信号を伝達する第二の配線パターンを有する第二の基板と、第二の配線パターンに接続された第二の電気的端子を具備し、第二の基板に固定された凹型コネクタとを更に備え、凹型コネクタは、ガス流出口から流出したガスを凹型コネクタの外部に排出する排出口を有しても良い。コネクタは、凹型コネクタであり、通気経路は、電気的端子の位置に流入したガスをコネクタの外部に排出する排出口を有しても良い。通気経路は、ガスを電気的端子の位置に流入させるガス流入口を更に有しても良い。電気的端子と第二の電気的端子との間の導通の有無を判定する導通判定部と、電気的端子と第二の電気的端子とを互いに押圧させ、または開放する着脱制御部と、ガスの流量を制御するガス制御部とを更に備えても良い。ガスを供給するガス供給器を更に備えても良い。
【００１３】本発明の第一の形態における試験装置は、半導体部品を試験するための試験装置であって、試験のための電気信号を生成する信号生成ユニットと、信号生成ユニットが生成した信号を半導体部品に伝達し、半導体部品から応答信号を受け取る信号伝達ユニットと、半導体部品の応答信号として期待される期待値信号と信号伝達ユニットが受け取った応答信号とを比較する論理比較ユニットとを備え、信号伝達ユニットは、電気信号を伝達する配線パターンを有する基板と、配線パターンに接続された電気的端子、及び電気的端子の位置をガスが流れるための通気経路を有し、基板に固定されたコネクタとを備える。
【００１４】なお上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションも又発明となりうる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態はクレームにかかる発明を限定するものではなく、又実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１６】（実施形態１）図１は、本発明の第一の実施形態に係る試験装置の構成を示す。本実施形態に係る試験装置は、信号生成ユニット１０、論理比較部２０、及び信号伝達ユニット３０を備える。信号生成ユニット１０は、タイミング発生器１２、パターン発生器１４、及び波形成形器１６を備える。信号伝達ユニット３０は、中継ユニット３２、マウンタユニット３４、導通判定部３６、着脱制御部３８、ガス制御部４０、リレー弁４２、及びガス供給器の一例としてのエアーコンプレッサー４４を備える。ここで、信号伝達ユニットには、例えば、ＤＵＴボード、ソケットボード、テストボード、ロードボード、パフォーマンスボード、フィクスチャボード、マザーボード、ＨＩＦＩＸなどが含まれる。もちろん、上記のボードに限定されるものではなく、被試験部品５０と試験装置本体１００との間で信号を伝達する部材であれば何であってもよい。本実施形態においては、導通判定部３６、着脱制御部３８、ガス制御部４０、リレー弁４２、及びエアーコンプレッサー４４は、信号伝達ユニット３０の内部にあったが、これらのうちの少なくとも一つが試験装置本体１００の内部にある構成であってもよい。これは、以降の実施形態においても同様である。
【００１７】タイミング発生器１２は、試験のタイミングを取るためのクロック信号を波形成形器１６及び論理比較部２０に伝達する。パターン発生器１４は、試験のための入力信号を生成し、波形成形器１６に伝達する。パターン発生器１４は、入力信号に対して被試験部品が応答すると期待される期待値信号を論理比較部２０に伝達する。波形成形器１６は、パターン発生器１４から伝達された入力信号を、タイミング発生器１２から伝達されたクロック信号に基づいて成形し、中継ユニット３２に伝達する。論理比較部２０は、タイミング発生器１２から伝達されたクロック信号に基づいてタイミングを取りながら、パターン発生器１４から伝達された期待値信号と、中継ユニット３２から伝達された被試験部品５０の応答信号とを比較する。論理比較部２０の判定結果によって、被試験部品５０が期待された特性を有しているかどうかを判断できる。
【００１８】中継ユニット３２は、マウンタユニット３４と試験装置本体１００との間で電気信号を伝達する。マウンタユニット３４は、被試験部品５０を接続し、被試験部品５０との間で電気信号を伝達する。
【００１９】導通判定部３６は、中継ユニット３２の電気的端子とマウンタユニット３４の電気的端子との間に導通があるか否かを判定し、判定結果を着脱制御部３８及びガス制御部４０に伝達する。着脱制御部３８は、中継ユニット３２のコネクタの電気的端子とマウンタユニット３４のコネクタの電気的端子とを互いに押圧し、または開放する。互いに押圧することで、接触している状態が実現し、開放することで、接触していない状態が実現する。本明細書中では、接触している状態を実現することを「接触させる」、接触していない状態を実現することを「離脱させる」という。エアーコンプレッサー４４は、マウンタユニット３４にガスを供給する。リレー弁４２は、エアーコンプレッサー４４からマウンタユニット３４へのガスの流量を調整する。ガス制御部４０は、リレー弁４２の動作を制御する。
【００２０】図２は、中継ユニット３２及びマウンタユニット３４の詳細な構成を示す。マウンタユニット３４は、被試験部品接続部５２、基板５４、固定部５６、及び凸型コネクタの一例としてのマウンタユニット側コネクタ５８を備える。中継ユニット３２は、凹型コネクタの一例としての中継ユニット側コネクタ６０、コネクタ台６２、及びホルダ６４を備える。
【００２１】被試験部品接続部５２は、被試験部品５０を接続して電気信号を伝達する。基板５４は、被試験部品接続部５２に電気信号を伝達する。固定部５６は、マウンタユニット３４を中継ユニット３２に対して固定する。マウンタユニット側コネクタ５８は、中継ユニット側コネクタ６０に接続して電気信号を伝達する。
【００２２】中継ユニット側コネクタ６０は、マウンタユニット側コネクタ５８に接続して電気信号を伝達する。コネクタ台６２は、中継ユニット側コネクタ６０を保持する。ホルダ６４は、コネクタ台６２及びマウンタユニット３４を保持する。
【００２３】図３は、図２に示した中継ユニット３２の斜視図である。中継ユニット側コネクタ６０の外側には、コネクタ中に設けられた回転カムを回転させるためのハンドル６６が取り付けられている。ハンドル６６の外周側には、ハンドル６６を駆動するためのガイド６８と、ガイド６８を回転させるハンドル駆動部７０が更に備えられている。マウンタユニット側コネクタ５８と中継ユニット側コネクタ６０とが嵌合した状態でハンドル駆動部７０を駆動することにより、ガイド６８及びハンドル６６が同時に動き、マウンタユニット側コネクタ５８の電気的端子と中継ユニット側コネクタ６０の電気的端子とが接触させ、または離脱させる。これによれば、マウンタユニット側コネクタ５８の電気的端子と中継ユニット側コネクタ６０の電気的端子を容易に接触させ、または離脱させることができる。ここで、嵌合するとは、コネクタ同士が全体として物理的にかみ合うことを言う。前述のように、コネクタ同士が嵌合していても、必ずしも電気的端子同士が物理的に接触しているとは限らない。ハンドル駆動部７０は、ハンドル６６の一つ一つを独立に回転させる構成であっても良い。これによれば、望みのコネクタの電気的端子同士のみを選択的に接触させ、または離脱させることができる。
【００２４】図４は、マウンタユニット側コネクタ５８及び中継ユニット側コネクタ６０の斜視図である。マウンタユニット側コネクタ５８は、ガス流入口７２、ガス流出口７３、及びマウンタユニット側電気的端子７４を有する。中継ユニット側コネクタ６０は、中継ユニット側電気的端子７６及び排出口７８を有する。
【００２５】マウンタユニット側電気的端子７４及び中継ユニット側電気的端子７６は、接触した状態において互いに電気信号を伝達する。ガス流入口７２は、エアーコンプレッサー４４から供給され、リレー弁４２を通過したガスを、マウンタユニット側コネクタ５８の内部に流入させる。ガス流出口７３は、ガス流入口７２から流入したガスを、マウンタユニット側電気的端子７４及び中継ユニット側電気的端子７６の位置に流出させる。排出口７８は、ガス流出口７３から流出したガスを中継ユニット側コネクタ６０の外部へ排出する。これによれば、マウンタユニット側コネクタ５８と中継ユニット側コネクタ６０の嵌合を解くことなく、中継ユニット側コネクタ５８の内部へガスを流入させ、流入したガスを中継ユニット側コネクタ５８の外部へ排出することができる。リレー弁４２は、コネクタ毎に設けられていても良い。これによれば、望みのコネクタのみに選択的にガスを流入させることができる。
【００２６】図５は、排出口７８の例を示す。図５Ａにおいては、中継ユニット側電気的端子７６と排出口７８は１対１に対応している。図５Ｂにおいては、中継ユニット側電気的端子７６の複数に対して排出口７８の１つが対応している。排出口７８は、ガス流出口７３から流出したガスの流れの中に、マウンタユニット側電気的端子７４及び中継ユニット側電気的端子７６が来るような位置に配置される。
【００２７】図６は、マウンタユニット側電気的端子７４と中継ユニット側電気的端子７６とが接触する様子を示す断面図である。マウンタユニット側コネクタ５８と中継ユニット側コネクタ６０とが嵌合した状態で、ハンドル駆動部７０を駆動すると、ガイド６８が回転することによってハンドル６６が回転する。ハンドル６６は、回転カム８０を回転させる。回転カム８０は、中継ユニット側電気的端子７６を押圧し、マウンタユニット側電気的端子７４に確実に接触させる。回転カム８０を元の状態に戻すと、中継ユニット側電気的端子７６は、マウンタユニット側電気的端子７４から離脱する。これによれば、マウンタユニット側コネクタ５８と中継ユニット側コネクタ６０との嵌合を解くことなしに、マウンタユニット側電気的端子７４と中継ユニット側電気的端子７６とを接触させ、または離脱させることができる。
【００２８】ガス流出口７３から流出したガス８２は、マウンタユニット側電気的端子７４及び中継ユニット側電気的端子７６の位置を通過して、排出口７８から排出される。これによれば、マウンタユニット側コネクタ５８と中継ユニット側コネクタ６０との嵌合を解くことなしに、マウンタユニット側電気的端子７４または中継ユニット側電気的端子７６に付着していた埃または塵を容易に外部に排出することができる。
【００２９】更なる有利な実施形態として、本実施形態に示した構成に加えて、エアーコンプレッサー４４とガス流入口７２との間に埃や塵を通過させないフィルターを更に備えても良い。これによれば、通気経路に付着していた埃や塵が電気的端子に付着することを防ぐことができる。また、排出口７８から排出されたガスに含まれる塵を集める集塵器を更に備えても良い。これによれば、除去された埃や塵が周囲に飛散して、再び電気的端子に付着することを防ぐことができる。
【００３０】図７は、本実施形態に係る試験装置において、マウンタユニット側電気的端子７４と中継ユニット側電気的端子７６との接触状態を検査する方法を説明する図である。まず、接触状態を検査すべき電気的端子がリストアップされる（Ｓ２）。続いて、マウンタユニット側コネクタ５８と中継ユニット側コネクタ６０とを嵌合させる（Ｓ４）。続いて、着脱制御部３８がハンドル駆動部７０を駆動する。ハンドル駆動部７０がハンドル６６を回転させることによって、回転カム８０が回転し、中継ユニット側電気的端子７６を押圧する。これにより、マウンタユニット側電気的端子７４と中継ユニット側電気的端子７６とが物理的に接触する（Ｓ６）。続いて、最初に検査する対象端子を設定する（Ｓ８）。このとき、検査は電気的端子毎に行っても良いし、コネクタ毎に行っても良いし、ユニット全体に対して行っても良い。続いて、検査対象となるマウンタユニット側電気的端子７４に電気信号を印加する（Ｓ１０）。導通判定部３６は、電気信号が印加されたマウンタユニット側電気的端子７４に対応する中継ユニット側電気的端子７６に電気信号が現れるか否かを判定する（Ｓ１２）。
【００３１】Ｓ１２で導通が無いと判定された場合はＮへ進み、着脱制御部３８がハンドル駆動部７０を駆動する。ハンドル駆動部７０がハンドル６６を回転させることによって、回転カム８０が元の状態に戻り、マウンタユニット側電気的端子７４から中継ユニット側電気的端子７６が離脱する（Ｓ１６）。続いて、ガス制御部４０がリレー弁４２を開くと、エアーコンプレッサー４４からガスがガス流入口７２に送られる。ガス流入口７２からガス流出口７３へ流入したガスは、マウンタユニット側電気的端子７４及び中継ユニット側電気的端子７６の位置を通過して、排出口７８から排出される（Ｓ１８）。このとき、マウンタユニット側電気的端子７４または中継ユニット側電気的端子７６に付着していた埃または塵は、ガスとともに排出口７８から排出される。続いて、Ｓ６と同様にしてマウンタユニット側電気的端子７４と中継ユニット側電気的端子７６とを物理的に接触させ（Ｓ２０）、再び中継ユニット側電気的端子７６に電気信号を印加して導通検査が行われる（Ｓ１０）。こうして、現在検査対象に設定されている全ての対象ピンの導通が確認されるまで、上記の手順が繰り返される。
【００３２】ここで、接触部位の離脱工程（Ｓ１６）は、導通が無いと判定された電気的端子またはコネクタのみに対して行われることが好ましい。これによれば、既に導通があると確認された電気的端子に再び埃または塵が付着することを防ぐことができる。接触部位の離脱工程（Ｓ１６）が、コネクタ毎に独立に行える構成の場合は、ガスを電気的端子に吹き付ける工程（Ｓ１８）は、全ての電気的端子に対して行われても良い。電気的端子が接触している状態でガスが吹き付けられても、接触状態に影響を与える可能性は小さいと考えられる。これによれば、リレー弁４２をコネクタ毎または電気的端子毎に設ける必要がなく、構成を簡便にすることができる。接触部位の離脱工程（Ｓ１６）が、全てのコネクタに対して同時に行われる構成の場合は、ガスを電気的端子に吹き付ける工程（Ｓ１８）は、導通が無いと判定された電気的端子またはコネクタのみに対して行われることが好ましい。これによれば、既に導通があると確認された電気的端子に再び埃または塵が付着することを防ぐことができる。
【００３３】Ｓ１２で導通があると判定された場合はＹへ進み、検査対象端子を次の電気的端子に変更する（Ｓ１４）。ここで、既に全ての電気的端子が検査されていた場合は、Ｓ２２のＹへ進み、接触状態の検査が終了する。検査対象端子がまだ残っている場合は、Ｓ２２のＮに進み、新たな検査対象となるマウンタユニット側電気的端子７４に電気信号を印加して導通検査が行われる（Ｓ１０）。
【００３４】本実施形態によれば、電気的端子の接触状態を検査して接触不良を調整する工程を、効率良く短時間で行うことができる。また、作業者の関与を最小限に抑えることができる。
【００３５】（実施形態２）図８は、本発明の第２の実施形態に係る試験装置の構成を示す。実施形態１においては、エアーコンプレッサー４４から供給されたガスはマウンタユニット３４へ流入したが、本実施形態においては、エアーコンプレッサー４４から供給されたガスは中継ユニット３２へ流入する。その他の構成及び動作は、実施形態１と同じであるから、同一符号を付して説明を省略する。
【００３６】図９は、本実施形態に係るマウンタユニット側コネクタ５８及び中継ユニット側コネクタ６０の斜視図である。マウンタユニット側コネクタ５８は、マウンタユニット側電気的端子７４を有する。中継ユニット側コネクタ６０は、中継ユニット側電気的端子７６、ガス流入口７２、及び排出口７８を有する。排出口７８は、図５に示したような位置にあっても良い。それぞれの動作は、実施形態１と同様である。
【００３７】本実施形態に係る試験装置において、マウンタユニット側電気的端子７４と中継ユニット側電気的端子７６との接触状態を検査する方法は、実施形態１と同様である。
【００３８】本実施形態によれば、ガス流入口７２及び排出口７６を中継ユニット側コネクタ６０に設けているため、汎用性のある中継ユニット３２に通気のための機構を集中することができる。すなわち、個々のマウンタユニット３４にガス流入口７２及びガス流出口７３を設ける必要がなく、低コスト化が望める。
【００３９】以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更又は改良を加えることができることが当業者に明らかである。その様な変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【００４０】
【発明の効果】上記説明から明らかなように、本発明によれば電気的端子の接触不良調整が容易な接続用の電気部品、信号伝達ユニット、及び試験装置を提供することができる。また、本発明によれば電気的端子の接触不良調整が容易な検査方法を提供することができる。
【出願人】 【識別番号】３９０００５１７５
【氏名又は名称】株式会社アドバンテスト
【出願日】 平成１１年６月３０日（１９９９．６．３０）
【代理人】 【識別番号】１００１０４１５６
【弁理士】
【氏名又は名称】龍華 明裕
【公開番号】 特開２００１−１３２１０（Ｐ２００１−１３２１０Ａ）
【公開日】 平成１３年１月１９日（２００１．１．１９）
【出願番号】 特願平１１−１８６９２４