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【発明の名称】 集積回路の故障検出方法及び故障検出装置及びその制御プログラムを記録した記憶媒体
【発明者】 【氏名】坂口 和宏
【要約】 【課題】良品集積回路無しで集積回路の故障検出を実施する。

【解決手段】従来手法選別手段1は検査対象集積回路集合2の各集積回路を従来手法で検査し良品を選別する。電源電流スペクトル測定手段3は検査対象集積回路集合2のうち従来手法選別手段1によって良品と判定された各集積回路の電源電流スペクトルを観測し記憶手段7に記録する。演算手段6は記憶手段7に記録されている前記電源電流スペクトルの平均値、標準偏差を求め、前記各集積回路の電源電流スペクトルの前記平均値からのずれを前記標準偏差で規格化した値で、各集積回路の電源電流スペクトルのずれの度合を評価し、規格値格納手段5に格納されている規格値に基づき前記各集積回路の不良検出を実施する。主制御手段4は装置全体の制御を司どる。
【特許請求の範囲】
【請求項１】 集積回路にテスト信号を印加したときに前記集積回路に流れる電源電流の周波数解析結果である電源電流スペクトルから前記集積回路の故障を検出する集積回路の故障検査方法において、同一種類の多くの集積回路を検査対象とし、統計的に解析することで少数の不良集積回路を検出する集積回路の故障検査方法において、(a) 検査対象集積回路全体を検査対象集積回路集合とし、各検査対象集積回路を検査するステップと、(b) ステップ(a)で不良判定された検査対象集積回路を前記検査対象集積回路集合から除外するステップと、(c) 検査対象集積回路集合の各集積回路の電源電流スペクトルを測定するステップと、(d) 前記電源電流スペクトルの前記検査対象集積回路集合についての平均値、標準偏差を求めるステップと、(e) 検査対象集積回路集合の各集積回路の電源電流スペクトルを前記平均値と前記標準偏差で評価し、定められた規格値を超過した場合に前記集積回路を不良と判定するステップと、(f) ステップ(e)で不良が検出された場合ステップ(g)に進み、不良が検出されない場合ステップ(h)に進むステップと、(g) 不良と判定された集積回路を検査対象集積回路集合から除外し、ステップ(d)に進むステップと、(h) 検査対象集積回路集合は良品であると判定するステップと、を含むことを特徴とする集積回路の故障検出方法。
【請求項２】 集積回路にテスト信号を印加したときに前記集積回路に流れる電源電流の周波数解析結果である電源電流スペクトルから前記集積回路の故障を検出する集積回路の故障検査方法において、同一種類の多くの集積回路を検査対象とし、統計的に解析することで少数の不良集積回路を検出する集積回路の故障検査方法において、(a) 検査対象集積回路全体を検査対象集積回路集合とし、各検査対象集積回路を検査するステップと、(b) ステップ(a)で不良判定された検査対象集積回路を前記検査対象集積回路集合から除外するステップと、(c) 検査対象集積回路集合の各集積回路の電源電流スペクトルを測定するステップと、(d) 前記電源電流スペクトルの前記検査対象集積回路集合についての平均値、標準偏差を求めるステップと、(e) 前記標準偏差の値が、定められた規格値以下かどうかを判定し、以下ならばステップ(g)に進み、そうでないならばステップ(f)に進むステップと、(f) 検査対象集積回路集合の各集積回路の電源電流スペクトルを前記平均値と前記標準偏差で評価し、最大の値を示す集積回路を前記検査対象集積回路集合から除外し、ステップ(d)に進むステップと、(g) 検査対象集積回路集合は良品であると判定するステップと、を含むことを特徴とする集積回路の故障検出方法。
【請求項３】 集積回路にテスト信号を印加したときに前記集積回路に流れる電源電流の周波数解析結果である電源電流スペクトルから前記集積回路の故障を検出する集積回路の故障検査方法において、(a) 新たな検査対象集積回路を検査するステップと、(b) 不良ならばステップ(c)に進み、良ならばステップ(d)に進むステップと、(c) 前記検査対象集積回路を不良判定し、ステップ(a)に進むステップと、(d) 前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを観測するステップと、(e) 前記検査対象集積回路を不良判定するステップと、(f) 電源電流スペクトルを測定した検査対象集積回路が予め定められたN個に達っしていなければステップ(a)に進むステップと、(g) 前記N個の電源電流スペクトルについて、各周波数毎に平均値、標準偏差を求めるステップと、(h) 前記電源電流スペクトルを前記平均値と前記標準偏差で評価し、予め定められた規格値を超えた場合、前記電源電流スペクトルを異常と判定するステップと、(i) ステップ(h)で異常と判定された場合ステップ(j)に進み、異常と判定されない場合ステップ(k)に進むステップと、(j) ステップ(h)で異常と判定された電源電流スペクトルのデータを削除しステップ(a)に進むステップと、(k) 前記平均値と前記標準偏差を以ってリファレンスとするステップと、(l) より新たな検査対象集積回路を検査するステップと、(m) ステップ(l)で前記検査対象集積回路が不良であった場合、前記検査対象集積回路を不良判定するとともに、ステップ(l)に進むステップと、(n) 前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを観測するステップと、(o) 前記電源電流スペクトルを前記リファレンスの平均値と標準偏差で評価し、規格値と比較するステップと、(p) ステップ(o)で電源電流スペクトルに異常が無ければ、前記検査対象集積回路を良品と判定し、異常があれば前記検査対象集積回路を不良と判定するステップと、(q) 未検査の検査対象集積回路が残っていたらステップ(l)に進むステップと、(r) これまでに不良と判定された検査対象集積回路を全てまだ検査が終了していない検査対象集積回路とするステップと、(s) 新たな検査対象集積回路を従来手法で検査するステップと、(t) 前記検査で不良ならば、前記検査対象集積回路を不良判定し、ステップ(s)に進むステップと、(u) 前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを観測するステップと、(v) 前記電源電流スペクトルを前記リファレンスの平均値と標準偏差で評価し、規格値と比較するステップと、(w) ステップ(v)で電源電流スペクトルに異常が無ければ、前記検査対象集積回路を良品と判定し、異常があれば前記検査対象集積回路を不良と判定するステップと、(x) 未検査の検査対象集積回路が残っていたらステップ(s)に進むステップと、を含むことを特徴とする集積回路の故障検出方法。
【請求項４】 請求項３記載の集積回路の故障検出方法において、(p) ステップ(o)で電源電流スペクトルに異常が無ければ、前記検査対象集積回路を良品と判定し、異常があれば前記検査対象集積回路を不良と判定するステップと、の代りに、ステップ(o)で電源電流スペクトルに異常が無ければ前記検査対象集積回路を良品と判定し、前記電源電流スペクトルのデータから前記リファレンスを更新し、異常があれば前記検査対象集積回路を不良と判定するステップを含むことを特徴とする集積回路の故障検査方法。
【請求項５】 請求項１記載の集積回路の故障検査方法において、(c) 検査対象集積回路集合の各集積回路の電源電流スペクトルを測定するステップの次に、前記電源電流スペクトルを規格化するステップを設けたことを特徴とする集積回路の故障検査方法。
【請求項６】 請求項２記載の集積回路の故障検査方法において、(c) 検査対象集積回路集合の各集積回路の電源電流スペクトルを測定するステップの次に、前記電源電流スペクトルを規格化するステップと、を新たに設けたことを特徴とする集積回路の故障検査方法。
【請求項７】 請求項３記載の集積回路の故障検査方法において、(d) 前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを観測するステップの次に、前記電源電流スペクトルを規格化するステップを設け、(n) 前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを観測するステップの次に、前記電源電流スペクトルを規格化するステップを設け、(u) 前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを観測するステップの次に、前記電源電流スペクトルを規格化するステップを設けたことを特徴とする集積回路の故障検査方法。
【請求項８】 請求項４記載の集積回路の故障検査方法において、(d) 前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを観測するステップの次に、前記電源電流スペクトルを規格化するステップを設け、(n) 前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを観測するステップの次に、前記電源電流スペクトルを規格化するステップを設け、(u) 前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを観測するステップの次に、前記電源電流スペクトルを規格化するステップを設けたことを特徴とする集積回路の故障検査方法。
【請求項９】 集積回路にテスト信号を印加したときに前記集積回路に流れる電源電流の周波数解析結果である電源電流スペクトルから前記集積回路の故障を検出する集積回路の故障検査装置において、同一種類の多くの集積回路を検査対象とし、統計的に解析することで参照基準としての良品データ無しで少数の不良集積回路の検出を可能とする集積回路の故障検査装置において、集積回路の故障検査方法で検査対象集積回路の検査を実施する選別手段と、前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを観測する電源電流スペクトル測定手段と、前記電源電流スペクトルや各種作業データを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された前記電源電流スペクトルから対象とする検査対象集積回路全体の電源電流スペクトルの平均値、標準偏差を求め、前記検査対象集積回路の良不良を評価する数値を求める演算手段と、前記検査対象集積回路の良不良を判定するための規格値を記憶している規格値格納手段と、前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルの前記平均値からのずれを前記標準偏差で除した値と前記規格値とから前記検査対象集積回路の良不良を判定するとともに、故障検査装置全体の制御を司どる主制御手段と、を有することを特徴とする集積回路の故障検査装置。
【請求項１０】 請求項９記載の前記主制御手段の代りに、前記標準偏差の値が前記規格値を超過した場合に、前記電源電流スペクトルの前記平均値からのずれを前記標準偏差で除した値が最大となる前記検査対象集積回路を不良と判定するとともに、故障検査装置全体の制御を司どる主制御手段を有することを特徴とする集積回路の故障検査装置。
【請求項１１】 集積回路にテスト信号を印加したときに前記集積回路に流れる電源電流の周波数解析結果である電源電流スペクトルから前記集積回路の故障を検出する集積回路の故障検査装置において、検査の対象となる集積回路である検査対象集積回路と、集積回路の故障検査方法で前記検査対象集積回路の検査を実施する選別手段と、前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを観測する電源電流スペクトル測定手段と、前記電源電流スペクトルや各種作業データを記憶する記憶手段と、検査前の前記検査対象集積回路の集合である未検査集積回路集合と、良品と判定された前記査対象集積回路の集合である良品集積回路集合と、不良品と判定された前記検査対象集積回路の集合である不良品集積回路集合と、各種演算を行なう演算手段と、検査対象集積回路の判定基準となる規格値を保持する規格値格納手段と、予め定められた個数の検査対象集積回路の電源電流スペクトルからリファレンスを作成し、このリファレンスに基づいて検査対象集積回路の電源電流スペクトルを評価することで、前記検査対象集積回路の良不良を判定すると共に、装置全体の制御を司どる主制御手段と、を有することを特徴とする集積回路の故障検査装置。
【請求項１２】 請求項１１記載の集積回路の故障検査装置において、予め定められた個数の検査対象集積回路の電源電流スペクトルからリファレンスを作成し、このリファレンスに基づいて検査対象集積回路の電源電流スペクトルを評価することで、前記検査対象集積回路の良不良を判定すると共に、装置全体の制御を司どる主制御手段の代わりに、予め定められた個数の検査対象集積回路の電源電流スペクトルからリファレンスを作成し、このリファレンスに基づいて検査対象集積回路の電源電流スペクトルを評価し前記検査対象集積回路の良不良を判定し、良品であれば前記電源電流スペクトルを基に前記リファレンスを更新すると共に、装置全体の制御を司どる主制御手段を有することを特徴とする集積回路の故障検査装置。
【請求項１３】 請求項９記載の集積回路の故障検査装置において、電源電流スペクトルを規格化し、規格化した電源電流スペクトルを新たに電源電流スペクトルとする規格化手段を有することを特徴とする集積回路の故障検査装置。
【請求項１４】 請求項１０記載の集積回路の故障検査装置において、電源電流スペクトルを規格化し、規格化した電源電流スペクトルを新たに電源電流スペクトルとする規格化手段を有することを特徴とする集積回路の故障検査装置。
【請求項１５】 請求項１１記載の集積回路の故障検査装置において、電源電流スペクトルを規格化し、規格化した電源電流スペクトルを新たに電源電流スペクトルとする規格化手段を有することを特徴とする集積回路の故障検査装置。
【請求項１６】 請求項１２記載の集積回路の故障検査装置において、電源電流スペクトルを規格化し、規格化した電源電流スペクトルを新たに電源電流スペクトルとする規格化手段を有することを特徴とする集積回路の故障検査装置。
【請求項１７】 集積回路にテスト信号を印加したときに前記集積回路に流れる電源電流の周波数解析結果である電源電流スペクトルから前記集積回路の故障を検出する集積回路の故障検査装置において、同一種類の多くの集積回路を検査対象とし、統計的に解析することで参照基準としての良品データ無しで少数の不良集積回路の検出を可能とする集積回路の故障検査装置において、機能試験やDC試験により検査対象集積回路のテストを実施するロジックテスタと、前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを観測する電源電流スペクトル測定ユニットと、前記電源電流スペクトル値や計算結果等の数値を記憶するデータメモリと、前記データメモリに記憶された前記電源電流スペクトル値から対象とする検査対象集積回路全体の電源電流スペクトルの各周波数毎の平均値、標準偏差を計算したり、前記検査対象集積回路の良不良を評価する数値を求める計算ユニットと、前記検査対象集積回路の良不良を判定するための規格値を記憶している規格値メモリと、前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルの前記平均値からのずれを前記標準偏差で除した値が前記規格値の範囲内に含まれているかどうかを調査し、前記検査対象集積回路の良不良を判定するとともに、故障検査装置全体の制御を司どるメインコントローラとを有することを特徴とする集積回路の故障検査装置。
【請求項１８】 請求項１７記載の集積回路の故障検査装置において、前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルの前記平均値からのずれを前記標準偏差で除した値が前記規格値の範囲内に含まれているかどうかを調査し、前記検査対象集積回路の良不良を判定するとともに、故障検査装置全体の制御を司どるメインコントローラ、の代りに、前記標準偏差が前記規格値を超過している場合に、前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルの前記平均値からのずれを前記標準偏差で除した値が最大となる検査対象集積回路を不良と判定し、前記標準偏差を再計算し規格値の範囲内になるまで不良集積回路を除去すると共に、故障検査装置全体の制御を司どるメインコントローラを有することを特徴とする集積回路の故障検査装置。
【請求項１９】 集積回路にテスト信号を印加したときに前記集積回路に流れる電源電流の周波数解析結果である電源電流スペクトルから前記集積回路の故障を検出する集積回路の故障検査装置において、故障検査の対象となる集積回路である検査対象集積回路と、機能試験やDC試験により前記検査対象集積回路のテストを実施するロジックテスタと、前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを観測する電源電流スペクトル測定ユニットと、前記電源電流スペクトル値や計算結果等の数値を記憶するデータメモリと、検査前の前記検査対象集積回路を収容する検査対象集積回路準備容器と、良品と判定された検査対象集積回路を収容する良品集積回路保存容器と、不良品と判定された検査対象集積回路を収容する不良品集積回路保存容器と、前記データメモリに記憶された前記電源電流スペクトル値から対象とする検査対象集積回路全体の電源電流スペクトルの各周波数毎の平均値、標準偏差を計算したり、前記検査対象集積回路の良不良を評価する数値を求める計算ユニットと、前記検査対象集積回路の良不良を判定するための規格値を記憶している規格値メモリと、予め定められた個数の検査対象集積回路の電源電流スペクトルからリファレンスを作成し、このリファレンスに基づいて検査対象集積回路の電源電流スペクトルを評価することで、前記検査対象集積回路の良不良を判定すると共に、装置全体の制御を司どるメインコントローラとを有することを特徴とする集積回路の故障検査装置。
【請求項２０】 請求項１９記載の集積回路の故障検査装置において、予め定められた個数の検査対象集積回路の電源電流スペクトルからリファレンスを作成し、このリファレンスに基づいて検査対象集積回路の電源電流スペクトルを評価することで、前記検査対象集積回路の良不良を判定すると共に、装置全体の制御を司どるメインコントローラの代りに、予め定められた個数の検査対象集積回路の電源電流スペクトルからリファレンスを作成し、このリファレンスに基づいて検査対象集積回路の電源電流スペクトルを評価し、前記検査対象集積回路が良品と判定された場合前記電源電流スペクトルデータをもって前記リファレンスを更新すると共に、装置全体の制御を司どるメインコントローラを有することを特徴とする集積回路の故障検査装置。
【請求項２１】 請求項１７記載の故障検査装置において、前記電源電流スペクトルを規格化し、規格化した電源電流スペクトルを新たに電源電流スペクトルとする規格化ユニットと、を有することを特徴とする集積回路の故障検査装置。
【請求項２２】 請求項１８記載の故障検査装置において、前記電源電流スペクトルを規格化し、規格化した電源電流スペクトルを新たに電源電流スペクトルとする規格化ユニットとを有することを特徴とする集積回路の故障検査装置。
【請求項２３】 請求項１９記載の故障検査装置において、前記電源電流スペクトルを規格化し、規格化した電源電流スペクトルを新たに電源電流スペクトルとする規格化ユニットとを有することを特徴とする集積回路の故障検査装置。
【請求項２４】 請求項２０記載の故障検査装置において、前記電源電流スペクトルを規格化し、規格化した電源電流スペクトルを新たに電源電流スペクトルとする規格化ユニットと、を有することを特徴とする集積回路の故障検査装置。
【請求項２５】 集積回路にテスト信号を印加したときに前記集積回路に流れる電源電流の周波数解析結果である電源電流スペクトルから前記集積回路の故障を検出する集積回路の故障検査方法において、同一種類の多くの集積回路を検査対象とし、統計的に解析することで少数の不良集積回路を検出する集積回路の故障検査装置を制御する制御プログラムを記録した記憶媒体において、(a) 検査対象集積回路全体を検査対象集積回路集合とし、各検査対象集積回路を選別手段で検査させるステップと、(b) ステップ(a)で不良判定された検査対象集積回路を前記検査対象集積回路集合から除外させるステップと、(c) 検査対象集積回路集合の各集積回路の電源電流スペクトルを電源電流スペクトル測定(d) 前記電源電流スペクトルの前記検査対象集積回路集合についての平均値、標準偏差を演算手段に求めさせるステップと、(e) 演算手段に対し、検査対象集積回路集合の各集積回路の電源電流スペクトルを前記平均値と前記標準偏差で評価させ、定められた規格値を超過した場合に前記集積回路を不良と判定させるステップと、(f) ステップ(e)で不良が検出された場合ステップ(g)に進み、不良が検出されない場合ステップ(h)に進むステップと、(g) 不良と判定された集積回路を検査対象集積回路集合から除外させ、ステップ(d)に進むステップと、(h) 検査対象集積回路集合は良品であると判定させるステップと、を含むことを特徴とする集積回路の故障検出装置を制御する制御プログラムを記録した記憶媒体。
【請求項２６】 集積回路にテスト信号を印加したときに前記集積回路に流れる電源電流の周波数解析結果である電源電流スペクトルから前記集積回路の故障を検出する集積回路の故障検査方法において、同一種類の多くの集積回路を検査対象とし、統計的に解析することで少数の不良集積回路を検出する集積回路の故障検査装置を制御する制御プログラムを記録した記憶媒体において、(a) 未検査集積回路集合から新たに検査対象集積回路を選び、前記検査対象集積回路を選別手段で検査させるステップと、(b) ステップ(a)で不良判定された検査対象集積回路を前記検査対象集積回路集合から除外させるステップと、(c) 検査対象集積回路集合の各集積回路の電源電流スペクトルを電源電流スペクトル測定手段に測定させるステップと、(d) 前記電源電流スペクトルの前記検査対象集積回路集合についての平均値、標準偏差を演算手段に求めさせるステップと、(e) 演算手段に対し、前記標準偏差の値が、定められた規格値以下かどうかを判定させ、以下ならばステップ(g)に進み、そうでないならばステップ(f)に進むステップと、(f) 演算手段に対し、検査対象集積回路集合の各集積回路の電源電流スペクトルを前記平均値と前記標準偏差で評価させ、最大の値を示す集積回路を前記検査対象集積回路集合から除外させ、ステップ(d)に進むステップと、(g) 検査対象集積回路集合は良品であると判定させるステップと、を含むことを特徴とする集積回路の故障検出装置を制御する制御プログラムを記録した記憶媒体。
【請求項２７】 集積回路にテスト信号を印加したときに前記集積回路に流れる電源電流の周波数解析結果である電源電流スペクトルから前記集積回路の故障を検出する集積回路の故障検査装置を制御する制御プログラムを記録した記憶媒体において、(a) 新たな検査対象集積回路を未検査集積回路集合から選び、選別手段に検査させるステップと、(b) 前記検査対象集積回路が不良ならばステップ(c)に進み、良ならばステップ(d)に進むステップと、(c) 前記検査対象集積回路を不良品集積回路集合に入れ、ステップ(a)に進むステップと、(d) 前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを電源電流スペクトル測定手段に観測させ、前記電源電流スペクトル情報を記憶手段に記憶させるステップと、(e) 前記検査対象集積回路を不良品集積回路集合に入れさせるステップと、(f) 電源電流スペクトルを測定した検査対象集積回路が予め定められたN個に達っしていなければステップ(a)に進むステップと、(g) 記憶手段の情報から前記N個の電源電流スペクトルについて、各周波数毎に平均値、標準偏差を演算手段に求めさせるステップと、(h) 演算手段に対し、前記電源電流スペクトルを前記平均値と前記標準偏差で評価させ、規格値格納手段に納められている予め定められた規格値を超えた場合、前記電源電流スペクトルを異常と判定させるステップと、(i) ステップ(h)で異常と判定された場合ステップ(j)に進み、異常と判定されない場合ステップ(k)に進むステップと、(j) 記憶手段に対し、ステップ(h)で異常と判定された電源電流スペクトルのデータを記憶手段から削除させステップ(a)に進むステップと、(k) 前記平均値と前記標準偏差を以ってリファレンスとし、記憶手段に記憶させるステップと、(l) 未検査集積回路集合から新たに検査対象集積回路を選び、選別手段に対し、検査させるステップと、(m) ステップ(l)で前記検査対象集積回路が不良であった場合、前記検査対象集積回路を不良品集積回路集合に入れさせ、ステップ(l)に進むステップと、(n) 電源電流スペクトル測定手段に、前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを観測させるステップと、(o) 演算手段に前記電源電流スペクトルを前記リファレンスの平均値と標準偏差で評価させせ、規格値と比較させるステップと、(p) ステップ(o)で電源電流スペクトルに異常が無ければ、前記検査対象集積回路を良品集積回路集合に入れ、異常があれば前記検査対象集積回路を不良品集積回路集合に入れさせるステップと、(q) 未検査集積回路集合が空でなければステップ(l)に進むステップと、(r) 不良品集積回路集合の全集積回路を未検査集積回路集合に移させるステップと、(s) 未検査集積回路集合から新たな検査対象集積回路を選択し、選別手段に対し検査させるステップと、(t) ステップ(s)で不良ならば、前記検査対象集積回路を不良品集積回路集合に入れ、ステップ(s)に進むステップと、(u) 前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを電源電流スペクトル測定手段に対し観測させるステップと、(v) 演算手段に対し前記電源電流スペクトルを前記リファレンスの平均値と標準偏差で評価させ、規格値と比較させるステップと、(w) ステップ(v)で電源電流スペクトルに異常が無ければ、前記検査対象集積回路を良品集積回路集合に入れ、異常があれば前記検査対象集積回路を不良品集積回路集合に入れさせるステップと、(x) 未検査集積回路集合が空でなければステップ(s)に進むステップと、を含むことを特徴とする集積回路の故障検出装置を制御する制御プログラムを記録した記憶媒体。
【請求項２８】 請求項２８記載の集積回路の故障検出装置を制御する制御プログラムを記録した記憶媒体において、(p) ステップ(o)で電源電流スペクトルに異常が無ければ、前記検査対象集積回路を良品集積回路集合に入れ、異常があれば前記検査対象集積回路を不良品集積回路集合に入れさせるステップとの代りに、(p) ステップ(o)で電源電流スペクトルに異常が無ければ、前記検査対象集積回路を良品集積回路集合に入れ、かつ、前記電源電流スペクトルを用いて前記リファレンスを演算手段によって更新させ、記憶手段に記憶させ、一方異常があれば前記検査対象集積回路を不良品集積回路集合に入れさせるステップを含むことを特徴とする集積回路の故障検査装置を制御する制御プログラムを記録した記憶媒体。
【請求項２９】 請求項２５記載の集積回路の故障検査装置を制御する制御プログラムを記録した記憶媒体において、(c) 検査対象集積回路集合の各集積回路の電源電流スペクトルを電源電流スペクトル測定手段に測定させるステップの次に、前記電源電流スペクトルを規格化手段に規格化させ、新たに電源電流スペクトルとするステップと、を有することを特徴とする集積回路の故障検査装置を制御する制御プログラムを記録した記憶媒体。
【請求項３０】 請求項２６記載の集積回路の故障検査装置を制御する制御プログラムを記録した記憶媒体において、(c) 検査対象集積回路集合の各集積回路の電源電流スペクトルを電源電流スペクトル測定手段に測定させるステップの次に、前記電源電流スペクトルを規格化手段に規格化させ、新たに電源電流スペクトルとするステップを有することを特徴とする集積回路の故障検査装置を制御する制御プログラムを記録した記憶媒体。
【請求項３１】 請求項２７記載の集積回路の故障検査装置を制御する制御プログラムを記録した記憶媒体において、(d) 前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを電源電流スペクトル測定手段に観測させ、前記電源電流スペクトル情報を記憶手段に記憶させるステップの代りに、前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを電源電流スペクトル測定手段に観測させ、前記電源電流スペクトル情報を規格化手段に規格化させ、新たに電源電流スペクトルとし、記憶手段に記憶させるステップを設け、(n) 電源電流スペクトル測定手段に、前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを観測させるステップの次に、前記電源電流スペクトルを規格化手段に規格化させ、新たに電源電流スペクトルとするステップ、を設け、(u) 前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを電源電流スペクトル測定手段に対し観測させるステップの次に、前記電源電流スペクトルを規格化手段に規格化させ、新たに電源電流スペクトルとするステップを設けたことを特徴とする集積回路の故障検出装置を制御する制御プログラムを記録した記憶媒体。
【請求項３２】 請求項２８記載の集積回路の故障検出装置を制御する制御プログラムを記録した記憶媒体において、(d) 前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを電源電流スペクトル測定手段に観測させ、前記電源電流スペクトル情報を記憶手段に記憶させるステップの代りに、前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを電源電流スペクトル測定手段に観測させ、前記電源電流スペクトル情報を規格化手段に規格化させ、新たに電源電流スペクトルとし、記憶手段に記憶させるステップを設け、(n) 電源電流スペクトル測定手段に、前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを観測させるステップの次に、前記電源電流スペクトルを規格化手段に規格化させ、新たに電源電流スペクトルとするステップを設け、(u) 前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを電源電流スペクトル測定手段に対し観測させるステップ、の次に、前記電源電流スペクトルを規格化手段に規格化させ、新たに電源電流スペクトルとするステップ、を設けたことを特徴とする集積回路の故障検出装置を制御する制御プログラムを記録した記憶媒体。
【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、集積回路の故障検出方法に関し、特に集積回路に流れる電源電流の周波数解析結果に基づく故障検出方法に関する。あるいは、本発明は、集積回路の故障検出装置に関し、特に集積回路に流れる電源電流の周波数解析結果に基づき故障を検出する集積回路の故障検出装置に関する。あるいは、本発明は集積回路の故障検出装置を制御する制御プログラムを記録した記憶媒体に関し、特に集積回路の電源電流の周波数解析結果に基づく故障検出装置の制御プログラムを記録した記憶媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の集積回路の故障検出方法は、集積回路の製造時における製造不良によって所望の動作を成さない集積回路を検出し、正常な集積回路のみを製造、出荷するために用いられている。
【０００３】例えば1998年電子情報通信学会ソサイエティ大会C-12-8、坂口和宏、「電源電流のパワースペクトル解析による集積回路の故障診断」には集積回路を動作させたときに集積回路に流れる電源電流を周波数解析することにより、製造不良の存在による異常電源電流を検出し、不良集積回路を検出する手法が記載されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従来技術の問題点は、検査対象である集積回路を検査するために必要となる、リファレンスとしての完全に正常な集積回路の電源電流情報を予め用意することが困難であることである。
【０００５】その理由は、電源電流情報はアナログ量であり、集積回路の製造時におけるプロセス条件に大きく影響される。そのため、完全に正常な集積回路の電源電流情報同士であっても、多少の変動がある。そのため、集積回路の故障検査をするときのリファレンスを定めることは容易なことではない。
【０００６】従って、本発明の目的は、リファレンスである完全に正常な集積回路の電源電流情報を特に準備しなくても、検査対象である集積回路自身の電源電流情報を用いて集積回路の故障検査を実施する方法、及び装置、及び制御プログラムを記録した記憶媒体を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明による集積回路の故障検出装置は、集積回路にテスト信号を印加したときに前記集積回路に流れる電源電流を周波数解析することにより得られる電源電流スペクトルから前記集積回路の故障を検出する装置において、ことさらリファレンスとして完全な良品集積回路の電源電流スペクトルを準備しなくても集積回路の検査を可能にする装置であって、全ての検査対象集積回路に対し従来の集積回路検査装置によって故障のない集積回路のみを選別する従来手法選別手段(図13の1)と、検査対象集積回路の電源電流スペクトルを測定する電源電流スペクトル観測手段(図13の3)と、前記電源電流スペクトル値を記憶する記憶手段(図13の7)と、故障集積回路を除去する判定基準である規格値を保存する規格値格納手段(図13の5)と、記憶手段に格納されている全ての検査対象集積回路の電源電流スペクトル値と前記規格値から、検査対象集積回路の良不良を判定する演算手段(図13の6)と、装置全体の制御を司どる主制御手段(図13の4)とを含む。
【０００８】本発明による集積回路の故障検出方法は、集積回路にテスト信号を印加したときに流れる電源電流を周波数解析することで得られる電源電流スペクトルに基づき集積回路の不良を検出する方法において、事前にリファレンスとして完全な良品である集積回路の電源電流スペクトルを準備しなくても集積回路の検査を可能とする方法であって、従来の集積回路故障検出方法によって集積回路を選別し(図1のステップS101)、良品と判定された全ての検査対象集積回路を検査対象集積回路集合と定め(図1のステップS102)、前記検査対象集積回路集合の各検査対象集積回路の電源電流スペクトルを測定(図1のステップS103)し、検査対象集積回路集合の電源電流スペクトル値を各周波数毎に平均値、標準偏差を求め(図1のステップS104)、各検査対象集積回路の電源電流スペクトル値の前記平均値からのずれを前記標準偏差で除した値と事前に定められた規格値とを比較し、検査対象集積回路の良不良を判定し(図1のステップS105)、不良品があった場合検査対象集積回路集合から前記不良品を除外し(図1のステップS107)、以上の操作(図1のステップS104、S105)を、新たに不良品が検出されなくなるまで繰返し実施し、最終的に検査対象集積回路集合に残った検査対象集積回路を良品と判定する(図1のステップS108)。
【０００９】本発明の集積回路の故障検出制御プログラムを記録した記憶媒体は、集積回路にテスト信号を印加したときに流れる電源電流を周波数解析することで得られる電源電流スペクトルに基づき集積回路の不良を検出する方法において、事前にリファレンスとして完全な良品である集積回路の電源電流スペクトルを準備しなくても集積回路の検査を可能とする故障検出制御プログラムを記録した記憶媒体であって、前記制御プログラムは全ての検査対象集積回路を従来手法選別手段に従来の故障検査手法によって選別させ、前記選別により良品と判定された全ての検査対象集積回路を検査対象集積回路集合と定めさせ、電源電流スペクトル測定手段に検査対象集積回路集合の各検査対象集積回路の電源電流スペクトルを求めさせ、演算手段に検査対象集積回路集合の電源電流スペクトル値の各周波数毎の平均値、標準偏差を求めさせ、各検査対象集積回路の電源電流スペクトル値の前記平均値からのずれを前記標準偏差で除した値と事前に定められた規格値とを比較し、検査対象集積回路の良不良を判定させ、不良品があった場合検査対象集積回路集合から前記不良品を除外させ、これらの操作を、新たに不良品が検出されなくなるまで繰返し実施させ、最終的に検査対象集積回路集合に残った検査対象集積回路を良品と判定させている。
【００１０】電源電流スペクトルに基づく集積回路の故障検出方法は、集積回路の製造時のプロセス条件の相違などにより事前にリファレンスとしての良品集積回路の電源電流スペクトルを得るのが困難であるという問題がある。本発明では、従来の集積回路の故障検出方法によって良品と判定された集積回路のほとんどが良品であり、従来手法で検出できなかった故障集積回路の割合は小さいことを利用し、集積回路全体の電源電流スペクトルを解析することで故障集積回路を検出している。 具体的には、従来手法により検査対象集積回路を選別し、従来の故障検出手法に基づき良品である検査対象集積回路集合を得る。この集合の大半は完全に良品であるが、少ない割合ながらも従来手法で検出できなかった不良品が含まれている。次に前記検査対象集積回路集合の各集積回路の電源電流スペクトルを観測し、平均値、標準偏差を求める。そして各集積回路の前記平均値からのずれを前記標準偏差で規格化することで、前記検査対象集積回路集合内での電源電流スペクトルのずれの大きさを定量化する。大半の完全に良品である集積回路の電源電流スペクトルは平均値近傍に分布することが期待できるのに対し、少数の故障集積回路の電源電流スペクトルは平均値からのずれが大きい。つまりこの平均値からのずれの大きいものを不良品として除外することで、完全な良品集積回路を選別する。
【００１１】
【発明の実施の形態】次に、本発明の第1の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００１２】図13は本発明の第1の実施の形態の構成を示すブロック図である。図13を参照すると、検査対象集積回路集合2は良不良を検査される対象である多数の同一種類の集積回路全体を示すものである。従来手法選別手段1は主制御手段4に接続され、主制御手段4からの指示により、検査対象集積回路集合2の各検査対象集積回路を従来の集積回路検査方法に基づき良不良を判定する。従来の検査方法としては、例えば、R.C.Dorf著、The Electrical Handbook １９９３年 pp.1808〜1816等に記載されている方法がある。
【００１３】次に、本発明の第1の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００１４】図13は本発明の第1の実施の形態の構成を示すブロック図である。図13を参照すると、検査対象集積回路集合2は良不良を検査される対象である多数の同一種類の集積回路全体を示すものである。従来手法選別手段1は主制御手段4に接続され、主制御手段4からの指示により、検査対象集積回路集合2の各検査対象集積回路を上記従来の集積回路検査方法に基づき良不良を判定する。
【００１５】検査対象集積回路集合2の全ての検査対象集積回路に関する判定結果は記憶手段7に送られ記憶される。電源電流スペクトル測定手段3は主制御手段4に接続され、主制御手段4からの指示により検査対象集積回路集合2の検査対象集積回路にテスト信号を印加し、そのときに前記検査対象集積回路に流れる電源電流を観測し、周波数解析を行う。周波数解析の結果である電源電流スペクトルは記憶手段7に送られ記憶される。
【００１６】電源電流スペクトルの観測は先に従来手法選別手段1による検査によって良と判定された全ての検査対象集積回路について実施される。演算手段6では主制御手段4からの指示により記憶手段7に記憶されている電源電流スペクトル情報と、規格値格納手段5に保存されている規格値情報に基づき、各検査対象集積回路の良不良を判定し、結果を出力する。
【００１７】図１は本発明の第1の実施の形態の動作を示すフローチャートである。検査対象集積回路集合2は良不良を判定する検査対象である同一種類の多数の集積回路の集合である。検査対象の集積回路集合をAと定義すると、この時点で集積回路Aは検査対象集積回路集合に等しい。集積回路集合Aに含まれる検査対象集積回路は従来手法選別手段1によって、機能テストや直流テストといった従来の集積回路検査手法により良不良を判定される(図1のステップS101)。前記判定結果は記憶手段7に送られ、集積回路集合Aの各検査対象集積回路の良不良を記憶するとともに、集積回路集合Aから不良判定された集積回路を除外する(図1のステップS102)。
【００１８】電源電流スペクトル測定手段3では、集積回路集合Aの各集積回路、ずなわち検査対象集積回路集合2のうちステップS101で良品判定された検査対象集積回路に対しテスト信号を印加し、そのときに検査対象集積回路に流れる電源電流を観測し、周波数解析を行なう。解析結果である電源電流スペクトルは記憶手段7に送られ記憶される(図1のステップS103)。
【００１９】演算手段6では記憶手段7に記憶されている集積回路集合Aの検査対象集積回路の電源電流スペクトルから、集積回路集合Aの検査対象集積回路の電源電流スペクトルの各周波数毎の平均値、及び標準偏差を求める(図1のステップS104)。
【００２０】さらに演算手段6ではステップS104で求めた平均値、標準偏差から、集積回路集合Aの各検査対象集積回路の電源電流スペクトルに対し、各周波数毎のスペクトル値の前記平均値からの差を前記標準偏差で除した値を求め、規格値格納手段5に保存されている規格値情報に基づき、規格値を越していた場合に前記検査対象集積回路を不良品と判定する(図1のステップS105)。
【００２１】次にステップS105において集積回路集合Aの検査対象集積回路に不良品があったかどうかを判定する(図1のステップS106)。
【００２２】ステップS106で不良品があったと判定された場合、該当する不良集積回路を集積回路集合Aから除外し、ステップS104に戻る(図1のステップS107)。
【００２３】ステップS106で不良品が無いと判定された場合、集積回路集合Aに含まれる集積回路は全て良品であると判定する(図1のステップS108)。
【００２４】なお、これら一連の動作はその制御動作を制御プログラムとして記述しておき、制御プログラムを主制御手段4で実行することで、各部の動作を制御するようにしてもよい。この場合、主制御手段4に付設されるROMやフローピーディスク等の記録媒体(不図示)に記録して実行する。
【００２５】次に本発明による第1の実施の形態の効果について説明する。
【００２６】従来の故障検出手法で集積回路の良不良を判定した場合、仮に良品であると判定された集積回路であっても、実際には何らかの不良がある可能性がある。これは、従来手法では必ずしも全ての故障を検出できるわけではなく、例えば想定される全ての故障のうち95%の故障を検出する能力があるに過ぎない。
【００２７】これは全ての故障を検出するためには膨大な時間とコストを必要とするために、現実的な値に収まるように故障検出能力が制限されているからである。また、集積回路の微細化、高速化、高集積化により、従来手法の故障モデルに合致しない故障モードが増えてきており、これらの故障を従来手法で検出することは困難である。
【００２８】このため、従来手法で検出できなかった故障が原因となって集積回路不良を引き起こすことがあり、いかに多くの故障を検出するかが重要んば課題である。しかるに、本発明による集積回路の故障検出方法、及び故障検出装置では、集積回路の故障を検出するのに電源電流情報を使用している。このため、従来の故障検出方法が主に電圧情報を利用して故障を検出しているのに対し、別の観点から故障を検出することで、従来手法では検出の困難であった故障を容易に検出可能なことがある。
【００２９】しかし、電源電流はアナログ量であり、集積回路製造時のプロセス条件等により大きく影響されるため、事前に故障のない正常な集積回路の電源電流情報を知ることは困難である。またシミュレーション等によって、テスト信号を集積回路に印加したときの電源電流を求めることは、その精度や必要となるシミュレーション時間の点からも現実的ではない。
【００３０】ところで、従来手法で集積回路の良不良を判定した場合、良品判定された集積回路は、その大部分が完全に良品であり、故障のある集積回路の割合は比較的少ないと期待される。そのため、従来手法で良品と判定された集積回路の電源電流のスペクトルの殆どがほぼ同じ値を示し、故障を内在する少数の集積回路のみが異常な電源電流スペクトルを示すと考えられる。
【００３１】そこで、従来手法により良品判定された集積回路に対し、電源電流スペクトルを観測し、その内の大多数の電源電流スペクトルとは異なる少数の電源電流スペクトルを示す集積回路を故障がある集積回路と判定することで、正常な集積回路の電源電流スペクトルを知ること無しに、故障の無い正常な集積回路を選別することが可能となる。
【００３２】本発明による第1の実施の形態では、大多数の電源電流スペクトルとは異なった異常電源電流スペクトルを示す集積回路を検出するために、全体の電源電流スペクトルの平均値からの差が大きいものを異常としている。具体的には電源電流スペクトルの各周波数におけるスペクトル値の平均値からの各集積回路のスペクトル値の差を電源電流スペクトルの標準偏差で規格化し、予め定められた規格値を越している場合に当該集積回路を異常と判定している。
【００３３】この操作を順次繰返しながら、電源電流スペクトル値の平均値、標準偏差を更新し、規格値を逸脱する電源電流スペクトル値を示す集積回路を不良と判定し除外していく。そして不良判定される集積回路が無くなった時点で残りの集積回路は全て完全に良品であると判定する。
【００３４】こうすることで、従来手法で良品判定された集積回路の中から、その大部分を占める完全な良品集積回路と、少数の不良集積回路とを選別することが可能となる。
【００３５】次に具体的な実施例を用いて本実施の形態の動作を説明する。
【００３６】図21は本発明の第1の実施の形態による1実施例の構成を示すブロック図であり、図29は動作を示すフローチャートである。
【００３７】ロジックテスタ101は検査対象集積回路集合102の各集積回路について、ファンクションテストや、DCテスト等を実施し、各集積回路の良不良を判定する(図29のステップS1101)。ファンクションテストは、集積回路が期待された機能を満足するかどうかをテストするものであり、通常集積回路の入力端子に電圧によるテスト信号を印加し、出力端子の電圧変化を観測することで試験を実施する。また、DCテストは集積回路の入出力特性が定められた特性を満足するかどうかを試験するものである。
【００３８】ロジックテスタ101による検査対象集積回路集合102の各集積回路に対する試験結果はデータメモリ107に送付され記録されると共に、試験の結果良品判定された集積回路を集積回路集合Aとして登録する(図29のステップS1102)。
【００３９】次に、電源電流スペクトル測定ユニット103は集積回路集合Aの各集積回路に対し、テスト信号を印加し、そのとき各集積回路に流れる電源電流を観測すると共に、観測した電源電流の周波数解析を行う。周波数解析結果である電源電流スペクトルはデータメモリ107に送られ記録される(図29のステップS1103)。
【００４０】集積回路集合Aの各集積回路の電源電流スペクトルは計算ユニット106において各周波数毎に電源電流スペクトル値の平均値、標準偏差を求める(図29のステップS1104)。
【００４１】その結果、集積回路集合Aの各集積回路の電源電流スペクトル値の前記平均値からのずれを前記標準偏差で除した値が、規格値メモリ105に記録されている規格値を超過している場合、該当する集積回路は不良と判定され(図29のステップS1105)、前記集積回路集合Aから除外される(図29のステップS1107)。そして、更新された集積回路集合Aに対して再度電源電流スペクトル値の平均値、標準偏差を求め、集積回路集合Aの各集積回路の電源電流スペクトルの前記平均値からのずれを前記標準偏差で規格化した値と前記規格値との比較により集積回路の良不良判定を実施する。
【００４２】この操作を不良判定とされる集積回路が無くなるまで実施し、最終的に検査対象集積回路集合Aに残った集積回路を良品と判定する(図29のステップS1108)。
【００４３】これらの操作は制御プログラムとして記述され、メインコントローラ104で実行される。
【００４４】次に本発明による第2の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００４５】図14は本発明による第2の実施の形態の構成を示すブロック図である。第1の実施の形態による構成と比較し、主制御手段4の代りに別の機能を有する主制御手段4aが設けられている。その他の構成については第1の実施の形態の構成と同じである。
【００４６】図2は本発明による第2の実施の形態の動作を示すフローチャートである。ステップS201〜S204については第1の実施の形態の動作において説明したステップS101〜S104と同じ動作であるので、ここでは説明を省略する。集積回路集合Aの各集積回路の電源電流スペクトルは、そのスペクトル値が各周波数毎に平均値、標準偏差が演算手段6によって求められている。このとき、前記標準偏差が規格値手段5に記録されている規格値より大きいかどうかを判定する。
【００４７】この判定は電源電流スペクトルの各周波数毎に実施する(図2のステップS205)。ある周波数における前記標準偏差が前記規格値より大きい場合、前記各集積回路のうち、前記周波数における電源電流スペクトル値の平均値からのずれが最大な集積回路を前記集積回路集合Aから除外しステップS204に戻る(図2のステップS206)。一方いずれの周波数においても前記標準偏差が前記規格値以下である場合、前記集積回路集合Aの集積回路は全て良品と判定する(図2のステップS207)。
【００４８】なお、これら一連の動作はその制御動作を制御プログラムとして記述しておき、制御プログラムを主制御手段4aで実行することで、各部の動作を制御するようにしてもよい。この場合、主制御手段4aに付設されるROMやフローピーディスク等の記録媒体(不図示)に制御プログラムを格納し、これを前記制御手段にロードして実行する。
【００４９】次に本発明による第2の実施の形態の効果について説明する。従来の集積回路の検査手法により良品と判定された集積回路の殆どは故障の無い完全な良品である。完全に正常な集積回路同士であれば、テスト信号を印加したときに集積回路に流れる電源電流の挙動はほぼ同一であり、電源電流スペクトルもほぼ一致する。
【００５０】電源電流スペクトルのばらつきは集積回路の製造時におけるプロセス条件の多少の変動によるものであり、予めその変動幅は予測できる。そのため、完全に正常な集積回路同士の電源電流スペクトルのばらつきもその大きさは予測できる。電源電流スペクトルのばらつきは標準偏差で表現することが可能であり、本実施の形態では完全に正常な集積回路の電源電流スペクトルのばらつきの度合を標準偏差により表し、規格値として定めている。
【００５１】このため、従来手法により良品と判定された集積回路集合Aに何らかの故障を持つ集積回路が含まれていた場合、電源電流スペクトル値の標準偏差が規格値を超える結果となる。そのため標準偏差が規格値を超えた場合、電源電流スペクトル値の平均値からのずれが最も大きな集積回路を何らかの故障があると判定し除外していくことで、最終的に完全な良品からなる集積回路集合Aが得られることとなる。
【００５２】ここで説明した以外の効果については本発明による第1の実施の形態の効果において説明したものと同様である。
【００５３】次に具体的な実施例を用いて本実施の形態の動作を説明する。
【００５４】図22は本発明の第2の実施の形態による1実施例の構成を示すブロック図であり、図30は動作を示すフローチャートである。本発明による第1の実施の形態の1実施例による構成と比較し、メインコントローラ104の代りに異なる機能を有するメインコントローラ104aが設けられている。
【００５５】メインコントローラ104aでは集積回路集合Aの電源電流スペクトル値の各周波数毎における平均値、標準偏差から、規格値メモリ105に記録されている規格値にもとづき、前記標準偏差が規格値以下かどうかを判定する(図30のステップS1205)。ある周波数において前記標準偏差が規格値以下でない場合には、前記周波数における電源電流スペクトル値の平均値からのずれが最大な値を示す集積回路を前記集積回路集合Aから除外し(図30のステップS1206)、再度、平均値、標準偏差の計算からやりなおす(図30のステップS1204)。
【００５６】一方、いずれの周波数においても標準偏差が規格値以下であった場合、前記集積回路集合Aの各集積回路は故障の無い完全に正常な集積回路として良否と判定する(図30のステップS1207)。これ以外の動作については本発明による第1の実施の形態の1実施例において説明したものと同様である。すなわち、図29のステップS1101、S1102、S1103、S1104が図30のステップS1201、S1202、S1203、S1204にそれぞれ相当する。
【００５７】以上の動作は制御プログラムとして作成しておき、メインコントローラ104aにおいて実行してもよい、この場合、制御プログラムはメインコントローラ104aに付設(不図示)のフロッピーディスクやROM等の記憶媒体に記録しておき、メインコントローラ104aのメモリにロードすることで実行してもよい。
【００５８】次に、本発明の第3の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図15は本発明による第3の実施の形態の構成を示すブロック図である。未検査集積回路集合12は検査対象である集積回路の集合であり、まだ良品不良品の判定が成されていないものである。これより1つずつ集積回路が選択され検査対象集積回路8となる。
【００５９】従来手法選別手段1は主制御手段4bに接続し、主制御手段4bの指示により検査対象集積回路8を従来の故障検査方法によりテストする。電源電流スペクトル測定手段3は主制御手段4bに接続し、主制御手段4bの指示によりテスト信号を検査対象集積回路8に印加し、そのときに検査対象集積回路8に流れる電源電流を観測し、周波数解析を実施する、周波数解析の結果得られた電源電流スペクトルは記憶手段7に送られ記憶される。
【００６０】演算手段6は主制御手段4bに接続され、主制御手段4bからの指示により記憶手段7に記憶されている検査対象集積回路8の電源電流スペクトル情報と、規格値格納手段5に保存されている規格値情報とから検査対象集積回路8の良不良判定を実施する。良品集積回路集合9は、良品と判定された検査対象集積回路8が保存され、不良品集積回路集合10は不良と判定された検査対象集積回路8が保存されている。主制御手段4bは全体の制御を司り、検査対象集積回路8の良不良判定を実施する。
【００６１】図3は本発明の第3の実施の形態の動作を示すフローチャートである。
【００６２】未検査集積回路集合12はまだ良不良を判定されていない集積回路の集合であり、検査対象集積回路8として1つずつ選択されて抜き出される。従来手法選別手段1は抜き出された検査対象集積回路8を従来の集積回路故障検出手法に基づき良不良判定する(図3のステップS301)。判定結果が不良か良かを判定し(図3のステップS302)、不良であった場合不良判定とし検査対象デバイス8を不良品集積回路集合10に入れ(図3のステップS304)、ステップS301に戻る。
【００６３】検査対象集積回路8が良品判定であった場合、電源電流スペクトル測定手段3は検査対象集積回路8にテスト信号を印加し、検査対象集積回路8に流れる電源電流を観測し、周波数解析を実施する。周波数解析の結果得られた電源電流スペクトルは記憶手段7に送られ記憶される(図3のステップS303)。検査対象集積回路8は不良品集積回路集合10に入れられる(図3のステップS305)。
【００６４】電源電流スペクトルを観測した検査対象集積回路8が予め定められた個数Nに達っしたか否かを判定し(図3のステップS306)、達っしていなければステップS301に戻る。達っしていた場合には記憶手段7に記憶されている電源電流スペクトル値を演算手段6により各周波数毎に平均値、標準偏差を求める(図3のステップS307)。 各検査対象集積回路8の電源電流スペクトルの各周波数におけるスペクトル値と前記平均値との差を前記標準偏差で除した値と、規格値情報格納手段5に保存されている規格値情報とを比較し、規格値を満足しない場合、この検査対象集積回路8を異常と判定する(図3のステップS308)。
【００６５】そして異常の有無を判定し(図3のステップS309)、異常があった場合、異常が検出された検査対象集積回路8の電源電流スペクトル情報を記憶手段7から削除し(図3のステップS311)、ステップS301に戻る。異常が検出されない場合には、電源電流スペクトルの前記平均値と前記標準偏差を以ってリファレンスとし、記憶手段7に記憶する(図3のステップS310)。
【００６６】新たな検査対象集積回路8を未検査集積回路集合12から選択し、従来手法選別手段1により良不良判定を実施する(図3のステップS312)。そして不良の有無を判定し(図3のステップS313)、不良の場合検査対象集積回路8を不良品集積回路集合10に入れ(図3のステップS314)、ステップS312に戻る。
【００６７】正常と判定された場合、電源電流スペクトル測定手段3は検査対象集積回路8にテスト信号を印加し、検査対象集積回路8に流れる電源電流を観測する。観測した電源電流は周波数解析され、電源電流スペクトルを得る(図3のステップS315)。演算手段6は、この電源電流スペクトルを記憶手段7に記憶されているリファレンスに基づいて評価する。
【００６８】評価方法はリファレンスの平均値情報と電源電流スペクトルとの差をリファレンスの標準偏差で規格化し、全ての周波数において、規格値格納手段5に保存されている規格値の範囲内か否かで評価する(図3のステップS316)。規格値の範囲内であれば正常と判定し、そうでなければ不良と判定する(図3のステップS317)。正常と判定された場合、前記検査対象集積回路8は良品集積回路集合9に入れられる(図3のステップS318)。
【００６９】一方、不良判定された場合には、前記検査対象集積回路8は不良品集積回路集合10に入れられる(図3のステップS319)。未検査集積回路集合が空でないならばステップS312に戻り、未検査集積回路集合が空であればステップS321に進む(図3のステップS320)。
【００７０】不良品判定された検査対象集積回路8は不良品集積回路集合10となっているが、これらの集積回路を再度検査対象集積回路8として検査する。すなわち、不良品集積回路集合10の要素を全て未検査集積回路集合12に移し、不良品集積回路集合10は空とする(図3のステップS321)。
【００７１】そして、未検査集積回路集合12から検査対象集積回路8を選択し、従来手法選別手段1によって従来の集積回路の故障検査手法により検査する(図3のステップS322)。その結果検査対象集積回路8が不良と判定されたならば(図3のステップS323)、検査対象集積回路8は不良品集積回路集合10に入れられる(図3のステップS324)。 一方、良品判定されたならば、電源電流スペクトル測定手段3により電源電流スペクトルを観測する(図3のステップS325)。そして記憶手段7に保存されているリファレンスを用いて評価する。評価方法は先に述べた方法と同一である(図3のステップS326)。
【００７２】その結果、検査対象集積回路8が不良と判定されたならば(図3のステップS327)、検査対象集積回路8は不良品集積回路集合10に入れられる(図3のステップS329)。 一方、正常と判定された場合には検査対象集積回路8は良品集積回路集合9に入れられる(図3のステップS328)。全ての検査対象集積回路8の検査が終了した、すなわち未検査集積回路集合12が空となれば処理を終了し、まだ検査対象集積回路8が残っていればステップS322に戻る(図3のステップS330)。
【００７３】なお、これら一連の動作はその制御動作を制御プログラムとして記述しておき、制御プログラムを主制御手段4bで実行することで、各部の動作を制御するようにしてもよい。この場合、主制御手段4bに付設されるROMやフローピーディスク等の記録媒体(不図示)に制御プログラムを格納し、これを前記制御手段にロードして実行する。
【００７４】次に本発明による第3の実施の形態の効果を説明する。従来の集積回路の故障検査手法では、検査対象集積回路の良不良を判定する規格値が予め与えられている。そのため、各検査対象集積回路ごとに観測を行ない逐次規格値と比較することで良不良判定が実施可能である。
【００７５】しかし、本発明による故障検査手法では、予め規格値とすべきリファレンスを生成することは困難であり、全ての検査対象集積回路に対し一旦観測を実施し、その結果を用いてリファレンスを生成し、このリファレンスを用いて良不良判定を実施している。
【００７６】先に説明した本発明による第1、第2の実施の形態では、検査対象である各集積回路は番号付けがされており、各検査対象集積回路と、その電源電流スペクトル情報は明確に関連付けられ記録されていた。そのため、最終的に全ての検査対象集積回路の電源電流スペクトル情報が集められた段階で良不良判定が実施され、異常がある電源電流スペクトルを検出することで、該当する検査対象集積回路を特定することができた。
【００７７】しかし、上記のような手法では、各検査対象集積回路毎に番号付けを行い、各集積回路と電源電流スペクトルを関連付ける必要があり、場合によっては不良検査手法としては問題を生じる可能性がある。
【００７８】そこで、本発明による第3の実施の形態では、リファレンスを作成するためだけに、一定の量の検査対象集積回路の電源電流スペクトル観測を実施し、リファレンスを作成している、そしてリファレンスとして必要十分な数の観測が成されたあとで、残りの検査対象集積回路をこのリファレンスに基づき良不良判定している。
【００７９】一方、リファレンス作成のために用いられた検査対象集積回路自身は良不良判定されておらず、これらの検査対象集積回路は再度前記リファレンスを用いて良不良判定することが望ましい。そこでリファレンス作成時には一旦不良と判定しておき、全ての検査対象集積回路の不良判定が終了した時点で、不良判定された検査対象集積回路を再度良不良判定する。こうすることで、正常な検査対象集積回路を全て選別可能であり、かつリファレンス作成のための労力も少なくすることができる。
【００８０】なお、上記第3の実施の形態の説明では述べなかったが、リファレンス作成のために用いられた検査対象集積回路を一旦、不良と判定せずに、例えば半不良品と判定しておき、他の真に不良な検査対象集積回路と区別しておき、最後の再度良不良判定を実施する際には、この半不良品を良不良の判定対象とすることで真に不良な検査対象集積回路を再度良不良判定する必要がなくなり、より一層の労力の削減となる。
【００８１】次に具体的な実施例を用いて本実施の形態の動作を説明する。
【００８２】図23は本発明による第3の実施の形態の1実施例の構成を示すブロック図であリ、図31、32は動作を示すフローチャートである。
【００８３】検査対象集積回路準備容器112には良品、不良品を判定される全ての集積回路が格納されており、これより集積回路を1つずつ抜き出し検査対象集積回路108にセットする。ロジックテスタ101は検査対象集積回路108に接続され、検査対象集積回路108に対して、ファンクションテスト、DCテスト等の従来手法によるテストを実施し、検査対象集積回路108の良不良を判定する(図31のステップS1301)。
【００８４】前記判定の結果検査対象集積回路108が良品と判定(図31のステップS1302)された場合は、電源電流スペクトル測定ユニット103によって前記検査対象集積回路108の電源電流スペクトルを測定する(図31のステップS1303)。
【００８５】電源電流スペクトル測定ユニット103による電源電流スペクトルの測定方法は適当なテスト信号を検査対象集積回路108に印加し、そのとき検査対象集積回路108に流れる電源電流を観測し、周波数解析を行なうことで実施する。測定した電源電流スペクトルはデータメモリ107に送られ記憶される。良品と判定された前記検査対象集積回路108は不良品集積回路保存容器110に送られ保管される(図31のステップS1305)。
【００８６】一方、前記判定の結果不良品と判定された場合(図31のステップS1302)には前記検査対象集積回路108は不良品集積回路保存容器110に送られ保管される(図31のステップS1304)。
【００８７】前記電源電流スペクトル測定ユニット103による検査対象集積回路108の測定が予め定められた数N個に達していない場合には新たに検査対象集積回路準備容器112から集積回路を1つ抜き出し検査対象集積回路108にセットする、そして同様の操作(図31のステップS1301からS1305)を繰り返す(図31のステップS1306)。
【００８８】計算ユニット106はデータメモリ107に記憶されているN個の検査対象集積回路108の電源電流スペクトル値から、各周波数ごとの電源電流スペクトル値の平均値、標準偏差を求める(図31のステップS1307)。
【００８９】規格値メモリ105には予め定められた値の規格値が格納されている。前記平均値、標準偏差から、各検査対象集積回路108の電源電流スペクトル値の平均値からのずれを標準偏差で除したものが前記規格値以下かどうかを各周波数について検査する。
【００９０】その結果、ある周波数において、ある検査対象集積回路108の電源電流スペクトル値が規格値を越している場合に、この検査対象集積回路108を異常と判定する(図31のステップS1308)。異常と判定された検査対象集積回路108があった場合、データメモリ107から前記検査対象集積回路108の電源電流スペクトル値の情報を削除し、再度検査対象集積回路準備容器112から集積回路を抜き出し検査対象集積回路108にセットしてステップS1301からの動作を実行する(図31のステップS1311)。
【００９１】一方、異常と判定された検査対象集積回路108が無い場合には前記平均値と前記標準偏差を用いてリファレンスを作成し、データメモリ107に保存する(図31のステップS1310)。次に、検査対象集積回路準備容器112から集積回路を抜き出し、検査対象集積回路108にセットする。そしてロジックテスタ101でファンクションテスト、DCテスト等の従来手法によるテストを実施する(図31のステップS1312)。
【００９２】その結果、前記検査対象集積回路108が不良と判定された場合(図31のステップS1313)には前記検査対象集積回路108を不良品集積回路保存容器110に収納する(図31のステップS1314)。一方、前記検査対象集積回路108が良品と判定された場合(図31のステップS1313)には、電源電流スペクトル測定ユニット103によって前記検査対象集積回路108の電源電流スペクトルを測定する(図31のステップS1315)。
【００９３】測定された前記電源電流スペクトル値は、データメモリ107に格納されているリファレンス情報に基づき良不良判定される(図31のステップS1316)。すなわち、電源電流スペクトル値のリファレンス情報の平均値からのずれを標準偏差で規格化した値を各周波数毎に計算ユニット106によって求め、規格値メモリ105に記録されている規格値の範囲内にあるかどうかを検査することで良不良判定を実施する。 良不良判定の結果良品と判定されたら(図31のステップS1317)前記検査対象集積回路108は良品集積回路保存容器109に送られ保管される(図31のステップS1318)。 一方、不良判定された場合(図31のステップS1317)には不良品集積回路保存容器110に送られ保管される(図31のステップS1319)。
【００９４】次に、未検査の集積回路が検査対象集積回路準備容器112に残っている場合にはステップS1312からの動作を繰り返す(図31のステップS1320)。未検査の集積回路が無い場合には、今までの過程で不良と判定された検査対象集積回路108を再度検査する。
【００９５】すなわち、不良品集積回路保存容器110に収容されている全ての集積回路を検査対象集積回路準備容器112に移して再度検査する(図32のステップS1321)。
【００９６】まず、集積回路を検査対象集積回路準備容器112から1つ抜き出し検査対象集積回路108にセットする。ロジックテスタ101を用いてファンクションテスト、DCテスト等従来手法により検査対象集積回路108を検査する(図32のステップS1322)。その結果、不良と判定された場合(図32のステップS1323)には前記検査対象集積回路108を不良品集積回路保存容器110に移し(図32のステップS1324)、ステップS1322に進む。一方良品と判定された場合(図32のステップS1323)に前記検査対象集積回路108の電源電流スペクトルを電源電流スペクトル測定ユニット193を用いて測定する(図32のステップS1325)。
【００９７】観測した電源電流スペクトルとデータメモリ107に格納されているリファレンス情報にもとづき前記検査対象集積回路108の良不良が判定される。すなわち、電源電流スペクトルの各周波数におけるスペクトル値の前記リファレンスの平均値からのずれを前記リファレンスの標準偏差で除した値と、規格値メモリ105に保存されている規格値情報とを比較し、全ての周波数において規格値の範囲内にあれば良品、そうでなければ不良品と判定する(図32のステップS1326)。
【００９８】判定の結果良品と判定された場合(図32のステップS1327)、前記検査対象集積回路108は良品集積回路保存容器109に送られる(図32のステップS1328)。一方不良判定された場合には(図32のステップS1327)検査対象集積回路108は不良品集積回路保存容器110に送られ、保管される(図32のステップS1329).最後に検査対象集積回路準備容器112に集積回路が残っているかどうか判定し(図32のステップS1330)、残っていればステップS1322の動作へ戻る。一方残っていない場合には一連の動作を終了する。
【００９９】以上の一連の動作はメインコントローラ104bにより制御され実行される。この制御動作は制御プログラムとして記述されていてもよく、この場合制御プログラムはフロッピーディスク等の記憶媒体に記録されて供給され、実行時にメインコントローラ104bにロードされて実施される。
【０１００】次に、本発明の第4の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図16は本発明による第4の実施の形態の構成を示すブロック図である。第3の実施の形態の構成と比較し、主制御手段4bの代りに別の機能を有する主制御手段4cが設けられている。その他の構成に関しては第3の実施の形態の構成と同じである。
【０１０１】図5、図6は本発明の第4の実施の形態の動作を示すフローチャートである。以下に説明する点を除いて動作は本発明による第3の実施の形態の動作と同じである。
【０１０２】検査対象集積回路8の電源電流スペクトルとリファレンスと規格値から検査対象集積回路8が良品と判定された場合、リファレンスを更新する。すなわち、前記検査対象集積回路8の電源電流スペクトル値を記憶手段7に送り記憶する。リファレンスを作成するのに用いた電源電流スペクトル情報は記憶手段7に記憶されているので、これらの情報に新たに記憶された前記電源電流スペクトル値を追加し演算手段6によって電源電流スペクトルの平均値、標準偏差を再度求める。再計算された平均値と標準偏差は新しいリファレンスとして記憶手段7において記憶される(図5のステップS420)。
【０１０３】これ以外の動作については本発明による第3の実施の形態の動作と同じである。すなわち、第3の実施の形態のステップS301、S302、S303、S304、S305、S306、S307、S308、S309、S310、S311、S312、S313、S314、S315、S316、S317、S318、S319、S320、S321、S322、S323、S324、S325、S326、S327、S328、S329、S330と第4の実施の形態のステップS401、S402、S403、S404、S405、S406、S407、S408、S409、S410、S411、S412、S413、S414、S415、S416、S417、S418、S419、S421、S422、S423、S424、S425、S426、S427、S428、S429、S430、S431はそれぞれ同一の動作を示す。
【０１０４】次に本発明による第4の実施の形態の効果を説明する。第3の実施の形態ではリファレンスを作成するためにN個の良品の検査対象集積回路の電源電流スペクトルを用いた。しかしながら、本来ならばリファレンスは検査対象集積回路全体の電源電流スペクトルを用いて作成するべきであるが、第3の実施の形態のように電源電流スペクトルの観測が逐次実行され、その時点で良不良判定を実施しなければならない場合には検査対象集積回路全体の電源電流スペクトルを用いてリファレンスを作成することは困難である。そこで、第4の実施の形態では、良品と判定された検査対象集積回路の電源電流スペクトルを用いてリファレンスを逐次更新していくことで、より理想的なリファレンスを作成することを可能としている。
【０１０５】次に具体的な実施例を用いて本実施の形態を説明する。
【０１０６】図24は本発明による第3の実施の形態の1実施例の構成を示すブロック図である。コントローラ104bの代りに別の機能を有するメインコントローラ104cが設けられている。その他の構成については第3の実施の形態の実施例における構成と同一である。
【０１０７】図33、図34は本実施例の動作を説明するフローチャートである。検査対象集積回路108が良品と判定された場合、前記検査対象集積回路108の電源電流スペクトルとデータメモリ107に格納されているリファレンス情報から計算ユニット106によってリファレンスを再計算する。再計算されたリファレンスはデータメモリ107に送られ記憶される(図33のステップS1420)。それ以外の動作については第3の実施の形態における実施例の動作と同一である。
【０１０８】すなわち、図31、図32のステップS1301、S1302、S1303、S1304、S1305、S1306、S1307、S1308、S1309、S1310、S1311、S1312、S1313、S1314、S1315、S1316、S1317、S1318、S1319、S1320、S1321、S1322、S1323、S1324、S1325、S1326、S1327、S1328、S1329、S1330と図33、図34のステップS1401、S1402、S1403、S1404、S1405、S1406、S1407、S1408、S1409、S1410、S1411、S1412、S1413、S1414、S1415、S1416、S1417、S1418、S1419、S1421、S1422、S1423、S1424、S1425、S1426、S1427、S1428、S1429、S1430、S1431はそれぞれ同一の動作を表わす。
【０１０９】次に、本発明の第5の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【０１１０】図17は本発明による第5の実施の形態の構成を示すブロック図である。第1の実施の形態の構成に対し、主制御手段4の代りに別の機能を有する主制御手段4dが設けられ、新たに規格化手段11が設けられている。規格化手段11は電源電流スペクトル測定手段3に接続され、測定した電源電流スペクトル値を規格化し、その結果を記憶手段7に送る。主制御手段4dは全体の制御を司どる。
【０１１１】図7は本発明の第5の実施の形態の動作を示すフローチャートである。電源電流スペクトル測定手段3で観測された電源電流スペクトルは規格化手段11に送られ規格化される。規格化の方法は、例えば電源電流スペクトルの各周波数におけるスペクトル値を全ての周波数について加算し合計値を求め、この合計値に対する各周波数におけるスペクトル値の割合をもって電源電流スペクトルとするものである(図7のステップS504)。
【０１１２】その他の動作については本発明による第1の実施の形態の動作と同じである。すなわち、第1の実施の形態の動作における図1のステップS101、S102、S103、S104、S105、S106、S107、S108と図7のステップS501、S502、S503、S505、S506、S507、S508、S509は同じ動作を示す。
【０１１３】次に本発明による第5の実施の形態の効果について説明する。
【０１１４】電源電流スペクトルは検査対象集積回路にテスト信号を印加したときに流れる電源電流を周波数解析することにより得られる。ところで電源電流はアナログ量であり、検査対象集積回路の製造時におけるプロセス条件によって大きく影響を受けやすい。そのため同じプロセス条件で製造しても、多少のプロセス条件の変動は不可避であり、電源電流への影響、すなわち電源電流スペクトルへの影響は避けられない。
【０１１５】本手法は、故障の存在による異常電源電流の存在を検出することにより不良検出を実施しているため、不良による電源電流スペクトルの変動と、プロセス条件の相違による電源電流スペクトルの変動を明確に識別する必要がある。
【０１１６】ところでプロセス条件の相違による電源電流スペクトルの変動は単に各周波数におけるスペクトル値の大きさが一様に変動するだけであると期待できる。つまり、全ての周波数に対するスペクトル値の合計で各周波数におけるスペクトル値を規格化手段11によって規格化することで、プロセス条件の相違による電源電流スペクトルへの影響を除去することが可能となり、より精度の高い故障検出が達成できる。
【０１１７】次に本発明による第5の実施の形態の1実施例について説明する。
【０１１８】図25は本発明による第5の実施の形態の1実施例の構成を示すブロック図である。第1の実施の形態の実施例の構成と比較して、メインコントローラ104の代りに別の機能を有するメインコントローラ104dが設けられ、新たに規格化ユニット111が設けられている。その他の構成については第1の実施の形態の実施例の構成と同一である。
【０１１９】規格化ユニット111は電源電流スペクトル測定ユニット103に接続し、電源電流スペクトル測定ユニット103で観測した電源電流スペクトルを規格化しデータメモリ107に送る。メインコントローラ104cは全体の制御を司どる。
【０１２０】次に本発明による第5の実施の形態の1実施例の動作について説明する。
【０１２１】図35は本発明による第5の実施の形態の1実施例の動作を説明するフローチャートである。電源電流スペクトル測定ユニット103で観測された電源電流スペクトルを規格化ユニット111で規格化する。規格化したデータを新たに電源電流スペクトルとし、データメモリ107に送る。規格化の方法は例えば、電源電流スペクトルが、p(1),p(2),p(3),...,p(n)と表わされているとする。ここでp(i)は周波数iにおけるスペクトル値である。スペクトル値の合計をSとする。
【０１２２】S=p(1)+p(2)+p(3)+...+p(n)p(i)をSで割ることにより、p(1)/S,p(2)/S,p(3)/S,...,p(n)/Sが得られ、これを以って新たに電源電流スペクトルとする(図35のステップS1504)。
【０１２３】以上説明した以外の動作については第1の実施の形態の実施例と同じ動作である。すなわち、図29のステップS1101、S1102、S1103、S1104、S1105、S1106、S1107、S1108と図35のステップS1501、S1502、S1503、S1505、S1506、S1507、S1508、S1509はそれぞれ同一の動作を表わしている。
【０１２４】以上の一連の動作はメインコントローラ104によって制御されている。この制御は制御プログラムとして記述されていてもよく、その場合には制御プログラムはROMやフロッピーディスク等によって供給され、メインコントローラ104dにロードされて実行される。
【０１２５】次に、本発明の第6の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図18は本発明による第6の実施の形態の構成を示すブロック図である。本発明による第2の実施の形態の構成と比較し、主制御手段4aの代りに別の機能を有する主制御手段4eが設けられ、規格化手段11が新たに設けられている。
【０１２６】図8は本発明の第6の実施の形態の動作を示すフローチャートである。図8のステップS604は図7のステップS504と同一の動作である。それ以外の動作は第2の実施の形態の動作を同じである。すなわち、図2のステップS201、S202、S203、S204、S205、S206、S207と図8のステップS601、S602、S603、S605、S606、S607、S608はそれぞれ同一の動作を表す。
【０１２７】以上の動作は主制御手段4eによって制御される。この制御は制御プログラムとして記述してもよく、その場合に制御プログラムはROMやフロッピーディスク等で供給される。そして主制御手段4eに制御プログラムをロードすることで実行する。本発明による第6の実施の形態の効果は、先に説明した本発明による第5の実施の形態の効果と同様である。
【０１２８】次に本発明による第6の実施の形態の1実施例の構成について図面を用いて説明する。
【０１２９】図26は本発明による第6の実施の形態の1実施例の構成を示すブロック図である。本発明による第2の実施の形態の実施例の構成を比較してメインコントローラ104aの代りにメインコントローラ104eが設けられ、規格化ユニット111が新たに設けられている。規格化ユニット111は電源電流スペクトル測定ユニット103に接続され、電源電流スペクトルを規格化しデータメモリ107に送る。メインコントローラ104eは全体の制御を司どる。
【０１３０】次に本発明による第6の実施の形態の1実施例の動作について図面を用いて説明する。
【０１３１】図36は本発明による第6の実施の形態の1実施例の動作を説明するフローチャートである。図36のステップS1604の動作は図35のステップS1504と同一である。他の動作は本発明による第2の実施の形態の実施例の動作と同一である。
【０１３２】すなわち、図30のステップS1201、S1202、S1203、S1204、S1205、S1206、S1207と図36のS1601、S1602、S1603、S1605、S1606、S1607、S1608はそれそれ同一の動作である。
【０１３３】以上の一連の動作はメインコントローラ104eによって制御され実行される。この制御は制御プログラムとして記述されていてもよく、その場合、ROMやフロッピーディスク等によって供給される。そしてメインコントローラ104eに制御プログラムをロードすることで一連の制御をを実行する。
【０１３４】次に、本発明の第7の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図19は本発明による第7の実施の形態の構成を示すブロック図である。本発明による第3の実施の形態の構成と比較して、主制御手段4bの代りに別の機能を有する主制御手段4fが設けられ、規格化手段11が新たに設けられている。その他の構成については第3の実施の形態と同一である。
【０１３５】規格化手段11は電源電流スペクトル測定手段3に接続し、電源電流スペクトル測定手段3において観測された電源電流スペクトルを規格化し記憶手段7に送る。主制御手段4fは全体の制御を司どる。
【０１３６】図9、図10は本発明の第7の実施の形態の動作を示すフローチャートである。図9のステップS705、S717、図10のステップS728の動作は本発明による第5の実施の形態の動作において説明した図7のステップS504と同一の動作である。これ以外の動作については本発明による第3の実施の形態の動作と同じである。
【０１３７】すなわち、図3、図4のステップS301、S302、S303、S304、S305、S306、S307、S308、S309、S310、S311、S312、S313、S314、S315、S316、S317、S318、S319、S320、S321、S322、S323、S324、S325、S326、S327、S328、S329、S330と図9、図10のS701、S702、S703、S704、S706、S707、S708、S709、S710、S711、S712、S713、S714、S715、S716、S718、S719、S720、S721、S722、S723、S724、S725、S726、S727、S729、S730、S731、S732、S733はそれぞれ同一の動作を示す。
【０１３８】以上説明した一連の動作は主制御手段4fにより制御される。この制御は制御プログラムとして記述しておいてもよく、その場合にはROMやフロッピーディスク等に記録されて提供される。そして主制御手段4fにロードすることで実行される。本発明による第7の実施の形態の効果であるが、本発明による第3の実施の形態の効果に、さらに先に説明した第5の実施の形態の効果を付加したものである。
【０１３９】次にの本発明による第7の実施の形態の1実施例を図面を参照して説明する。
【０１４０】図27は本発明による第7の実施の形態の1実施例の構成を示すブロック図である。第3の実施の形態の実施例の構成と比較し、メインコントローラ104bの代りに別の機能を有するメインコントローラ104fが設けられ、規格化ユニット111が新たに設けられている。規格化ユニット111は電源電流スペクトル測定ユニット103に接続し、観測した電源電流スペクトルを規格化してデータメモリ107に送出する。メインコントローラ104fは全体の制御を司どっている。これ以外の構成については第3の実施の形態の実施例の構成と同一である。
【０１４１】次に本発明による第7の実施の形態の1実施例の動作を図面を用いて説明する。図37、図38は本発明による第7の実施の形態の1実施例の動作を示すフローチャートである。図37のステップS1705、S1717、図38のステップS1728の動作は先に本発明による第5の実施の形態の実施例の動作で説明した図35のステップS1504と同一の動作である。
【０１４２】これ以外の動作については第3の実施の形態の実施例の動作と同じである。すなわち、図31、図32のステップS1301、S1302、S1303、S1304、S1305、S1306、S1307、S1308、S1309、S1310、S1311、S1312、S1313、S1314、S1315、S1316、S1317、S1318、S1319、S1320、S1321、S1322、S1323、S1324、S1325、S1326、S1327、S1328、S1329、S1330と図37、図38のS1701、S1702、S1703、S1704、S1706、S1707、S1708、S1709、S1710、S1711、S1712、S1713、S1714、S1715、S1716、S1718、S1719、S1720、S1721、S1722、S1723、S1724、S1725、S1726、S1727、S1729、S1730、S1731、S1732、S1733はそれぞれ同一の動作を示す。
【０１４３】以上説明した一連の動作はメインコントローラ104fにより制御される。この制御は制御プログラムとして記述しておいてもよく、その場合にはROMやフロッピーディスク等に記録されて提供される。そして制御プログラムをメインコントローラ104fにロードすることで実行される。
【０１４４】次に、本発明の第8の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【０１４５】図20は本発明による第8の実施の形態の構成を示すブロック図である。本発明による第4の実施の形態の構成と比較して、主制御手段4cの代りに別の機能を有する主制御手段4gが設けられ、規格化手段11が新たに設けられている。その他の構成については第4の実施の形態と同一である。
【０１４６】規格化手段11は電源電流スペクトル測定手段3に接続し、電源電流スペクトル測定手段3において観測された電源電流スペクトルを規格化し記憶手段7に送る。主制御手段4fは全体の制御を司どる。
【０１４７】図11、図12は本発明の第8の実施の形態の動作を示すフローチャートである。図11のステップS805、S817、図12のステップS828の動作は本発明による第5の実施の形態の動作において説明した図7のステップS504と同一の動作である。
【０１４８】これ以外の動作については本発明による第4の実施の形態の動作と同じである。すなわち、図5、図6のステップS401、S402、S403、S404、S405、S406、S407、S408、S409、S410、S411、S412、S413、S414、S415、S416、S417、S418、S419、S420、S421、S422、S423、S424、S425、S426、S427、S428、S429、S430と図11、図12のS801、S802、S803、S804、S806、S807、S808、S809、S810、S811、S812、S813、S814、S815、S816、S818、S819、S820、S821、S822、S823、S824、S825、S826、S827、S829、S830、S831、S832、S833はそれぞれ同一の動作を示す。
【０１４９】以上説明した一連の動作は主制御手段4gにより制御される。この制御は制御プログラムとして記述しておいてもよく、その場合にはROMやフロッピーディスク等に記録されて提供される。そして主制御手段4gにロードすることで実行される。本発明による第8の実施の形態の効果であるが、本発明による第4の実施の形態の効果に、さらに先に説明した第5の実施の形態の効果を付加したものである。
【０１５０】次に本発明による第8の実施の形態の1実施例を図面を参照して説明する。
【０１５１】図28は本発明による第8の実施の形態の1実施例の構成を示すブロック図である。第4の実施の形態の実施例の構成と比較し、メインコントローラ104cの代りに別の機能を有するメインコントローラ104gが設けられ、規格化ユニット111が新たに設けられている。規格化ユニット111は電源電流スペクトル測定ユニット103に接続し、観測した電源電流スペクトルを規格化してデータメモリ107に送出する。メインコントローラ104gは全体の制御を司どっている。これ以外の構成については第4の実施の形態の実施例の構成と同一である。
【０１５２】次に本発明による第8の実施の形態の1実施例の動作を図面を用いて説明する。図39、図40は本発明による第8の実施の形態の1実施例の動作を示すフローチャートである。図39のステップS1805、S1817、図40のステップS1829の動作は先に本発明による第5の実施の形態の実施例の動作で説明した図35のステップS1504と同一の動作である。
【０１５３】これ以外の動作については第4の実施の形態の実施例の動作と同じである。すなわち、図33、図34のステップS1401、S1402、S1403、S1404、S1405、S1406、S1407、S1408、S1409、S1410、S1411、S1412、S1413、S1414、S1415、S1416、S1417、S1418、S1419、S1420、S1421、S1422、S1423、S1424、S1425、S1426、S1427、S1428、S1429、S1430、S1431と図39、図40のS1801、S1802、S1803、S1804、S1806、S1807、S1808、S1809、S1810、S1811、S1812、S1813、S1814、S1815、S1816、S1818、S1819、S1820、S1821、S1822、S1823、S1824、S1825、S1826、S1827、S1828、S1830、S1831、S1832、S1833、S1834はそれぞれ同一の動作を示す。
【０１５４】以上説明した一連の動作はメインコントローラ104gにより制御される。この制御は制御プログラムとして記述しておいてもよく、その場合にはROMやフロッピーディスク等に記録されて提供される。そして制御プログラムをメインコントローラ104gにロードすることで実行される。
【０１５５】
【発明の効果】本発明による効果は、リファレンスとしての故障のない完全に良品である集積回路の電源電流スペクトルを事前に準備しなくても故障検査ができることにある。
【０１５６】その理由は、従来手法に基づき選別された集積回路の大半は完全に良品であり、不良品は少ない。これらの集積回路の電源電流スペクトルの分布を解析すると完全に良品である集積回路の電源電流スペクトルは平均値近傍に分布している。一方不良品の電源電流スペクトルは平均値からは大きくずれた分布をする。このずれの大きい電源電流スペクトルを示す集積回路を不良と判定することで、ことさらに良品のリファレンスを準備しなくても不良検出が可能である。
【出願人】 【識別番号】０００００４２３７
【氏名又は名称】日本電気株式会社
【出願日】 平成１１年６月２９日（１９９９．６．２９）
【代理人】 【識別番号】１０００８２９３５
【弁理士】
【氏名又は名称】京本 直樹 （外２名）
【公開番号】 特開２００１−１３２００（Ｐ２００１−１３２００Ａ）
【公開日】 平成１３年１月１９日（２００１．１．１９）
【出願番号】 特願平１１−１８２７２６