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【発明の名称】 有機物測定装置及び有機物測定方法
【発明者】 【氏名】中野 俊典

【氏名】濱 正治
【要約】 【課題】被測定ガスの有機物の総量を相対的にリアルタイムに測定する。

【解決手段】被測定ガスでバブリング槽５においてバブリングされた超純水６は、反応管１３において紫外光の照射を受ける。これにより超純水６に含有されている、被測定ガス中の有機物が分解され、二酸化炭素が得られる。かかる二酸化炭素を含有する超純水６は検体として、光音響測定部２０１において光音響測定を受ける。光音響測定部２０１における光音響測定によって、検体中の二酸化炭素量が見積もられ、これに基づいて被測定ガス中に含まれていた有機物の量をリアルタイムで検出できる。
【特許請求の範囲】
【請求項１】 被測定ガスを導入し、前記被測定ガス中の有機物の分解を行って得られる二酸化炭素を含む検体を得る有機物−炭酸ガス変換部と、前記有機物−炭酸ガス変換部から得られた前記検体に対して光を照射し、前記検体の熱膨張を測定して前記検体中の二酸化炭素量を測定する炭酸ガス測定部とを備える、有機物測定装置。
【請求項２】 前記炭酸ガス測定部は、前記検体の熱膨張を測定する圧力センサーを備える、請求項１記載の有機物測定装置。
【請求項３】 被測定ガスを導入し、前記被測定ガス中の有機物の分解を行って得られる二酸化炭素を含む検体を得る有機物−炭酸ガス変換部と、前記有機物−炭酸ガス変換部から得られた前記検体に対して光を照射し、前記検体にスペクトル分光分析を行って前記検体中の二酸化炭素量を測定する炭酸ガス測定部とを備える、有機物測定装置。
【請求項４】 被測定ガスを導入し、前記被測定ガス中の有機物の分解を行って得られる二酸化炭素を含む検体を得る有機物−炭酸ガス変換部と、前記有機物−炭酸ガス変換部から得られた前記検体の導電率を測定して前記検体中の二酸化炭素量を測定する炭酸ガス測定部とを備える、有機物測定装置。
【請求項５】 被測定ガスを導入し、前記被測定ガス中の有機物の分解を行って得られる二酸化炭素を含む検体を得る有機物−炭酸ガス変換部と、前記有機物−炭酸ガス変換部から得られた前記検体の水素イオン濃度を測定して前記検体中の二酸化炭素量を測定する炭酸ガス測定部とを備える、有機物測定装置。
【請求項６】 前記有機物−炭酸ガス変換部は、前記被測定ガスを溶媒中に捕集する捕集手段と、前記溶媒中の前記有機物の分解反応を行って前記検体を得る反応手段とを備える、請求項１乃至５のいずれか一つに記載の有機物測定装置。
【請求項７】 前記有機物−炭酸ガス変換部は、前記捕集手段によって前記被測定ガスを捕集しつつも前記分解が行われない前記溶媒をも前記炭酸ガス測定部に与え、前記炭酸ガス測定部は、前記分解が行われない前記溶媒と、前記分解が行われた前記溶媒との双方に対してそれぞれ二酸化炭素の測定を行う、請求項６記載の有機物測定装置。
【請求項８】 前記捕集手段は、前記被測定ガスによって前記溶媒をバブリングする第１バブリング機構と、前記活性度の小さい他のガスによって前記溶媒をバブリングする第２バブリング機構とを有する、請求項６記載の有機物測定装置。
【請求項９】 前記有機物−炭酸ガス変換部は、前記被測定ガスに対して、有機物の分解を行って二酸化炭素を得る分解手段と、前記分解によって得られた二酸化炭素を溶媒中に捕集して前記検体を得る捕集手段とを有する、請求項１乃至５のいずれか一つに記載の有機物測定装置。
【請求項１０】 前記有機物−炭酸ガス変換部は、前記捕集手段と前記反応手段との間に設けられる分溜機構を更に備える、請求項６記載の有機物測定装置。
【請求項１１】 前記有機物−炭酸ガス変換部は、前記被測定ガスから前記有機物を吸着し、前記有機物を放出可能な吸着／放出手段と、前記吸着／放出手段から前記有機物を得て、その分解反応を行って前記検体を得る反応手段とを備える、請求項１乃至５のいずれか一つに記載の有機物測定装置。
【請求項１２】 前記有機物の分解反応には硫酸、ペルオキソ一硫酸塩、ペルオキソ二硫酸塩の少なくともいずれか一つが採用される、請求項６記載の有機物測定装置。
【請求項１３】 被測定ガスを溶媒中に捕集して検体を生成する有機物捕集手段と、前記検体に対して分光分析を行って、前記検体中の官能基の量を測定する分光分析手段とを備える、有機物測定装置。
【請求項１４】 前記分光分析手段は、前記被測定ガスを捕集しない前記溶液に対しても官能基の量を測定する、請求項１３記載の有機物測定装置。
【請求項１５】 被測定ガスを導入し、前記被測定ガス中の有機物の分解を行って得られる二酸化炭素を含む検体を得る有機物−炭酸ガス変換工程と、前記有機物−炭酸ガス変換部から得られた前記検体に対して光を照射し、前記検体の熱膨張を測定して前記検体中の二酸化炭素量を測定する炭酸ガス測定工程とを備える、有機物測定方法。
【請求項１６】 前記炭酸ガス測定工程では、前記検体の熱膨張が測定される、請求項１５記載の有機物測定方法。
【請求項１７】 被測定ガスを導入し、前記被測定ガス中の有機物の分解を行って得られる二酸化炭素を含む検体を得る有機物−炭酸ガス変換工程と、前記有機物−炭酸ガス変換部から得られた前記検体に対して光を照射し、前記検体にスペクトル分光分析を行って前記検体中の二酸化炭素量を測定する炭酸ガス測定工程とを備える、有機物測定方法。
【請求項１８】 被測定ガスを導入し、前記被測定ガス中の有機物の分解を行って得られる二酸化炭素を含む検体を得る有機物−炭酸ガス変換工程と、前記有機物−炭酸ガス変換部から得られた前記検体の導電率を測定して前記検体中の二酸化炭素量を測定する炭酸ガス測定工程とを備える、有機物測定方法。
【請求項１９】 被測定ガスを導入し、前記被測定ガス中の有機物の分解を行って得られる二酸化炭素を含む検体を得る有機物−炭酸ガス変換工程と、前記有機物−炭酸ガス変換部から得られた前記検体の水素イオン濃度を測定して前記検体中の二酸化炭素量を測定する炭酸ガス測定工程とを備える、有機物測定方法。
【請求項２０】 前記有機物−炭酸ガス変換工程は、前記被測定ガスを溶媒中に捕集する捕集工程と、前記溶媒中の前記有機物の分解反応を行って前記検体を得る反応工程とを有する、請求項１５乃至１８のいずれか一つに記載の有機物測定方法。
【請求項２１】 前記捕集工程によって前記被測定ガスを捕集しつつも前記分解が行われない前記溶媒にも前記炭酸ガス測定工程が施される、請求項２０記載の有機物測定方法。
【請求項２２】 前記捕集工程は、前記被測定ガスによって前記溶媒をバブリングする第１バブリング工程と、前記活性度の小さい他のガスによって前記溶媒をバブリングする第２バブリング工程とを有する、請求項２０記載の有機物測定方法。
【請求項２３】 前記有機物−炭酸ガス変換工程は、前記被測定ガスに対して、有機物の分解を行って二酸化炭素を得る分解工程と、前記分解によって得られた二酸化炭素を溶媒中に捕集して前記検体を得る捕集工程とを有する、請求項１５乃至１８のいずれか一つに記載の有機物測定方法。
【請求項２４】 前記有機物−炭酸ガス変換工程は、前記捕集工程と前記反応工程との間に実行される分溜工程を更に備える、請求項２０記載の有機物測定方法。
【請求項２５】 前記有機物−炭酸ガス変換工程は、前記被測定ガスから前記有機物を吸着物に吸着させる吸着工程と、前記吸着物から前記有機物を放出させる放出工程と、前記放出工程によって得られた前記有機物の分解反応を行って前記検体を得る反応工程とを備える、請求項１５乃至１８のいずれか一つに記載の有機物測定方法。
【請求項２６】 前記有機物の分解反応には硫酸、ペルオキソ一硫酸塩、ペルオキソ二硫酸塩の少なくともいずれか一つが採用される、請求項２０記載の有機物測定方法。
【請求項２７】 被測定ガスを溶媒中に捕集して検体を生成する有機物捕集工程と、前記検体に対して分光分析を行って、前記検体中の官能基の量を測定する分光分析工程とを備える、有機物測定方法。
【請求項２８】 前記分光分析工程は、前記被測定ガスを捕集しない前記溶液に対しても官能基の量を測定する、請求項２７記載の有機物測定方法。
【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は有機物の量を測定する技術に関し、特に有機物の量をリアルタイムに測定するための技術に関する。この発明は例えばクリーンルーム内の不純物としての有機物の量を測定する際に採用することができる。
【０００２】
【従来の技術】有機物は、クリーンルーム内の不純物の一つであり、その分析については様々な方法が考案されてきている。例えば活性炭を入れた吸着管にクリーンルーム内の空気を通し、有機不純物を一旦活性炭に捕集させる。あるいはウエハ上に有機物を一旦吸着させる。その後、パージアンドトラップ方などで有機物を脱離させ、ガスクロマトグラフ質量分析を行って、定性、定量分析する。
【０００３】またその他にも、超純水を入れた管にクリーンルーム内の空気を通し、有機不純物を超純水に吸収させた後、イオンクロマトグラフで定性、定量分析する方法も提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしこれらの方法では、有機物の定性定量分析には優れているものの、時間がかかりすぎ、クリーンルームの中の有機物のリアルタイムでの管理には適さない。
【０００５】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、被測定ガス、例えばクリーンルーム内の有機物の総量を相対的に、リアルタイムに測定できる技術を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明のうち請求項１にかかるものは、有機物測定装置であって、被測定ガスを導入し、前記被測定ガス中の有機物の分解を行って得られる二酸化炭素を含む検体を得る有機物−炭酸ガス変換部と、前記有機物−炭酸ガス変換部から得られた前記検体に対して光を照射し、前記検体の熱膨張を測定して前記検体中の二酸化炭素量を測定する炭酸ガス測定部とを備える。
【０００７】この発明のうち請求項２にかかるものは、請求項１記載の有機物測定装置であって、前記炭酸ガス測定部は、前記検体の熱膨張を測定する圧力センサーを備える。
【０００８】この発明のうち請求項３にかかるものは、有機物測定装置であって、被測定ガスを導入し、前記被測定ガス中の有機物の分解を行って得られる二酸化炭素を含む検体を得る有機物−炭酸ガス変換部と、前記有機物−炭酸ガス変換部から得られた前記検体に対して光を照射し、前記検体にスペクトル分光分析を行って前記検体中の二酸化炭素量を測定する炭酸ガス測定部とを備える。
【０００９】この発明のうち請求項４にかかるものは、有機物測定装置であって、被測定ガスを導入し、前記被測定ガス中の有機物の分解を行って得られる二酸化炭素を含む検体を得る有機物−炭酸ガス変換部と、前記有機物−炭酸ガス変換部から得られた前記検体の導電率を測定して前記検体中の二酸化炭素量を測定する炭酸ガス測定部とを備える。
【００１０】この発明のうち請求項５にかかるものは、有機物測定装置であって、被測定ガスを導入し、前記被測定ガス中の有機物の分解を行って得られる二酸化炭素を含む検体を得る有機物−炭酸ガス変換部と、前記有機物−炭酸ガス変換部から得られた前記検体の水素イオン濃度を測定して前記検体中の二酸化炭素量を測定する炭酸ガス測定部とを備える。
【００１１】この発明のうち請求項６にかかるものは、請求項１乃至５のいずれか一つに記載の有機物測定装置であって、前記有機物−炭酸ガス変換部は、前記被測定ガスを溶媒中に捕集する捕集手段と、前記溶媒中の前記有機物の分解反応を行って前記検体を得る反応手段とを備える。
【００１２】この発明のうち請求項７にかかるものは、請求項６記載の有機物測定装置であって、前記有機物−炭酸ガス変換部は、前記捕集手段によって前記被測定ガスを捕集しつつも前記分解が行われない前記溶媒をも前記炭酸ガス測定部に与え、前記炭酸ガス測定部は、前記分解が行われない前記溶媒と、前記分解が行われた前記溶媒との双方に対してそれぞれ二酸化炭素の測定を行う。
【００１３】この発明のうち請求項８にかかるものは、請求項６記載の有機物測定装置であって、前記捕集手段は、前記被測定ガスによって前記溶媒をバブリングする第１バブリング機構と、前記活性度の小さい他のガスによって前記溶媒をバブリングする第２バブリング機構とを有する。
【００１４】この発明のうち請求項９にかかるものは、請求項１乃至５のいずれか一つに記載の有機物測定装置であって、前記有機物−炭酸ガス変換部は、前記被測定ガスに対して、有機物の分解を行って二酸化炭素を得る分解手段と、前記分解によって得られた二酸化炭素を溶媒中に捕集して前記検体を得る捕集手段とを有する。
【００１５】この発明のうち請求項１０にかかるものは、請求項６記載の有機物測定装置であって、前記有機物−炭酸ガス変換部は、前記捕集手段と前記反応手段との間に設けられる分溜機構を更に備える。
【００１６】この発明のうち請求項１１にかかるものは、請求項１乃至５のいずれか一つに記載の有機物測定装置であって、前記有機物−炭酸ガス変換部は、前記被測定ガスから前記有機物を吸着し、前記有機物を放出可能な吸着／放出手段と、前記吸着／放出手段から前記有機物を得て、その分解反応を行って前記検体を得る反応手段とを備える。
【００１７】この発明のうち請求項１２にかかるものは、請求項６記載の有機物測定装置であって、前記有機物の分解反応には硫酸、ペルオキソ一硫酸塩、ペルオキソ二硫酸塩の少なくともいずれか一つが採用される。
【００１８】この発明のうち請求項１３にかかるものは、有機物測定装置であって、被測定ガスを溶媒中に捕集して検体を生成する有機物捕集手段と、前記検体に対して分光分析を行って、前記検体中の官能基の量を測定する分光分析手段とを備える。
【００１９】この発明のうち請求項１４にかかるものは、請求項１３記載の有機物測定装置であって、前記分光分析手段は、前記被測定ガスを捕集しない前記溶液に対しても官能基の量を測定する。
【００２０】この発明のうち請求項１５にかかるものは、有機物測定方法であって、被測定ガスを導入し、前記被測定ガス中の有機物の分解を行って得られる二酸化炭素を含む検体を得る有機物−炭酸ガス変換工程と、前記有機物−炭酸ガス変換部から得られた前記検体に対して光を照射し、前記検体の熱膨張を測定して前記検体中の二酸化炭素量を測定する炭酸ガス測定工程とを備える。
【００２１】この発明のうち請求項１６にかかるものは、請求項１５記載の有機物測定方法であって、前記炭酸ガス測定工程では、前記検体の熱膨張が測定される。
【００２２】この発明のうち請求項１７にかかるものは、有機物測定方法であって、被測定ガスを導入し、前記被測定ガス中の有機物の分解を行って得られる二酸化炭素を含む検体を得る有機物−炭酸ガス変換工程と、前記有機物−炭酸ガス変換部から得られた前記検体に対して光を照射し、前記検体にスペクトル分光分析を行って前記検体中の二酸化炭素量を測定する炭酸ガス測定工程とを備える。
【００２３】この発明のうち請求項１８にかかるものは、有機物測定方法であって、被測定ガスを導入し、前記被測定ガス中の有機物の分解を行って得られる二酸化炭素を含む検体を得る有機物−炭酸ガス変換工程と、前記有機物−炭酸ガス変換部から得られた前記検体の導電率を測定して前記検体中の二酸化炭素量を測定する炭酸ガス測定工程とを備える。
【００２４】この発明のうち請求項１９にかかるものは、有機物測定方法であって、被測定ガスを導入し、前記被測定ガス中の有機物の分解を行って得られる二酸化炭素を含む検体を得る有機物−炭酸ガス変換工程と、前記有機物−炭酸ガス変換部から得られた前記検体の水素イオン濃度を測定して前記検体中の二酸化炭素量を測定する炭酸ガス測定工程とを備える。
【００２５】この発明のうち請求項２０にかかるものは、請求項１５乃至１８のいずれか一つに記載の有機物測定方法であって、前記有機物−炭酸ガス変換工程は、前記被測定ガスを溶媒中に捕集する捕集工程と、前記溶媒中の前記有機物の分解反応を行って前記検体を得る反応工程とを有する。
【００２６】この発明のうち請求項２１にかかるものは、請求項２０記載の有機物測定方法であって、前記捕集工程によって前記被測定ガスを捕集しつつも前記分解が行われない前記溶媒にも前記炭酸ガス測定工程が施される。
【００２７】この発明のうち請求項２２にかかるものは、請求項２０記載の有機物測定方法であって、前記捕集工程は、前記被測定ガスによって前記溶媒をバブリングする第１バブリング工程と、前記活性度の小さい他のガスによって前記溶媒をバブリングする第２バブリング工程とを有する。
【００２８】この発明のうち請求項２３にかかるものは、請求項１５乃至１８のいずれか一つに記載の有機物測定方法であって、前記有機物−炭酸ガス変換工程は、前記被測定ガスに対して、有機物の分解を行って二酸化炭素を得る分解工程と、前記分解によって得られた二酸化炭素を溶媒中に捕集して前記検体を得る捕集工程とを有する。
【００２９】この発明のうち請求項２４にかかるものは、請求項２０記載の有機物測定方法であって、前記有機物−炭酸ガス変換工程は、前記捕集工程と前記反応工程との間に実行される分溜工程を更に備える。
【００３０】この発明のうち請求項２５にかかるものは、請求項１５乃至１８のいずれか一つに記載の有機物測定方法であって、前記有機物−炭酸ガス変換工程は、前記被測定ガスから前記有機物を吸着物に吸着させる吸着工程と、前記吸着物から前記有機物を放出させる放出工程と、前記放出工程によって得られた前記有機物の分解反応を行って前記検体を得る反応工程とを備える。
【００３１】この発明のうち請求項２６にかかるものは、請求項２０記載の有機物測定方法であって、前記有機物の分解反応には硫酸、ペルオキソ一硫酸塩、ペルオキソ二硫酸塩の少なくともいずれか一つが採用される。
【００３２】この発明のうち請求項２７にかかるものは、有機物測定方法であって、被測定ガスを溶媒中に捕集して検体を生成する有機物捕集工程と、前記検体に対して分光分析を行って、前記検体中の官能基の量を測定する分光分析工程とを備える。
【００３３】この発明のうち請求項２８にかかるものは、請求項２７記載の有機物測定方法であって、前記分光分析工程は、前記被測定ガスを捕集しない前記溶液に対しても官能基の量を測定する。
【００３４】
【発明の実施の形態】実施の形態１：図１は本発明の実施の形態１にかかる有機物測定装置の構成を示す概念図である。この有機物測定装置は、有機物−炭酸ガス変換部１０１と、光音響測定部２０１とに大きく分けられる。以下の全図において矢印は、本発明を実行する際に、気体あるいは液体が流れる方向を示す。
【００３５】有機物−炭酸ガス変換部１０１において、バブリング槽５に収納された溶媒、例えば超純水６へと、サンプル吸引管４によって被測定ガス、例えばクリーンルーム内の空気が導入される。測定対象となる雰囲気中の不純物をバブリングによって捕集する技術自体は、例えば特開平９−６１３１５号公報に紹介されている。
【００３６】本発明においては、具体的には、過去の測定に供せられた超純水６が、排水管１０を介して排出される。その後、排水管１０はバルブ９によって閉じられる。バルブ１１も閉じた状態で、注水管８によって超純水６がバブリング槽５に注入される。但し、バブリング槽５の上方には空気溜まり５ａを残しておく。所定量の超純水６がバブリング槽５に注水されれば、バルブ７によってバブリング槽５と注水管８との間が閉ざされる。その後、バブリング槽５の空気溜まり５ａの内の圧力を、排気管２を介して吸引ポンプ１によって減圧することにより、サンプル吸引管４からクリーンルーム内の空気を超純水６へと導入させ、バブリングを生じさせる。所定の期間バブリングが行われた後に、排気管２とバブリング槽５との間をバルブ３によって閉じる。
【００３７】バブリングによってクリーンルーム内の空気中の不純物が溶解した超純水６は、バルブ１１を開くことにより、導入管１２を介して反応管１３へと導入される。反応管１３中の超純水６にはＵＶ光源１４によって光、例えば紫外光が照射される。紫外光の照射により、超純水６中に溶解していた不純物、中でも有機物は水（Ｈ2Ｏ）と二酸化炭素（ＣＯ2）とに分解され、これらが超純水６中に溶解する。有機物を光触媒反応で分解する技術自体は例えば特開平１１−２４３１４０号公報、特開平１１−６７６１８号公報に紹介されている。
【００３８】有機物−炭酸ガス変換部１０１によって、クリーンルーム内の空気中の有機物から分解された水と二酸化炭素（以下、後者を「分解炭酸ガス」という）とが溶解する超純水６は、光音響測定部２０１に検体として与えられ、光音響測定によってその含有する二酸化炭素量が分析される。光音響測定による二酸化炭素を測定する技術自体は、例えば特表平９−５１２６２９号公報において紹介されている。
【００３９】本発明においては、具体的には、バルブ１５が閉じた状態でバルブ２１が開いて、導入管２２を介して反応管１３から試料測定管２３へと超純水６が導入される。試料測定管２３には光源２７によって二酸化炭素分子が振動する波長の光、例えば４．２４μｍの波長のレーザーが、周波数調整盤２９を介して断続的に照射される。
【００４０】図２は周波数調整盤２９の構成を示す平面図である。光源２７から発せられる光を試料測定管２３に対して遮蔽する一対の翼２８ｂが、軸２８ａの回りで回転する。そして一対の翼２８ｂ同士の間隙２８ｃを介して、光源２７から発せられる光が試料測定管２３に照射される。周波数調整盤２９の回転により、光源２７から発せられるレーザーは試料測定管２３中に導入された超純水６に断続的に照射される。
【００４１】上述のレーザーが照射されることにより、超純水６中の二酸化炭素分子が振動し、温度が上昇し、熱膨張が生じる。しかし、レーザーの照射が断続的であるので、熱膨張も断続的となって、超純水６中を弾性波が伝達する。従って熱膨張の発生はマイクロフォン２４が検出する音を以て測定できる。この音は、周波数調整盤２９の回転と同期した断続音であり、その強弱は超純水６中の二酸化炭素量と相関を有している。
【００４２】予め既知の濃度の二酸化炭素を有する超純水６を測定して検量線を得ておくことにより、二酸化炭素が超純水６に溶解した未知の濃度を上記断続音を測定して定量することができる。
【００４３】なお、試料測定管２３内の超純水６には、分解炭酸ガスのみならず、クリーンルーム内の空気中にもともと存在する二酸化炭素（以下「元来炭酸ガス」と仮称する）も存在する。従って、超純水６に溶解した二酸化炭素から有機物を見積もるためには、光音響測定の結果に対し、元来炭酸ガスの量を考慮する必要がある。
【００４４】そこで、参照のための測定として、有機物−炭酸ガス変換部１０１においてバブリングによってクリーンルーム内の空気中の不純物が溶解した超純水６を、これに紫外光を照射することなく、導入管１２、バルブ１１、反応管１３を介して光音響測定部２０１に与える。そしてバルブ２１が閉じた状態でバルブ１５を開いて、導入管１６を介して反応管１３からリファレンス測定槽１７へと超純水６が導入される。リファレンス測定槽１７にも光源２７によって、例えば４．２４μｍの波長のレーザーが、周波数調整盤２８を介して断続的に照射される。周波数調整盤２８の構成は、周波数調整盤２９の構成と同一である。
【００４５】リファレンス測定槽１７においても、断続的な熱膨張の発生を音としてマイクロフォン１８を用いて測定でき、その結果は元来炭酸ガスの量を反映している。従って、リファレンス測定槽１７において測定された二酸化炭素の量を、試料測定管２３において測定された二酸化炭素の量から差し引くことにより、分解炭酸ガスの量が得られ、相対的な有機物の量を求めることができる。
【００４６】光音響測定が終了した後は、試料測定管２３及びリファレンス測定槽１７、超純水６がそれぞれバルブ２５，１９を介して排水管２６，２０によって排出され、次の測定に備えられる。
【００４７】以上のようにして本実施の形態によれば、有機物を二酸化炭素へと変換し、これを光音響測定で測定するので、被測定ガス中の有機物をリアルタイムで測定することができる。しかも溶媒を用いたバブリングにより、固形不純物を容易に除去できる。
【００４８】なお、有機物を光触媒反応で分解するのみならず、例えば特開平１１−２１９９２７号公報に示されるようにオゾンを採用しても有機物から分解炭酸ガスを得ることができる。従って、ＵＶ光源１４の代わりにオゾンを発生する装置を設け、反応管１３内において超純水６にオゾンを与えてもよい。
【００４９】また、超純水６に溶解が困難な有機物に対応するため、バブリング槽５が収納する溶媒として、例えば特開平９−６１３１５号公報に示されるような酸性溶液、あるいは他に塩基性溶液、有機溶剤を採用してもよい。
【００５０】実施の形態２：図３は本発明の実施の形態２にかかる有機物測定装置の構成を示す概念図である。この有機物測定装置は、有機物−炭酸ガス変換部１０２と、光音響測定部２０２とに大きく分けられる。
【００５１】有機物−炭酸ガス変換部１０２は、有機物−炭酸ガス変換部１０１に対して、バブリング槽５に挿入されたガス注入管３０ａ及びその途中に設けられたバルブ３０ｂを追加した構成を有している。サンプル吸引管４から被測定ガスたるクリーンルーム内の空気が導入される際にはバルブ３０ｂが閉じており、ガス注入管３０ａは超純水６中へなにも注入しない。
【００５２】所定のバブリングが行われた後に、排気管２とバブリング槽５との間がバルブ３によって閉じられ、バルブ３０ｂが開く。これにより、ガス注入管３０ａは超純水６中へ活性の低いガス、例えば窒素を導入し、超純水６に対するバブリングが行われる。この窒素を用いたバブリングにより、元来炭酸ガスは、超純水６中に溶解していた他のガスと同様に除去される。
【００５３】このようにしてクリーンルーム内の空気を用いて第１のバブリングを、活性の低いガスを用いて第２のバブリングを、この順に行うことにより、元来炭酸ガスが除去されるが有機物は溶解している超純水６が得られる。この後、実施の形態１と同様にして、超純水６が導入管１２、バルブ１１を介して反応管１３へと導入される。反応管１３中の超純水６にはＵＶ光源１４によって紫外光が照射され、超純水６中に溶解していた有機物は水と二酸化炭素とに分解される。その後も実施の形態１と同様にして、試料測定管２３において光音響測定によって二酸化炭素の量が測定される。
【００５４】上述のように、試料測定管２３に導入される前に、超純水６は予め元来炭酸ガスが除去されるので、試料測定管２３において測定される二酸化炭素の量は分解炭酸ガスのみを反映している。従って、本実施の形態の光音響測定においては実施の形態１のようなリファレンス測定槽１７は不要である。従って、実施の形態２において用いられる光音響測定部２０２は、実施の形態１に示された光音響測定部２０１から、バルブ１５，１９、導入管１６、リファレンス測定槽１７、マイクロフォン１８、排水管２０、周波数調整盤２８を除去した構成を有している。
【００５５】以上のようにして本実施の形態によれば、元来炭酸ガスを予め除去した溶媒に対して有機物の分解を行うので、元来炭酸ガスの量を差し引くための構成を簡単にすることができる。ガス注入管３０ａが超純水６へと注入する、活性の低いガスとしては、窒素の他にもアルゴン等の不活性ガスを採用してもよい。
【００５６】実施の形態３：図４は本発明の実施の形態３にかかる有機物測定装置の構成を示す概念図である。この有機物測定装置は、有機物−炭酸ガス変換部１０３と、光音響測定部２０１とに大きく分けられる。
【００５７】有機物−炭酸ガス変換部１０３は、有機物−炭酸ガス変換部１０１に対して、バブリング槽５と反応管１３との順序を入れ替えた構成を有している。具体的には、サンプル吸引管４ａ，４ｂはそれぞれバルブ１１，３ｃを介して反応管１３の入力側及び出力側に接続されている。サンプル吸引管４ｂは実施の形態１のサンプル吸引管４に相当する。また有機物−炭酸ガス変換部１０３においては、有機物−炭酸ガス変換部１０１の吸引ポンプ１、排気管２、バルブ３に相当する機構として、吸引ポンプ１ａ、排気管２ａ、バルブ３ａがそれぞれ設けられている。
【００５８】一方、反応管１３には別途に、バルブ３ｂを介して吸引ポンプ１ｂ、排気管２ｂが接続されており、これらによって反応管１３からの排気が行われる。バルブ３ｃを閉じ、バルブ１１，３ｂを開けることにより、反応管１３にはサンプル吸引管４ａから被測定ガス、例えばクリーンルーム内の空気が導入される。反応管１３が被測定ガスで満たされた後、反応管１３中の超純水６にＵＶ光源１４によって光、例えば紫外光を照射する。これにより、クリーンルーム内の空気に存在していた有機物は水と二酸化炭素とに分解される。
【００５９】その後、バルブ１１，３ｂを閉じ、バルブ３ａ，３ｃを開けることによって、分解炭酸ガスを含む空気はバブリング槽５中の超純水６へと導入され、バブリングが生じる。そしてバブリングの後、超純水６は光音響測定部２０１において光音響測定に供せられる。
【００６０】以上のようにして本実施の形態によれば、有機物から予め分解炭酸ガスを得た後に、これを用いて超純水でのバブリングを行うので、超純水６に溶解しにくい有機物であっても、被測定ガス中の有機物をリアルタイムで測定することができる。
【００６１】実施の形態４：図５は本発明の実施の形態４にかかる有機物測定装置の構成を示す概念図である。この有機物測定装置は、有機物−炭酸ガス変換部１０４と、光音響測定部２０１とに大きく分けられる。
【００６２】有機物−炭酸ガス変換部１０４は、有機物−炭酸ガス変換部１０１に対して、分溜機構３００をバルブ１１の直前に追加した構成を有している。分溜機構３００は、バルブ３３を介して導入管１２に接続された蒸発管３４と、蒸発管３４を加熱する加熱ヒーター３５と、蒸発管３４を排気する排気管３７とを備えている。排気管３７には、蒸発管３４に近い方から順にバルブ３６ａ、有機物除去フィルタ３６ｂが設けられている。
【００６３】実施の形態１とは異なり、バブリング槽５には超純水６の代わりに有機溶剤３２が収納される。従って、注水管８、排水管１０はそれぞれ水ではなく、有機溶剤３２の注入、排出を行うことになる。
【００６４】バルブ７，９，３３を閉じた状態で、実施の形態１と同様にしてサンプル吸引管４によって被測定ガス、例えばクリーンルーム内の空気が有機溶剤３２へ導入され、バブリングが行われる。そしてバルブ２を閉じ、バルブ３３を開いて、有機溶剤３２が蒸発管３４へと導入される。この導入段階ではバルブ１１は閉じられている。
【００６５】バルブ３６ａを開け、有機溶剤３２をその沸点近傍にまで蒸発管３４において加熱ヒーター３５によって加熱する。これにより、蒸発管３４においては有機溶剤３２及びこれよりも沸点の低い有機物が排気管３７から排出される一方、有機溶剤３２よりも沸点の高い有機物が残留し、分溜が行われる。有機物除去フィルタ３６ｂは、当該測定装置がその周囲に有機物を排出して汚染することを防ぐ。
【００６６】分溜機構３００によって残留したガスは、バルブ１１を介して反応管１３へと導入され、実施の形態１と同様にして紫外光が照射され、あるいはオゾンが付与される。これによって分解炭酸ガスを得ることができる。
【００６７】上記実施の形態１乃至３では光音響測定の対象となる検体は、分解炭酸ガスを含む溶媒であったが、本実施の形態では検体は気体である。もちろん、蒸発管３４から得られたガスを用いて、更に実施の形態１に示されるように超純水６をバブリングしてから、その超純水６を反応管１３へ導入してもよい。
【００６８】有機溶剤３２としては、イソプロピルアルコールやエタノールを用いることができるが、検出対象となる有機物に依って選択することが望ましい。もちろん、有機溶剤３２の沸点よりも高い温度まで加熱することにより、有機溶剤３２の沸点よりも高い沸点を有する複数の有機物の内、所望のものに対して光音響測定を施すことができる。また、蒸発管３４を加熱する代わりに減圧しても分溜することができる。
【００６９】以上のようにして本実施の形態によれば、分溜を行うことによって残留した有機物から分解炭酸ガスを得るので、所望の沸点以上の有機物についての検出をリアルタイムで行うことができる。
【００７０】実施の形態５：図６は本発明の実施の形態５にかかる有機物測定装置の構成を示す概念図である。この有機物測定装置は、有機物−炭酸ガス変換部１０５と、光音響測定部２０１とに大きく分けられる。
【００７１】有機物−炭酸ガス変換部１０５は、吸着管３８に収納された吸着材、例えばシリカゲルや活性炭３９へとサンプル吸引管４によって、被測定ガス、例えばクリーンルーム内の空気が導入される。測定対象となる雰囲気中の不純物を、吸着、放出させる技術自体は、例えば特開平７−２６３１７２号公報に紹介されている。
【００７２】本発明においては、具体的には、過去の分析履歴として活性炭３９に吸着されていた有機物が、バルブ４１を介して排気管４０から排出される。その後、排気管４０はバルブ４１によって閉じられる。サンプル吸引管４は活性炭３９に連結しており、気溜まり３８ａがサンプル吸引管４とは活性炭３９に関して反対側に位置している。よって気溜まり３８ａを、バルブ１１も閉じられた状態でバルブ３及び排気管２を介して接続された吸引ポンプ１によって吸気することにより、被測定ガスが活性炭３９を通って排気管２へと移動する。この際、クリーンルーム内の空気中の不純物、特に有機物が活性炭３９に吸着する。
【００７３】所定期間の吸着の後、バルブ３を閉じ、バルブ１１を開く。気溜まり３８ａには導入管１２が連通しており、これはバルブ１１を介して反応管１３の入力側に接続されている。反応管１３の出力側には排気管４４がバルブ４３を介して接続されており、吸引ポンプ４５によって気溜まり３８ａから反応管１３へとガスを引き抜く。この際、ヒーター３８ｂによって活性炭３９が加熱され、活性炭３９が吸着していた有機物が放出されて反応管１３へと導入される。例えば活性炭３９は２５０〜４５０℃に加熱される。
【００７４】以上のようにして本実施の形態によれば、実施の形態１とは異なり、検体は溶媒ではなく気体であるが、クリーンルーム内の空気から有機物から分解炭酸ガスを得るので、その検出をリアルタイムで行うことができる。
【００７５】実施の形態６：図７は本発明の実施の形態６にかかる有機物測定装置の構成を示す概念図である。この有機物測定装置は、有機物−炭酸ガス変換部１０６と、光音響測定部２０１とに大きく分けられる。
【００７６】有機物−炭酸ガス変換部１０６は、有機物−炭酸ガス変換部１０１のＵＶ光源１４及び反応管１３を、酸化処理機構４００で置換した構成を有している。
【００７７】酸化処理機構４００は、バルブ１１を介して導入管１２に接続された酸化槽４６、酸化槽４６へ供給する硫酸を貯蔵する硫酸タンク４７、硫酸タンク４７から酸化槽４６へ硫酸を導入するための注入ポンプ４８ａ及び注入管４８ｂを備えている。更に、注入ポンプ４８ａと酸化槽４６との間にはバルブ４８ｃが設けられている。
【００７８】実施の形態１と同様にして、クリーンルーム内の有機物を溶解した超純水６が導入管１２を通ってバルブ１１に達する。バルブ１１を開くことにより当該超純水６が酸化槽４６に導入され、その後バルブ１１を閉じる。
【００７９】次にバルブ４８ｃを開き、注入ポンプ４８ａによって注入管４８ｂを介して硫酸タンク４７から硫酸を酸化槽４６へ供給する。酸化槽４６においては硫酸による酸化反応が生じ、超純水６中の有機物から分解炭酸ガスが得られる。その後、分解炭酸ガスを含んだ超純水６と硫酸の混合物が光音響測定部２０１に与えられ、実施の形態１と同様にして光音響測定に供せられる。
【００８０】以上のようにして本実施の形態においては硫酸によって有機物の酸化が行われるので、実施の形態１と同様、クリーンルーム内の空気から有機物から分解炭酸ガスを得て、その検出をリアルタイムで行うことができる。
【００８１】なお、硫酸の代わりに他の酸化剤、例えばペルオキソ一硫酸塩、ペルオキソ二硫酸塩を採用してもよいし、これらの混合物を用いてもよい。
【００８２】実施の形態７：図８は本発明の実施の形態７にかかる有機物測定装置の構成を示す概念図である。この有機物測定装置は、有機物−炭酸ガス変換部１０１と、圧力測定部２０３とに大きく分けられる。圧力測定部２０３は、光音響測定部２０１から周波数調整盤２８，２９を省略し、マイクロフォン１８，２４の代わりにそれぞれ圧力センサー５０，５１を設けた構成を有している。
【００８３】実施の形態１で説明されたように、二酸化炭素分子が振動する波長の光、例えば４．２４μｍの波長のレーザーが照射されることにより、超純水６（例えば図１参照）中の二酸化炭素分子は振動し、温度が上昇し、熱膨張が生じる。そこで本実施の形態では、熱膨張による圧力変動をリファレンス測定槽１７及び試料測定管２３のそれぞれにおいて圧力センサー５０，５１で検出する。
【００８４】これにより、実施の形態１と同様にして、分解炭酸ガスを元来炭酸ガスから区別して測定することができる。本実施の形態では圧力センサー５０，５１によって熱膨張による圧力変動を検出するのであり、実施の形態１のように音を検出するのではないので、熱膨張を断続的に生じさせるための周波数調整盤２８，２９は不要である。従って、これらはもとより、これらを回転させるための機構（図示されない）をも必要とせず、簡易な構成で、実施の形態１で述べた効果を得ることができる。
【００８５】もちろん、実施の形態２で述べたように、有機物−炭酸ガス変換部１０１の代わりに有機物−炭酸ガス変換部１０２を採用すれば、圧力測定部２０３からバルブ１５，１９、導入管１６、リファレンス測定槽１７、圧力センサー５０、排水管２０を除去した構成を採ることができる。
【００８６】また当然、実施の形態３乃至実施の形態６で示された有機物−炭酸ガス変換部１０３〜１０６と圧力測定部２０３とを組み合わせて使用し得る。
【００８７】実施の形態８：図９は本発明の実施の形態８にかかる有機物測定装置の構成を示す概念図である。この有機物測定装置は、有機物−炭酸ガス変換部１０１と、分光分析部２０４とに大きく分けられる。分光分析部２０４は、光音響測定部２０１から周波数調整盤２８，２９を削除し、マイクロフォン１８，２４の代わりにそれぞれ赤外線センサー５２，５３を設け、光源２７の代わりに赤外線照射器５４，５５を設けた構成を有している。
【００８８】赤外線照射器５４，５５は、二酸化炭素分子が吸収する波長の赤外光、例えば２９．４μｍの波長のレーザーをそれぞれリファレンス測定槽１７及び試料測定管２３中の超純水６（例えば図１参照）に照射する。超純水６中の二酸化炭素分子は上記の赤外光を吸収するので、その吸収量は超純水６中に存在する二酸化炭素の量に依存する。よって予め既知の濃度の二酸化炭素を有する超純水６を測定して赤外光吸収についての検量線を得ておくことにより、二酸化炭素が超純水６に溶解した未知の濃度を上記吸収量を測定して定量することができる。
【００８９】従って、赤外線センサー５２，５３によって赤外光の吸収量を検知することにより、それぞれ元来炭酸ガスの量、元来炭酸ガスと分解炭酸ガスの量の和が検出できる。両者の差として分解炭酸ガスの量が求められ、引いては被測定ガス中の有機物の量を求めることができる。つまり有機物を二酸化炭素へと変換し、これが吸収する光の量を測定するので、被測定ガス中の有機物をリアルタイムで測定することができる。
【００９０】本実施の形態においても実施の形態７と同様に、赤外光を断続的に照射する機構は不要であり、実施の形態２乃至実施の形態６と組み合わせて、それぞれの特有の効果を享受することができる。
【００９１】赤外線照射器５４，５５及び赤外線センサー５２，５３は、それぞれ紫外線照射器、紫外線センサーに置換してもよい。例えば紫外線照射器は０．１４７μｍの波長の紫外光を照射する。
【００９２】また、赤外線照射器５４，５５をそれぞれリファレンス測定槽１７及び試料測定管２３に対して別個に設けるのではなく、実施の形態１で示された光源２７のように、リファレンス測定槽１７及び試料測定管２３に対して同一のものを採用することができる。また分光分析部２０４が光の吸収量以外に他のスペクトル分光分析を実行してもよい。
【００９３】実施の形態９：図１０は本発明の実施の形態９にかかる有機物測定装置の構成を示す概念図である。この有機物測定装置は、有機物−炭酸ガス変換部１０１と、導電率測定部２０５とに大きく分けられる。導電率測定部２０５は、光音響測定部２０１から光源２７、周波数調整盤２８，２９を除去し、マイクロフォン１８，２４の代わりにそれぞれ導電率計５７，５６を設けた構成を有している。
【００９４】超純水６（例えば図１参照）の導電率はその中に存在する二酸化炭素の量に依存する。よって予め既知の濃度の二酸化炭素を有する超純水６を測定して導電率についての検量線を得ておくことにより、二酸化炭素が超純水６に溶解した未知の濃度を上記導電率を測定して定量することができる。
【００９５】導電率計５７，５６は、それぞれリファレンス測定槽１７及び試料測定管２３に導入された超純水６の導電率を測定するので、それぞれ元来炭酸ガスの量、元来炭酸ガスと分解炭酸ガスの量の和が検出できる。両者の差として分解炭酸ガスの量が求められ、引いては被測定ガス中の有機物の量を求めることができる。つまり有機物を二酸化炭素へと変換し、これを含む検体たる超純水６の導電率を測定するので、被測定ガス中の有機物をリアルタイムで測定することができる。
【００９６】本実施の形態においても実施の形態７及び実施の形態８と同様に、赤外光を断続的に照射する機構は不要であり、実施の形態２乃至実施の形態６と組み合わせて、それぞれの特有の効果を享受することができる。
【００９７】導電率計５６，５７はｐＨ（水素イオン濃度）センサーに置換して、導電率測定部２０５を水素イオン濃度測定部としてもよい。超純水６の導電率は、その中に存在する二酸化炭素の量に依存するからである。
【００９８】実施の形態１０：図１１は本発明の実施の形態１０にかかる有機物測定装置の構成を示す概念図である。この有機物測定装置は、有機物捕集部１０７と、分光分析部２０４とに大きく分けられる。
【００９９】有機物捕集部１０７は、有機物−炭酸ガス変換部１０１から反応管１３及びＵＶ光源１４を除去した構成を有しており、バブリング槽５から導入管１２を介して分光分析部２０４に超純水６が導入される。またサンプル吸引管４の途中には炭酸ガス除去フィルタ５８が設けられ、被測定ガスから二酸化炭素が除去されて、バブリング槽５へと導入される。
【０１００】本実施の形態では実施の形態１乃至実施の形態９とは異なり、分解炭酸ガスを測定することにより間接的に有機物の量を求めるのではなく、カルボニル基（-CO-）を有する有機物を分解することなく、分光分析部２０４における分光分析に供する。従って、元来炭酸ガスをも除去する必要上、炭酸ガス除去フィルタ５８が設けられている。
【０１０１】実施の形態１と同様にしてバブリングが行われた超純水６は、有機物の分解が行われることなく、実施の形態８と同様にして、例えば２９．４μｍの赤外光が照射される。そしてこの赤外光の吸収量を測定することにより、特定の官能基、例えばカルボニル基を有する有機物、例えばカルボン酸やフタル酸エステルなどが含むカルボニル基量を測定することができる。
【０１０２】なお、実施の形態１において元来炭酸ガスを分解炭酸ガスと区別したように、本実施の形態においても、超純水６に元々含まれている官能基（以下「元来官能基」という）、例えばカルボニル基を有する有機物の量を差し引いた測定を行うことが望ましい。そのため、バブリングが行われない超純水６についての赤外光の吸収量を測定し、元来官能基の量を求めることが望ましい。つまり有機物を捕集しない溶液に対しても分光分析を行うことによって、被測定ガスに含まれる官能基の量を正確に求めることができる。バブリングしない超純水６を分光分析部２０４のリファレンス測定槽１７（図９参照）に導入することは、バルブ３，７，９，１１，１５，２１を適宜に操作することで容易に実現できる。
【０１０３】以上のように本実施の形態によれば、被測定ガスを用いたバブリングを行って、被測定ガス中の有機物を含んだ検体たる超純水６に対して分光を行うので、特定の官能基を有する有機物の量をリアルタイムで測定することができる。
【０１０４】なお、赤外線照射器５４，５５（図９参照）が照射する光の波長は、二酸化炭素の吸光する波長に限られない。有機アミン基、有機エステル基を評価するために、適切な波長を選ぶことができる。また赤外領域以外の光を照射し、その光の吸収を測定してもよい。その場合、二酸化炭素と区別した同定が可能ならば、炭酸ガス除去フィルタ５８を必ずしも用いることもない。
【０１０５】変形：上記実施の形態１乃至１０では有機物測定装置について説明したが、これらにおいて例示された構成以外でも、各実施の形態で説明された内容で有機物を測定する方法も本発明の範疇にある。
【０１０６】
【発明の効果】この発明のうち請求項１にかかる有機物測定装置及び請求項１５にかかる有機物測定方法によれば、有機物を二酸化炭素へと変換し、これを含む検体に対して、例えば光音響測定を行うので、被測定ガス中の有機物量をリアルタイムで測定することができる。
【０１０７】この発明のうち請求項２にかかる有機物測定装置及び請求項１６にかかる有機物測定方法によれば、光音響測定ではなく、検体の熱膨張による圧力を検知するので、光を断続的に照射するための機構が不要となる。
【０１０８】この発明のうち請求項３にかかる有機物測定装置及び請求項１７にかかる有機物測定方法によれば、有機物を二酸化炭素へと変換し、これを含む検体が吸収する光の量を測定するので、被測定ガス中の有機物をリアルタイムで測定することができる。
【０１０９】この発明のうち請求項４にかかる有機物測定装置及び請求項１８にかかる有機物測定方法によれば、有機物を二酸化炭素へと変換し、これを含む検体の導電率を測定するので、被測定ガス中の有機物量をリアルタイムで測定することができる。
【０１１０】この発明のうち請求項５にかかる有機物測定装置及び請求項１９かかる有機物測定方法によれば、有機物を二酸化炭素へと変換し、これを含む検体の水素イオン濃度を測定するので、被測定ガス中の有機物量をリアルタイムで測定することができる。
【０１１１】この発明のうち請求項６にかかる有機物測定装置及び請求項２０にかかる有機物測定方法によれば、溶媒を用いたバブリングにより、固形不純物を容易に除去できる。
【０１１２】この発明のうち請求項７にかかる有機物測定装置及び請求項２１にかかる有機物測定方法によれば、被測定ガス中にもともと存在する二酸化炭素の量も測定されるので、これを差し引いた二酸化炭素の量に基づいて有機物を測定することができる。
【０１１３】この発明のうち請求項８にかかる有機物測定装置及び請求項２２にかかる有機物測定方法によれば、容易な構成で、被測定ガス中にもともと存在する二酸化炭素の量を差し引いた二酸化炭素の量に基づいて、有機物を測定することができる。
【０１１４】この発明のうち請求項９にかかる有機物測定装置及び請求項２３にかかる有機物測定方法によれば、溶媒に溶解しにくい有機物であっても、予め二酸化炭素に変換されるので、請求項１乃至５の効果を得ることができる。
【０１１５】この発明のうち請求項１０にかかる有機物測定装置及び請求項２４にかかる有機物測定方法によれば、分溜を行うことによって残留した有機物から二酸化炭素を得るので、所望の沸点以上の有機物についての検出をリアルタイムで行うことができる。
【０１１６】この発明のうち請求項１１にかかる有機物測定装置及び請求項２５にかかる有機物測定方法によれば、吸着／放出手段によって被測定ガスから有機物を得るので、固形不純物を容易に除去できる。
【０１１７】この発明のうち請求項１２にかかる有機物測定装置及び請求項２６にかかる有機物測定方法によれば、有機物を酸化させて、二酸化炭素を得ることができる。
【０１１８】この発明のうち請求項１３にかかる有機物測定装置及び請求項２７にかかる有機物測定方法によれば、有機物を含む検体に対して、分光分析によって官能基を測定するので、被測定ガス中で特定の官能基を有する有機物の量をリアルタイムで測定することができる。
【０１１９】この発明のうち請求項１４にかかる有機物測定装置及び請求項２８にかかる有機物測定方法によれば、有機物を捕集しない溶液に対する分光分析によって、被測定ガスに含まれる官能基の量を正確に求めることができる。
【出願人】 【識別番号】０００００６０１３
【氏名又は名称】三菱電機株式会社
【出願日】 平成１２年１月７日（２０００．１．７）
【代理人】 【識別番号】１０００８９２３３
【弁理士】
【氏名又は名称】吉田 茂明 （外２名）
【公開番号】 特開２００１−１９４３５９（Ｐ２００１−１９４３５９Ａ）
【公開日】 平成１３年７月１９日（２００１．７．１９）
【出願番号】 特願２０００−１４５４（Ｐ２０００−１４５４）