ガス分析装置

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【発明の名称】	ガス分析装置
【発明者】	【氏名】伊永隆史【氏名】藤山陽一【氏名】中西博昭
【要約】	【課題】経時的変化を調べるガス分析に好適なサンプリングを十分な吸収効率で行うことができるようにする。【解決手段】この発明のガス分析装置は、分析用セル１のプレート重ね合わせ面に形成された微小流路７にガス成分吸収用液体を流すと共に多孔質ガラス製のプレートに分析対象のガス成分を含む気体を吹き付け、多孔質ガラス製のプレートを透過する多量のガス成分をガス成分吸収用液体が連続的に捕集する。ガス成分捕集済サンプル液を逐次にガス分析することによりガス成分の経時的変化を容易に調べられるのに加え、多孔質ガラス製のプレートへ分析対象ガス成分含有の気体を吹き付けることにより、ガス成分の透過量が増え、サンプリング時の吸収効率が上がる。

【特許請求の範囲】
【請求項１】重ね合わせられたプレートの重ね合わせ面に液体導入口から流入するガス成分吸収用液体を液体導出口へ向けて流す微小流路が形成されているとともに、この微小流路におけるガス成分吸収区間で重ね合わせられたプレートの少なくとも一方が、ガス成分吸収用液体は透過させずに吸収対象のガス成分は透過させる多孔質ガラスで形成されている分析用セルと、この分析用セルにおける多孔質ガラスからなるプレートに分析対象のガス成分を含む気体を吹きつける気体吹き付け手段と、分析用セルの微小流路にガス成分吸収用液体を供給する液体供給手段と、ガス成分吸収済（捕集済）の液体に反応用薬液を供給添加する薬液供給手段と、ガス成分吸収・反応済の液体についてガス成分の分析を行うガス分析手段とを備えていることを特徴とするガス分析装置。
【請求項２】請求項１に記載のガス分析装置において、前記分析用セルは、微小流路がガス成分吸収区間の後段にガス成分吸収済の液体と反応用薬液の反応が行われる反応用区間を有するとともに、ガス成分吸収区間と反応用区間との間で微小流路に接続されるように反応用薬液導入用流路が設けられており、かつ薬液供給手段は反応用薬液導入用流路から反応用薬液を微小流路に供給するよう構成されているガス分析装置。
【請求項３】請求項２に記載のガス分析装置において、前記分析用セルは、微小流路が反応用区間の後段に分析対象のガス成分の分析を行うガス分析用区間を有しているとともに、ガス分析手段は微小流路のガス分析用区間に到来するガス成分吸収・反応済の液体についてガス成分の分析を逐次行うよう構成されているガス分析装置。

【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、分析対象のガス成分をガス成分吸収用液体に吸収（捕集）してガス成分を分析するよう構成されたガス分析装置に係り、特に分析対象のガス成分の経時的変化を調べる分析に適したガスサンプリングが十分な吸収効率（捕集効率）で行われるようにするための技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、地球環境の汚染が様々な方面で進みつつある。大気汚染も深刻な環境問題の一つである。大気汚染問題に取り組むには大気中に微量に含まれる汚染物質であるガス成分（例えばＮＯ₂，ＳＯ₂など）の分析が不可欠である。例えば、ＮＯ₂の分析の場合、パッシブサンプラーを用いて大気中のＮＯ₂をサンプリング（捕集）して濃度を測定する。従来使われているＮＯ₂捕集用のパッシブサンプラーは、図８に示すように、縦スペーサ５２及び横スペーサ５３を表面に取り付けたプラスチックプレート５１の上にトリエタノールアミンを含浸させた濾紙５４、多孔質ガラス５５をその順に重ねてセットしてから、多孔質ガラス５５の周縁をフッ化樹脂製のテープ５６を貼って封止した構成になっている。
【０００３】ＮＯ₂を捕集する際はパッシブサンプラーを空気中に所定時間（例えば半日）放置（暴露）しておく。そうすると空気中のＮＯ₂がフィルタである多孔質ガラス５５を透過して濾紙５４に吸着捕集される。このパッシブサンプラーは軽量・小型で操作も簡単なことから、ＮＯ₂を容易にサンプリングすることができる。ＮＯ₂捕集済のパッシブサンプラーはラボラトリーへ持ち帰られた後、溶出・反応など必要な後処理を経てＮＯ₂濃度を測定することになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従来のパッシブサンプラーは経時的変化を調べるガス分析には不向きであるという問題がある。分析結果はパッシブサンプラーの放置時間中に集積したガス成分のトータル値に対応しているだけであり、放置期間の平均値が分かるだけであって、時々刻々の瞬時的な値が分かるわけではないからである。つまり、パッシブサンプラーは、積分型ガスサンプリング方式であって、分析結果から時間的な変化を把握することは事実上できないので、ガス成分の動態解析などは難しくて、十分なものはと言いがたいのである。
【０００５】そこで、分析対象のガス成分の経時的変化を調べる分析に適したガスサンプリンが可能なガス分析用のセルが、特願平１０－３２９６３５号および特願平１１－２５１５０号において提案されている。
【０００６】すなわち、これらのセルでは、多孔質ガラス製プレートと非多孔質ガラス製プレートの２枚のプレートが重ね合わせられていて、両プレートの重ね合わせ面に液体導入口から流入するガス成分吸収用液体を液体導出口へ向けて流す細溝が形成されていて、細溝を流れるガス成分吸収用液体が、多孔質ガラス製のプレートを透過してくるガス成分と接触して吸収した上でガス成分吸収済（捕集済）サンプル液として液体導出口の方へ流れてゆく構成となっており、ガス成分の濃度の経時的変化に対応するガス成分吸収済サンプル液が連続的に得られるので、分析対象であるガス成分の経時的変化を調べる分析に好適なガスサンプリンが行える。
【０００７】しかし、先に提案されているガス分析用のセルの場合、ガス成分の吸収効率の向上が望まれる。提案に係るセルでは、ガス成分吸収用液体がガス成分と接触する機会は多孔質ガラス製のプレートのある箇所を流れている期間だけであるので、ガス成分吸収用液体とガス成分との接触の機会が少なく、ガス成分吸収用液体はガス成分を十分吸収するには至らないからである。ガス成分の吸収効率が十分でない場合、例えば高感度分析や高速分析が難しいこと等から、ガス成分の吸収効率の向上が強く求められる。
【０００８】この発明は、上記の事情に鑑み、分析対象のガス成分の経時的変化を調べる分析に適したガスサンプリングを十分な吸収効率（捕集効率）で行うことができるガス分析装置を提供することを課題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するために、請求項１の発明に係るガス分析装置は、重ね合わせられたプレートの重ね合わせ面に液体導入口から流入するガス成分吸収用液体を液体導出口へ向けて流す微小流路が形成されているとともに、この微小流路におけるガス成分吸収区間で重ね合わせられたプレートの少なくとも一方が、ガス成分吸収用液体は透過させずに吸収対象のガス成分は透過させる多孔質ガラスで形成されている分析用セルと、この分析用セルにおける多孔質ガラスからなるプレートに分析対象のガス成分を含む気体を吹きつける気体吹き付け手段と、分析用セルの微小流路にガス成分吸収用液体を供給する液体供給手段と、ガス成分吸収済（捕集済）の液体に反応用薬液を供給添加する薬液供給手段と、ガス成分吸収・反応済の液体についてガス成分の分析を行うガス分析手段とを備えている。
【００１０】また、請求項２の発明は、請求項１に記載のガス分析装置において、分析用セルは、微小流路がガス成分吸収区間の後段にガス成分吸収済の液体と反応用薬液の反応が行われる反応用区間を有するとともに、ガス成分吸収区間と反応用区間との間で微小流路に接続されるように反応用薬液導入用流路が設けられており、かつ薬液供給手段は反応用薬液導入用流路から反応用薬液を微小流路に供給するよう構成されている。
【００１１】また、請求項３の発明は、請求項２に記載のガス分析装置において、分析用セルは、微小流路が反応用区間の後段に分析対象のガス成分の分析を行うガス分析用区間を有しているとともに、ガス分析手段は微小流路のガス分析用区間に到来するガス成分吸収・反応済の液体についてガス成分の分析を逐次行うよう構成されている。
【００１２】〔作用〕次に、この発明のガス分析装置の作用を説明する。請求項１に記載の発明のガス分析装置により分析を行う場合、ガス成分を捕集（サンプリング）するために分析用セルは捕集対象のガス成分が存在する場所に据えられ、液体供給手段により、重ね合わせられたプレートの重ね合わせ面に形成された微小流路に液体導入口からガス成分吸収用液体が流される。これと同時に、気体吹き付け手段により、分析用セルにおける多孔質ガラス製のプレートに分析対象のガス成分を含む気体が吹き付けられる。分析用セルの微小流路におけるガス成分吸収区間では、多孔質ガラス製のプレートを透過して進入してくるガス成分とガス成分吸収用液体とが接触することにより、ガス成分がガス成分吸収用液体に吸収される。ガス成分を吸収したガス成分吸収用液体は、ガス成分捕集済サンプル液として液体導出口の方へ向けて流れてゆく。そして、このガス成分捕集済サンプル液には、薬液供給手段によりガス成分捕集済の液体に反応用薬液が供給添加されてガス成分捕集済の液体と反応用薬液との間で反応が行われた後、さらにガス分析手段によりガス成分捕集・反応済の液体についてガス成分の分析が行われる。
【００１３】このように、請求項１のガス分析装置の分析用セルにおいては、ガス成分の濃度の経時的変化に応じたガス成分捕集済サンプル液が連続的に得られる（連続的なガスサンプリングが行われる）ので、ガス成分捕集済サンプル液を逐次にガス分析することによってガス成分の経時的変化が容易に調べられる。さらには現場でガス成分の連続的な分析結果を現場で得ることも可能である（オンサイト分析もできる）し、また連続的なサンプリングであっても、ガス成分吸収用液体が流れるのが微小流路であるので、ガス成分吸収用液体は少量で済む。
【００１４】加えて、請求項１の発明のガス分析装置の場合、分析用セルにおける多孔質ガラス製のプレートに分析対象のガス成分を含む気体が強制的に吹き付けられることにより、多孔質ガラス製のプレートを透過する分析対象のガス成分の量が多くなり、これに伴って、ガス成分吸収用液体が吸収する分析対象のガス成分の量が一段と増加するので、サンプリングの際のガス成分の吸収効率（捕集効率）が向上する。
【００１５】また、請求項２のガス分析装置の分析用セルの場合、ガス成分吸収用液体が微小流路へ流されるのと同時に、反応用薬液導入用流路にも薬液供給手段によって反応用薬液が流され、微小流路のガス成分吸収区間と反応用区間の間でガス成分吸収用液体に反応用薬液が供給添加されるのに引き続いて、反応用区間でガス成分吸収用液体と反応用薬液との反応が連続的に行われる。つまり、請求項２のガス分析装置では、ガス成分の捕集及び反応がひとつの分析用セルで連続的に行われるのである。また、ガス成分吸収用液体が流れるのが、やはり微小流路であるので、添加する反応用薬液も少量で済む。
【００１６】また、請求項３のガス分析装置の分析用セルの場合、微小流路のガス分析用区間に反応用区間からガス成分捕集・反応済の液体が連続的に到来するとともに、ガス分析手段によりガス成分捕集・反応済サンプル液に対しガス成分の分析が連続的に行われる。つまり、請求項３のガス分析装置では、ガス成分の捕集から分析までがひとつの分析用セルで連続的に行われるのである。
【００１７】
【発明の実施の形態】続いて、この発明の一実施例を図面を参照しながら説明する。図１は実施例に係るガス分析装置の全体構成を示すブロック図、図２は実施例装置の分析用セルを示す斜視図、図３は図２におけるａ－ａ線で破断した分析用セルの断面図である。
【００１８】本実施例に係るガス分析装置は、図２に示すように、分析対象のガス成分をサンプリングする平板状の分析用セル１を備えている。分析用セル１は、図２および図３に示すように、下側プレートとして長尺状の透明ガラス製の短冊プレート２を備えているとともに、この短冊プレート２に重ね合わされる上側プレートとして、多孔質ガラス製の円形プレート３及び長尺状の透明ガラス製の円形孔付き短冊プレート４を備えている。そして、これら上側・下側のプレート２～４の重ね合わせ面に液体導入口５から流入するガス成分吸収用液体を液体導出口６へ向けて流す微小流路７が形成されている。
【００１９】さらに、実施例のガス分析装置は、図１に示すように、分析用セル１の他に、分析用セル１における多孔質ガラス製の円形プレート３の表面に分析対象のガス成分を含む気体を吹きつける送風機（気体吹き付け手段）８と、分析用セル１の微小流路７にガス成分吸収用液体を供給する液体供給部９と、ガス成分吸収済（捕集済）の液体に反応用薬液を供給添加する薬液供給部１０と、ガス成分吸収・反応済の液体についてガス分析を行うガス分析部１１とを備えている。以下、実施例装置の各部構成をより具体的に説明する。
【００２０】分析用セル１の短冊プレート４には、厚み方向に貫通する円形孔４ａが形成されていて、この円形孔４ａに多孔質ガラス製の円形プレート３が嵌め込まれている。円形プレート３を嵌め込まれた短冊プレート４が短冊プレート２の上に重ね合わされている。また、短冊プレート４における両端側の各位置には、ガス成分吸収用液体導入用の貫通孔４ｂおよびガス成分吸収用液体導出用の貫通孔４ｃが厚み方向を貫通するように形成されている。各貫通孔４ｂ，４ｃの上部開口が液体導入口５および液体導出口６になっている。
【００２１】一方、各プレート２～４の重ね合わせ面には、図１に示すように、液体導入口５から流入するガス成分吸収用液体を液体導出口６へ向けて流す微小流路７が形成されている。この微小流路７には、液体導入口５から液体導出口６の間にわたって、ガス成分の吸収が行われるガス成分吸収区間ＡＲ１，ガス成分吸収済の液体と反応用薬液の反応が行われる反応用区間ＡＲ２，ガス成分吸収・反応済の液体の分析を行うガス分析用区間ＡＲ３がその順に配設されている。短冊プレート２の重ね合わせ側の面には、図４に示すように、微小流路７を構成する細溝７ａ～７ｈが形成されている。すなわち、微小流路７のガス成分吸収区間ＡＲ１には、６本に分岐しながら最後は再び一本に纏まる複数本（この例では６本）の細溝７ａ～７ｆが形成されている。ガス成分吸収区間ＡＲ１に続く反応用区間ＡＲ２及びガス分析用区間ＡＲ３では細溝７ｇ，７ｈが直列に続くよう形成されている。そして、微小流路７の流路始点７Ａは貫通孔４ｂに、流路終点７Ｂは貫通孔４ｃに、それぞれ連通していて、液体導入口５から流入したガス成分吸収用液体が微小流路７を経ながら液体導出口６へ流れ出るように構成されている。このような分析用セル１によれば、ガス成分吸収用液体が流れる流路が微小であるので、ガス成分吸収用液体は少量で足りる。
【００２２】さらに分析用セル１は、図１に示すように、ガス成分吸収区間ＡＲ１と反応用区間ＡＲ２との間で微小流路７に連通接続される反応用薬液導入用流路１２を備えている。この反応用薬液導入用流路１２は、短冊プレート４に設けられている貫通孔４ｄを経由して薬液導入口１３に連通している。薬液供給部１０から供給された反応用薬液は薬液導入口１３から薬液導入用流路１２へ送り込まれてガス成分捕集済の液体に添加された後、反応用区間ＡＲ２へ流れてゆく。このような反応用薬液の供給添加のために、分析用セル１の短冊プレート２の重ね合わせ側の面には、図４に示すように、反応用薬液導入用流路１２を構成する細溝７ｉが細溝７ｇの上流側で連通するように形成されている。このような分析用セル１によれば、反応用薬液が流れる流路が微小であるので、反応用薬液も少量で足りる。
【００２３】短冊プレート４に嵌め込まれた円形プレート３は、ガス成分吸収用液体を透過させずに吸収対象のガス成分を透過させる多孔質ガラス製であるので、短冊プレート２と円形プレート３の重ね合わせ面には、ガス成分が外側から円形プレート３を透過して進入し微小流路７を流れるガス成分吸収用液体と接触することにより吸収されて捕集される。さらに、実施例のガス分析装置の場合、分析対象のガス成分を含む気体が分析用セル１の多孔質ガラス製の円形プレート３の表面に送風機８で吹き付けられるので、円形プレート３を透過する分析対象のガス成分の量が増えて、ガス成分吸収区間ＡＲ１においてはガス成分吸収用液体により吸収されるガス成分の量が多くなる。また分析用セル１の場合、ガス成分吸収区間ＡＲ１では微小流路７が分岐流路構成であるので、ガス成分とガス成分吸収用液体との接触面積も十分に確保される。
【００２４】第１実施例の場合、下側の短冊プレート２としては縦２ｃｍ，横５ｃｍ，厚みが０．５ｍｍ程度の透明ガラス製プレートが例示される。短冊プレート２の重ね合わせ面に形成されている細溝７ａ～７ｉとしては幅２００μｍ，深さ１００μｍ程度の溝が例示される。上側の短冊プレート４としても縦２ｃｍ，横５ｃｍ，厚みが０．５ｍｍ程度の透明ガラス製プレートが例示される。また円形プレート３としては、直径１．６ｃｍ，厚み０．５ｍｍ程度の多孔質ガラス製プレートが例示される。円形プレート３に用いられる多孔質ガラスとしては、ガラスのシリカ成分だけを残して、他の成分を殆ど溶出させる処理により微細気孔を形成したものが例示される。この多孔質ガラスの場合、微細気孔の大きさは例えば４０オングストローム程度で気孔率は例えば３０％程度である。
【００２５】続いて、実施例装置の分析用セル１の製造方法の一例を説明する。短冊プレート２に用いる透明ガラス製の薄板の表面に細溝７ａ～７ｉを、微細加工法（マイクロマシーニング法）のひとつである、いわゆるフォトリソグラフィ技法により形成する。すなわち、透明ガラス製の薄板の表面にフォトレジスト膜を形成し、このフォトレジスト膜に細溝７ａ～７ｉに対応するパターンを露光した後に現像して細溝７ａ～７ｉのパターンを形成する。このパターンをマスクとしてエッチング処理を行って細溝７ａ～７ｉを形成した後にマスクを除去する。一方、短冊プレート４に用いる透明ガラス製の薄板に、機械加工やサンドブラスト技法などの適当な加工法で、円形孔４ａおよび貫通孔４ｂ～４ｄを形成する。また、前述した多孔質ガラスを整形加工することにより円形プレート３を作成する。
【００２６】そして、短冊プレート２，４の重ね合わせ側表面をフッ酸溶液で少し溶かしておいてから短冊プレート２，４を重ね合わせて接着する。その後、円形プレート３を短冊プレート４の円形孔４ａに嵌め込んでから、図３に示すように、円形孔４ａの周縁に円形プレート３と短冊プレート４の両方に跨がるように接着剤１４を塗布して円形プレート３を接着固定すれば、チップ状の分析用セル１が完成する。
【００２７】一方、実施例装置の液体供給部９は、ガス成分吸収用液体を溜めておく液体貯蔵容器１５と、この液体貯蔵容器１５の液体を液体導入口５に送り込む送液ポンプ１６を有する。薬液供給部１０は、反応用薬液を溜めておく薬液貯蔵容器１７と、この薬液貯蔵容器１７の薬液を薬液導入口１３に送り込む送液ポンプ１８を有する。またガス分析部１１はレーザ光照射部１９と蛍光検出部２０を有している。図２に示すように、レーザ光照射部１９により、下側の透明ガラス製の短冊プレート２の側面からレーザ光ＬＢが微小流路７の分析用区間ＡＲ３に照射される。レーザ光ＬＢの照射に伴い生じる蛍光ＬＬは上側の透明ガラス製の短冊プレート４を透過して蛍光検出部２０により検出される。この蛍光検出部２０による光検出強度がガス成分濃度と比例関係にある。つまり、実施例のガス分析装置の場合、微小流路７の分析用区間ＡＲ３でガス分析部１１によりガス成分捕集・反応済の液体に対し連続的にガス成分の分析が行われる構成となっている。
【００２８】次に、以上に詳述した構成を有するガス分析装置によりガス成分としてＮＯ₂の分析を行う時の状況を説明する。実施例装置を捕集対象のＮＯ₂（ガス成分）が存在する雰囲気中に置く。ここではＮＯ₂存在雰囲気としてＮＯ₂濃度の調整が可能な風洞を用い、ＮＯ₂濃度を適当値にセットする。そして、実施例装置の液体供給部９によりＮＯ₂吸収用液体として３体積％トリエタノールアミン溶液を液体導入口５から微小流路７へ連続的に送り込むとともに、薬液供給部１０により反応用薬液としてザルツマン試薬を薬液導入口１３から反応用薬液導入用流路１２へ連続的に送り込む。これと並行して送風機８を連続稼働させてＮＯ₂を含む空気を多孔質ガラス製の円形プレート３の表面に常に吹き付ける。また、レーザ光照射部１９によるレーザ光ＬＢの常時照射も開始する。
【００２９】トリエタノールアミン溶液は微小流路７のガス成分吸収区間ＡＲ１でＮＯ₂を吸収捕集した後、薬液導入用流路１２でザルツマン試薬が連続的に添加された後、微小流路７の反応用区間ＡＲ２を流れながら反応を済ませた上で微小流路７の分析用区間ＡＲ３に達するとレーザ光ＬＢの照射を受けて捕集ＮＯ₂に見合った光量の蛍光ＬＬを発する。この蛍光ＬＬのうちの５４５ｎｍの波長の光が蛍光検出部２０により連続的に検出されてＮＯ₂濃度に対応する亜硝酸イオン濃度の連続定量分析が行われる結果、ＮＯ₂濃度の経時的変化が調べられる。
【００３０】以上に述べたように、実施例のガス分析装置では、分析用セル１によりＮＯ₂濃度の経時的変化を調べるガス分析に非常に好適なガスサンプリングが高吸収効率で行えるのに加え、ＮＯ₂濃度の分析結果がリアルタイムで連続的に得られる。ガスサンプリングが高吸収効率で行われるので、高感度分析や高速分析も十分に可能である。なお、分析済の溶液は液体導出口６より廃液溜容器（図示省略）に排出されるが、排出される溶液量が少ないので測定が環境に与える負担も軽くて済む。もし、従来のパッシブサンプラーを用いて仮に同じ測定を行おうとすると、測定数だけパッシブサンプラーが必要となる上に、パッシブサンプラー毎に捕集ＮＯ₂を溶出するという煩雑な操作が必要である。
【００３１】続いて、実施例装置の分析用セル１において、送風機８による気体の吹き付けによりＮＯ₂吸収効率が向上することを確認するために次のような実験を行った。すなわち、風洞のＮＯ₂濃度を１００ｐｐｂにセットし、送風機８の風量を２．５ｍ／秒にセットするとともに、薬液供給部１０およびガス分析部１１は停止状態とした他は、上記と同様にして装置を３時間連続稼働させてＮＯ₂捕集済のトリエタノールアミン溶液を採取した。採取した溶液にザルツマン試薬を添加して反応させた後、レーザ光照射に伴って生じる蛍光の５４５ｎｍの波長の光強度を測定した。この結果から亜硝酸イオン濃度を求め、さらにＮＯ₂の吸収量に換算したところ、４．４×１０^-4Ｍであった。
【００３２】一方、比較実験として、送風機８を停止状態とした（送風機８の風量を０ｍ／秒にセットした）他は上記と同様にしてＮＯ₂の吸収量を測ったところ、１．７×１０^-6Ｍであった。上記の両試験結果を比較すれば、送風機８の作動の有無により２桁以上のＮＯ₂の吸収効率の違いがあることが認められ、送風機８による気体の吹き付けによりＮＯ₂吸収効率が大きく向上することを確認することが出来た。
【００３３】この発明は、上記実施の形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
（１）実施例において、図５に示すように、ガス成分吸収用液体を流す微小流路のガス成分吸収区間ＡＲ１において、２組の微小流路用細溝７ａ～７ｃおよび微小流路用細溝７ｄ～７ｆを互いに離間させるように形成した他は同じ構成の分析用セルを装備した装置が、変形例として挙げられる。この変形例の場合、微小流路のガス成分吸収区間では各分岐流路の長さが略同一となることから、ガス成分吸収用液体が各分岐流路を略均等に流れる。
【００３４】また、実施例において、図６に示すように、ガス成分吸収用液体を流す微小流路のガス成分吸収区間ＡＲ１において、微小流路用の細溝を分岐させずにジグザグの細溝７ｊを一本だけ形成して吸収面積を確保するようにした他は同じ構成の分析用セルを装備した装置が、変形例として挙げられる。さらに、ガス成分吸収区間ＡＲ１における微小流路用の細溝は、ジグザグの形にするのではなくて、真っ直ぐな形にしてもよいし、或いは、幅広で底の浅い溝（図示省略）に形成して吸収面積を確保するようにした形態でもよい。
【００３５】（２）実施例装置の分析用セルの場合、微小流路のガス成分吸収区間と反応用区間および分析用区間が全て一つのチップに纏めて形成されたワンチップ構造であったが、分割チップ構造であってもよい。例えば、微小流路のガス成分吸収区間と反応用区間および分析用区間がそれぞれ別々のチップに形成されていて、各チップ間がキャピラリー（ガラス製の細管）等で接続された３分割チップ構造の分析用セルが例示される。
【００３６】（３）実施例では、下側の方形プレートあるいは短冊プレートは多孔質ガラス製ではなかったが、下側の方形プレートあるいは短冊プレートも多孔質ガラス製である構成のものが変形例として挙げられる。
【００３７】（４）実施例においては、捕集対象のガスがＮＯ₂であったが、この発明での捕集対象のガス成分は特定の種類に限らず、ＳＯ₂など他のガス成分も対象となる。またガス分析も定量分析に限らずガス成分の種類を特定する定性分析であってもよい。
【００３８】（５）実施例においては、捕集対象のガスがＮＯ₂であったが、この発明での捕集対象のガス成分は特定の種類のガス成分に限らず、ＳＯ₂など他のガス成分も対象となる。
【００３９】（６）実施例における各プレートの形や寸法、使用材料、製造方法などは実施例に示したものに限らない。例えば、図７に示すように、下側をシリコン（Ｓｉ）製または透明プラスチック製の短冊プレート２１とし、上側を多孔質ガラス製の短冊プレート２２にするとともに、両プレートの継ぎ目を接着剤２３で封止した構成の分析用セルが、変形例として挙げられる。さらには、液体導入口や液体導出口あるいは薬液導入口が下側のプレートに形成されていたり、或いは、微小流路用細溝が多孔質ガラス製のプレートの側に形成されていたりしてもよい。また、液体供給部や薬液供給部およびガス分析部も実施例に示したものに限らず、捕集対象のガス成分の種類、薬液の種類、分析法などによってそれぞれに適した構成ものが用いられる。
【００４０】
【発明の効果】以上に詳述したように、請求項１に記載の発明によれば、分析用セルの微小流路にガス成分吸収用液体を流すとともに、多孔質ガラス製のプレートに分析対象のガス成分を含む気体を吹き付けることによって、ガス成分をガス成分吸収用液体に吸収させているので、ガス成分の吸収効率が高く、高感度分析や高速分析を行うことができる。また、ガス成分吸収用液体は微小流路を流れるので、少量のガス成分吸収用液体で分析を行うことができる。
【００４１】また、請求項２に記載の発明によれば、分析用セルの微小流路にガス成分吸収用液体を流すのと並行して反応用薬液導入用流路に反応用薬液を流し込んで分析用セルの反応用区間でガス成分吸収用液体と反応用薬液の反応を行っているので、ひとつの分析用セルでもってガス成分捕集・反応済サンプル液を連続的に得ることができる。また、反応用薬液が流れるのが微小な流路であるので、添加する反応用薬液も少量で足りる。
【００４２】また、請求項３に記載の発明によれば、分析用セルの反応用区間の後段のガス分析用区間に連続的に到来するガス成分捕集・反応済の液体に対してガス成分の分析を連続的に行うことができる。

【出願人】	【識別番号】５９８１６００２９【氏名又は名称】伊永隆史【識別番号】０００００１９９３【氏名又は名称】株式会社島津製作所【識別番号】０００１６６２４７【氏名又は名称】古野電気株式会社
【出願日】	平成１２年１月１４日（２０００．１．１４）
【代理人】	【識別番号】１０００９３０５６【弁理士】【氏名又は名称】杉谷勉
【公開番号】	特開２００１－１９４３６１（Ｐ２００１－１９４３６１Ａ）
【公開日】	平成１３年７月１９日（２００１．７．１９）
【出願番号】	特願２０００－６４３２（Ｐ２０００－６４３２）